JP3169046B2 - チップの認識方法及びその認識装置 - Google Patents
チップの認識方法及びその認識装置Info
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
その認識装置に関し、例えば半導体装置の製造における
ダイボンディング工程等で、半導体ウェーハを細分割し
た多数のチップをパターン認識する認識方法及び認識装
置に関するものである。
イボンディング工程では、半導体ウェーハを細分割した
多数のチップを順次ピックアップし、所定のポジション
まで移送してリードフレーム上のダイボンディング位置
に位置決め載置する。
は、半導体ウェーハを各チップ単位で格子状に細分割
し、この分割されたチップをX、Y方向に位置調整して
所望のチップをピックアップポジションに位置決めした
上で、上記チップを適宜のピックアップ手段でピックア
ップする。
は、所望のチップをピックアップポジションに位置決め
するため、そのチップを画像処理してパターン認識する
必要がある。そこで、上記チップのパターン認識方法の
従来例を図4を参照しながら説明する。図5に示すよう
に、半導体ウェーハを細分割した多数のチップ(1)
(1)…をXYテーブル(2)上に整列載置し、このX
Yテーブル(2)を駆動させて所望のチップ(1)をT
V用カメラ(3)の視野内に設定して撮像し、フレーム
メモリ(5)に記憶させて該フレームメモリ(5)のデ
ータに基づいてCPU(中央演算処理回路)(6)で画
像処理を行い、チップ(1)の対角線上に位置する2点
を検出してパターン認識している。そして、このパター
ン認識に基づいて上記CPU(6)からXYテーブル駆
動回路(7)に出力信号を送出して前記XYテーブル
(2)を駆動させることにより、チップ(1)を位置補
正してピックアップポジションに位置決めした後、適宜
のピックアップ手段によりそのチップ(1)をピックア
ップしている。以後、前記動作を繰り返すことにより、
XYテーブル(2)上のチップ(1)(1)…を順次パ
ターン認識してピックアップする。
来のパターン認識方法では、チップ(1)の対角線上に
位置する2点を検出してパターン認識するようにしてい
るため、縦辺と横辺の比率が例えば100対1程度と著
しく大きい長尺なチップ(1)をパターン認識する場
合、そのチップ(1)がTV用カメラ(3)の視野内か
ら食み出してしまい、対角線上に位置する2点を検出し
てパターン認識することが困難である。そのため、従来
は、図6に示すように、まず、TV用カメラ(3)でチ
ップ(1)の上端部をその視野内に設定して撮像し、こ
のチップ(1)の上端部を1点目として検出した後、X
Yテーブル(2)でチップ(1)を移動させて、TV用
カメラ(3)でチップ(1)の下端部をその視野内に設
定して撮像し、このチップ(1)の下端部の、前記1点
目となる上端部と対角線上に位置する部分を2点目とし
て検出するようにしている。しかし、このようにする
と、1点目と2点目とが離れ過ぎているとともに、隣接
するチップ(1)との間隔が狭いため、チップ(1)が
少しでも傾いていると、2点目が隣接するチップ(1)
のものと区別ができなくなり、2点目を間違って検出し
て認識ミスが発生する可能性がある。その結果、チップ
(1)の位置決め能力が著しく低く、ピックアップがで
きなくなるという問題があった。そこで、チップ(1)
がTV用カメラ(3)の視野内から食み出さないように
該TV用カメラ(3)の倍率を下げれば、チップ(1)
の対角線上に位置する2点目のパターン部を間違いなく
検出することが可能となるが、今度はパターンが小さく
撮像され過ぎて認識することが困難であるという問題が
あった。
ので、その目的とするところは、長尺なチップに対して
認識ミスなく、かつ、精度よく位置決めすることが可能
なチップの認識方法及びその認識装置を提供することに
ある。
め、画像処理するカメラの視野内から食み出す長尺なチ
ップの両端部をパターン認識するに際し、前記長尺なチ
ップの一端部を撮像して1点目として認識した後、この
1点目の近傍に位置する前記長尺なチップの中間部を撮
像して2点目として認識し、この1点目及び2点目の2
点の認識により前記長尺なチップの位置と傾きを検出
し、この長尺なチップの傾きに基づいて該長尺なチップ
の他端部に移動しその部分を撮像して3点目として認識
して位置検出し、2番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して1点目として認識した後、1番目のチップの
傾きのデータに基づいて2番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して2点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
1点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して2点目として認識して位置検出するように
したものである。
列載置したXYテーブルと、このXYテーブルを駆動さ
せて前記チップの内の所望チップを視野内から食み出す
状態で撮像するカメラと、このカメラで撮像した映像信
号を記憶する記憶フレームメモリと、フレームメモリの
データに基づいて画像処理し、前記チップの両端部をパ
ターン認識するに際し、前記チップの一端部を前記カメ
ラで撮像して1点目として認識した後、この1点目の近
傍に位置する前記チップの中間部を撮像して2点目とし
て認識し、この1点目及び2点目の2点の認識により前
記チップの位置と傾きを検出し、この傾きに基づいて前
記チップの他端部に移動しその部分を3点目として認識
して位置検出し、2番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して1点目として認識した後、1番目のチップの
傾きのデータに基づいて2番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して2点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
1点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して2点目として認識して位置検出するCPU
と、このCPUからの出力信号を送出して前記XYテー
ブルを駆動させる駆動回路とを具備するものである。
尺なチップの傾きを検出することにより、所望の長尺な
チップを隣接する長尺なチップと間違わずに撮像して位
置検出をすることが可能である。
適用した一実施例を図1乃至図3に基づいて説明する。
図1は本発明における認識例を示す平面図、図2および
図3は認識を実行するフローチャートであり、図2は本
発明における1番目のチップ(1)を認識する場合に用
いる3点認識を示し、図3は本発明における2番目以降
のチップ(1)を認識する場合に用いる2点認識を示
す。尚、本発明における構成回路ブロック図は、従来に
よる図5に示したものと同一であり、これについては図
5を参照しながら説明する。
を細分割した多数のチップ(1)(1)…をXYテーブ
ル(2)上に整列載置し、このXYテーブル(2)を駆
動させて1番目のチップ(1)の上端部をTV用カメラ
(3)の視野内に設定する。本発明では、TV用カメラ
(3)はチップ(1)のパターンを十分に認識できる高
倍率に設定してあり、このテレビ用カメラ(3)でチッ
プ(1)の上端部を撮像し、フレームメモリ(5)に記
憶させて該フレームメモリ(5)のデータに基づいてC
PU(6)で画像処理を行い、これによりチップ(1)
の上端部を1点目として認識する。このようにしてチッ
プ(1)の上端部を1点目として認識すると、XYテー
ブル(2)を駆動させてチップ(1)を移動することに
より、このチップ(1)の上端部近傍に位置する中間部
をTV用カメラ(3)の視野内に設定し、このTV用カ
メラ(3)でチップ(1)の上端部近傍に位置する中間
部を撮像し、このチップ(1)の中間部の特徴あるパタ
ーンを2点目として認識する。この際、チップ(1)を
XYテーブル(2)によりTV用カメラ(3)が隣接す
るチップ(1)を間違って視野内に設定する可能性がな
い距離範囲で、かつ、下端部を隣接するチップ(1)と
間違わない認識精度が得られる距離だけ移動し、チップ
(1)の中間部のパターンを2点目として認識する。こ
のようにしてチップ(1)の中間部のパターンを2点目
として認識すると、この2点目と先の1点目との認識に
より得られたデータによりチップ(1)の位置と傾きを
検出し、このチップ(1)の傾きに基づいて該チップ
(1)の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づい
てXYテーブル(2)を駆動させてチップ(1)を移動
することにより、このチップ(1)の下端部を隣接する
チップ(1)と間違わないようにTV用カメラ(3)の
視野内に設定し、このTV用カメラ(3)でチップ
(1)の下端部を撮像し、このチップ(1)の下端部
の、前記1点目となる上端部と対角線上に位置する部分
を3点目として認識する。このようにしてチップ(1)
の下端部を3点目として認識すると、この3点目と先の
1点目との認識により得られたデータによりチップ
(1)を位置検出し、この位置検出に基づいてチップ
(1)を位置補正してピックアップポジションに位置決
めする。このようにしてチップ(1)をピックアップポ
ジションに位置決めすると、チップ(1)の良・不良を
判定した後、適宜のピックアップ手段によりそのチップ
(1)をピックアップする。
ックアップが完了すると、XYテーブル(2)を駆動さ
せて1番目のチップ(1)に隣接する2番目のチップ
(1)の上端部をTV用カメラ(3)の視野内に設定し
て撮像し、この2番目のチップ(1)の上端部を1点目
として認識する。このようにして2番目のチップ(1)
の上端部を1点目として認識すると、1番目のチップ
(1)の傾きのデータに基づいて2番目のチップ(1)
の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づいてXY
テーブル(2)を駆動させて2番目のチップ(1)の下
端部をTV用カメラ(3)の視野内に設定して撮像し、
この2番目のチップ(1)の下端部の、2番目のチップ
(1)の上端部と対角線上に位置する部分を2点目とし
て認識する。このようにして2番目のチップ(1)の下
端部を2点目として認識すると、この2点目と先の1点
目との認識により得られたデータにより2番目のチップ
(1)を位置検出し、この位置検出に基づいて2番目の
チップ(1)を位置補正してピックアップポジションに
位置決めする。このようにして2番目のチップ(1)を
ピックアップポジションに位置決めすると、2番目のチ
ップ(1)の良・不良を判定した後、適宜のピックアッ
プ手段によりそのチップ(1)をピックアップする。
ックアップが完了すると、以後は前記2番目のチップ
(1)の動作を繰り返すことにより、XYテーブル
(2)上のチップ(1)(1)…を順次パターン認識し
てピックアップする。
ップが完了するか、或いは、チップ(1)が次列に移行
すると、再び前記1番目のチップ(1)の動作に戻り、
1番目のチップ(1)をピックアップ後は、再び2番目
のチップ(1)の動作を繰り返すことにより、XYテー
ブル(2)上のチップ(1)(1)…のピックアップを
終了する。
るダイボンディング工程のチップをパターン認識に適用
しているが、本発明はこれ以外のパターン認識にも適用
可能であるのは勿論である。
野内から食み出す長尺なチップの傾きを検出することに
より、所望の長尺なチップを隣接する長尺なチップと間
違えることなく撮像して位置検出をすることができるの
で、長尺なチップに対して認識ミスなく、かつ、精度よ
く位置決めすることが可能である。
ートである。
ートである。
ートである。
のパターン認識を説明するための構成回路ブロック図で
ある。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】画像処理するカメラの視野内から食み出す
長尺なチップの両端部をパターン認識するに際し、前記
長尺なチップの一端部を撮像して1点目として認識した
後、この1点目の近傍に位置する前記長尺なチップの中
間部を撮像して2点目として認識し、この1点目及び2
点目の2点の認識により前記長尺なチップの位置と傾き
を検出し、この長尺なチップの傾きに基づいて該長尺な
チップの他端部に移動しその部分を撮像して3点目とし
て認識して位置検出し、2番目のチップはこのチップの
一端部を撮像して1点目として認識した後、1番目のチ
ップの傾きのデータに基づいて2番目のチップの他端部
に移動しその部分を撮像して2点目として認識して位置
検出し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像
して1点目として認識した後、直前のチップの傾きのデ
ータに基づいて位置検出するチップの他端部に移動しそ
の部分を撮像して2点目として認識して位置検出するよ
うにしたことを特徴とするチップの認識方法。 - 【請求項2】細分化した多数の長尺なチップを整列載置
したXYテーブルと、このXYテーブルを駆動させて前
記チップの内の所望チップを視野内から食み出す状態で
撮像するカメラと、このカメラで撮像した映像信号を記
憶する記憶フレームメモリと、フレームメモリのデータ
に基づいて画像処理し、前記チップの両端部をパターン
認識するに際し、前記チップの一端部を前記カメラで撮
像して1点目として認識した後、この1点目の近傍に位
置する前記チップの中間部を撮像して2点目として認識
し、この1点目及び2点目の2点の認識により前記チッ
プの位置と傾きを検出し、この傾きに基づいて前記チッ
プの他端部に移動しその部分を3点目として認識して位
置検出し、2番目のチップはこのチップの一端部を撮像
して1点目として認識した後、1番目のチップの傾きの
データに基づいて2番目のチップの他端部に移動しその
部分を撮像して2点目として認識して位置検出し、以降
同様に位置検出するチップの一端部を撮像して1点目と
して認識した後、直前のチップの傾きのデータに基づい
て位置検出するチップの他端部に移動しその部分を撮像
して2点目として認識して位置検出するCPUと、この
CPUからの出力信号を送出して前記XYテーブルを駆
動させる駆動回路とを具備するチップの認識装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8441295A JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8441295A JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08288366A JPH08288366A (ja) | 1996-11-01 |
JP3169046B2 true JP3169046B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=13829883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP8441295A Expired - Fee Related JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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---|---|---|---|---|
CN112786509B (zh) * | 2021-01-26 | 2024-02-23 | 江苏优普纳科技有限公司 | 一种定位系统、定位方法及计算设备 |
-
1995
- 1995-04-11 JP JP8441295A patent/JP3169046B2/ja not_active Expired - Fee Related
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