JP3418929B2 - ピックアップ装置及びチップ位置決め方法 - Google Patents
ピックアップ装置及びチップ位置決め方法Info
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- JP3418929B2 JP3418929B2 JP13357495A JP13357495A JP3418929B2 JP 3418929 B2 JP3418929 B2 JP 3418929B2 JP 13357495 A JP13357495 A JP 13357495A JP 13357495 A JP13357495 A JP 13357495A JP 3418929 B2 JP3418929 B2 JP 3418929B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はピックアップ装置及びチ
ップ位置決め方法に関し、詳しくは、電子部品の製造で
使用されるピックアップ装置、及びチップのピックアッ
プ時に前記チップを画像認識して位置決めするチップ位
置決め方法に関する。
ップ位置決め方法に関し、詳しくは、電子部品の製造で
使用されるピックアップ装置、及びチップのピックアッ
プ時に前記チップを画像認識して位置決めするチップ位
置決め方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体装置の製造におけるマウ
ント工程では、半導体ウェーハから分割されて整列配置
された半導体ペレット（以下、チップと称す）を画像認
識した上で良品のチップをピックアップしている。
ント工程では、半導体ウェーハから分割されて整列配置
された半導体ペレット（以下、チップと称す）を画像認
識した上で良品のチップをピックアップしている。
【０００３】具体的には、可動テーブル上に整列状態で
ＸＹ配置されたチップを光学系（カメラを含む）で撮像
し、その撮像されたカメラ視野内にある複数のチップを
画像処理する。この画像処理は、光学系による映像信号
により得られたチップの画像データをフレームメモリに
記憶する。その画像データに基づく画像認識により良品
のチップを選択して認識データによりピックアップポジ
ションに位置決めする。そして、前記ピックアップポジ
ションに位置決めされた良品のチップをコレットにより
真空吸着してピックアップし、リードフレームのアイラ
ンドにマウントしている。
ＸＹ配置されたチップを光学系（カメラを含む）で撮像
し、その撮像されたカメラ視野内にある複数のチップを
画像処理する。この画像処理は、光学系による映像信号
により得られたチップの画像データをフレームメモリに
記憶する。その画像データに基づく画像認識により良品
のチップを選択して認識データによりピックアップポジ
ションに位置決めする。そして、前記ピックアップポジ
ションに位置決めされた良品のチップをコレットにより
真空吸着してピックアップし、リードフレームのアイラ
ンドにマウントしている。
【０００４】具体的に、前記画像処理は、カメラ視野の
センタがピックアップポジションと一致するように設定
された状態で実行され、例えば、図３に示すように光学
系による映像信号Ｓを所定のしきい値Ｌでもって二値化
することにより得られたチップＴの画像データをフレー
ムメモリに記憶する。この画像データに基づいて、同図
に示すように二値化信号Ａの立ち上がりａと立ち下がり
ｂとの中点を一つのチップＴの中心位置（以下、チップ
位置と称す）とし、前記カメラ視野のセンタｃに対する
前記チップ位置を画像認識する。これにより、前記カメ
ラ視野のセンタｃからチップ位置までの距離ｄが移動に
必要な距離となる。尚、図中、カメラ視野のセンタｃか
ら左側に位置するチップＴ（破線で示すもの）は、実際
上、ピックアップ済みであるために存在しない場合があ
るが、仮想的に存在するものとして説明する。
センタがピックアップポジションと一致するように設定
された状態で実行され、例えば、図３に示すように光学
系による映像信号Ｓを所定のしきい値Ｌでもって二値化
することにより得られたチップＴの画像データをフレー
ムメモリに記憶する。この画像データに基づいて、同図
に示すように二値化信号Ａの立ち上がりａと立ち下がり
ｂとの中点を一つのチップＴの中心位置（以下、チップ
位置と称す）とし、前記カメラ視野のセンタｃに対する
前記チップ位置を画像認識する。これにより、前記カメ
ラ視野のセンタｃからチップ位置までの距離ｄが移動に
必要な距離となる。尚、図中、カメラ視野のセンタｃか
ら左側に位置するチップＴ（破線で示すもの）は、実際
上、ピックアップ済みであるために存在しない場合があ
るが、仮想的に存在するものとして説明する。
【０００５】このようにして画像認識により得られたチ
ップ位置に基づいて、そのチップが良品であれば、可動
テーブルの移動（距離ｄ）でもって前記チップ位置にあ
るチップをカメラ視野のセンタｃに位置決め配置する。
その後、前記カメラ視野のセンタｃであるピックアップ
ポジションに位置決め配置された良品のチップをコレッ
トによりピックアップ動作を実行する。
ップ位置に基づいて、そのチップが良品であれば、可動
テーブルの移動（距離ｄ）でもって前記チップ位置にあ
るチップをカメラ視野のセンタｃに位置決め配置する。
その後、前記カメラ視野のセンタｃであるピックアップ
ポジションに位置決め配置された良品のチップをコレッ
トによりピックアップ動作を実行する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うにチップを光学系で撮像し、その撮像されたカメラ視
野内にある複数のチップを画像処理し、その画像データ
に基づく画像認識により得られたチップ位置でもって、
可動テーブルの移動により前記チップ位置にあるチップ
をカメラ視野のセンタに位置決め配置している。
うにチップを光学系で撮像し、その撮像されたカメラ視
野内にある複数のチップを画像処理し、その画像データ
に基づく画像認識により得られたチップ位置でもって、
可動テーブルの移動により前記チップ位置にあるチップ
をカメラ視野のセンタに位置決め配置している。
【０００７】しかしながら、複数のチップを撮像したカ
メラ視野では、チップ表面での照度分布や光学系のレン
ズ歪み等により、明暗や歪みが生じて全体的に均一性が
損なわれることがある。例えば、前述したチップ表面で
の照度分布や光学系のレンズ歪み等により、図４に示す
ように光学系による映像信号Ｓ’が正規の矩形波となら
ず波形歪み（例えば、図示ではカメラ視野の両端に位置
するチップで生じる波形歪み）が生じた場合、この映像
信号Ｓ’を所定のしきい値Ｌで二値化すると、その二値
化信号Ａ’について、カメラ視野の両端に位置するチッ
プによる立ち上がりａ’が実際のチップによる立ち上が
りａ（図３参照）とずれて、その立ち上がりａ’と立ち
下がりｂとの中点であるチップ中心が実際のチップ中心
からずれることになる。
メラ視野では、チップ表面での照度分布や光学系のレン
ズ歪み等により、明暗や歪みが生じて全体的に均一性が
損なわれることがある。例えば、前述したチップ表面で
の照度分布や光学系のレンズ歪み等により、図４に示す
ように光学系による映像信号Ｓ’が正規の矩形波となら
ず波形歪み（例えば、図示ではカメラ視野の両端に位置
するチップで生じる波形歪み）が生じた場合、この映像
信号Ｓ’を所定のしきい値Ｌで二値化すると、その二値
化信号Ａ’について、カメラ視野の両端に位置するチッ
プによる立ち上がりａ’が実際のチップによる立ち上が
りａ（図３参照）とずれて、その立ち上がりａ’と立ち
下がりｂとの中点であるチップ中心が実際のチップ中心
からずれることになる。
【０００８】このように前記二値化信号Ａ’により得ら
れるチップ中心と実際のチップ中心とがずれていると、
そのチップＴを移動（距離ｄ’）によりカメラ視野のセ
ンタｃに位置決めしようとしても、実際のチップ中心か
らカメラ視野のセンタｃまでの距離がｄ（ｄ’＜ｄ）で
あるため、カメラ視野のセンタｃから位置ずれすること
になり、再度、正確にカメラ視野のセンタｃにチップ中
心を位置決めする必要があり、チップを位置決めする時
間が長くなってしまう。
れるチップ中心と実際のチップ中心とがずれていると、
そのチップＴを移動（距離ｄ’）によりカメラ視野のセ
ンタｃに位置決めしようとしても、実際のチップ中心か
らカメラ視野のセンタｃまでの距離がｄ（ｄ’＜ｄ）で
あるため、カメラ視野のセンタｃから位置ずれすること
になり、再度、正確にカメラ視野のセンタｃにチップ中
心を位置決めする必要があり、チップを位置決めする時
間が長くなってしまう。
【０００９】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、チップ表面で
の照度分布や光学系のレンズ歪み等に左右されることな
く、すべてのチップをカメラ視野のセンタに精度よく位
置決めし得るピックアップ装置及びチップ位置決め方法
を提供することにある。
されたもので、その目的とするところは、チップ表面で
の照度分布や光学系のレンズ歪み等に左右されることな
く、すべてのチップをカメラ視野のセンタに精度よく位
置決めし得るピックアップ装置及びチップ位置決め方法
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明方法は、整列状態でＸＹ方
向に平面配置されたチップを撮像したカメラ視野内で複
数のチップを先行認識し、その先行認識データに基づい
て、ピックアップすべきチップをセンシングして前記カ
メラ視野のセンタに位置決め配置するに際して、ピック
アップすべきチップを前記先行認識データに基づいてカ
メラ視野のセンタに配置した時のセンタとのずれ量を再
認識してそれを先行認識したチップ位置の補正量とし、
同じチップ位置にあるチップの先行認識時に、前回の先
行認識で得られた補正量を先行認識データに付与して前
記チップをカメラ視野のセンタに配置することを特徴と
する。
の技術的手段として、本発明方法は、整列状態でＸＹ方
向に平面配置されたチップを撮像したカメラ視野内で複
数のチップを先行認識し、その先行認識データに基づい
て、ピックアップすべきチップをセンシングして前記カ
メラ視野のセンタに位置決め配置するに際して、ピック
アップすべきチップを前記先行認識データに基づいてカ
メラ視野のセンタに配置した時のセンタとのずれ量を再
認識してそれを先行認識したチップ位置の補正量とし、
同じチップ位置にあるチップの先行認識時に、前回の先
行認識で得られた補正量を先行認識データに付与して前
記チップをカメラ視野のセンタに配置することを特徴と
する。
【００１１】尚、前記ピックアップすべきチップを先行
認識データに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時
のセンタとのずれ量を再認識してそれを先行認識したチ
ップ位置の補正量とする自動ティーチングを実行するこ
とが可能で、更に、前記自動ティーチングによる補正量
を先行認識ごとに更新することも可能である。
認識データに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時
のセンタとのずれ量を再認識してそれを先行認識したチ
ップ位置の補正量とする自動ティーチングを実行するこ
とが可能で、更に、前記自動ティーチングによる補正量
を先行認識ごとに更新することも可能である。
【００１２】また、本発明装置は、可動テーブル上に整
列状態でＸＹ方向に平面配置されたチップを光学系によ
り撮像して画像認識し、その認識データに基づいて選別
されたチップをアーム系により順次ピックアップする装
置において、前記光学系により撮像されたカメラ視野内
の複数のチップを先行認識し、その先行認識データに基
づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセンタとのず
れ量を再認識し、それを先行認識したチップ位置の補正
量とする自動ティーチングを実行し、その自動ティーチ
ングによる補正量を先行認識ごとに更新しながら、同じ
チップ位置にあるチップの先行認識時に、前回の先行認
識で得られた補正量を先行認識データに付与する画像処
理部と、その画像処理部の出力に基づき前記可動テーブ
ルを作動させて前記チップをカメラ視野のセンタに配置
する制御部とを具備したことを特徴とする。
列状態でＸＹ方向に平面配置されたチップを光学系によ
り撮像して画像認識し、その認識データに基づいて選別
されたチップをアーム系により順次ピックアップする装
置において、前記光学系により撮像されたカメラ視野内
の複数のチップを先行認識し、その先行認識データに基
づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセンタとのず
れ量を再認識し、それを先行認識したチップ位置の補正
量とする自動ティーチングを実行し、その自動ティーチ
ングによる補正量を先行認識ごとに更新しながら、同じ
チップ位置にあるチップの先行認識時に、前回の先行認
識で得られた補正量を先行認識データに付与する画像処
理部と、その画像処理部の出力に基づき前記可動テーブ
ルを作動させて前記チップをカメラ視野のセンタに配置
する制御部とを具備したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明では、複数のチップをカメラ視野内で先
行認識し、ピックアップすべきチップを前記先行認識デ
ータに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセン
タとのずれ量を再認識してそれを先行認識したチップ位
置の補正量とし、同じチップ位置にあるチップの先行認
識時に、前回の先行認識で得られた補正量を先行認識デ
ータに付与して前記チップをカメラ視野のセンタに配置
する。
行認識し、ピックアップすべきチップを前記先行認識デ
ータに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセン
タとのずれ量を再認識してそれを先行認識したチップ位
置の補正量とし、同じチップ位置にあるチップの先行認
識時に、前回の先行認識で得られた補正量を先行認識デ
ータに付与して前記チップをカメラ視野のセンタに配置
する。
【００１４】このようにすれば、チップ表面での照度分
布や光学系のレンズ歪み等により光学系からの映像信号
の波形歪みでもって画像データから得られるチップ中心
が実際のチップ中心から位置ずれしていても、その位置
ずれを前記補正量により修正することができ、前記先行
認識データと補正量とに基づいて前記チップをカメラ視
野のセンタであるピックアップポジションに正確に位置
決めする。
布や光学系のレンズ歪み等により光学系からの映像信号
の波形歪みでもって画像データから得られるチップ中心
が実際のチップ中心から位置ずれしていても、その位置
ずれを前記補正量により修正することができ、前記先行
認識データと補正量とに基づいて前記チップをカメラ視
野のセンタであるピックアップポジションに正確に位置
決めする。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例を図１乃至図４に示して説
明する。
明する。
【００１６】まず、本発明のピックアップ装置は、以下
の概略構成を有する。即ち、図１に示すように可動テー
ブル２上に整列状態でＸＹ方向に平面配置されたチップ
Ｔをカメラを含む光学系１で撮像し、その光学系１から
の映像信号を後述の画像処理部３で二値化等により画像
処理する。前記光学系１で撮像されたカメラ視野ｍ（図
２参照）でのチップＴの画像処理により得られた画像デ
ータをフレームメモリに記憶させ、その画像データに基
づく画像認識により良品のチップＴを選択して可動テー
ブル２の駆動でカメラ視野ｍのセンタｃであるピックア
ップポジションに認識データにより位置決め配置する。
そして、そのピックアップポジションに位置決め配置さ
れた良品のチップＴをアーム系４のコレット５により真
空吸着してピックアップする。
の概略構成を有する。即ち、図１に示すように可動テー
ブル２上に整列状態でＸＹ方向に平面配置されたチップ
Ｔをカメラを含む光学系１で撮像し、その光学系１から
の映像信号を後述の画像処理部３で二値化等により画像
処理する。前記光学系１で撮像されたカメラ視野ｍ（図
２参照）でのチップＴの画像処理により得られた画像デ
ータをフレームメモリに記憶させ、その画像データに基
づく画像認識により良品のチップＴを選択して可動テー
ブル２の駆動でカメラ視野ｍのセンタｃであるピックア
ップポジションに認識データにより位置決め配置する。
そして、そのピックアップポジションに位置決め配置さ
れた良品のチップＴをアーム系４のコレット５により真
空吸着してピックアップする。
【００１７】画像処理部３は、複数のチップＴを撮像し
たカメラ視野ｍに基づいて前述した光学系１からの映像
信号を二値化信号等に変換することにより画像処理す
る。また、可動テーブル駆動部６は、後述の制御部７か
らの出力信号に基づいて、可動テーブル２を駆動させて
良品のチップＴをピックアップポジションに位置決め配
置し、ピックアップ駆動部８は、前記ピックアップポジ
ションに位置する一つのチップＴをコレット５による真
空吸着でピックアップ動作する。
たカメラ視野ｍに基づいて前述した光学系１からの映像
信号を二値化信号等に変換することにより画像処理す
る。また、可動テーブル駆動部６は、後述の制御部７か
らの出力信号に基づいて、可動テーブル２を駆動させて
良品のチップＴをピックアップポジションに位置決め配
置し、ピックアップ駆動部８は、前記ピックアップポジ
ションに位置する一つのチップＴをコレット５による真
空吸着でピックアップ動作する。
【００１８】具体的に、前記画像処理部３は、前記チッ
プＴのピックアップ動作中に、前記カメラ視野ｍ内の複
数のチップＴを先行認識し、その先行認識データに基づ
いてカメラ視野ｍのセンタｃに配置した時のセンタｃと
のずれ量を再認識し、それを先行認識したチップ位置の
補正量とする自動ティーチングを実行し、その自動ティ
ーチングによる補正量を先行認識ごとに更新しながら、
同じチップ位置にあるチップＴの先行認識時に、前回の
先行認識で得られた補正量を先行認識データに付与す
る。制御部７では、その画像処理部３の出力に基づいて
可動テーブル２を可動テーブル駆動部６により作動させ
て前記チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに配置する。
プＴのピックアップ動作中に、前記カメラ視野ｍ内の複
数のチップＴを先行認識し、その先行認識データに基づ
いてカメラ視野ｍのセンタｃに配置した時のセンタｃと
のずれ量を再認識し、それを先行認識したチップ位置の
補正量とする自動ティーチングを実行し、その自動ティ
ーチングによる補正量を先行認識ごとに更新しながら、
同じチップ位置にあるチップＴの先行認識時に、前回の
先行認識で得られた補正量を先行認識データに付与す
る。制御部７では、その画像処理部３の出力に基づいて
可動テーブル２を可動テーブル駆動部６により作動させ
て前記チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに配置する。
【００１９】上記構成からなるピックアップ装置による
チップの位置決め及びピックアップ動作は、具体的に以
下の通りである。
チップの位置決め及びピックアップ動作は、具体的に以
下の通りである。
【００２０】まず、可動テーブル２上の複数のチップＴ
を光学系１により撮像し、その映像信号を画像処理部３
で二値化等により画像処理し、その画像データに基づい
て画像認識する。この時、カメラ視野ｍ内の複数のチッ
プＴを前記画像処理部３で先行認識する。この先行認識
は、チップＴのピックアップ動作中に実行され、チップ
自体の有無、欠け等の外観不良の有無、及び前工程で付
与される特性検査結果による不良マークの有無などに基
づいてチップＴの良否が前記画像処理部３で判定され
る。その画像処理部３の出力に基づいて判定結果から良
品のチップＴを選択し、制御部７では、可動テーブル駆
動部６により可動テーブル２を駆動させ、認識データに
より前述した良品のチップＴをカメラ視野ｍのセンタｃ
であるピックアップポジションに位置決め配置する。
を光学系１により撮像し、その映像信号を画像処理部３
で二値化等により画像処理し、その画像データに基づい
て画像認識する。この時、カメラ視野ｍ内の複数のチッ
プＴを前記画像処理部３で先行認識する。この先行認識
は、チップＴのピックアップ動作中に実行され、チップ
自体の有無、欠け等の外観不良の有無、及び前工程で付
与される特性検査結果による不良マークの有無などに基
づいてチップＴの良否が前記画像処理部３で判定され
る。その画像処理部３の出力に基づいて判定結果から良
品のチップＴを選択し、制御部７では、可動テーブル駆
動部６により可動テーブル２を駆動させ、認識データに
より前述した良品のチップＴをカメラ視野ｍのセンタｃ
であるピックアップポジションに位置決め配置する。
【００２１】この時、ピックアップポジションでのチッ
プ中心とカメラ視野ｍでのセンタｃとがずれることがあ
る。即ち、図４に示すようにチップ表面での照度分布や
光学系のレンズ歪み等により、光学系１による映像信号
Ｓ’が正規の矩形波とならず波形歪み（例えば、図示で
はカメラ視野の両端に位置するチップで生じる波形歪
み）が生じ、この映像信号Ｓ’をしきい値Ｌで二値化し
た二値化信号Ａ’について、カメラ視野ｍの両端に位置
するチップＴによる立ち上がりａ’が実際のチップによ
る立ち上がりａ（図３参照）とずれて、その立ち上がり
ａ’と立ち下がりとの中点が実際のチップ中心からずれ
ることが原因となっている。
プ中心とカメラ視野ｍでのセンタｃとがずれることがあ
る。即ち、図４に示すようにチップ表面での照度分布や
光学系のレンズ歪み等により、光学系１による映像信号
Ｓ’が正規の矩形波とならず波形歪み（例えば、図示で
はカメラ視野の両端に位置するチップで生じる波形歪
み）が生じ、この映像信号Ｓ’をしきい値Ｌで二値化し
た二値化信号Ａ’について、カメラ視野ｍの両端に位置
するチップＴによる立ち上がりａ’が実際のチップによ
る立ち上がりａ（図３参照）とずれて、その立ち上がり
ａ’と立ち下がりとの中点が実際のチップ中心からずれ
ることが原因となっている。
【００２２】そこで、本発明では、このように前記二値
化信号Ａ’により得られるチップ中心と実際のチップ中
心とがずれていた場合、制御部７からの指令に基づい
て、前記チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに位置決め
配置した時に生じたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタ
ｃとのずれ量を画像処理部３により再認識する。この再
認識により得られたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタ
ｃとのずれ量を先行認識したチップ位置の補正量として
自動ティーチングを実行する。これにより、個々のチッ
プＴは、先行認識データに前記ずれ量による補正量が付
与されることになる。
化信号Ａ’により得られるチップ中心と実際のチップ中
心とがずれていた場合、制御部７からの指令に基づい
て、前記チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに位置決め
配置した時に生じたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタ
ｃとのずれ量を画像処理部３により再認識する。この再
認識により得られたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタ
ｃとのずれ量を先行認識したチップ位置の補正量として
自動ティーチングを実行する。これにより、個々のチッ
プＴは、先行認識データに前記ずれ量による補正量が付
与されることになる。
【００２３】そして、その自動ティーチングによる補正
量を先行認識ごとに更新することにより、経時的な変化
などにより影響を可及的に抑制して常に最新の補正量が
先行認識データに付与され、同じチップ位置にあるチッ
プＴの先行認識時に、前回の先行認識で得られた補正量
を先行認識データに付与し、制御部７からの指令に基づ
いて、可動テーブル駆動部６により可動テーブル２を駆
動させ、その認識データにより前記チップＴをカメラ視
野ｍのセンタｃであるピックアップポジションに精度よ
く位置決め配置する。
量を先行認識ごとに更新することにより、経時的な変化
などにより影響を可及的に抑制して常に最新の補正量が
先行認識データに付与され、同じチップ位置にあるチッ
プＴの先行認識時に、前回の先行認識で得られた補正量
を先行認識データに付与し、制御部７からの指令に基づ
いて、可動テーブル駆動部６により可動テーブル２を駆
動させ、その認識データにより前記チップＴをカメラ視
野ｍのセンタｃであるピックアップポジションに精度よ
く位置決め配置する。
【００２４】尚、前述した自動ティーチングによる補正
量は、チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに位置決め配
置した時に生じたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタｃ
とのずれ量を画素単位でそのままカメラ視野ｍのチップ
Ｔの位置を認識した時の補正量とするか、或いは、カメ
ラ視野ｍのチップＴの位置を認識した時の画面分解能と
して保持するようにすればよい。
量は、チップＴをカメラ視野ｍのセンタｃに位置決め配
置した時に生じたチップ中心とカメラ視野ｍのセンタｃ
とのずれ量を画素単位でそのままカメラ視野ｍのチップ
Ｔの位置を認識した時の補正量とするか、或いは、カメ
ラ視野ｍのチップＴの位置を認識した時の画面分解能と
して保持するようにすればよい。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、カメラ視野内の複数の
チップを画像処理部により先行認識し、その先行認識デ
ータに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセン
タとのずれ量を再認識し、それを先行認識したチップ位
置の補正量とする自動ティーチングを実行し、その自動
ティーチングによる補正量を先行認識ごとに更新しなが
ら、同じチップ位置にあるチップの先行認識時に、前回
の先行認識で得られた補正量を先行認識データに付与し
て前記チップをカメラ視野のセンタに配置するようにし
たから、チップ表面での照度分布や光学系のレンズ歪み
等の悪影響を受けることなく、常に、個々のチップをカ
メラ視野のセンタであるピックアップポジションに精度
よく位置決めすることができるので、信頼性の高い高速
なピックアップを実現できてその実用的価値は大であ
る。
チップを画像処理部により先行認識し、その先行認識デ
ータに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時のセン
タとのずれ量を再認識し、それを先行認識したチップ位
置の補正量とする自動ティーチングを実行し、その自動
ティーチングによる補正量を先行認識ごとに更新しなが
ら、同じチップ位置にあるチップの先行認識時に、前回
の先行認識で得られた補正量を先行認識データに付与し
て前記チップをカメラ視野のセンタに配置するようにし
たから、チップ表面での照度分布や光学系のレンズ歪み
等の悪影響を受けることなく、常に、個々のチップをカ
メラ視野のセンタであるピックアップポジションに精度
よく位置決めすることができるので、信頼性の高い高速
なピックアップを実現できてその実用的価値は大であ
る。
【図１】本発明のピックアップ装置の概略構成図
【図２】本発明の実施例における先行認識でのカメラ視
野を示す説明図
野を示す説明図
【図３】正規の映像信号及びその映像信号をしきい値で
二値化した二値化信号を示す波形図
二値化した二値化信号を示す波形図
【図４】歪んだ映像信号及びその映像信号をしきい値で
二値化した二値化信号を示す波形図
二値化した二値化信号を示す波形図
Ｔ チップ
ｍ カメラ視野
ｃ カメラ視野のセンタ
１ 光学系
２ 可動テーブル
３ 画像処理部
４ アーム系
７ 制御部
Claims (4)
- 【請求項１】 整列状態でＸＹ方向に平面配置されたチ
ップを撮像したカメラ視野内で複数のチップを先行認識
し、その先行認識データに基づいて、ピックアップすべ
きチップをセンシングして前記カメラ視野のセンタに位
置決め配置するに際して、ピックアップすべきチップを
前記先行認識データに基づいてカメラ視野のセンタに配
置した時のセンタとのずれ量を再認識してそれを先行認
識したチップ位置の補正量とし、同じチップ位置にある
チップの先行認識時に、前回の先行認識で得られた補正
量を先行認識データに付与して前記チップをカメラ視野
のセンタに配置することを特徴とするチップ位置決め方
法。 - 【請求項２】 前記ピックアップすべきチップを先行認
識データに基づいてカメラ視野のセンタに配置した時の
センタとのずれ量を再認識してそれを先行認識したチッ
プ位置の補正量とする自動ティーチングを実行すること
を特徴とする請求項１記載のチップ位置決め方法。 - 【請求項３】 前記自動ティーチングによる補正量を先
行認識ごとに更新することを特徴とする請求項２記載の
チップ位置決め方法。 - 【請求項４】 可動テーブル上に整列状態でＸＹ方向に
平面配置されたチップを光学系により撮像して画像認識
し、その認識データに基づいて選別されたチップをアー
ム系により順次ピックアップする装置において、前記光
学系により撮像されたカメラ視野内の複数のチップを先
行認識し、その先行認識データに基づいてカメラ視野の
センタに配置した時のセンタとのずれ量を再認識し、そ
れを先行認識したチップ位置の補正量とする自動ティー
チングを実行し、その自動ティーチングによる補正量を
先行認識ごとに更新しながら、同じチップ位置にあるチ
ップの先行認識時に、前回の先行認識で得られた補正量
を先行認識データに付与する画像処理部と、その画像処
理部の出力に基づき前記可動テーブルを作動させて前記
チップをカメラ視野のセンタに配置する制御部とを具備
したことを特徴とするピックアップ装置。
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|---|---|---|---|
| JP13357495A JP3418929B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | ピックアップ装置及びチップ位置決め方法 |
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| JP13357495A JP3418929B2 (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | ピックアップ装置及びチップ位置決め方法 |
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- 1995-05-31 JP JP13357495A patent/JP3418929B2/ja not_active Expired - Fee Related
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