JPH05190639A - 焦点合わせ方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 焦点合わせ時間を短縮する。 【構成】 ウエハ１の各ペレット形成部７に表示された
複数のペレットコード８を光学的に順次読み取って行く
に際して、各ペレットコード８にそれぞれ対応する適正
な焦点距離Ｚ₁ 、Ｚ₅ を予めメモリー２９に記憶してお
き、各ペレットコード８の読取作業の都度、メモリー２
９から当該ペレットコード８に対応する焦点距離Ｚ₁ 、
Ｚ₅ を読み出して自動的に焦点合わせする。 【効果】 読取作業時における焦点合わせ作業時間を短
縮することができる。その結果、読取作業時間を短縮す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、焦点合わせ技術、特
に、同一の試料上の複数箇所について焦点合わせ作業が
実行される場合についての焦点合わせ技術に関し、例え
ば、半導体装置の製造工程において、半導体ウエハ（以
下、ウエハという。）に表示された識別コードを読み取
るコード読取装置に利用して有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、生産管理やデ
ータ管理のためにウエハの各ペレット形成部に各ペレッ
ト形成部固有の識別コード（以下、単に、コードとい
う。）を表示し、必要に応じて、このコードを読み取る
ことが行われている。

【０００３】このウエハに表示されたコードを読み取る
コード読取装置としては、ウエハを載せてＸＹ方向に移
動させるＸＹテーブルと、ウエハを局部的に照明する照
明装置と、照明されたウエハのコードを撮映するテレビ
カメラと、このテレビカメラの画像信号に基づいてコー
ドを認識するコード認識装置と、テレビカメラの焦点合
わせを実行する焦点合わせ装置とを備えているものが、
考えられる。

【０００４】このコード読取装置においては、各コード
を読み取るに際して、ＸＹテーブルがＸＹ方向に順次操
作されてウエハにおける各コードが焦点合わせスポット
に順次移動される。そして、このスポットにて照明装置
によりコードが照明されてテレビカメラにより撮映され
る。このテレビカメラによる撮映が実行される都度、焦
点合わせ装置により焦点合わせ作業が実行される。

【０００５】なお、光学検査技術を述べてある例として
は、株式会社工業調査会発行「電子材料１９８７年１１
月号別冊」昭和６２年１１月２０日発行 Ｐ２３３〜Ｐ
２３９、がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記のような
コード読取装置においては、各コードの読取作業の都度
に、焦点合わせ作業が実行されるため、コード読取作業
時間が焦点合わせの作業時間に依存して長くなってしま
う。しかも、次のような理由によって、焦点合わせの作
業時間が長くなるという問題点があることが、本発明者
によって明らかにされた。

【０００７】 読取対象であるコードがきわめて微細
であるため、精密な焦点合わせが必要になり、その結
果、焦点合わせ装置のレンズとして焦点深度の浅いレン
ズが使用される。このため、焦点合わせの対象距離が深
くなると、焦点合わせに必要な移動距離が長くなり、作
業時間が長くなる。

【０００８】 ウエハやＸＹテーブルには焦点合わせ
方向についての寸法にばらつきがあるため、各コードへ
の移動の都度、焦点合わせが実行される。この際、前回
の焦点合わせ距離と今回の焦点合わせ距離とに大きな差
がある場合には、焦点を大きく移動させる必要があるた
め、作業時間が長くなる。そして、ウエハやＸＹテーブ
ルのばらつきが正逆方向に交互に発生している場合に
は、大きな差が移動の都度に発生するため、焦点合わせ
の作業時間は相乗的に長くなる。

【０００９】本発明の目的は、焦点合わせの作業時間を
短縮することができる焦点合わせ技術を提供することに
ある。

【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本願において開示され
る発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通
りである。

【００１２】すなわち、試料を載せてＸＹ方向に移動さ
せるＸＹテーブルと、ＸＹテーブル上に設定された焦点
合わせスポットに測定光を照射する照明装置と、その反
射光を受光する受光装置と、その受光に基づいて焦点合
わせ距離を変更調整することにより、焦点合わせ作業を
実行する焦点合わせ実行装置とを備えており、前記ＸＹ
テーブルをＸＹ方向に順次操作することによって、この
試料における複数の被焦点合わせ部を前記焦点合わせス
ポットに順次移動させ、このスポットにて前記照明装置
により測定光を照射し、その反射光を前記受光装置によ
り受光し、この受光に基づいて焦点合わせ実行装置によ
り焦点合わせ作業を逐次実行するように構成されている
焦点合わせ装置において、前記焦点合わせ実行装置は前
記被焦点合わせ部のそれぞれについての焦点合わせ距離
を、これら被焦点合わせ部についてのＸＹテーブルの座
標位置と対応させて記憶装置にそれぞれ記憶させるよう
に構成されているとともに、ＸＹテーブルの各座標位置
にて焦点合わせ作業が実行されるに際して、当初、それ
ら座標に対応されて記憶された焦点合わせ距離をそれぞ
れ読み出して、それら距離によって焦点合わせを実行作
業するように構成されていることを特徴とする。

【００１３】

【作用】前記した手段によれば、焦点合わせ作業が繰り
返される場合において、焦点合わせ作業が実行される都
度、焦点合わせが確保されると予想される距離に焦点合
わせ装置が自動的に設定されるため、各焦点合わせ作業
の対象距離は小さく抑制されることになる。焦点合わせ
対象距離が小さくなると、焦点合わせの作業時間は短く
なる。そして、毎回の焦点合わせの作業時間が短くなる
ため、焦点合わせ作業が繰り返される場合の全体の作業
時間は相乗的に短縮される。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例である焦点合わせ装
置が使用されているコード読取装置を示す模式図、図２
はその焦点合わせ作業を示すフローチャート図、図３は
その作用を説明するための説明図、図４は試料を示す平
面図である。

【００１５】本実施例において、本発明に係る焦点合わ
せ装置は、ウエハに各ペレット形成部毎に付されたペレ
ット形成部識別コードを読み取るためのコード読取装置
に使用されている。このコード読取装置は１台または複
数台がウエハに所望の処理を施す各工程のモジュール
（図示せず）内に設備されており、ホストコンピュータ
（図示せず）の指令に応じてコードを読み取るようにな
っている。

【００１６】図４に示されているように、ウエハ１の第
１主面（集積回路が作り込まれる側の主面）２には、個
々のウエハを識別するためのコード（以下、ウエハ識別
コードという。）４が、オリエンテーションフラット３
と反対側の位置に配されて表示されている。このウエハ
識別コード４は、ウエハ１のロット番号を表示するロッ
トコード５と、当該ロット中の個々のウエハ番号を表示
するウエハコード６とにより構成されている。

【００１７】ウエハ１の第１主面２にはペレット形成部
７が複数個、互いに画成されて作り込まれており、各ペ
レット形成部７には個々のペレット形成部を識別するた
めのコード（以下、ペレットコードという。）８がそれ
ぞれ表示されている。このペレットコード８は例えば、
マスタ工程において付されるコードと、カスタム工程に
おいて付されるコードとにより構成される。

【００１８】本実施例においては、このペレットコード
８のそれぞれがコード読取装置によって順次読み取られ
る際に、焦点合わせがそれぞれ実行されるため、このペ
レットコード８は試料における複数の被焦点合わせ部に
相当することになる。したがって、以下、ペレットコー
ド８について説明する。そして、各ペレットコード８は
ウエハ１の第１主面２に点在するように形成されている
ため、ウエハ１の反りやうねり、肉厚のばらつき等によ
り焦点合わせ距離の方向の寸法についてばらつきを呈す
ることになる。ちなみに、焦点合わせ距離の方向の寸法
のばらつきは、後記するＸＹテーブルの加工誤差等によ
っても形成される。

【００１９】なお、前記ウエハ識別コード４およびペレ
ットコード８はエッチング加工法やレーザ刻印法等の適
当な手段が用いられて形成され、数字および英文字によ
り表示されている。

【００２０】本実施例に係るコード読取装置１１は、試
料としてのウエハ１を載せて保持するＸＹテーブル１２
を備えており、ＸＹテーブル１２はコントローラ１３に
よって制御されて、ウエハ１をＸＹ方向に移動させるよ
うに構成されている。ＸＹテーブル１２の上方には暗箱
１４がスタンド（図示せず）に支持されて設備されてお
り、この暗箱１４には照明装置、光学装置およびテレビ
カメラが設備されている。

【００２１】照明装置１５は広い波長帯域の光を含む白
色光の光源１６を備えており、光源１６の投光の光軸上
には、白色光のうち一定の波長帯域の測定光１８のみを
透過させる光学フイルタ１７が対向されている。測定光
１８の光軸上には、光学装置としてのハーフミラー１９
が４５度の傾斜角をもって介設されており、このハーフ
ミラー１９は測定光１８を反射し対物レンズ（以下、レ
ンズという。）２０を介して、ＸＹテーブル１２上のウ
エハ１のコード８に局部的に照射させるように構成され
ている。

【００２２】ウエハ１からの反射光を受光する受光装置
としてのテレビカメラ２１は、光源１６の光軸に直交す
る光軸上に配設されており、ＸＹテーブル１２上におい
て測定光１８により照明されたウエハ１のコード８を撮
映するようになっている。すなわち、テレビカメラ２１
はコード８において反射された反射光１８Ａをレンズ２
０およびハーフミラー１９を介して受光するようになっ
ている。

【００２３】テレビカメラ２１にはコード認識装置２２
が電気的に接続されており、このコード認識装置２２は
画像処理装置等から構成され、テレビカメラ２１からの
撮像信号に基づいてコード８を認識し得るように構成さ
れている。そして、このコード認識装置２２は中央処理
ユニット（以下、ＣＰＵという。）２３に接続されてお
り、その読取結果をＣＰＵ２３に送信するようになって
いる。半導体装置の製造工程において、ＣＰＵ２３はホ
ストコンピュータにより構成してもよいし、専用的に設
備してもよい。

【００２４】本実施例において、このように構成された
コード読取装置１１には焦点合わせ装置２４が設備され
ている。焦点合わせ装置２４は焦点合わせ作業を実行す
る焦点合わせ実行装置を備えている。この焦点合わせ実
行装置はレンズ２０を暗箱１４に対して光軸方向に進退
させるように構成されている。レンズ操作装置２５を備
えており、この操作装置２５は駆動装置としてのモータ
２６に進退駆動されるようになっている。モータ２６と
してはパルスモータやステッピングモータ等の精密な駆
動制御が可能なものが使用されており、コントローラ２
７により制御されるように構成されている。

【００２５】コントローラ２７の出力端にはＣＰＵ２３
が接続されており、モータ２６およびレンズ操作装置２
５を介してレンズ２０を焦点合わせ距離方向（以下、Ｚ
方向ということがある。）に進退移動させるとともに、
レンズ２０のＺ方向の基準位置に対する位置、すなわ
ち、焦点合わせ距離をＺ座標により特定してＣＰＵ２３
に送信するようになっている。また、コントローラ２７
の出力端にはＣＰＵ２３の出力端が接続されており、Ｃ
ＰＵ２３は後述する作用によりコントローラ２７にモー
タ２６についての制御指令を与えるようになっている。

【００２６】ＣＰＵ２３の一入力端にはＸＹテーブル１
２のコントローラ１３の一出力端が接続されており、コ
ントローラ１３は各ペレットコード８毎の焦点合わせ作
業時におけるＸＹテーブル１２のＸＹ座標位置をその都
度、ＣＰＵ２３に送信するようになっている。また、Ｃ
ＰＵ２３の他の一入力端には入力装置２８が接続されて
おり、この入力装置２８はＣＰＵ２３にＸＹ座標および
Ｚ方向座標等の必要なデータを入力させ得るように構成
されている。

【００２７】ＣＰＵ２３の一出力端にはメモリー２９の
入力端が接続されており、ＣＰＵ２３はメモリー２９に
後述する作用により、図１に示されているＸＹ座標別の
焦点合わせポジションファイル３０を作成するようにな
っている。また、メモリー２９の一出力端はＣＰＵ２３
の一入力端に接続されており、ＣＰＵ２３は後述する作
用により、メモリー２９内に作成されたポジションファ
イル３０から所望のデータを読み出してモータコントロ
ーラ２７に制御信号を指令するようになっている。した
がって、焦点合わせ実行装置は、レンズ２０、レンズ操
作装置２５、モータ２６、コントローラ２７、入力装置
２８、ＣＰＵ２３の一部およびメモリー２９により実質
的に構成されている。

【００２８】次に、前記構成に係るコード読取装置１１
の作用を、焦点合わせ装置２４の作用を主にして図２お
よび図３に即して説明する。

【００２９】試料としてのウエハ１はロボット等から成
る搬送装置（図示せず）により、ＸＹテーブル１２上に
位置合わせされた状態で載置される。ウエハ１がＸＹテ
ーブル１２上に適正にセットされると、コントローラ１
３の制御によりＸＹテーブル１２がＸＹ方向に移動さ
れ、ＸＹテーブル１２上に設定されたスポット３１、す
なわち、レンズ２０の光軸上に最初に読み取られるペレ
ットコード（以下、第１ペレットコード８Ａという。）
が整合される。

【００３０】ここで、各ペレットコード８の位置は、図
１に示されているように、仮想的に設定された原点Ｏを
通って互いに直交するＸ軸およびＹ軸に対する座標によ
り特定される。仮に、第１ペレットコード８Ａの位置
は、Ｘ₁ 、Ｙ₁ とする。

【００３１】コントローラ１３に第１ペレットコード８
Ａが指定されると、ＣＰＵ２３は第１ペレットコード８
Ａの位置座標Ｘ₁ 、Ｙ₁ をメモリー２９内に作成された
ファイル３０から検索するとともに、この座標Ｘ₁ 、Ｙ
₁ に対応するＺ座標値を読み出す。ここでは、図１に示
されている通り、座標Ｘ₁ 、Ｙ₁ に対応するＺ座標はＺ
₁ とする。そして、このＺ座標値Ｚ₁ の位置は座標
Ｘ₁ 、Ｙ₁ の位置において、予め焦点合わせされること
が明らかにされているものとする。

【００３２】ＣＰＵ２３はこの読み出した座標Ｚ₁ をコ
ントローラ２７に送信する。コントローラ２７はモータ
２６およびレンズ操作装置２５を介してレンズ２０を座
標Ｚ₁ の位置まで移動させる。このレンズ２０を移動さ
せる作業はＸＹテーブル１２の移動作業と同時進行させ
ると、作業時間が短縮されることになる。

【００３３】スポット３１に整合された第１ペレットコ
ード８Ａは測定光１８により照明され、第１ペレットコ
ード８Ａでの反射光１８Ａはレンズ２０およびハーフミ
ラー１９を介してテレビカメラ２１により受光される。
すなわち、第１ペレットコード８Ａはテレビカメラ２１
によりレンズ２０を介して撮映される。

【００３４】テレビカメラ２１による第１ペレットコー
ド８Ａの撮像信号は、コード認識装置２２に送信され
る。コード認識装置２２は所定の画像認識処理により第
１ペレットコード８Ａを読み取る。読み取られた第１ペ
レットコード８ＡはＣＰＵ２３に送信される。

【００３５】このとき、コード認識装置２２による認識
が不能であった場合、ＣＰＵ２３からモータコントロー
ラ２７に補正制御信号が送られる。コントローラ２７は
この補正信号に基づいてモータ２６を制御することによ
り、レンズ２０をＺ方向に微妙に移動させる。このレン
ズ２０のＺ方向への移動によって、テレビカメラ２１の
焦点距離が変更調整されるため、テレビカメラ２１によ
る第１ペレットコード８Ａの撮像のコントラストが補正
される。この補正作動は画像が鮮明になるまで繰り返さ
れ、その結果、コード認識装置２２による第１ペレット
コード８Ａの認識が確保される。

【００３６】ここで、本実施例においては、第１ペレッ
トコード８Ａについての読取作業に際して、レンズ２０
は焦点合わせが確保されるように指定された座標Ｚ₁ に
予めに移動されているため、前記焦点合わせ作業におけ
る補正作動は殆どの場合に省略される。万一、補正作動
が必要になる場合であっても、その移動距離は微小にな
るので、補正作動の作業時間は短くて済む。

【００３７】なお、補正作動が実施された場合には、フ
ァイル３０のデータの修正が必要に応じて実行される。
すなわち、補正後のＺ座標値がコントローラ２７により
検出され、その検出されたＺ座標値、例えば、Ｚ₂ が、
ファイル３０におけるＸＹ座標Ｘ₁ 、Ｙ₁ に対応するＺ
座標欄に記憶される。ちなみに、このデータの修正作動
は、入力装置２８等が使用されて実行される教示再生方
式によるデータの記憶作業にも応用することができる。

【００３８】第１ペレットコード８Ａについての読取作
業が終了すると、ＸＹテーブル１２がコントローラ１３
に制御されて移動される。今、仮に、スポット３１に第
４ペレットコード８Ｄが整合されるとする。

【００３９】コントローラ１３に第４ペレットコード８
Ｄの位置座標Ｘ₁ 、Ｙ₄ が指定されると、ＣＰＵ２３は
ファイル３０から第４ペレットコード８Ｄの位置座標Ｘ
₁ 、Ｙ₄ を検索するとともに、この座標Ｘ₁ 、Ｙ₄ に対
応するＺ座標値（焦点合わせ距離）を読み出す。今、こ
のＺ座標値はＺ₅ とする。

【００４０】ＣＰＵ２３はこの読み出した座標Ｚ₅ をコ
ントローラ２７に送信する。コントローラ２７はモータ
２６およびレンズ操作装置２５を介してレンズ２０を座
標Ｚ₅ の位置まで移動させる。このとき、前回の第１ペ
レットコード８ＡではＺ座標Ｚ₁ で、今回の第４ペレッ
トコード８ＤのＺ座標Ｚ₅ であるので、図３に示されて
いるように、レンズ２０の移動距離はきわめて長くな
る。

【００４１】しかし、本実施例においては、コード読取
作業に入る以前に、レンズ２０の移動が実行されるの
で、コード読取の作業時間が長くなるのは抑制される。
また、レンズ２０が移動された後、第４ペレットコード
８Ｄに対するテレビカメラ２１の焦点合わせが既に実施
されたと同じ状況になるため、殆どの場合、コード認識
装置２２による認識は確保されることになる。したがっ
て、コード読取の作業時間は大幅に短縮される。

【００４２】以後、前記作動が繰り返されることによ
り、ウエハ１内における全てのペレットコード８につい
ての読取作業が順次実施されて行く。そして、各読取作
業の都度、焦点合わせ作業が前記のようにそれぞれ予め
実行されることにより、焦点合わせの作業時間がそれぞ
れ短縮される。したがって、全ペレットコード８に要す
る読取作業時間は、相乗的に短縮化されることになる。

【００４３】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ウエハの各ペレット形成部に表示された複数のペレ
ットコードを光学的に順次読み取って行くに際して、各
ペレットコードにそれぞれ対応する適正な焦点合わせ距
離を予めメモリーに記憶しておき、各ペレットコードの
読取作業の都度、メモリーから当該ペレットコードに対
応する焦点距離を読み出して自動的に焦点合わせするこ
とにより、読取作業時における焦点合わせ作業時間を短
縮することができるため、読取作業時間を短縮すること
ができる。

【００４４】 ＸＹテーブルの経時変化によるＺ軸方
向のばらつきである平行度を、それらのばらつきに対応
させて焦点距離を予めメモリーに記憶しておくことによ
り、補償することができるため、ＸＹテーブルの経時変
化による悪影響を回避することができる。

【００４５】 コード読取装置において最良の読み取
り状況を自動的にかつ迅速に作り出すことにより、コー
ド読取装置を完全自動化することができるため、ウエハ
のデータ管理および物流管理等の自動化を促進すること
ができる。

【００４６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４７】例えば、コード読取装置の具体的構成、並
びに、焦点合わせ実行装置の具体的構成は、前記実施例
に限らず、使用条件や環境等に対応して適宜選定するこ
とができる。

【００４８】焦点合わせ作業はレンズを光軸方向に移動
させて実行するに限らず、ミラー等の他の光学系、暗
箱、さらにはＸＹテーブルを光軸方向に移動させて実行
してもよい。

【００４９】照明装置、受光装置および認識装置は、コ
ード読取装置に設備されたものを共用するように構成す
るに限らず、焦点合わせ装置に専用のものを設備しても
よい。専用のものを設備する場合には、受光装置として
はテレビカメラを使用するに限らないし、認識装置とし
てはコードを認識するように構成するに限らない。

【００５０】また、焦点合わせ作業を指令するＣＰＵは
ホストコンピュータを利用して構成するに限らず、専用
のマイクロコンピュータ等を使用して構成してもよい。

【００５１】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
のペレットコード読取装置における焦点合わせ技術に適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、ウエハに付されたアライメント用ターゲット
マークや、液晶パネルやフロッピディスク、コンパクト
ディスクに表示されたコードやマーク等のパターン読取
技術に使用される焦点合わせ技術に適用することができ
る。さらには、ウエハの外観検査装置や露光装置等に使
用される焦点合わせ技術全般に適用することができる。
特に、本発明は、試料がＸＹテーブルに載せられて、同
一試料上の複数箇所において焦点合わせ作業が実行され
る場合に適用して優れた効果が得られる。

【００５２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５３】同一試料の複数箇所に設定された被焦点合
わせ部において焦点合わせ作業を順次実施して行くに際
して、各被焦点合わせ部にそれぞれ対応する適正な焦点
距離を予めメモリーに記憶しておき、各被焦点合わせ部
における焦点合わせ作業の都度、メモリーから当該被焦
点合わせ部に対応する焦点距離を読み出して自動的に焦
点合わせすることにより、焦点合わせ作業時間を短縮す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である焦点合わせ装置が使用
されているコード読取装置を示す模式図である。

【図２】その焦点合わせ作業を示すフローチャート図で
ある。

【図３】その作用を説明するための説明図である。

【図４】試料を示す平面図である。

【符号の説明】

１…ウエハ、２…第１主面、３…オリエンテーションフ
ラット、４…コード（ウエハ識別コード）、５…ロット
コード、６…ウエハコード、７…ペレット形成部、８…
ペレットコード、８Ａ…第１ペレットコード、８Ｄ…第
４ペレットコード、１１…コード読取装置、１２…ＸＹ
テーブル、１３…コントローラ、１４…暗箱、１５…照
明装置、１６…白色光の光源、１７…光学フイルタ、１
８…測定光、１８Ａ…反射光、１９…ハーフミラー、２
０…対物レンズ、２１…テレビカメラ、２２…コード認
識装置、２３…中央処理ユニット（ＣＰＵ）、２４…焦
点合わせ装置、２５…レンズ操作装置、２６…モータ、
２７…コントローラ、２８…入力装置、２９…メモリ
ー、３０…ポジションファイル、３１…焦点合わせスポ
ット。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＸＹテーブルに試料を載せ、ＸＹテーブ
   ルをＸＹ方向に順次操作することによって、この試料に
   おける複数の被焦点合わせ部を焦点合わせスポットに順
   次移動させ、このスポットにて被焦点合わせ部に測定光
   を照射してその反射光を受光に基づいて焦点合わせ距離
   を変更調整することにより、焦点合わせ作業を逐次実行
   する焦点合わせ方法において、 前記被焦点合わせ部のそれぞれについての焦点合わせ距
   離を、これら被焦点合わせ部についてのＸＹテーブルの
   座標位置と対応させてメモリーにそれぞれ記憶してお
   き、 その後、ＸＹテーブルの各座標位置にて前記焦点合わせ
   がそれぞれ実行されるに際して、当初、それら座標位置
   に対応させて記憶された焦点合わせ距離をメモリーから
   それぞれ読み出し、それらの距離によって焦点合わせ作
   業を実行することを特徴とする焦点合わせ方法。
2. 【請求項２】 試料を載せてＸＹ方向に移動させるＸＹ
   テーブルと、ＸＹテーブル上に設定された焦点合わせス
   ポットに測定光を照射する照明装置と、その反射光を受
   光する受光装置と、その受光装置の受光に基づいて焦点
   合わせ距離を変更調整することにより、焦点合わせ作業
   を実行する焦点合わせ実行装置とを備えており、 前記ＸＹテーブルをＸＹ方向に順次操作することによっ
   て、この試料における複数の被焦点合わせ部を前記焦点
   合わせスポットに順次移動させ、このスポットにて前記
   照明装置により測定光を照射し、その反射光を前記受光
   装置により受光し、この受光に基づいて焦点合わせ実行
   装置により焦点合わせ作業を逐次実行するように構成さ
   れている焦点合わせ装置において、 前記焦点合わせ実行装置は前記被焦点合わせ部のそれぞ
   れについての焦点合わせ距離を、これら被焦点合わせ部
   についてのＸＹテーブルの座標位置と対応させて記憶装
   置にそれぞれ記憶させるように構成されているととも
   に、 ＸＹテーブルの各座標位置にて焦点合わせ作業が実行さ
   れるに際して、当初、それら座標に対応されて記憶され
   た焦点合わせ距離をそれぞれ読み出して、それらの距離
   によって焦点合わせ作業を実行するように構成されてい
   ることを特徴とする焦点合わせ装置。
3. 【請求項３】 前記照明装置および受光装置が、前記試
   料に形成されたパターンを読み取るパターン読取装置の
   照明装置および受光装置を共用するように構成されてい
   ることを特徴とする請求項２に記載の焦点合わせ装置。