JP3169046B2 - チップの認識方法及びその認識装置 - Google Patents
チップの認識方法及びその認識装置Info
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- JP3169046B2 JP3169046B2 JP8441295A JP8441295A JP3169046B2 JP 3169046 B2 JP3169046 B2 JP 3169046B2 JP 8441295 A JP8441295 A JP 8441295A JP 8441295 A JP8441295 A JP 8441295A JP 3169046 B2 JP3169046 B2 JP 3169046B2
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- Die Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、チップの認識方法及び
その認識装置に関し、例えば半導体装置の製造における
ダイボンディング工程等で、半導体ウェーハを細分割し
た多数のチップをパターン認識する認識方法及び認識装
置に関するものである。
その認識装置に関し、例えば半導体装置の製造における
ダイボンディング工程等で、半導体ウェーハを細分割し
た多数のチップをパターン認識する認識方法及び認識装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体装置の製造工程におけるダ
イボンディング工程では、半導体ウェーハを細分割した
多数のチップを順次ピックアップし、所定のポジション
まで移送してリードフレーム上のダイボンディング位置
に位置決め載置する。
イボンディング工程では、半導体ウェーハを細分割した
多数のチップを順次ピックアップし、所定のポジション
まで移送してリードフレーム上のダイボンディング位置
に位置決め載置する。
【０００３】上記チップのピックアップ作業に際して
は、半導体ウェーハを各チップ単位で格子状に細分割
し、この分割されたチップをＸ、Ｙ方向に位置調整して
所望のチップをピックアップポジションに位置決めした
上で、上記チップを適宜のピックアップ手段でピックア
ップする。
は、半導体ウェーハを各チップ単位で格子状に細分割
し、この分割されたチップをＸ、Ｙ方向に位置調整して
所望のチップをピックアップポジションに位置決めした
上で、上記チップを適宜のピックアップ手段でピックア
ップする。
【０００４】ところで、上記チップのピックアップ時に
は、所望のチップをピックアップポジションに位置決め
するため、そのチップを画像処理してパターン認識する
必要がある。そこで、上記チップのパターン認識方法の
従来例を図４を参照しながら説明する。図５に示すよう
に、半導体ウェーハを細分割した多数のチップ（１）
（１）…をＸＹテーブル（２）上に整列載置し、このＸ
Ｙテーブル（２）を駆動させて所望のチップ（１）をＴ
Ｖ用カメラ（３）の視野内に設定して撮像し、フレーム
メモリ（５）に記憶させて該フレームメモリ（５）のデ
ータに基づいてＣＰＵ（中央演算処理回路）（６）で画
像処理を行い、チップ（１）の対角線上に位置する２点
を検出してパターン認識している。そして、このパター
ン認識に基づいて上記ＣＰＵ（６）からＸＹテーブル駆
動回路（７）に出力信号を送出して前記ＸＹテーブル
（２）を駆動させることにより、チップ（１）を位置補
正してピックアップポジションに位置決めした後、適宜
のピックアップ手段によりそのチップ（１）をピックア
ップしている。以後、前記動作を繰り返すことにより、
ＸＹテーブル（２）上のチップ（１）（１）…を順次パ
ターン認識してピックアップする。
は、所望のチップをピックアップポジションに位置決め
するため、そのチップを画像処理してパターン認識する
必要がある。そこで、上記チップのパターン認識方法の
従来例を図４を参照しながら説明する。図５に示すよう
に、半導体ウェーハを細分割した多数のチップ（１）
（１）…をＸＹテーブル（２）上に整列載置し、このＸ
Ｙテーブル（２）を駆動させて所望のチップ（１）をＴ
Ｖ用カメラ（３）の視野内に設定して撮像し、フレーム
メモリ（５）に記憶させて該フレームメモリ（５）のデ
ータに基づいてＣＰＵ（中央演算処理回路）（６）で画
像処理を行い、チップ（１）の対角線上に位置する２点
を検出してパターン認識している。そして、このパター
ン認識に基づいて上記ＣＰＵ（６）からＸＹテーブル駆
動回路（７）に出力信号を送出して前記ＸＹテーブル
（２）を駆動させることにより、チップ（１）を位置補
正してピックアップポジションに位置決めした後、適宜
のピックアップ手段によりそのチップ（１）をピックア
ップしている。以後、前記動作を繰り返すことにより、
ＸＹテーブル（２）上のチップ（１）（１）…を順次パ
ターン認識してピックアップする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のパターン認識方法では、チップ（１）の対角線上に
位置する２点を検出してパターン認識するようにしてい
るため、縦辺と横辺の比率が例えば１００対１程度と著
しく大きい長尺なチップ（１）をパターン認識する場
合、そのチップ（１）がＴＶ用カメラ（３）の視野内か
ら食み出してしまい、対角線上に位置する２点を検出し
てパターン認識することが困難である。そのため、従来
は、図６に示すように、まず、ＴＶ用カメラ（３）でチ
ップ（１）の上端部をその視野内に設定して撮像し、こ
のチップ（１）の上端部を１点目として検出した後、Ｘ
Ｙテーブル（２）でチップ（１）を移動させて、ＴＶ用
カメラ（３）でチップ（１）の下端部をその視野内に設
定して撮像し、このチップ（１）の下端部の、前記１点
目となる上端部と対角線上に位置する部分を２点目とし
て検出するようにしている。しかし、このようにする
と、１点目と２点目とが離れ過ぎているとともに、隣接
するチップ（１）との間隔が狭いため、チップ（１）が
少しでも傾いていると、２点目が隣接するチップ（１）
のものと区別ができなくなり、２点目を間違って検出し
て認識ミスが発生する可能性がある。その結果、チップ
（１）の位置決め能力が著しく低く、ピックアップがで
きなくなるという問題があった。そこで、チップ（１）
がＴＶ用カメラ（３）の視野内から食み出さないように
該ＴＶ用カメラ（３）の倍率を下げれば、チップ（１）
の対角線上に位置する２点目のパターン部を間違いなく
検出することが可能となるが、今度はパターンが小さく
撮像され過ぎて認識することが困難であるという問題が
あった。
来のパターン認識方法では、チップ（１）の対角線上に
位置する２点を検出してパターン認識するようにしてい
るため、縦辺と横辺の比率が例えば１００対１程度と著
しく大きい長尺なチップ（１）をパターン認識する場
合、そのチップ（１）がＴＶ用カメラ（３）の視野内か
ら食み出してしまい、対角線上に位置する２点を検出し
てパターン認識することが困難である。そのため、従来
は、図６に示すように、まず、ＴＶ用カメラ（３）でチ
ップ（１）の上端部をその視野内に設定して撮像し、こ
のチップ（１）の上端部を１点目として検出した後、Ｘ
Ｙテーブル（２）でチップ（１）を移動させて、ＴＶ用
カメラ（３）でチップ（１）の下端部をその視野内に設
定して撮像し、このチップ（１）の下端部の、前記１点
目となる上端部と対角線上に位置する部分を２点目とし
て検出するようにしている。しかし、このようにする
と、１点目と２点目とが離れ過ぎているとともに、隣接
するチップ（１）との間隔が狭いため、チップ（１）が
少しでも傾いていると、２点目が隣接するチップ（１）
のものと区別ができなくなり、２点目を間違って検出し
て認識ミスが発生する可能性がある。その結果、チップ
（１）の位置決め能力が著しく低く、ピックアップがで
きなくなるという問題があった。そこで、チップ（１）
がＴＶ用カメラ（３）の視野内から食み出さないように
該ＴＶ用カメラ（３）の倍率を下げれば、チップ（１）
の対角線上に位置する２点目のパターン部を間違いなく
検出することが可能となるが、今度はパターンが小さく
撮像され過ぎて認識することが困難であるという問題が
あった。
【０００６】本発明は上記問題点に鑑みて提案されたも
ので、その目的とするところは、長尺なチップに対して
認識ミスなく、かつ、精度よく位置決めすることが可能
なチップの認識方法及びその認識装置を提供することに
ある。
ので、その目的とするところは、長尺なチップに対して
認識ミスなく、かつ、精度よく位置決めすることが可能
なチップの認識方法及びその認識装置を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決する手段】本発明は上記目的を達成するた
め、画像処理するカメラの視野内から食み出す長尺なチ
ップの両端部をパターン認識するに際し、前記長尺なチ
ップの一端部を撮像して１点目として認識した後、この
１点目の近傍に位置する前記長尺なチップの中間部を撮
像して２点目として認識し、この１点目及び２点目の２
点の認識により前記長尺なチップの位置と傾きを検出
し、この長尺なチップの傾きに基づいて該長尺なチップ
の他端部に移動しその部分を撮像して３点目として認識
して位置検出し、２番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して１点目として認識した後、１番目のチップの
傾きのデータに基づいて２番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して２点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
１点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して２点目として認識して位置検出するように
したものである。
め、画像処理するカメラの視野内から食み出す長尺なチ
ップの両端部をパターン認識するに際し、前記長尺なチ
ップの一端部を撮像して１点目として認識した後、この
１点目の近傍に位置する前記長尺なチップの中間部を撮
像して２点目として認識し、この１点目及び２点目の２
点の認識により前記長尺なチップの位置と傾きを検出
し、この長尺なチップの傾きに基づいて該長尺なチップ
の他端部に移動しその部分を撮像して３点目として認識
して位置検出し、２番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して１点目として認識した後、１番目のチップの
傾きのデータに基づいて２番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して２点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
１点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して２点目として認識して位置検出するように
したものである。
【０００８】また、細分化した多数の長尺なチップを整
列載置したＸＹテーブルと、このＸＹテーブルを駆動さ
せて前記チップの内の所望チップを視野内から食み出す
状態で撮像するカメラと、このカメラで撮像した映像信
号を記憶する記憶フレームメモリと、フレームメモリの
データに基づいて画像処理し、前記チップの両端部をパ
ターン認識するに際し、前記チップの一端部を前記カメ
ラで撮像して１点目として認識した後、この１点目の近
傍に位置する前記チップの中間部を撮像して２点目とし
て認識し、この１点目及び２点目の２点の認識により前
記チップの位置と傾きを検出し、この傾きに基づいて前
記チップの他端部に移動しその部分を３点目として認識
して位置検出し、２番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して１点目として認識した後、１番目のチップの
傾きのデータに基づいて２番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して２点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
１点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して２点目として認識して位置検出するＣＰＵ
と、このＣＰＵからの出力信号を送出して前記ＸＹテー
ブルを駆動させる駆動回路とを具備するものである。
列載置したＸＹテーブルと、このＸＹテーブルを駆動さ
せて前記チップの内の所望チップを視野内から食み出す
状態で撮像するカメラと、このカメラで撮像した映像信
号を記憶する記憶フレームメモリと、フレームメモリの
データに基づいて画像処理し、前記チップの両端部をパ
ターン認識するに際し、前記チップの一端部を前記カメ
ラで撮像して１点目として認識した後、この１点目の近
傍に位置する前記チップの中間部を撮像して２点目とし
て認識し、この１点目及び２点目の２点の認識により前
記チップの位置と傾きを検出し、この傾きに基づいて前
記チップの他端部に移動しその部分を３点目として認識
して位置検出し、２番目のチップはこのチップの一端部
を撮像して１点目として認識した後、１番目のチップの
傾きのデータに基づいて２番目のチップの他端部に移動
しその部分を撮像して２点目として認識して位置検出
し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像して
１点目として認識した後、直前のチップの傾きのデータ
に基づいて位置検出するチップの他端部に移動しその部
分を撮像して２点目として認識して位置検出するＣＰＵ
と、このＣＰＵからの出力信号を送出して前記ＸＹテー
ブルを駆動させる駆動回路とを具備するものである。
【０００９】
【作用】本発明によれば、カメラ視野内から食み出す長
尺なチップの傾きを検出することにより、所望の長尺な
チップを隣接する長尺なチップと間違わずに撮像して位
置検出をすることが可能である。
尺なチップの傾きを検出することにより、所望の長尺な
チップを隣接する長尺なチップと間違わずに撮像して位
置検出をすることが可能である。
【００１０】
【実施例】本発明を半導体装置のチップマウント工程に
適用した一実施例を図１乃至図３に基づいて説明する。
図１は本発明における認識例を示す平面図、図２および
図３は認識を実行するフローチャートであり、図２は本
発明における１番目のチップ（１）を認識する場合に用
いる３点認識を示し、図３は本発明における２番目以降
のチップ（１）を認識する場合に用いる２点認識を示
す。尚、本発明における構成回路ブロック図は、従来に
よる図５に示したものと同一であり、これについては図
５を参照しながら説明する。
適用した一実施例を図１乃至図３に基づいて説明する。
図１は本発明における認識例を示す平面図、図２および
図３は認識を実行するフローチャートであり、図２は本
発明における１番目のチップ（１）を認識する場合に用
いる３点認識を示し、図３は本発明における２番目以降
のチップ（１）を認識する場合に用いる２点認識を示
す。尚、本発明における構成回路ブロック図は、従来に
よる図５に示したものと同一であり、これについては図
５を参照しながら説明する。
【００１１】まず、図５に示すように、半導体ウェーハ
を細分割した多数のチップ（１）（１）…をＸＹテーブ
ル（２）上に整列載置し、このＸＹテーブル（２）を駆
動させて１番目のチップ（１）の上端部をＴＶ用カメラ
（３）の視野内に設定する。本発明では、ＴＶ用カメラ
（３）はチップ（１）のパターンを十分に認識できる高
倍率に設定してあり、このテレビ用カメラ（３）でチッ
プ（１）の上端部を撮像し、フレームメモリ（５）に記
憶させて該フレームメモリ（５）のデータに基づいてＣ
ＰＵ（６）で画像処理を行い、これによりチップ（１）
の上端部を１点目として認識する。このようにしてチッ
プ（１）の上端部を１点目として認識すると、ＸＹテー
ブル（２）を駆動させてチップ（１）を移動することに
より、このチップ（１）の上端部近傍に位置する中間部
をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定し、このＴＶ用カ
メラ（３）でチップ（１）の上端部近傍に位置する中間
部を撮像し、このチップ（１）の中間部の特徴あるパタ
ーンを２点目として認識する。この際、チップ（１）を
ＸＹテーブル（２）によりＴＶ用カメラ（３）が隣接す
るチップ（１）を間違って視野内に設定する可能性がな
い距離範囲で、かつ、下端部を隣接するチップ（１）と
間違わない認識精度が得られる距離だけ移動し、チップ
（１）の中間部のパターンを２点目として認識する。こ
のようにしてチップ（１）の中間部のパターンを２点目
として認識すると、この２点目と先の１点目との認識に
より得られたデータによりチップ（１）の位置と傾きを
検出し、このチップ（１）の傾きに基づいて該チップ
（１）の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づい
てＸＹテーブル（２）を駆動させてチップ（１）を移動
することにより、このチップ（１）の下端部を隣接する
チップ（１）と間違わないようにＴＶ用カメラ（３）の
視野内に設定し、このＴＶ用カメラ（３）でチップ
（１）の下端部を撮像し、このチップ（１）の下端部
の、前記１点目となる上端部と対角線上に位置する部分
を３点目として認識する。このようにしてチップ（１）
の下端部を３点目として認識すると、この３点目と先の
１点目との認識により得られたデータによりチップ
（１）を位置検出し、この位置検出に基づいてチップ
（１）を位置補正してピックアップポジションに位置決
めする。このようにしてチップ（１）をピックアップポ
ジションに位置決めすると、チップ（１）の良・不良を
判定した後、適宜のピックアップ手段によりそのチップ
（１）をピックアップする。
を細分割した多数のチップ（１）（１）…をＸＹテーブ
ル（２）上に整列載置し、このＸＹテーブル（２）を駆
動させて１番目のチップ（１）の上端部をＴＶ用カメラ
（３）の視野内に設定する。本発明では、ＴＶ用カメラ
（３）はチップ（１）のパターンを十分に認識できる高
倍率に設定してあり、このテレビ用カメラ（３）でチッ
プ（１）の上端部を撮像し、フレームメモリ（５）に記
憶させて該フレームメモリ（５）のデータに基づいてＣ
ＰＵ（６）で画像処理を行い、これによりチップ（１）
の上端部を１点目として認識する。このようにしてチッ
プ（１）の上端部を１点目として認識すると、ＸＹテー
ブル（２）を駆動させてチップ（１）を移動することに
より、このチップ（１）の上端部近傍に位置する中間部
をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定し、このＴＶ用カ
メラ（３）でチップ（１）の上端部近傍に位置する中間
部を撮像し、このチップ（１）の中間部の特徴あるパタ
ーンを２点目として認識する。この際、チップ（１）を
ＸＹテーブル（２）によりＴＶ用カメラ（３）が隣接す
るチップ（１）を間違って視野内に設定する可能性がな
い距離範囲で、かつ、下端部を隣接するチップ（１）と
間違わない認識精度が得られる距離だけ移動し、チップ
（１）の中間部のパターンを２点目として認識する。こ
のようにしてチップ（１）の中間部のパターンを２点目
として認識すると、この２点目と先の１点目との認識に
より得られたデータによりチップ（１）の位置と傾きを
検出し、このチップ（１）の傾きに基づいて該チップ
（１）の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づい
てＸＹテーブル（２）を駆動させてチップ（１）を移動
することにより、このチップ（１）の下端部を隣接する
チップ（１）と間違わないようにＴＶ用カメラ（３）の
視野内に設定し、このＴＶ用カメラ（３）でチップ
（１）の下端部を撮像し、このチップ（１）の下端部
の、前記１点目となる上端部と対角線上に位置する部分
を３点目として認識する。このようにしてチップ（１）
の下端部を３点目として認識すると、この３点目と先の
１点目との認識により得られたデータによりチップ
（１）を位置検出し、この位置検出に基づいてチップ
（１）を位置補正してピックアップポジションに位置決
めする。このようにしてチップ（１）をピックアップポ
ジションに位置決めすると、チップ（１）の良・不良を
判定した後、適宜のピックアップ手段によりそのチップ
（１）をピックアップする。
【００１２】このようにして１番目のチップ（１）のピ
ックアップが完了すると、ＸＹテーブル（２）を駆動さ
せて１番目のチップ（１）に隣接する２番目のチップ
（１）の上端部をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定し
て撮像し、この２番目のチップ（１）の上端部を１点目
として認識する。このようにして２番目のチップ（１）
の上端部を１点目として認識すると、１番目のチップ
（１）の傾きのデータに基づいて２番目のチップ（１）
の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づいてＸＹ
テーブル（２）を駆動させて２番目のチップ（１）の下
端部をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定して撮像し、
この２番目のチップ（１）の下端部の、２番目のチップ
（１）の上端部と対角線上に位置する部分を２点目とし
て認識する。このようにして２番目のチップ（１）の下
端部を２点目として認識すると、この２点目と先の１点
目との認識により得られたデータにより２番目のチップ
（１）を位置検出し、この位置検出に基づいて２番目の
チップ（１）を位置補正してピックアップポジションに
位置決めする。このようにして２番目のチップ（１）を
ピックアップポジションに位置決めすると、２番目のチ
ップ（１）の良・不良を判定した後、適宜のピックアッ
プ手段によりそのチップ（１）をピックアップする。
ックアップが完了すると、ＸＹテーブル（２）を駆動さ
せて１番目のチップ（１）に隣接する２番目のチップ
（１）の上端部をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定し
て撮像し、この２番目のチップ（１）の上端部を１点目
として認識する。このようにして２番目のチップ（１）
の上端部を１点目として認識すると、１番目のチップ
（１）の傾きのデータに基づいて２番目のチップ（１）
の下端部の位置を計算し、この計算位置に基づいてＸＹ
テーブル（２）を駆動させて２番目のチップ（１）の下
端部をＴＶ用カメラ（３）の視野内に設定して撮像し、
この２番目のチップ（１）の下端部の、２番目のチップ
（１）の上端部と対角線上に位置する部分を２点目とし
て認識する。このようにして２番目のチップ（１）の下
端部を２点目として認識すると、この２点目と先の１点
目との認識により得られたデータにより２番目のチップ
（１）を位置検出し、この位置検出に基づいて２番目の
チップ（１）を位置補正してピックアップポジションに
位置決めする。このようにして２番目のチップ（１）を
ピックアップポジションに位置決めすると、２番目のチ
ップ（１）の良・不良を判定した後、適宜のピックアッ
プ手段によりそのチップ（１）をピックアップする。
【００１３】このようにして２番目のチップ（１）のピ
ックアップが完了すると、以後は前記２番目のチップ
（１）の動作を繰り返すことにより、ＸＹテーブル
（２）上のチップ（１）（１）…を順次パターン認識し
てピックアップする。
ックアップが完了すると、以後は前記２番目のチップ
（１）の動作を繰り返すことにより、ＸＹテーブル
（２）上のチップ（１）（１）…を順次パターン認識し
てピックアップする。
【００１４】そして、所定数のチップ（１）のピックア
ップが完了するか、或いは、チップ（１）が次列に移行
すると、再び前記１番目のチップ（１）の動作に戻り、
１番目のチップ（１）をピックアップ後は、再び２番目
のチップ（１）の動作を繰り返すことにより、ＸＹテー
ブル（２）上のチップ（１）（１）…のピックアップを
終了する。
ップが完了するか、或いは、チップ（１）が次列に移行
すると、再び前記１番目のチップ（１）の動作に戻り、
１番目のチップ（１）をピックアップ後は、再び２番目
のチップ（１）の動作を繰り返すことにより、ＸＹテー
ブル（２）上のチップ（１）（１）…のピックアップを
終了する。
【００１５】尚、上記実施例は半導体装置の製造におけ
るダイボンディング工程のチップをパターン認識に適用
しているが、本発明はこれ以外のパターン認識にも適用
可能であるのは勿論である。
るダイボンディング工程のチップをパターン認識に適用
しているが、本発明はこれ以外のパターン認識にも適用
可能であるのは勿論である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、カメラ視
野内から食み出す長尺なチップの傾きを検出することに
より、所望の長尺なチップを隣接する長尺なチップと間
違えることなく撮像して位置検出をすることができるの
で、長尺なチップに対して認識ミスなく、かつ、精度よ
く位置決めすることが可能である。
野内から食み出す長尺なチップの傾きを検出することに
より、所望の長尺なチップを隣接する長尺なチップと間
違えることなく撮像して位置検出をすることができるの
で、長尺なチップに対して認識ミスなく、かつ、精度よ
く位置決めすることが可能である。
【図１】本発明における認識例を示す平面図である。
【図２】本発明における３点認識を実行するフローチャ
ートである。
ートである。
【図３】本発明における２点認識を実行するフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】従来におけるチップ認識を実行するフローチャ
ートである。
ートである。
【図５】半導体装置製造におけるチップマウント工程で
のパターン認識を説明するための構成回路ブロック図で
ある。
のパターン認識を説明するための構成回路ブロック図で
ある。
【図６】従来の長尺チップの認識例を示す平面図であ
る。
る。
１ チップ ２ ＸＹテーブル ３ ＴＶ用カメラ ５ フレームメモリ ６ ＣＰＵ（中央演算処理回路） ７ ＸＹテーブル駆動回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/52 Ｈ０１Ｌ 21/52 Ｆ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 G01B 11/00 G01B 11/26 G05D 3/12 G06T 7/60 150 H01L 21/52
Claims (2)
- 【請求項１】画像処理するカメラの視野内から食み出す
長尺なチップの両端部をパターン認識するに際し、前記
長尺なチップの一端部を撮像して１点目として認識した
後、この１点目の近傍に位置する前記長尺なチップの中
間部を撮像して２点目として認識し、この１点目及び２
点目の２点の認識により前記長尺なチップの位置と傾き
を検出し、この長尺なチップの傾きに基づいて該長尺な
チップの他端部に移動しその部分を撮像して３点目とし
て認識して位置検出し、２番目のチップはこのチップの
一端部を撮像して１点目として認識した後、１番目のチ
ップの傾きのデータに基づいて２番目のチップの他端部
に移動しその部分を撮像して２点目として認識して位置
検出し、以降同様に位置検出するチップの一端部を撮像
して１点目として認識した後、直前のチップの傾きのデ
ータに基づいて位置検出するチップの他端部に移動しそ
の部分を撮像して２点目として認識して位置検出するよ
うにしたことを特徴とするチップの認識方法。 - 【請求項２】細分化した多数の長尺なチップを整列載置
したＸＹテーブルと、このＸＹテーブルを駆動させて前
記チップの内の所望チップを視野内から食み出す状態で
撮像するカメラと、このカメラで撮像した映像信号を記
憶する記憶フレームメモリと、フレームメモリのデータ
に基づいて画像処理し、前記チップの両端部をパターン
認識するに際し、前記チップの一端部を前記カメラで撮
像して１点目として認識した後、この１点目の近傍に位
置する前記チップの中間部を撮像して２点目として認識
し、この１点目及び２点目の２点の認識により前記チッ
プの位置と傾きを検出し、この傾きに基づいて前記チッ
プの他端部に移動しその部分を３点目として認識して位
置検出し、２番目のチップはこのチップの一端部を撮像
して１点目として認識した後、１番目のチップの傾きの
データに基づいて２番目のチップの他端部に移動しその
部分を撮像して２点目として認識して位置検出し、以降
同様に位置検出するチップの一端部を撮像して１点目と
して認識した後、直前のチップの傾きのデータに基づい
て位置検出するチップの他端部に移動しその部分を撮像
して２点目として認識して位置検出するＣＰＵと、この
ＣＰＵからの出力信号を送出して前記ＸＹテーブルを駆
動させる駆動回路とを具備するチップの認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8441295A JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8441295A JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288366A JPH08288366A (ja) | 1996-11-01 |
| JP3169046B2 true JP3169046B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=13829883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8441295A Expired - Fee Related JP3169046B2 (ja) | 1995-04-11 | 1995-04-11 | チップの認識方法及びその認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169046B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112786509B (zh) * | 2021-01-26 | 2024-02-23 | 江苏优普纳科技有限公司 | 一种定位系统、定位方法及计算设备 |
-
1995
- 1995-04-11 JP JP8441295A patent/JP3169046B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08288366A (ja) | 1996-11-01 |
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