JP4531995B2

JP4531995B2 - ウエハｉｄ読取機構及び読取方法

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Publication number: JP4531995B2
Application number: JP2001024313A
Authority: JP
Inventors: 武秀林
Original assignee: Daihen Corp
Current assignee: Daihen Corp
Priority date: 2001-01-31
Filing date: 2001-01-31
Publication date: 2010-08-25
Anticipated expiration: 2021-01-31
Also published as: JP2002230535A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハのノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを読込む読取機構及び読取方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体工場は、ウエハ径３００ミリ時代を迎えると共に、ＤＲＡＭからシステムLSI製品の生産形態に対応する生産システムが必要となってきた。
システムLSI製品の生産形態は、多品種少量生産が主体になり、３００ミリのウエハ１枚から、特定の顧客について十分な製品を多く製造する必要が出てくる。
このことは製品の製造過程をウエハ毎にトレ−スする事が重要な製造ノウハウになる。より詳細に説明すれば次の通りである。
【０００３】
今日の半導体量産工場では、月産２万枚のウエハが生産されている。各ウエハがＩＣチップになるまでの生産ステップ数は約６００ステップにも及んでいて、製品化されるまでに早いもので１．５ヶ月遅いものは数ヶ月を要し、さまざまな製造プロセスを経て高機能ＩＣ製品になる。
このように、ＩＣ製造は長期の時間を必要とするため目標数量、目標出荷時期等について、立てたられた達成予想の成功率が半導体工場の他社との競争力強化や損益に反映する事になり、ウエハ毎のトレースは必要不可欠である。
【０００４】
ウエハ毎にトレ−スするためには、トレースの対象となるウエハを識別するための符号が必要であり、その符号としてウエハＩＤが機能している。
このウエハＩＤが、歩留まり向上情報・不具合対応情報（これらのフィードバック、フィードフォワード）・生産タクトタイム情報等、生産性を阻害する要因を排除する為の信頼性の高い基本データとなる必要がある。
よってウエハ自身を参照し、そのウエハがいつ、どこの処理装置を、どのような形で経過してきたのかを正しく認識する事が要求され、ウエハＩＤはウエハごとに一枚づつに書込まれ、且つ読込まれてこそ、その信頼性は向上する。
【０００５】
ところが、ウエハの表面又は裏面にＩＤを書込む方式ではＩＣ製造プロセス工程で書き込まれたマークが消えてしまい、そのために読取り不能になる事が多く、上記要求を満たしていない。
このような問題を解消するウエハＩＤ方式として、どの工程でも読取りやすく、周囲の環境状況の変化に強く、ＩＣ設計の自由度を奪わないＩＤ書込方式が開発された。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この方式はウエハの外周部に切欠かれたノッチ等に書込まれるものであるが、しかし書込みサイズが小さく、これを読取るにはカメラ等の読取装置が必要であり、そのため、焦点を合わせための複雑な駆動機構を要していた。
【０００７】
そこで、本発明は簡単な構造で、信頼性が高く、かつ、経済的に前記ウエハＩＤを読取ることができる読取機構及び読取方法を提供するものである。
【０００８】
上記課題を解決するため、ウエハのノッチ合わせの際に、前記ノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを拡大して読込むことができる読取装置と、この読取装置を前記ノッチ又は前記外周端面に接近させるスライド装置とにより読取機構を構成し、前記読取装置が所定距離にて前記ノッチ又は前記外周端面に接近することにより、前記読取装置の焦点距離が、前記ウエハＩＤに自動的に合わせられる読取機構であって、該読取機構は、読取装置としてのカメラと、このカメラをスライドさせる前記スライド装置と、このスライド装置によりスライドするカメラを当止めし、前記所定距離を制御するタッチプレートとからなることを特徴とする読取機構（請求項１に記載の発明）とした。
本願発明において、ノッチの形状は典型的にはＶ形であるが、これに限定されるものではなく、例えばＵ字状でもよい。またウエハの外周端面のウエハＩＤが書込まれる場所は典型的にはベベル面であって、前記ノッチの近傍が好ましいが、これに限定されるものではない。
この発明によれば、微小な前記ウエハＩＤ像が前記読取装置の所定の拡大倍率で、その読取装置の撮像面上に結像するように、前記読取装置と前記ウエハＩＤ間の距離が精確に制御される。
【０００９】
前記読取装置は、昇降可能なノッチ検出器と略同一の位置に配置されていることが好ましい（請求項２に記載の発明）。
ノッチ検出器は昇降可能であることから、ウエハのノッチに触れる程接近する前記読取装置と前記検出器が干渉することはない。また前記読取装置は、ノッチ検出器と略同一の位置に配置されているので、ノッチ検出と略同時にウエハＩＤを読取ることができる。
【００１０】
前記読取機構は、ウエハのノッチ合わせの際に前記ノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを拡大して読込むことができる読取装置を、エッジクランプ装置のクランプ部に取付けて構成され、このクランプ部が作動することにより前記読取装置が所定距離にて前記ノッチ又は前記ウエハの外周端面に接近することによって、前記読取装置の焦点距離が前記ウエハＩＤに自動的に合わせられることを特徴とする（請求項３に記載の発明）。
前記クランプ部によるウエハのセンタリングと共に、ウエハＩＤを読込むことができる。
【００１１】
搬送路側から処理装置側にウエハを引渡す過程において、エッジクランプ装置に取付けたノッチ検出器によりウエハのノッチを検出し、前記処理装置内の位置合わせ動作に必要なウエハの基準位置合わせを行い、前記ウエハのノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤに、このウエハＩＤを拡大して読込む読取装置としてのカメラを、その焦点距離が前記ウエハＩＤに自動的に合わせられるように、前記カメラをスライド装置によりスライドさせ、タッチプレートによりカメラを当止めし、前記カメラと前記ノッチ又は前記外周端面間の距離を制御して接近させ、その後前記読取装置がウエハＩＤを読込むことを特徴とするウエハＩＤの読取方法とした（請求項４に記載の発明）。
【００１２】
この発明においても、微小な前記ウエハＩＤ像が前記読取装置の所定の拡大倍率で、その読取装置の撮像面上に結像するように、前記読取装置と前記ウエハＩＤ間の距離が精確に制御される。
【００１３】
搬送路側から処理装置側にウエハを引渡す過程において、エッジクランプ装置に取付けたノッチ検出器によりウエハのノッチを検出し、前記処理装置内の位置合わせ動作に必要なウエハの基準位置合わせを行った後、前記エッジクランプ装置のクランプ部により前記ウエハのノッチをクランプさせると共に、前記クランプ部に取付けら、且つ、ウエハのノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを読込む読取装置の焦点距離が、前記ウエハＩＤに自動的に合わせられ、その後前記読取装置がウエハＩＤを読込むことを特徴とするウエハＩＤの読取方法（請求項５に記載の発明）。
この発明においても、前記クランプ部によるウエハのセンタリングと共に、ウエハＩＤを読込むことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
上記各発明の実施の形態に係る構成例を図面に基づいて説明する。
図１は、第１実施形態の読取機構を備えたエッジクランプ装置が配置されたロードポートサイトの全体構成例図、図２は前記エッジクランプ装置の平面図、図３は前記読取機構により読取ったウエハＩＤの模式図、図４はウエハのノッチとカメラ間の距離を図示した説明図、図５は前記エッジクランプ装置の縦断面図である。
これらの各図及び後述する各図において、同一構成は同一符号を付けることにより、重複した説明を省略する。
【００１５】
前記読取機構は、ウエハ５のＶノッチ５０（以下、単にノッチ５０という）に書込まれた微小なウエハＩＤ（図４参照）を読取るもので、図１及び図２に示したように読取装置としてのカメラ１と、このカメラ１をスライドさせるスライド装置２と、このスライド装置２によりスライドするカメラ１を当止めするタッチプレート３とからなる。
そしてＦＯＵＰ（搬送容器）４内においてノッチ５０の位置がランダムに収納されていたウエハ５が、ＦＯＵＰオープンナー６、移載ロボット７を介してエッジクランプ装置８に引渡され、そのエッジクランプ装置８が処理装置内での前記ノッチ５０の位置（以下、基準位置という）を揃えると略同時に、前記読取機構が前記ウエハＩＤ５１を読取るようになっている。その後、ウエハは、処理装置側へと引渡される。
【００１６】
前記カメラ１として、前記ウエハＩＤ５１を読取るため、拡大率の大きな対物レンズ（図４参照）を備えたデジタルカメラを用いる。
撮影対象となる前記ウエハＩＤ５１は、例えばレーザ光源を用い液晶マスク上に描画された情報をウエハ５のノッチ５０に縮小投影し、隆起状のドットに書込まれている。因みに、前記カメラ１により読取られたウエハＩＤ５１の撮像を図３に示す。
この図３に示したように、ウエハＩＤ５１は隆起状のドットに書込まれるので、明暗の差が出易くカメラ１による読込みに好都合である。しかし、コントラストの差が出難いようなカメラ１の設置場所では、前記ウエハＩＤ５１に対してノッチ５０の斜め上方或いは下方からＬＥＤ等の照明を当てて、コントラストの差を出すようにすることが望ましい。
また、前記カメラ１自体に前記ウエハＩＤ５１を読込むためのパルスレーザ光源（図示しないが、発光部という）を備えていることが望ましい。
【００１７】
前記スライド装置２は、前記カメラ１を固定し、且つ、前記ウエハＩＤ５１の撮影時に、前記ノッチ５０側に接近するスライダー２０と、このスライダー２０のレール部２１とからなる。前記スライダー２０の駆動手段としては、例えば前記レール部２１にエアシリンダを、前記スライダー２０に前記エアシリンダのピストンロッドを取付けるようにしてもよいし、ラック、ピニオン及びモータ等でもよい。
【００１８】
前記タッチプレート３は、微小な前記ウエハＩＤ像が、前記カメラ１のＣＣＤ等の撮像手段面上に、前記対物レンズ１０の所定の倍率で結像するように、前記ウエハＩＤ５１と前記カメラ１との距離Ｓを制御するもので、図４に示したように前記レール部２１に固定された板材よりなる。
前記スライダー２０により、カメラ１が前記ノッチ５０に触れる程接近する場合に、前記スライダー２０の惰性等で、図４に示した前記カメラ１と前記ノッチ５０間の距離Ｓを正確に制御することが困難な場合がある。そこで、前記タッチプレート３によって、前記スライダー２０を当て止めすることにより、正確な距離を制御することとする。
よって、前記カメラ１は単焦点の集光レンズを備えれば足り、読取装置の集光レンズを動かして、その焦点距離を調節するようなピント合わせは不要である。
即ち、前記カメラ１のＣＣＤ等の撮像手段面上に、微細な前記ウエハＩＤ像が前記対物レンズ１０の所定の倍率で結像するので、ズーム機構やオートフォーカス機構は不要である。
【００１９】
このように構成された前記読取機構において、前記カメラ１は前記ウエハ５のノッチ５０の基準位置の側方に、且つ、前記スライド装置２により、前記ノッチ５０に接近できるように配置されている。
【００２０】
前記エッジクランプ装置８は、上述のようにノッチ位置がランダムな状態で、前記移載ロボット７から受渡されたウエハ５に対し、処理装置側で行われるゲート形成等が精確に行われるように、基準位置を揃えるもので、図１及び図２に示したように、ウエハ受け部８０、エッジクランプ８１、ノッチ検出器８２を備えている。
前記エッジクランプ８１は、回転軸部８１０、その回転軸部８１０の中心に対し略等間隔の１２０度毎に配置された受けアーム８１１、８１１，８１１及び各受けアーム８１１、８１１、８１１の各先端に組込まれたクランプ部８１２、８１２、８１２からなる。
前記ノッチ検出器８２は、光透過式又は光反射式等の光学式センサによって構成され、ウエハ５の前記基準位置の直上に、かつ、前記カメラ１の斜め上に、昇降可能に配置されている。ここで昇降手段は、図示しないが、例えばエアシリンダ又は油圧シリンダ等である。
【００２１】
上記のように構成された読取機構、エッジクランプ装置８及びノッチ検出器８２は、次のように動作する。
前記移載ロボット７から前記ウエハ受け部８０，８０，８０にウエハ５が仮置きされた後、前記回転軸部８１０及び受けアーム８８１１，８１１，８１１が、図２及び図５に示した初期位置Ｘ１から上昇し、仮置きされていたウエハ５を下方から支持し、且つ、そのクランプ部８１２，８１２，８１２がウエハ５の外周面の３ヶ所をクランプする。
このクランプにより、ウエハ５の基準位置を確定するための前提となるウエハ５の「中心芯出し」が行われる。
【００２２】
前記受けアーム８１１，８１１，８１１が、図５に示した最上位置Ｘ３に上昇し、前記ノッチ５０を前記ノッチ検出器８２に検出させるため、モータＭ２を駆動源として回転軸８１０が回転すると共に、ノッチ検出器８２がノッチ５０を検出すると、回転軸８１０がその回転を停止する。
【００２３】
そして前記カメラ１のスライドが妨害されないように、前記ノッチ検出器８２が上昇し、前記スライド装置２により前記カメラ１がその初期位置からノッチ５０に接近して前記タッチプレート３に当止めされ、前記カメラ１をオンすることで、前記ウエハＩＤ５１を撮影する。
よって、上記読取機構によれば、前記ウエハＩＤ５１に対するピント合わせ等の焦点距離の調整が不要である他、ノッチ検出と略同時にウエハＩＤの読込みが行われるので、ウエハの処理装置側への引渡しのサイクルタイムが早くなる。
【００２４】
上記一連の動作は、ＣＩＭ（ＣｏｍｐｕｔｅｒＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）システム等によって制御され、このＣＩＭシステムは、例えばホストコンピュータに接続された生産制御装置と、この生産制御装置にラン接続された各種制御装置からなる。次ぎに同システムに基づく、ウエハＩＤ読取処理の手順を図６に基づき説明する。
【００２５】
同システムにより、搬送路側、例えば工程間搬送を担うＡＧＶ（ＡｕｔｏｍａｔｉｃＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）から前記ＦＯＵＰ４が前記オープンナー６に引渡され、同オープンナー６のドアが開けられて、前記移載ロボット７により一葉毎にウエハ５が前記エッジクランプ装置８のウエハ受け台８０、８０、８０に仮置きされて、ウエハＩＤ読込の処理が開始される。
この段階では、前記各受けアーム８１１、８１１、８１１は、前記ウエハ受け台８０、８０、８０に干渉されることなく、例えば各受け台８０、８０、８０のそれぞれの中間に位置し（図２参照）、また、図５の初期位置Ｘ１に位置している。
【００２６】
この状態で、まず図５のモータＭ１がオンし、その駆動力により前記回転軸部８１０が上昇すると共に、前記受けアーム８１１、８１１、８１１が図５の最上位置Ｘ３に上昇し（ステップ１）、その途中においてウエハ５を下方から支えると共に、前記クランプ部８１２、８１２、８１２がオンされ（ステップ３）、センタリングが行なわれる。
次ぎに、図５のモータＭ２がオンし、受けアーム８１１、８１１、８１１が回転する（ステップ５）。と同時に、前記ノッチ検出器８２がオン状態となり、前記ノッチ５０を検出したか否かを判断する（ステップ７）。
ノッチ５０が検出された場合には、その時点で前記モータＭ２がオフとなって、前記回転軸部８１０の回転が停止される（ステップ９）。よって、この時点で、前記ノッチ５０は、前記検出器８２の略真下に位置することになる。
【００２７】
その後、前記検出器８２が上昇し（ステップ１１）、前記カメラ１のスライドのスペースが確保され、前記スライド装置２がオンとなって、カメラ１がスライドする（ステップ１３）。このとき、前記タッチプレート３が前記スライド装置２のスライダー２０を規制するので、自動的に前記カメラ１の焦点合わせが行なわれたことになる。
そして、前記カメラ１により前記ウエハＩＤ５１の読込みが行なわれ（ストップ１５）、読込まれた撮影情報（撮影データ）は、デジタル信号に変換された後、一旦前記カメラ１内のメモリ（図示せず）に記録され、前記システムを構成する制御装置からの指令に基づき転送される（ステップ１７）。
その後、ステップ１９、２１により、前記クランプ部８１２、８１２、８１２がオフにされ、前記受けアーム８１１、８１１、８１１が前記初期位置Ｘ１へ下降し、基準位置が確定したウエハ５を前記受け台８０、８０、８０に仮置きする。
このウエハ５は、図５に示したスペースＳＰに差込まれた装置側の移載ロボットアーム９（図２参照）により支持されて、装置側に引受渡される。
なお、ステップ２３で前記検出器８２が下降し、ステップ２５で前記カメラ１も初期位置に復帰し、次のノッチ検出及びウエハＩＤ読込処理の準備が整えられる。
【００２８】
一方、前記ステップ７において前記ノッチ５０が検出されないと判断された場合には、そのまま、前記受けアーム８１１、８１１、８１１が略１０度回転され（ステップ２７）、前記クランプ部８１２、８１２、８１２をオフにして（ステップ２９）、その受けアーム８１１、８１１、８１１を前記初期位置Ｘ１に下降させ（ステップ３１）、ウエハ５を再び前記受け台８０、８０、８０に仮置きする。そして、再び前記ステップ１にジャンプし、ステップ１以下の処理が行なわれる。これは、例えば前記ウエハ５のノッチ５０が何れかの前記受けアーム８１１、８１１、８１１に乗ってしまい、前記検出器８２が前記ノッチ５０を検出できない場合等の処理である。
【００２９】
なお、前記カメラ１は、図２に示したように前記検出器８２に一体的に取付けられているが、このような構成に限定されるものではなく、基準位置に前記ウエハ５が停止している時の、そのノッチ位置に配置されていれば、どこでもよい。
また、ノッチ合わせ機として、上述のエッジクランプ装置８のようなエッジクランプ方式の他に、ウエハ裏面吸着方式でもよい。
また、前記ウエハＩＤのサイズが大きく、前記カメラ１の撮影データをソフト上で拡大することで鮮明な画像を得ることが出来る場合には、前記拡大レンズ１０は不要である。
さらに、前記ウエハＩＤ５１を撮像の中心に位置させるため、図７のように、カメラ１のレンズ正面とウエハＩＤ５１とを対向させてもよい。
【００３０】
次ぎに図８に基づいて、前記読取機構の第２実施形態を説明する。
この実施形態は、前記クランプ部８１２、８１２、８１２の何れかに、前記カメラ１を取付けてカメラ付アーム８１１ａとしたもので、前記ウエハ５に対するセンタリングと同時に，カメラ１を前記ノッチ５０に近づけて、前記ウエハＩＤ５１を読取るようにしている。
この場合、前記カメラ１に赤外線送受信部を設け、カメラ１に対する制御を無線で行なっても良い。また、第１実施形態に係る前記カメラ１においても赤外線送受信部を設け、無線による制御を行なっても良い。
その他の構成及び効果は、第１実施形態と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００３１】
上記構成の第２実施形態に関する処理処手順は図９に示す通りである。
ステップ１００からステップ１１０までの処理は、第１実施形態に係るステップ１からステップ１１と同様である。
そして、ステップ１１０において前記検出器８２が上昇した後は、前記クランプ部８１２、８１２、８１２をオフとし（ステップ１１２）、受けアーム８１１、８１１、８１１を下降させ（ステップ１１４）、カメラ付きアーム８１１ａが、前記検出器８２の直下まで回転する（ステップ１１６）。
【００３２】
その後、前記受けアーム８１１、８１１、８１１ａが上昇し（ステップ１１８）、クランプ部８１２、８１２、８１２がオンする（ステップ１２０）ことにより、前記カメラ付きアーム８１１ａが前記ノッチ５０をつかみ、ステップ１２２において、前記カメラ１によりウエハＩＤ５１を読込む。
このような処理により、ウエハのセンタリングと同時にウエハＩＤを読込むことができるので、サイクルタイムが速くなる。
その後は、ステップ１２４〜ステップ１３６までは、第１実施形態に係るステップ１７からステップ３１と同様の処理が行われる。
【００３３】
なお、この第２実施形態においても、図１０に示したように、図６に同様の効果を得るため、カメラ１を傾けて前記アーム８１１に取付けても良い。
【００３４】
上記各実施形態では、ノッチに書込まれたウエハＩＤを読込む読取機構及び読取方法について説明したが、図１１に示したようにウエハ外周端面の前記ノッチ５０近傍のベベル面５２に、ウエハＩＤ５３が書込まれた場合にも、上記読取機構及び読取方法を用いることができる。この場合には、図１２に示したように、前記スライド装置２が作動した場合、前記カメラ１は、その光軸が前記ベベル面５２のウエハＩＤ５３に当たり、前記ウエハＩＤ５３を読取れる位置にある。具体的には、その光軸は前記ベベル面５２に対して略直角に位置することが望ましい。
その他の構成は、第１及び第２実施形態と同様であるので、同様な作用効果を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１及び４に記載の発明によれば、微小なウエハＩＤ像が読取装置の所定の拡大倍率で、その読取装置の撮像面上に結像するように、前記読取装置と前記ウエハＩＤ間の距離が精確に制御されるので、従来のように、読取装置の集光レンズの焦点合わせ用の機構や動作が不要となり、簡単な構造で信頼性が高く、且つ、経済的な読取機構及び読取方法を提供することができる。
【００３６】
請求項２に記載の発明によれば、ノッチ検出器は昇降可能であることから、その検出器がウエハのノッチに触れる程接近する前記読取装置に干渉することはない。また前記読取装置は、ノッチ検出器と略同一の位置に配置されているので、ノッチ検出と略同時にウエハＩＤを読取ることができ、ウエハのノッチ合わせ及びアライメントのサイクルタイムを短縮することきができる。
【００３７】
請求項３及び５に記載の発明によれば、請求項１の発明と同様な作用効果に加え、前記クランプ部によるウエハのセンタリングと共に、ウエハＩＤを読込むことができるので、ウエハのノッチ合わせ及びアライメントのサイクルタイムを短縮することきができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る読取機構を取付けたロードポートサイトの概要図、
【図２】第１実施形態に係るエッジクランプ装置の平面図、
【図３】読取られたウエハＩＤの模式図、
【図４】第１実施形態のカメラとウエハＩＤとの位置関係の説明図、
【図５】第１実施形態に係るエッジクランプ装置の断面図、
【図６】第１実施形態に係る処理フロー図、
【図７】別例に係るカメラの取付図、
【図８】第２実施形態に係る読取機構の要部側面図、
【図９】第２実施形態に係る処理フロー図、
【図１０】別例に係るカメラの取付図、
【図１１】ウエハ外周端面に書込まれたウエハＩＤを示すウエハ要部斜視図、
【図１２】図１１のウエハＩＤに対する読取機構の概略図。
【符号の説明】
１カメラ２スライド装置
１０レンズ
２０スライダー２１レール部
３タッチプレート４ＦＯＵＰ（搬送容器）
５ウエハ５０Ｖノッチ
５１５３ウエハＩＤ５２ベベル面
６ＦＯＵＰオープンナー
７移載ロボット８エッジクランプ装置
８０ウエハ受け部８１エッジクランプ
８１０回転軸部８２ノッチ検出器
８１１、８１１，８１１受けアーム
８１２、８１２、８１２クランプ部

Claims

ウエハのノッチ合わせの際に、前記ノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを拡大して読込むことができる読取装置と、この読取装置を前記ノッチ又は前記外周端面に接近させるスライド装置とにより読取機構を構成し、前記読取装置が所定距離にて前記ノッチ又は前記外周端面に接近することにより、前記読取装置の焦点距離が、前記ウエハＩＤに自動的に合わせられる読取機構であって、
該読取機構は、読取装置としてのカメラと、このカメラをスライドさせる前記スライド装置と、このスライド装置によりスライドするカメラを当止めし、前記所定距離を制御するタッチプレートとからなることを特徴とする読取機構。
前記読取装置は、昇降可能なノッチ検出器と略同一の位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載された読取機構。
ウエハのノッチ合わせの際に、前記ノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを拡大して読込むことができる読取装置を、エッジクランプ装置のクランプ部に取付けて読取機構が構成され、このクランプ部が作動することにより前記読取装置が所定距離にて前記ノッチ又は前記外周端面に接近することによって、前記読取装置の焦点距離が前記ウエハＩＤに自動的に合わせられることを特徴とする読取機構。
搬送路側から処理装置側にウエハを引渡す過程において、エッジクランプ装置に取付けたノッチ検出器によりウエハのノッチを検出し、前記処理装置内の位置合わせ動作に必要なウエハの基準位置合わせを行い、前記ウエハのノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤに、このウエハＩＤを拡大して読込む読取装置としてのカメラを、その焦点距離が前記ウエハＩＤに自動的に合わせられるように、前記カメラをスライド装置によりスライドさせ、タッチプレートによりカメラを当止めし、前記カメラと前記ノッチ又は前記外周端面間の距離を制御して接近させ、その後前記読取装置がウエハＩＤを読込むことを特徴とするウエハＩＤの読取方法。
搬送路側から処理装置側にウエハを引渡す過程において、エッジクランプ装置に取付けたノッチ検出器によりウエハのノッチを検出し、前記処理装置内の位置合わせ動作に必要なウエハの基準位置合わせを行った後、前記エッジクランプ装置のクランプ部により前記ウエハのノッチをクランプさせると共に、前記クランプ部に取付けられ、且つ、ウエハのノッチ又は前記ウエハの外周端面に書込まれたウエハＩＤを拡大して読込む読取装置の焦点距離が前記ウエハＩＤに自動的に合わせられ、その後前記読取装置がウエハＩＤを読込むことを特徴とするウエハＩＤの読取方法。