JP3311813B2 - パターン読取装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、パターン読取技術、特
に、ホルダに透過率の異なる光学フィルタが複数配置さ
れている場合に所望のフィルタに切り変える技術に関
し、例えば、半導体装置の製造工程において、半導体ウ
エハ（以下、ウエハという。）に表示された識別コード
や、製品に表示された色彩（カラー）を有するマークを
読み取るのに利用して有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、生産管
理やデータ管理のためにウエハに各ウエハ固有の識別コ
ード（以下、単に、コードという。）を表示し、必要に
応じてこのコードを読み取ることが行われている。この
ウエハに表示されるコードは、リソグラフィー処理およ
びエッチング処理によってウエハの主面に形成された凹
凸から成るパターンにより構成されている。

【０００３】このように構成されているウエハのコード
を読み取るコード読取装置としては、ウエハを照明する
照明装置と、照明されたウエハのコードを撮像するテレ
ビカメラと、このテレビカメラの画像信号に基づいてウ
エハのコードを認識する画像処理装置とを備えている。

【０００４】また、一般的に、半導体装置の製造工程に
おいては、製造された製品に製品名や型番等を示すマー
クが表示される。さらに、ダイオード等の製品において
は、色彩（カラー）を有するマーク（以下、カラーマー
クという。）が各品種毎に異なる色彩がそれぞれ使用さ
れて付されている。つまり、このカラーマークによって
各品種をそれぞれ識別させることが行われている。例え
ば、高周波用のダイオードは赤色によってカラーマーク
が表示され、低周波用のダイオードは青色によってカラ
ーマークが表示され、小信号用のダイオードは緑色によ
ってカラーマークが表示される、という如きである。

【０００５】他方、半導体装置の製造工程においては、
製品に表示されたマークが適正に表示されているか否か
を検査するために、マークを読み取る作業が実施されて
いる。このマークの読み取り作業を人が実施していたの
では、生産性がきわめて低下してしまうため、自動的に
実施することが一般的に行われている。

【０００６】そして、マークが色彩によって表示されて
いる場合には、次のようなマーク読取方法が実施されて
いる。 （１） カラー画像処理装置が使用されるマーク読取方
法。すなわち、カラーテレビカメラによってマークが撮
像され、各画素における各原色の量が分析されて、マー
クの色彩が認識されるとともに、特定の色彩を有するマ
ークが読み取られる。

【０００７】（２） ２値および濃淡画像処理装置に電
子フィルタ式色抽出装置が組み合わされるマーク読取方
法。すなわち、カラーテレビカメラによってマークが撮
像され、電子フィルタによって抽出された色彩だけが認
識されることにより、特定の色彩を有するマークが読み
取られる。

【０００８】（３） ２値および濃淡画像処理装置に光
学フィルタ式色抽出装置が組み合わされるマーク読取方
法。すなわち、光学フィルタによって抽出されたマーク
の色彩だけが白黒テレビカメラによって撮像され、認識
されることにより、特定の色彩を有するマークが読み取
られる。

【０００９】なお、光学検査技術を述べてある例として
は、株式会社工業調査会発行「電子材料１９８７年１１
月号別冊」昭和６２年１１月２０日発行 Ｐ２３３〜Ｐ
２３９、がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のような
コード読取装置においては、照明装置から照射される光
が一定の波長帯域の光であるため、画像のコントラスト
が良好でコードが適正に読み取られる場合と、画像のコ
ントラストが悪くコードが適正に読み取られない場合と
が発生するという問題点があることが、本発明者によっ
て明らかにされた。

【００１１】そして、この症状は、ウエハにより製造さ
れる半導体装置の品種や、製造プロセスの相違に影響を
受けたり、各プロセスでのばらつきや、ウエハ内の処理
状態（膜厚や膜質等）のばらつきに影響を受けたりして
いる。前記症状がこれらに影響を受ける理由は、コード
がウエハへの回路パターンと同じプロセス（リソグラフ
ィー処理）を経て形成されており、そのプロセスでの膜
厚の変動やエッチングのばらつきが発生するため、さら
には、コード形成プロセス以降のプロセス変動の影響を
大きく受けるため、と考えられる。

【００１２】本発明の第１の目的は、パターンを常に適
正に読み取ることができるパターン読取技術を提供する
ことにある。

【００１３】また、前記したカラーマークの読取方法に
は、次のような問題点がある。まず、カラー画像処理装
置が使用されるマーク読取方法、２値および濃淡画像処
理装置に電子フィルタ式抽出装置が使用されるマーク読
取方法においては、構造が複雑で、高価になるという問
題点がある。

【００１４】また、２値および濃淡画像処理装置に光学
フィルタ式抽出装置が組合わされるマーク読取方法にお
いては、カラーマークに対応した透過率を有する光学フ
ィルタを自動的かつ迅速に切り換える必要がある。

【００１５】そこで、異なる特定波長範囲を透過する光
学フィルタを複数用意しておき、カラーマークに対応し
て特定波長範囲を透過する光学フィルタを照明光源に自
動的かつ迅速に対向させることができる光学フィルタの
切換技術の開発が要望されている。

【００１６】本発明の第２の目的は、光学フィルタを自
動的かつ迅速に切り換えることができるパターン読取技
術を提供することにある。

【００１７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１９】すなわち、パターンが形成されている被読
取物に光を照射する照明装置と、その被読取物からの反
射光を受ける受光装置とを備えているパターン読取装置
において、前記照明装置と受光装置との間に光学フィル
タ切換装置が介設されており、この光学フィルタ切換装
置は、異なる透過率をそれぞれ有する複数の光学フィル
タが互いに異なる位置に配置されているホルダと、この
ホルダを照明装置に対して光学的に相対移動させる移動
手段とを備えており、ホルダが照明装置に対して光学的
に相対移動されることにより、照明装置に光学的に対向
される光学フィルタが切り換えられる光学フィルタ切換
装置であって、前記照明装置に現在対向されている光学
フィルタを検出する検出手段と、この検出手段によって
検出された光学フィルタと前記照明装置に対向するよう
に指定された光学フィルタとを照合し、両方が不一致の
場合に前記移動手段に前記ホルダを照明装置に対して光
学的に相対移動させる移動指令を送信するコントローラ
と、を備えていることを特徴とする。

【００２０】また、前記ホルダに前記各光学フィルタの
位置を示す位置表示が予めそれぞれ付されており、前記
検出手段がこの位置表示を検出し、その検出結果である
位置情報を前記コントローラに送信するように構成され
ており、前記コントローラはこの検出された位置情報
と、前記照明光源に対向するように指定された光学フィ
ルタについての前記位置情報とを照合して、両方の位置
情報が不一致の場合に前記移動手段に前記ホルダを照明
装置に対して光学的に相対移動させる移動指令を送信す
るように構成されていることを特徴とする。

【００２１】

【作用】前記した第１の手段によれば、パターンについ
ての読み取り状態が悪い場合に、照明装置と受光装置と
の間に介設されている光学フィルタ切換装置によって、
照射光が透過する光学フィルタが切り換えられると、切
り換えられた後に、照射光の光学フィルタにおける透過
率が変化することにより、照射光のパターンからの反射
状態が切り換え前に対して変調されるため、パターンに
ついての読み取り状態が変更調整されることになる。そ
こで、光学フィルタを適宜切り換えることによって、最
良の読み取り状況を作り出すことができる。

【００２２】そして、前記した第２の手段によれば、光
学フィルタが切り換えられるに際して、切り換えるべき
光学フィルタが指定されると、指定された光学フィルタ
の切換作動を自動的かつ適正に、しかも、短い時間で実
行することができるため、光学フィルタ切換作業はきわ
めて効率的にかつ高精度に実施することができる。

【００２３】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるコード読取装
置を示す模式図、図２はその斜視図である。図３はその
コード読取装置に使用されている光学フィルタ切換装置
を示す正面断面図である。図４はそのフローチャート図
である。図５はウエハを示す平面図、図６はウエハカセ
ットを示す斜視図である。図７（ａ）、（ｂ）はコード
読み取り作用を説明するための各説明図である。

【００２４】本実施例において、本発明に係るパターン
読取装置は、ウエハに付された識別コードを読み取るコ
ード読取装置として構築されている。コード読み取りの
対象物品であるウエハ１は、原則として複数枚が１ロッ
トとしてまとめられ、カセット７に収容されて取り扱わ
れるようになっている。さらに、カセット７はカセット
ケース（図示せず）に収容されて各工程間を搬送されて
行くようになっている。なお、例外もあるが、便宜上、
１ロット１カセットとして説明を進める。

【００２５】図５に示されているように、ウエハ識別コ
ード４はウエハ１の回路パターン（図示せず）が形成さ
れた第１主面２におけるオリエンテーションフラット３
と反対側の位置に配されており、エッチング加工法やレ
ーザ刻印法等のような手段が用いられて数字および英文
字により描画されている。したがって、ウエハ識別コー
ド４は実質的に凹凸によって形成されている。本実施例
において、ウエハ識別コード４は、ウエハ１のロット番
号を表示する識別コード（以下、ロットコードとい
う。）５と、当該ロット中の個々のウエハ番号を表示す
る識別コード（以下、ウエハコード）６とにより構成さ
れている。

【００２６】また、図１および図５に示されているよう
に、ウエハ１にはペレット形成部８毎に各ペレット形成
部８を識別するためのペレット識別コード９が付されて
おり、このペレット識別コード９についての読み取りも
必要になる。本実施例においては、このペレット識別コ
ード９を読み取るべきパターンとして代表的に説明す
る。

【００２７】そして、ペレット識別コード９はウエハ１
の第１主面２に形成されているため、ウエハ１に処理が
施される毎に、ペレット識別コード９の上に処理膜が積
層されて行くことになる。したがって、この膜の状況や
ばらつき等によって、後述するようにペレット識別コー
ド９が光が照射されて読み取られる際、照射光の反射状
況が異なるため、読み取り精度が変動する。

【００２８】ちなみに、図６に示されているように、ウ
エハ１を収容するためのカセット７には多数条の保持溝
（スロット）Ｓ１〜Ｓ２５が、多数段（本実施例におい
ては、２５段）列設されており、この保持溝Ｓ１〜Ｓ２
５内にウエハがそれぞれ挿入されることにより、複数枚
（本実施例においては、１ロット分）のウエハが規則的
に整列された状態で収納されるようになっている。そし
て、このカセット７は密閉可能なカセットケース（図示
せず）に収納されて搬送・保管されるようになってい
る。

【００２９】本実施例において、コード読取装置１１は
１台または複数台が各工程のモジュール（図示せず）内
に設備されており、コード読取装置１１はウエハ１に付
されたペレット識別コード９を光学的手段により読み取
るように構成されている。

【００３０】本実施例に係るコード読取装置１１は箱形
状に形成されている機枠１２を備えており、この機枠１
２上にはローダおよびアンローダ機能を持つローダ・ア
ンローダと、プリアライメント装置と、搬送装置として
の多関節ロボット（以下、ロボットという。）と、人工
視覚装置とがそれぞれ設備されている。ローダ・アンロ
ーダ１３は機枠１２上の片側位置に配設されている。ロ
ーダ・アンローダ１３はコントローラ１５により制御さ
れるエレベータ１４を備えており、ウエハ１が複数枚収
納されている実カセット７からエレベータ１４の制御に
より、ウエハ１を１枚宛払い出し、かつ、払い出したウ
エハ１をカセット７の元の位置に戻し得るように構成さ
れている。

【００３１】プリアライメント装置１７は機枠１２上の
ローダ・アンローダ１３の対向位置に配設されており、
位置合わせステージ１８およびこれを制御するコントロ
ーラ２０を備えている。位置合わせステージ１８はコン
トローラ２０の指令によって、ウエハ１のオリエンテー
ションフラット３を直線部１９に当接することにより、
ウエハ１の姿勢を一定に合わせるように構成されてい
る。

【００３２】搬送装置としてのロボット２１は機枠１２
上の略中央位置に配設されている。ロボット２１はコン
トローラ２２によって制御されるアーム２３を備えてお
り、アーム２３の先端部にはウエハ１を保持するための
グリップ２４が装置されている。ロボット２１はコント
ローラ２２によって制御されるアーム２３の操作によ
り、グリップ２４においてローダ・アンローダ１３にお
ける実カセット７からウエハ１を１枚宛取り出してプリ
アライメント装置１７に搬送し、プリアライメントした
後、人工視覚装置３０に搬送し、さらに、当該ウエハ１
を人工視覚装置３０からローダ・アンローダ１３へ搬送
して、カセット７の元のスロットに収納するように構成
されている。

【００３３】人工視覚装置３０は機枠１２上の後側部分
における片側位置に配設されており、当該箇所に読み取
りステージ３１が設備されている。読み取りステージ３
１はコントローラ４０により水平面に対してヨーイング
補正されるように構成されている。

【００３４】この読み取りステージ３１の片脇にはスタ
ンド３２が機枠１２上に立設されており、スタンド３２
には照明装置３３、光学装置３４および反射光を受ける
受光装置としてのテレビカメラ３５が支持されている。
照明装置３３は後述するように構成されており、この照
明装置３３により、所定の波長の光が光学装置３４を介
してステージ３１に向けて調光されて照射されるように
なっている。テレビカメラ３５はステージ３１上におい
て照明されたウエハ１のペレット識別コード９を光学装
置３４を介して撮像するように構成されている。

【００３５】テレビカメラ３５には識別コード認識装置
３６が電気的に接続されており、この識別コード認識装
置３６は画像処理装置等から構成され、テレビカメラ３
５からの撮像信号に基づいてウエハ１に付されたペレッ
ト識別コード９を認識し得るように構成されている。識
別コード認識装置３６にはモニタ３７が接続されてお
り、このモニタ３７によりテレビカメラ３５の撮像状況
がモニタリングされるようになっている。

【００３６】さらに、識別コード認識装置３６には識別
コードを逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８は識別コード
認識装置３６により認識されたペレット識別コード９を
逐次記録するように構成されている。このメモリー３８
はコンピュータ等から構築されているデータ処理装置３
９に接続されており、データ処理装置３９によりメモリ
ー３８に記録されたデータが随時読み出されるようにな
っている。なお、メモリー３８はデータ処理装置３９側
に装備してもよい。

【００３７】データ処理装置３９はローダ・アンローダ
１３のコントローラ１５、プリアライメント装置１７の
コントローラ２０、ロボット２１のコントローラ２２お
よび読み取りステージ３１のコントローラ４０にそれぞ
れ接続されている。

【００３８】本実施例において、図３に詳示されている
ように、照明装置３３は広い波長帯域の光を含む白色光
の光源４１を備えており、光源４１には光フアイバ束等
からなる光導波路４２が対向されている。光導波路４２
の他端は光学装置３４に接続されており、光導波路４２
の途中には本発明の一実施例である光学フィルタ切換装
置４３が介設されている。

【００３９】光学フィルタ切換装置４３は暗箱４４を備
えており、暗箱４４内には光学フィルタを照明装置に対
して光学的に相対移動させる手段としてのステッピング
モータ（以下、単に、モータという。）４５が設備され
ている。このモータ４５はコントローラ４６に回転を制
御されるように構成されており、このコントローラ４６
は前記識別コード認識装置３６に接続されている。

【００４０】モータ４５の出力軸には光学フィルタ群を
保持するホルダとしての回転板４７が支持されており、
この回転板４７には複数枚の光学フィルタ４８ａ〜４８
ｎが同心円上において周方向に等間隔にそれぞれ配設さ
れている。回転板４７は、光学フィルタ４８ａ〜４８ｎ
群の光学中心が光導波路４２の光軸と略一致するように
配設されている。また、各光学フィルタ４８ａ、４８
ｂ、４８ｃ・・・は透過する光の波長が互いにかつ規則
的に異なるようにそれぞれ設定されている。

【００４１】また、図３に示されているように、光学フ
ィルタホルダとしての回転板４７には位置情報表示６１
ａ〜６１ｎが光学フィルタ４８ａ〜４８ｎと同数個、各
光学フィルタ４８ａ〜４８ｎに対応するようにそれぞれ
配されて付設されている。例えば、各位置情報表示６１
ａ〜６１ｎはバーコードによって構成されている。

【００４２】他方、暗箱４４内には照明装置に現在対向
されている光学フィルタを検出する手段としての位置情
報表示読取装置６２が、回転板４７に付設された光学フ
ィルタ４８ａ〜４８ｎ群の一つに対向するように設備さ
れている。この位置情報表示読取装置６２は照明装置３
３に現在対向されている光学フィルタに対応する位置情
報表示を読み取るように構成されており、読み取った位
置情報表示をコントローラ４６に送信するようになって
いる。例えば、位置情報表示読取装置６２はバーコード
リーダーによって構成されている。

【００４３】本実施例において、コントローラ４６には
光源４１の照度を制御するための照度制御装置６３が接
続されており、コントローラ４６はこの照度制御装置６
３に照度指定信号を指令するように構成されている。す
なわち、コントローラ４６は位置情報表示読取装置６２
からの位置情報に基づいて、照明装置３３に対向した光
学フィルタについて最適の照度を求め、この照度を指定
する信号を照度制御装置６３に送信するようになってい
る。

【００４４】照度制御装置６３は光学フィルタ４８ａ〜
４８ｎと同数の電圧設定回路６４ａ〜６４ｎと、電圧選
択回路６５と、電圧発生回路６６とを備えている。そし
て、コントローラ４６による指定信号によって指定され
た照度に対応する電圧が、電圧設定回路６４ａ〜６４ｎ
のうちから電圧選択回路６５によって選択されて、電圧
発生回路６６に供給されるようになっている。電圧発生
回路６６は指定された電圧を発生することにより、光源
４１を指定された照度をもって発光させる制御を実行す
ることになる。

【００４５】本実施例において、光学装置３４は暗箱５
１を備えており、暗箱５１には前記光導波路４２が光学
的に接続されている。暗箱５１内にはハーフミラー５２
が、光導波路４２の光軸と前記テレビカメラ３５の光軸
とが交差する位置において、略４５度に傾斜するように
配設されている。また、ハーフミラー５２の光軸の読み
取りステージ３１側には対物レンズ５３が配設されてお
り、このレンズ５３はステージ３１上のウエハ１に焦点
を結び得るように構成されている。

【００４６】次に、前記構成に係るコード読取装置１１
の作用を説明する。

【００４７】ローダ・アンローダ１３から払い出された
ウエハ１はロボット２１によりプリアライメント装置１
７に搬送される。プリアライメント装置１７において、
ウエハ１はオリエンテーションフラット３を直線部１９
に当接されることにより、所定の姿勢に合わせられる。

【００４８】位置合わせされたウエハ１はロボット２１
により人工視覚装置３０の読み取りステージ３１に搬送
され、予め位置合わせされた姿勢をもって読み取りステ
ージ３１の上に移載される。読み取りステージ３１にお
いて、ウエハ１は読み取りステージ３１により水平に支
持されるとともに、人工視覚装置３０の照明装置３３お
よびテレビカメラ３５に光学装置３４を介して光学的に
正対される。

【００４９】ウエハ１が照明装置３３およびテレビカメ
ラ３５に正対されると、図４に示されているようなフロ
ーチャートにより、人工視覚装置３０においてペレット
識別コード９の読み取り作業が実行される。

【００５０】ここで、識別コード認識装置３６における
認識が不能であった場合、まず、ヨーイング補正信号が
データ処理装置３９からステージ３１のコントローラ４
０に送られる。ステージ３１のコントローラ４０はこの
補正信号に基づいて、ステージ３１を操作することによ
り、ウエハ１のテレビカメラ３５に対する傾斜角や高
さ、位置等を適宜変更調整する。

【００５１】第１段階としての認識が確保されない場合
には、光学フィルタ切換信号が識別コード認識装置３６
から光学フィルタ切換装置４３のコントローラ４６に送
られる。このコントローラ４６はこの補正信号に基づい
てモータ４５を操作することにより、例えば、光導波路
４２の光軸上に位置する第１光学フィルタ４８ａから第
２光学フィルタ４８ｂに切り換える。

【００５２】第１光学フィルタ４８ａから第２光学フィ
ルタ４８ｂに切り換えられると、位置情報表示読取装置
６２に対向する位置情報表示も第２位置情報表示６１ｂ
に切り換えられるため、この切り換えられた第２位置情
報表示６１ｂが位置情報表示読取装置６２によって読み
取られることになる。読み取られた第２位置情報表示６
１ｂはコントローラ４６に送信される。コントローラ４
６は送信されて来た第２位置情報表示６１ｂと、指定し
た第２光学フィルタ４８ｂの位置情報とを照合し、一致
している場合には、第１光学フィルタ４８ａが第２光学
フィルタ４８ｂに切り換えられたことを確認する。

【００５３】第２光学フィルタ４８ｂに切り換えられた
ことが確認されると、コントローラ４６は照度制御装置
６３に第２光学フィルタ４８ｂに対応する照度指定信号
を指令する。すなわち、コントローラ４６は位置情報表
示読取装置６２からの位置情報に基づいて、照明装置３
３に対向した光学フィルタに最適の照度を求め、この照
度を指定する信号を照度制御装置６３に送信する。

【００５４】照度指定信号を受けた照度制御装置６３に
おいては、コントローラ４６によって指定された照度に
対応する電圧が、電圧設定回路６４ａ〜６４ｎ群のうち
から電圧選択回路６５によって選択されて、電圧発生回
路６６に供給される。電圧発生回路６６は指定された電
圧を発生することにより、光源４１を指定された照度を
もって発光させる制御を実行する。

【００５５】例えば、第１光学フィルタ４８ａを透過し
た波長の光（以下、第１波長光という。）４９ａがウエ
ハ１のペレット識別コード９に照射された場合における
反射の状況が図７（ａ）の示された通りであると、ペレ
ット識別コード９についての識別コード認識装置３６に
おける認識は不適正になる。

【００５６】すなわち、第１波長光４９ａはペレット識
別コード９上の処理膜１０において反射されてしまうた
め、テレビカメラ３５はその反射光５０ａを受光しても
ペレット識別コード９をコントラストが良好な状態で撮
像することはできない。したがって、コード認識装置３
６はそのテレビカメラ３５の映像信号からペレット識別
コード９を充分明瞭に認識することができない。このコ
ード認識装置３６の認識できない状態、すなわち、コン
トラストが悪い状況に基づいて、光学フィルタ切換装置
４３のコントローラ４６の切換作動が自動的に実行され
る。

【００５７】そして、例えば、第１光学フィルタ４８ａ
が第２光学フィルタ４８ｂに切り換えられる。第２光学
フィルタ４８ｂに切り換えられた後、第２光学フィルタ
４８ｂを透過した光（以下、第２波長光という。）４９
ｂがウエハ１のペレット識別コード９に照射された場合
における反射の状況が図７（ｂ）に示された通りである
と、ペレット識別コード９についての識別コード認識装
置３６における認識は適正になる。

【００５８】すなわち、この場合、第２波長光４９ｂは
ペレット識別コード９の上の処理膜１０を透過してペレ
ット識別コード９において反射されているため、テレビ
カメラ３５はこの反射光５０ａを受光することにより、
ペレット識別コード９をコントラストが良好な状態をも
って撮像することになる。したがって、コード認識装置
３６はそのテレビカメラ３５の映像信号に基づいてペレ
ット識別コード９を充分に認識することができる。

【００５９】ところで、第１光学フィルタ４８ａから第
２光学フィルタ４８ｂに切り換えられると、透過率が異
なるため、読み取りステージ３１における明るさ（照
度）が変化してしまう。読み取りステージ３１における
明るさが変化すると、テレビカメラ３５の撮像条件も変
動するため、前述したコード認識装置３６によるコード
の認識条件も変動してしまう。

【００６０】そこで、本実施例においては、第１光学フ
ィルタ４８ａから第２光学フィルタ４８ｂに切り換えら
れると、前述したように、コントローラ４６によって第
２光学フィルタ４８ｂに適応する照度が指定されて、照
度制御装置６３によって光源４１の照度が第２光学フィ
ルタ４８ｂに適応する照度に制御される。この照度の制
御によって、第２光学フィルタ４８ｂに切り換えられた
後も、読み取りステージ３１における明るさは一定に調
光されるため、テレビカメラ３５の撮像条件は一定に維
持される。その結果、前述したコード認識装置３６によ
るコードの認識作業は一定の条件の下で実行され、前述
したコード認識作業の精度が適正に確保されることにな
る。

【００６１】以降、各光学フィルタ４８ａ〜４８ｎに対
する切換作動がコード認識装置３６のペレット識別コー
ド９の認識が適正に実行されるまで繰り返されることに
より、第２段階としてペレット識別コード９についての
適正な認識が確保される。

【００６２】以上のようにして読み取られたペレット識
別コード９は、識別コード認識装置３６に接続されてい
るメモリー３８に一時的に記録される。そして、この記
録データが適宜利用されることにより、ウエハのデータ
管理や物流管理等が実質的にリアルタイムに実行される
ことになる。なお、テレビカメラ３５による映像はモニ
タ３７に映し出され、作業者によって必要に応じて監視
される。

【００６３】そして、ペレット識別コード９が全て読み
取られると、読取対象物品としてのウエハ１はロボット
２１により読み取りステージ３１から下ろされてローダ
・アンローダ１３に搬送され、図６に示されているよう
に、ローダ・アンローダ１３のエレベータ１４のカセッ
ト７における元のスロットＳｎに挿入される。

【００６４】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 （１） ウエハの識別コードを照明する光の波長を光学
フィルタの切り換えによって適宜変更調整することによ
り、識別コードに対する照明光の照明の状況を波長毎に
変調させることができるため、光学フィルタを適宜切り
換えることにより、最良のコード読み取り状況を作り出
すことができる。

【００６５】（２） コード読取装置において最良の読
み取り状況を自動的に作り出すことにより、コード読取
装置を完全自動化することができるため、ウエハのデー
タ管理および物流管理等の自動化を促進することができ
る。

【００６６】（３） 照明光の波長の変更調整を光学フ
ィルタの切換操作によって実行するように構成すること
により、構造を簡単化することができる。

【００６７】（４） 光学フィルタ切換作動が映像のコ
ントラストの良不良に基づいて自動的に実行されるよう
に構成することにより、簡単な構造によって光学フィル
タ切換作動を自動化することができる。

【００６８】（５） 光学フィルタの切り換え作業に際
して、切り換えるべき光学フィルタが指定されると、指
定された光学フィルタの切換作動を自動的かつ適正に、
しかも、短い時間で実行することができるため、光学フ
ィルタ切換作業の精度および効率を高めることができ
る。

【００６９】（６） 切り換えられた光学フィルタに適
応する照度に制御することにより、光学フィルタの透過
率の変動にかかわらず、読み取りステージの明るさを常
に一定に維持することができるため、テレビカメラの撮
像環境を常に一定に維持することができ、その結果、コ
ード認識作業の精度を常に適正に維持することができ
る。

【００７０】図８は本発明の他の実施例であるマーク読
取装置の主要部を示す模式図である。

【００７１】本実施例２が前記実施例１と異なる点は、
パターン読取装置がマーク読取装置として構成されてい
る点にある。すなわち、本実施例において、光学フィル
タ切換装置４３Ａは、ダイオードに付されたパターンと
してのマークを読み取るマーク読取装置１１Ａに使用さ
れている。

【００７２】本実施例において、マーク読み取り対象物
品であるダイオード７１には製品名や型番等のマーク
（図示せず）と共に、品種を特定するために色彩を有す
るマーク（以下、カラーマークという。）７２が付され
ている。このカラーマーク７２は品種毎に異なる色彩が
使用されて描かれている。例えば、高周波用のダイオー
ドは赤色によってカラーマークが表示され、低周波用の
ダイオードは青色によってカラーマークが表示され、小
信号用のダイオードは緑色によってカラーマークが表示
されるという如きである。

【００７３】本実施例において、マーク読取装置１１Ａ
は出荷工程に設備されており、ダイオード７１に付され
たカラーマーク７２を光学的手段により読み取るように
構成されている。また、マーク読取装置１１Ａのワーク
としてのダイオード７１はテープに貼り着けられた状
態、または、マガジンやその他の治具（図示せず）に収
容された状態でマーク読取装置１１Ａに送給されて、後
記する読取ステージ３１Ａを高速で通過されて行くよう
になっている。

【００７４】本実施例に係るマーク読取装置１１Ａは前
記実施例１と同様に構成されている人工視覚装置３０を
備えており、人工視覚装置３０には読取対象物品である
ダイオード７１が高速度で通過される読み取りステージ
３１Ａが設備されている。この読み取りステージ３１Ａ
にはスタンド（図示せず）が設備されており、このスタ
ンドには照明装置３３、光学装置３４および反射光を受
ける受光装置としてのテレビカメラ３５が支持されてい
る。そして、照明装置３３によって所定の波長の光が光
学装置３４を介してステージ３１Ａに向けて調光されて
照射されるようになっている。テレビカメラ３５はステ
ージ３１Ａ上において照明されたダイオード７１のカラ
ーマーク７２を光学装置３４を介して撮像するように構
成されている。

【００７５】テレビカメラ３５にはマーク認識装置３６
Ａが電気的に接続されており、このマーク認識装置３６
Ａは２値および濃淡画像処理装置が組み合わされて構成
されている。すなわち、このマーク認識装置３６Ａは低
い価格の構成をもって、テレビカメラ３５からの撮像信
号に基づいてダイオード７１に付されたカラーマーク７
２を認識し得るように構成されている。

【００７６】さらに、マーク認識装置３６Ａには読み取
り結果を逐次記録するための記録手段としてのメモリー
３８が接続されており、このメモリー３８はマーク認識
装置３６Ａにより認識されたカラーマーク７２を逐次記
録するように構成されている。このメモリー３８はコン
ピュータ等から構築されているデータ処理装置３９に接
続されており、データ処理装置３９によりメモリー３８
に記録されたデータが随時読み出されるようになってい
る。なお、メモリー３８はデータ処理装置３９側に装備
してもよい。

【００７７】本実施例において、前記実施例と同様に、
照明装置３３は広い波長帯域の光を含む白色光の光源４
１を備えており、光源４１には光フアイバ束等からなる
光導波路４２が対向されている。光導波路４２の他端は
光学装置４４に接続されており、光導波路４２の途中に
は光学フィルタ切換装置４３が介設されている。

【００７８】光学フィルタ切換装置４３は暗箱４４を備
えており、暗箱４４内には光学フィルタを照明装置に対
して光学的に相対移動させる手段としてのステッピング
モータ（以下、単に、モータという。）４５が設備され
ている。このモータ４５はコントローラ４６に回転を制
御されるように構成されており、このコントローラ４６
は前記マーク認識装置３６Ａに接続されている。

【００７９】モータ４５の出力軸には光学フィルタ群を
保持するホルダとしての回転板４７が支持されており、
この回転板４７には複数枚の光学フィルタ４８ａ〜４８
ｎが同心円上において周方向に等間隔にそれぞれ配設さ
れている。回転板４７は、光学フィルタ４８ａ〜４８ｎ
群の光学中心が光導波路４２の光軸と略一致するように
配設されている。また、各光学フィルタ４８ａ、４８
ｂ、４８ｃ・・・は透過する光の波長が互いにかつ規則
的に異なるようにそれぞれ設定されている。

【００８０】また、図８に示されているように、光学フ
ィルタホルダとしての回転板４７には位置情報表示６１
ａ〜６１ｎが光学フィルタ４８ａ〜４８ｎと同数個、各
光学フィルタ４８ａ〜４８ｎに対応するようにそれぞれ
配されて付設されている。例えば、各位置情報表示６１
ａ〜６１ｎはバーコードによって構成されている。

【００８１】他方、暗箱４４内には照明装置に現在対向
されている光学フィルタを検出する手段としての位置情
報表示読取装置６２が、回転板４７に付設された光学フ
ィルタ４８ａ〜４８ｎ群の一つに対向するように設備さ
れている。この位置情報表示読取装置６２は照明装置３
３に現在対向されている光学フィルタに対応する位置情
報表示を読み取るように構成されており、読み取った位
置情報表示をコントローラ４６に送信するようになって
いる。例えば、位置情報表示読取装置６２はバーコード
リーダーによって構成されている。

【００８２】本実施例において、コントローラ４６には
光源４１の照度を制御するための照度制御装置６３が接
続されており、コントローラ４６はこの照度制御装置６
３に照度指定信号を指令するように構成されている。す
なわち、コントローラ４６は位置情報表示読取装置６２
からの位置情報に基づいて、照明装置３３に対向した光
学フィルタに最適の照度を求め、この照度を指定する信
号を照度制御装置６３に送信するようになっている。

【００８３】照度制御装置６３は光学フィルタ４８ａ〜
４８ｎと同数の電圧設定回路６４ａ〜６４ｎと、電圧選
択回路６５と、電圧発生回路６６とを備えている。そし
て、コントローラ４６による指定信号によって指定され
た照度に対応する電圧が、電圧設定回路６４ａ〜６４ｎ
のうちから電圧選択回路６５によって選択されて、電圧
発生回路６６に供給されるようになっている。電圧発生
回路６６は指定された電圧を発生することにより、光源
４１を指定された照度をもって発光させる制御を実行す
ることになる。

【００８４】本実施例において、光学装置３４は暗箱５
１を備えており、暗箱５１には前記光導波路４２が光学
的に接続されている。暗箱５１内にはハーフミラー５２
が、光導波路４２の光軸と前記テレビカメラ３５の光軸
とが交差する位置において、略４５度に傾斜するように
配設されている。また、ハーフミラー５２の光軸の読み
取りステージ３１Ａ側には対物レンズ５３が配設されて
おり、このレンズ５３はステージ３１Ａ上のウエハ１に
焦点を結び得るように構成されている。

【００８５】次に、前記構成に係るマーク読取装置１１
Ａの作用を説明する。

【００８６】テープに貼着された、または、マガジン等
の治具に収納されたダイオード７１は読み取りステージ
３１Ａに高速度で送給されて順次払い出されて行く。こ
のダイオード７１が読み取りステージ３１Ａを高速度で
通過する際に、読み取りステージ３１Ａにおいて、ダイ
オード７１のカラーマーク７２が順次読み取られる。

【００８７】ダイオード７１が読み取りステージ３１Ａ
に供給されると、カラーマーク７２が照明装置３３およ
びテレビカメラ３５に正対された状態になり、人工視覚
装置３０においてカラーマーク７２の読み取り作業が実
行される。

【００８８】ここで、マーク認識装置３６Ａにおける認
識が不能であった場合、光学フィルタ切換信号がマーク
認識装置３６Ａから光学フィルタ切換装置４３のコント
ローラ４６に送られる。このコントローラ４６はこの補
正信号に基づいてモータ４５を操作することにより、例
えば、光導波路４２の光軸上に位置する第１光学フィル
タ４８ａから第２光学フィルタ４８ｂに切り換える。

【００８９】第１光学フィルタ４８ａから第２光学フィ
ルタ４８ｂに切り換えられると、位置情報読取装置６２
に対向する位置情報表示も第２位置情報表示６１ｂに切
り換えられるため、この切り換えられた第２位置情報表
示６１ｂが位置情報表示装置６２によって読み取られる
ことになる。読み取られた第２位置情報表示６１ｂはコ
ントローラ４６に送信される。コントローラ４６は送信
されて来た第２位置情報表示６１ｂと、指定した第２光
学フィルタ４８ｂの位置情報とを照合し、一致している
場合には、第１光学フィルタ４８ａが第２光学フィルタ
４８ｂに切り換えられたことを確認する。

【００９０】第２光学フィルタ４８ｂに切り換えられた
ことが確認されると、コントローラ４６は照度制御装置
６３に第２光学フィルタ４８ｂに対応する照度指定信号
を指令する。すなわち、コントローラ４６は位置情報表
示読取装置６２からの位置情報に基づいて、照明装置３
３に対向した光学フィルタに最適の照度を求め、この照
度を指定する信号を照度制御装置６３に送信する。

【００９１】照度指定信号を受けた照度制御装置６３に
おいては、コントローラ４６によって指定された照度に
対応する電圧が、電圧設定回路６４ａ〜６４ｎ群のうち
から電圧選択回路６５によって選択されて、電圧発生回
路６６に供給される。電圧発生回路６６は指定された電
圧を発生することにより、光源４１を指定された照度を
もって発光させる制御を実行する。

【００９２】例えば、第１光学フィルタ４８ａを透過し
た波長の光が青色光であり、読み取り対象であるカラー
マーク７２が赤色で表示されている場合には、第１光学
フィルタ４８ａを透過した青色光はカラーマーク７２に
おいて吸収されるため、赤色のカラーマーク７２につい
てのマーク認識装置３６Ａにおける認識は不適正にな
る。

【００９３】すなわち、青色波長光は赤色のカラーマー
ク７２において吸収されてしまうため、テレビカメラ３
５はその反射光を受光しても赤色のカラーマーク７２を
コントラストが良好な状態で撮像することはできない。
したがって、マーク認識装置３６Ａはそのテレビカメラ
３５の映像信号からカラーマーク７２を充分明瞭に認識
することができない。このマーク認識装置３６Ａの認識
できない状態、すなわち、コントラストが悪い状況に基
づいて、光学フィルタ切換装置４３のコントローラ４６
の切換作動が自動的に実行される。

【００９４】そして、例えば、第１光学フィルタ４８ａ
が第２光学フィルタ４８ｂに切り換えられる。第２光学
フィルタ４８ｂに切り換えられた後、第２光学フィルタ
４８ｂを透過したが赤色光である場合には、赤色のカラ
ーマーク７２に照射された赤色光は効果的に反射される
ため、赤色のカラーマーク７２についてのマーク認識装
置３６Ａにおける認識は適正になる。

【００９５】すなわち、この場合、赤色波長光は赤色の
カラーマーク７２において反射されているため、テレビ
カメラ３５はこの反射光を受光することにより、カラー
マーク７２をコントラストが良好な状態をもって撮像す
ることになる。したがって、マーク認識装置３６Ａはそ
のテレビカメラ３５の映像信号に基づいてカラーマーク
７２を充分に認識することができる。

【００９６】ところで、青色光用の光学フィルタ４８ａ
から赤色光用の光学フィルタ４８ｂに切り換えられる
と、透過率が異なるため、読み取りステージ３１Ａにお
ける明るさ（照度）が変化してしまう。読み取りステー
ジ３１Ａにおける明るさが変化すると、テレビカメラ３
５の撮像条件も変動するため、前述したマーク認識装置
３６Ａによるコードの認識条件も変動してしまう。

【００９７】そこで、本実施例においては、青色光用の
光学フィルタ４８ａから赤色光用の光学フィルタ４８ｂ
に切り換えられると、前述したように、コントローラ４
６によって赤色用の光学フィルタ４８ｂに適応する照度
が指定されて、照度制御装置６３によって光源４１の照
度が赤色用の光学フィルタ４８ｂに適応する照度に制御
される。この照度の制御によって、赤色用の光学フィル
タ４８ｂに切り換えられた後も、読み取りステージ３１
における明るさは一定に調光されるため、テレビカメラ
３５の撮像条件は一定に維持される。その結果、前述し
たマーク認識装置３６Ａによるマークの認識作業は一定
の条件の下で実行され、前述したマーク認識作業の精度
が適正に確保されることになる。

【００９８】以降、各光学フィルタ４８ａ〜４８ｎに対
する切換作動がマーク認識装置３６Ａのカラーマーク７
２の認識が適正に実行されるまで繰り返されることによ
り、カラーマーク７２についての適正な認識が確保され
る。

【００９９】以上のようにして読み取られたカラーマー
ク７２のデータは、マーク認識装置３６Ａに接続されて
いるメモリー３８に一時的に記録される。そして、この
記録データが適宜利用されることにより、カラーマーク
７２の選別検査等が実質的にリアルタイムに実行される
ことになる。なお、テレビカメラ３５による映像はモニ
タ３７に映し出され、作業者によって必要に応じて監視
される。

【０１００】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 （１） ダイオードのカラーマークを照明する光の色
（波長）を光学フィルタの切り換えによって適宜変更調
整することにより、カラーマークに対する照明光の照明
の状況をカラーマーク毎に変調させることができるた
め、光学フィルタを適宜選択することにより、最良のカ
ラーマーク読み取り状況を作り出すことができる。

【０１０１】（２） マーク読取装置において最良の読
み取り状況を自動的に作り出すことにマーク読取装置を
完全自動化することができるため、マーク検査作業等の
自動化を促進することができる。

【０１０２】（３） 照明光の色の変更調整を光学フィ
ルタの切換操作によって実行するように構成することに
より、構造を簡単化することができる。

【０１０３】（４） 光学フィルタ切換作動が映像のコ
ントラストの良不良に基づいて自動的に実行されるよう
に構成することにより、簡単な構造によって光学フィル
タ切換作動を自動化することができる。

【０１０４】（５） 光学フィルタの切り換え作業に際
して、切り換えるべき光学フィルタが指定されると、指
定された光学フィルタの切換作動を自動的かつ適正に、
しかも、短い時間で実行することができるため、光学フ
ィルタ切換作業の効率および精度を高めることができ
る。

【０１０５】（６） 切り換えられた光学フィルタに適
応する照度に制御することにより、光学フィルタの透過
率に係わらず、読み取りステージの明るさを常に一定に
維持することができるため、テレビカメラの撮像環境を
常に一定に維持することができ、その結果、マーク認識
作業の精度を常に適正に維持することができる。

【０１０６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【０１０７】光学フィルタホルダおよび光学フィルタ
は、図９の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）にそれぞれ示されて
いるように構成してもよい。

【０１０８】図９（ａ）に示されている光学フィルタホ
ルダ４７Ａは長方形の板形状に形成されており、この長
方形のホルダ４７Ａには光学フィルタ４８が複数枚、１
列横隊に整列されている。本実施例の場合には、ホルダ
４７Ａは横方向に移動されることになる。

【０１０９】図９（ｂ）に示されている光学フィルタホ
ルダ４７Ｂは正方形の板形状に形成されており、この正
方形のホルダ４７Ｂには光学フィルタ４８が複数枚、縦
横に規則的に整列されている。本実施例の場合には、ホ
ルダ４７Ｂは縦横方向に移動されることになる。

【０１１０】図９（ｃ）に示されている光学フィルタホ
ルダ４７Ｃは少なくとも一端が開口した円筒形状に形成
されており、この円筒形状のホルダ４７Ｃの筒壁には光
学フィルタ４８が複数枚、周方向に１列に整列されてい
る。本実施例の場合には、ホルダ４７Ｃは周方向に回転
されることになる。そして、光源４１からの照明光は各
光学フィルタ４８に径方向外側から入射されて、各光学
フィルタ４８を透過した照明光がホルダ４７Ｃの中心線
上に配された固定ミラー６７によって、反射されて光学
装置３４に照射されるようになっている。

【０１１１】さらに、光学フィルタ切換装置は図１０に
示されているように構成してもよい。図１０において、
光学フィルタホルダ４７Ｄは両端が開口した円筒形状に
形成されており、この円筒形状のホルダ４７Ｄの筒壁に
は光学フィルタ４８が複数枚、周方向に１列に整列され
ている。本実施例の場合には、ホルダ４７Ｄは固定され
ており、その筒心上には回転ミラー６８がモータ４５Ｄ
によって回転されるように配設されている。そして、円
筒形状ホルダ４７Ｄの外方には光学フィルタ４８ａ〜４
８ｎと同数の光源４１ａ〜４１ｎが、各光学フィルタ４
８ａ〜４８ｎにそれぞれ対向するように設備されてい
る。

【０１１２】本実施例において、コントローラ４６から
光学フィルタ切換指令信号がモータ４５Ｄに送信される
と、モータ４５Ｄによって回転ミラー６８が回転され
て、例えば、指定された光学フィルタ４８ｇに回転ミラ
ー６８が光学的に対向される。また、コントローラ４６
は指定した光学フィルタ４８ｇに対向するように配設さ
れた光源４１ｇに照明指令を送信する。

【０１１３】そして、光源４１ｇからの照明光は各光学
フィルタ４８ｇに径方向外側から入射されて、光学フィ
ルタ４８ｇを透過した照明光がホルダ４７Ｄの中心線上
に配された回転ミラー６８によって、反射されて光学装
置３４に照射されるようになっている。

【０１１４】また、図示しないが、光源に現在対向され
ている光学フィルタの検出は、位置情報表示検出装置に
よって実行するように構成するに限らず、光学フィルタ
切換コントローラからの前回の指令信号から直接的に得
るように構成してもよい。

【０１１５】また、光源の照度制御装置は、前記実施例
のように構成するに限らず、照度指示入力に対応した電
力を予め記憶しておき、照度指示入力に対応した電力を
照明光源に直接的に入力してもよい。

【０１１６】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のコード読取技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、ウエハに付されたアラ
イメント用ターゲットマークやウエハの回路パターン等
のパターン読取技術全般に適用することができる。ま
た、ウエハのパターンに限らず、液晶パネルやフロッピ
ディスク、コンパクトディスク等、被読取物にパターン
が付された後、被読取パターン上に処理が施されること
等により読取条件が異なる場合のパターン読取方法およ
び装置全般に適用することができる。

【０１１７】また、以上の説明では主として本発明者に
よってなされた発明をその背景となった利用分野である
ダイオードのカラーマーク読取技術に適用した場合につ
いて説明したが、それに限定されるものではなく、各種
の半導体装置に色彩をもって表示されたマーク等のパタ
ーン読取技術全般に適用することができる。さらには、
半導体装置のパターンに限らず、各種の汎用製品におけ
るカラーマーク等、色彩をもって表示されたカラーパタ
ーンのパターン読取方法および装置全般に適用すること
ができる。

【０１１８】さらに、光学フィルタ切換技術は、コード
読取技術やマーク読取技術等のパターン読取技術に適用
するに限らず、他の分野にも適用することができる。特
に、本発明に係る光学フィルタ切換技術は複数枚の光学
フィルタを高速度で自動的に切り換える必要がある場合
に、適用して優れた効果が得られる。

【０１１９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【０１２０】被読取物の被読取パターンを照明する光の
波長を光学フィルタの切り換えによって適宜変更調整す
ることにより、読取パターンに対する照明光の照明の状
況を波長毎に変調させることができるため、光学フィル
タを適宜選択することにより、最良の読み取り状況を作
り出すことができる。

【０１２１】また、光学フィルタの切り換え作業に際し
て、切り換えるべき光学フィルタが指定されると、指定
された光学フィルタの切換作動を自動的かつ適正に、し
かも、短い時間で実行することができるため、光学フィ
ルタ切換作業の効率および精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるコード読取装置を示す
模式図である。

【図２】その斜視図である。

【図３】そのコード読取装置に使用されている光学フィ
ルタ切換装置を示す正面断面図である。

【図４】コード読み取り作用を示すフローチャート図で
ある。

【図５】ウエハを示す平面図である。

【図６】ウエハカセットを示す斜視図である。

【図７】（ａ）、（ｂ）はコード読み取り作用を説明す
るための各説明図である。

【図８】本発明の実施例２であるマーク読取装置の主要
部を示す模式図である。

【図９】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は光学フィルタホルダ
および光学フィルタの変形例をそれぞれ示す各正面図お
よび斜視図である。

【図１０】光学フィルタ切換装置の他の実施例を示す模
式図である。

【符号の説明】

１…ウエハ（読み取り対象物品）、２…第１主面、３…
オリエンテーションフラット、４…識別コード、５…ロ
ットコード、６…ウエハコード、７…カセット、８…ペ
レット形成部、９…ペレット識別コード（読み取り対象
パターン）、１０…処理膜、１１…コード読取装置（パ
ターン読取装置）、１１Ａ…マーク読取装置（パターン
認識装置）、１２…機枠、１３…ローダ・アンローダ、
１４…エレベータ、１５…コントローラ、１７…プリア
ライメント装置、１８…アライメントステージ、１９…
直線部、２０…コントローラ、２１…ロボット、２２…
コントローラ、２３…アーム、２４…グリップ、３０…
人工視覚装置、３１、３１Ａ…読み取りステージ、３２
…スタンド、３３…照明装置、３４…光学装置、３５…
テレビカメラ、３６…識別コード認識装置、３６Ａ…マ
ーク認識装置、３７…モニタ、３８…メモリー、３９…
データ処理装置、４０…読み取りステージのコントロー
ラ、４１…光源、４２…光導波路、４３…光学フィルタ
切換装置、４４…暗箱、４５…モータ、４６…コントロ
ーラ、４７…回転板（光学フィルタホルダ）、４７Ａ、
４７Ｂ、４７Ｃ、４７Ｄ…光学フィルタホルダ、４８ａ
〜４８ｎ…光学フィルタ、４９ａ、４９ｂ…照明光、５
０ａ、５０ｂ…反射光、５１…暗箱、５２…ハーフミラ
ー、５３…対物レンズ、６１ａ〜６１ｎ位置情報表示、
６２…位置情報表示読取装置、６３…照度制御装置、６
４ａ〜６４ｎ…電圧設定回路、６５…電圧選択回路、６
６…電圧発生回路、６７…固定ミラー、６８…回転ミラ
ー、７１…ダイオード（読み取り対象物品）、７２…カ
ラーマーク（読み取り対象パターン）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤岩 正康 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/02 G02B 27/00 G01B 11/00 H01L 21/30

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パターンが形成されている被読取物に光
   を照射する照明装置と、その被読取物からの反射光を受
   ける受光装置とを備えているパターン読取装置におい
   て、 前記照明装置と受光装置との間に光学フィルタ切換装置
   が介設されており、この光学フィルタ切換装置は、異な
   る透過率をそれぞれ有する複数の光学フィルタが互いに
   異なる位置に配置されているホルダと、このホルダを照
   明装置に対して光学的に相対移動させる移動手段とを備
   えており、ホルダが照明装置に対して光学的に相対移動
   されることにより、照明装置に光学的に対向される光学
   フィルタが切り換えられる光学フィルタ切換装置であっ
   て、 前記照明装置に現在対向されている光学フィルタを検出
   する検出手段と、 この検出手段によって検出された光学フィルタと前記照
   明装置に対向するように指定された光学フィルタとを照
   合し、両方が不一致の場合に前記移動手段に前記ホルダ
   を照明装置に対して光学的に相対移動させる移動指令を
   送信するコントローラと、を備えていることを特徴とす
   るパターン読取装置。
2. 【請求項２】 前記ホルダに前記各光学フィルタの位置
   を示す位置表示が予めそれぞれ付されており、前記検出
   手段がこの位置表示を検出し、その検出結果である位置
   情報を前記コントローラに送信するように構成されてお
   り、 前記コントローラはこの検出された位置情報と、前記照
   明光源に対向するように指定された光学フィルタについ
   ての前記位置情報とを照合して、両方の位置情報が不一
   致の場合に前記移動手段に前記ホルダを照明装置に対し
   て光学的に相対移動させる移動指令を送信するように構
   成されていることを特徴とする請求項１に記載のパター
   ン読取装置。