JP3223411B2 - ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 - Google Patents
ダイシング装置のアライメント方法及びその装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアライメント方法及びそ
の装置に係り、特に、ガリウム砒素、ＬＥＤのウェーハ
に多く見られるように、同一ウェーハ面上に多数のフェ
イルマークが付されたウェーハをダイシングする場合の
アライメント方法及びその装置に関する。
の装置に係り、特に、ガリウム砒素、ＬＥＤのウェーハ
に多く見られるように、同一ウェーハ面上に多数のフェ
イルマークが付されたウェーハをダイシングする場合の
アライメント方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハのアライメント（平行合わせと
位置決め）は、ウェーハ上の特定位置におけるパター
ン、例えばＩＣパターン（集積回路パターン）或いはウ
ェーハ上に設けられたマーク等を撮像した画像データか
らのモデル画像パターン（又は画像データを電気信号に
変換したもの）を、アライメントを実行する前に記憶
し、この記憶されたモデル画像パターンと一致する現画
像パターンをウェーハ面上でサーチして見つけ出すこと
によりアライメントを実行している。もし、一度で見つ
からなければ順次近傍に移動して一致するパターンをサ
ーチする。
位置決め）は、ウェーハ上の特定位置におけるパター
ン、例えばＩＣパターン（集積回路パターン）或いはウ
ェーハ上に設けられたマーク等を撮像した画像データか
らのモデル画像パターン（又は画像データを電気信号に
変換したもの）を、アライメントを実行する前に記憶
し、この記憶されたモデル画像パターンと一致する現画
像パターンをウェーハ面上でサーチして見つけ出すこと
によりアライメントを実行している。もし、一度で見つ
からなければ順次近傍に移動して一致するパターンをサ
ーチする。
【０００３】そして、小チップ（０．３ｍｍ×０．３ｍ
ｍ程度）のウェーハ、特にガリウム砒素、ＬＥＤのウェ
ーハでは、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマーク
（不良品マーク）の付されたウェーハがあり、アライメ
ントは上記した要領で行われる。
ｍ程度）のウェーハ、特にガリウム砒素、ＬＥＤのウェ
ーハでは、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマーク
（不良品マーク）の付されたウェーハがあり、アライメ
ントは上記した要領で行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多数の
フェイルマークの付されたウェーハのアライメントを上
記の如く行う場合、フェイルマークの付されたものに対
してモデル画像パターンと同一のものが見つけられない
としてフェイルマークの付されていないチップを見つけ
るまで順次サーチを繰り返す。例えば、図３に示すよう
に、ウェーハ１の上から一段目のチップ列（図３におけ
る一番上の列）のフェイルマーク２の付されているチッ
プ３から３段目のチップ列にあるフェイルマーク２の付
されていないチップ４まで２０個のチップを順番にサー
チしなくてはならない。従って、ウェーハ１面上でモデ
ル画像パターンと一致する現画像パターンを見つけ出す
のに時間がかかりすぎて本来のアライメントの作業能率
が悪くなるという欠点があった。
フェイルマークの付されたウェーハのアライメントを上
記の如く行う場合、フェイルマークの付されたものに対
してモデル画像パターンと同一のものが見つけられない
としてフェイルマークの付されていないチップを見つけ
るまで順次サーチを繰り返す。例えば、図３に示すよう
に、ウェーハ１の上から一段目のチップ列（図３におけ
る一番上の列）のフェイルマーク２の付されているチッ
プ３から３段目のチップ列にあるフェイルマーク２の付
されていないチップ４まで２０個のチップを順番にサー
チしなくてはならない。従って、ウェーハ１面上でモデ
ル画像パターンと一致する現画像パターンを見つけ出す
のに時間がかかりすぎて本来のアライメントの作業能率
が悪くなるという欠点があった。
【０００５】また、フェイルマーク２が多い場合にはモ
デル画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか
見つからないので、コントローラ（コンピュータ）がア
ライメント不能と判断する場合がありアライメントがで
きなくなるという欠点があった。この結果、自動アライ
メントできないウェーハは、再度マニュアルダイサ等で
人手によりアライメントを行う等の作業を必要とし、効
率の悪い作業となる。
デル画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか
見つからないので、コントローラ（コンピュータ）がア
ライメント不能と判断する場合がありアライメントがで
きなくなるという欠点があった。この結果、自動アライ
メントできないウェーハは、再度マニュアルダイサ等で
人手によりアライメントを行う等の作業を必要とし、効
率の悪い作業となる。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、多数のフェイルマークが付されたウェーハで
もアライメント時間を大幅に短縮することのできるアラ
イメント方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
たもので、多数のフェイルマークが付されたウェーハで
もアライメント時間を大幅に短縮することのできるアラ
イメント方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ダイシングにより切り離される前の多数のチ
ップが配列されたウェーハ面のＩＣ等のパターンを撮像
記憶し、その撮像記憶されたパターンと一致するパター
ンをウェーハ面をサーチして見つけ出すことによりウェ
ーハを所望位置にアライメントしてダイシングするダイ
シング装置のアライメント方法に於いて、前記アライメ
ントを行う前に、ウェーハ撮像装置で多数のチップが配
列されたウェーハ面の全面を撮像して、その画像データ
からフェイルマークの付されているチップと付されてい
ないチップを識別し、フェイルマークが付されていない
チップの座標をコントローラに出力し、コントローラは
ウェーハ全体のマップ座標の中から前記フェイルマーク
が付されていないチップの座標のみをアライメント用顕
微鏡がサーチするように、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構
及び回転駆動機構にウェーハの移動座標を指示すること
によって、前記切り離す前のウェーハ面上における前記
フェイルマークが付されていない領域を見つけ出し、該
領域中から撮像記憶されたモデル画像パターンと一致す
る現画像パターンを見つけ出すことによりアライメント
を行うことを特徴とする。
する為に、ダイシングにより切り離される前の多数のチ
ップが配列されたウェーハ面のＩＣ等のパターンを撮像
記憶し、その撮像記憶されたパターンと一致するパター
ンをウェーハ面をサーチして見つけ出すことによりウェ
ーハを所望位置にアライメントしてダイシングするダイ
シング装置のアライメント方法に於いて、前記アライメ
ントを行う前に、ウェーハ撮像装置で多数のチップが配
列されたウェーハ面の全面を撮像して、その画像データ
からフェイルマークの付されているチップと付されてい
ないチップを識別し、フェイルマークが付されていない
チップの座標をコントローラに出力し、コントローラは
ウェーハ全体のマップ座標の中から前記フェイルマーク
が付されていないチップの座標のみをアライメント用顕
微鏡がサーチするように、Ｘ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構
及び回転駆動機構にウェーハの移動座標を指示すること
によって、前記切り離す前のウェーハ面上における前記
フェイルマークが付されていない領域を見つけ出し、該
領域中から撮像記憶されたモデル画像パターンと一致す
る現画像パターンを見つけ出すことによりアライメント
を行うことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、アライメントを行う前に多数
のチップが配列されたウェーハ面全体を第２の撮像手段
で撮像してその画像データからフェイルマークの付され
ているチップと付されていないチップを識別手段で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみを見つけ出してウェーハを所望位置に
アライメントする。これにより、フェイルマークの付さ
れているチップはサーチされないので、アライメント時
間を短縮できる。
のチップが配列されたウェーハ面全体を第２の撮像手段
で撮像してその画像データからフェイルマークの付され
ているチップと付されていないチップを識別手段で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみを見つけ出してウェーハを所望位置に
アライメントする。これにより、フェイルマークの付さ
れているチップはサーチされないので、アライメント時
間を短縮できる。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るアライメ
ント方法及びその装置の好ましい実施例について詳説す
る。図１は本発明のアライメント装置を備えたダイシン
グマシンの例で、ダイシングマシンの概略外観図であ
る。また、図２は本発明のアライメント装置の構成を説
明するための装置構成図である。
ント方法及びその装置の好ましい実施例について詳説す
る。図１は本発明のアライメント装置を備えたダイシン
グマシンの例で、ダイシングマシンの概略外観図であ
る。また、図２は本発明のアライメント装置の構成を説
明するための装置構成図である。
【００１０】図１に示すように、ダイシングマシン１０
は、装置本体内の図示しないカセットに収納されたウェ
ーハ１２がエレベータ１３上に載置され、ここから図示
しない搬送アームによりプリロードステージ１４に搬送
載置される。プリロードステージ１４に載置されたウェ
ーハ１２は、ＣＣＤカメラ等のウェーハ撮像装置１６で
ウェーハ１２面全体が撮像された後、プリロードステー
ジ１４からワークテーブル１８に移載される。ワークテ
ーブル１８に移載されたウェーハ１２は、アライメント
用顕微鏡２２等でアライメント（平行合わせと位置決
め）され、スピンドル２４に支持された回転ブレード２
６によりウェーハ１２のストリートに沿ってダイシング
される。これにより、ウェーハ１２は多数のチップに分
離される。
は、装置本体内の図示しないカセットに収納されたウェ
ーハ１２がエレベータ１３上に載置され、ここから図示
しない搬送アームによりプリロードステージ１４に搬送
載置される。プリロードステージ１４に載置されたウェ
ーハ１２は、ＣＣＤカメラ等のウェーハ撮像装置１６で
ウェーハ１２面全体が撮像された後、プリロードステー
ジ１４からワークテーブル１８に移載される。ワークテ
ーブル１８に移載されたウェーハ１２は、アライメント
用顕微鏡２２等でアライメント（平行合わせと位置決
め）され、スピンドル２４に支持された回転ブレード２
６によりウェーハ１２のストリートに沿ってダイシング
される。これにより、ウェーハ１２は多数のチップに分
離される。
【００１１】次に、図２に従ってアライメント装置の構
成を説明する。ウェーハ１２が載置されるワークテーブ
ル１８は、Ｘ軸駆動機構３２によりＸ方向に駆動される
と共に、回転駆動機構３４により所定角度θ°回転され
るようになっている。また、ブレード２６を支持するス
ピンドル２４は、Ｙ軸駆動機構２５によりＹ方向に駆動
される。これにより、ワークテーブル１８に載置された
ウェーハ１２は、ブレードに対して相対的にＸ−Ｙ方向
及び所定角度θ°移動させることができる。また、ワー
クテーブル１８の上面には図示しないエア吸着機構が設
けられ、これによりウェーハ１２はワークテーブル１８
に吸着載置される。また、ワークテーブル１８の上方に
はアライメント用顕微鏡２２が設けられ、このアライメ
ント顕微鏡２２は撮像部３６と接続されている。そし
て、撮像部３６からの画像信号はＡ／Ｄ変換された後、
ウェーハ１２面上の特定位置におけるモデル画像パター
ン（例えばＩＣパターン或いはウェーハ面上に設けたマ
ーク）は切換器３８により登録用フレームメモリ４０に
送られて記憶される。また、ウェーハ１２面上をアライ
メント用顕微鏡２２でサーチした時の現画像パターンは
現画像用フレームメモリ４２に送られる。また、登録用
フレームメモリ４０と現画像用フレームメモリ４２はそ
れぞれ比較器４４に接続される。そして、比較器４４で
はモデル画像パターンと現画像パターンとのパターンマ
ッチング処理が行われ、パターンマッチング処理された
信号が前記コントローラ３０に出力される。そして、コ
ントローラ３０では、比較器４４からの信号に基づいて
ワークテーブル１８をＸ軸方向制御、回転方向制御する
と共に、スピンドル２４をＹ軸方向制御する。また、コ
ントローラ３０は、ウェーハ１２面上の各チップのマッ
プ座標を記憶するマップ座標記憶部（図示せず）を有
し、このマップ座標に基づいてＸ軸駆動機構３２、Ｙ軸
駆動機構２５及び回転駆動機構３４にウェーハ１２の移
動座標を指示する。
成を説明する。ウェーハ１２が載置されるワークテーブ
ル１８は、Ｘ軸駆動機構３２によりＸ方向に駆動される
と共に、回転駆動機構３４により所定角度θ°回転され
るようになっている。また、ブレード２６を支持するス
ピンドル２４は、Ｙ軸駆動機構２５によりＹ方向に駆動
される。これにより、ワークテーブル１８に載置された
ウェーハ１２は、ブレードに対して相対的にＸ−Ｙ方向
及び所定角度θ°移動させることができる。また、ワー
クテーブル１８の上面には図示しないエア吸着機構が設
けられ、これによりウェーハ１２はワークテーブル１８
に吸着載置される。また、ワークテーブル１８の上方に
はアライメント用顕微鏡２２が設けられ、このアライメ
ント顕微鏡２２は撮像部３６と接続されている。そし
て、撮像部３６からの画像信号はＡ／Ｄ変換された後、
ウェーハ１２面上の特定位置におけるモデル画像パター
ン（例えばＩＣパターン或いはウェーハ面上に設けたマ
ーク）は切換器３８により登録用フレームメモリ４０に
送られて記憶される。また、ウェーハ１２面上をアライ
メント用顕微鏡２２でサーチした時の現画像パターンは
現画像用フレームメモリ４２に送られる。また、登録用
フレームメモリ４０と現画像用フレームメモリ４２はそ
れぞれ比較器４４に接続される。そして、比較器４４で
はモデル画像パターンと現画像パターンとのパターンマ
ッチング処理が行われ、パターンマッチング処理された
信号が前記コントローラ３０に出力される。そして、コ
ントローラ３０では、比較器４４からの信号に基づいて
ワークテーブル１８をＸ軸方向制御、回転方向制御する
と共に、スピンドル２４をＹ軸方向制御する。また、コ
ントローラ３０は、ウェーハ１２面上の各チップのマッ
プ座標を記憶するマップ座標記憶部（図示せず）を有
し、このマップ座標に基づいてＸ軸駆動機構３２、Ｙ軸
駆動機構２５及び回転駆動機構３４にウェーハ１２の移
動座標を指示する。
【００１２】以上の構成は、従来のアライメント装置の
構成であり、次に本発明の改良部分について説明する。
前記したプリロードステージ１４の上方には、ウェーハ
撮像装置１６が設けられ、ウェーハ撮像装置１６では、
多数のチップが配列されたウェーハ１２面の全面が撮像
されて、その画像データは識別器２８に出力される。識
別器２８では、フェイルマーク（図３参照）が付された
チップとフェイルマークが付されていないチップとを識
別すると共に、フェイルマークが付されていないチップ
のマップ座標をコントローラ３０に出力する。コントロ
ーラ３０では、ウェーハ１２全体のマップ座標からフェ
イルマークが付されていないチップの座標のみをアライ
メント用顕微鏡２２がサーチするように、Ｘ軸駆動機構
３２、Ｙ軸駆動機構２５及び回転駆動機構３４にウェー
ハ１２の移動座標を指示する。
構成であり、次に本発明の改良部分について説明する。
前記したプリロードステージ１４の上方には、ウェーハ
撮像装置１６が設けられ、ウェーハ撮像装置１６では、
多数のチップが配列されたウェーハ１２面の全面が撮像
されて、その画像データは識別器２８に出力される。識
別器２８では、フェイルマーク（図３参照）が付された
チップとフェイルマークが付されていないチップとを識
別すると共に、フェイルマークが付されていないチップ
のマップ座標をコントローラ３０に出力する。コントロ
ーラ３０では、ウェーハ１２全体のマップ座標からフェ
イルマークが付されていないチップの座標のみをアライ
メント用顕微鏡２２がサーチするように、Ｘ軸駆動機構
３２、Ｙ軸駆動機構２５及び回転駆動機構３４にウェー
ハ１２の移動座標を指示する。
【００１３】また、ウェーハ撮像装置１６で撮像される
画像データは、パターン画像である必要はなく、フェイ
ルマークが付されたチップと付されていないチップの明
るさの違いをとらえた画像でもよい。即ち、ウェーハ撮
像装置１６としてＣＣＤカメラと照明器具から構成され
たものを使用し、ウェーハ１２面を照明した時に、フェ
イルマークの付されていないチップとフェイルマークの
付されているチップの明るさをＣＣＤカメラでとらえ、
その明るさの違いを識別器２８で識別する簡単な識別方
法でもよい。
画像データは、パターン画像である必要はなく、フェイ
ルマークが付されたチップと付されていないチップの明
るさの違いをとらえた画像でもよい。即ち、ウェーハ撮
像装置１６としてＣＣＤカメラと照明器具から構成され
たものを使用し、ウェーハ１２面を照明した時に、フェ
イルマークの付されていないチップとフェイルマークの
付されているチップの明るさをＣＣＤカメラでとらえ、
その明るさの違いを識別器２８で識別する簡単な識別方
法でもよい。
【００１４】次に、上記の如く構成されたアライメント
装置の作用について説明する。プリロードステージ１４
に載置されたウェーハ１２は、多数のチップが配列され
たウェーハ１２面全体がウェーハ撮像装置１６で撮像さ
れ、撮像された画像データは識別器２８に出力される。
識別器２８では、フェイルマークが付されたチップとフ
ェイルマークが付されていないチップとを識別すると共
に、フェイルマークが付されていないチップのマップ座
標をコントローラ３０に出力する。
装置の作用について説明する。プリロードステージ１４
に載置されたウェーハ１２は、多数のチップが配列され
たウェーハ１２面全体がウェーハ撮像装置１６で撮像さ
れ、撮像された画像データは識別器２８に出力される。
識別器２８では、フェイルマークが付されたチップとフ
ェイルマークが付されていないチップとを識別すると共
に、フェイルマークが付されていないチップのマップ座
標をコントローラ３０に出力する。
【００１５】次に、ウェーハ１２はプリロードステージ
１４からワークテーブル１８に移載される。そして、比
較器４４において登録用フレームメモリ４０に記憶され
たモデル画像パターンと、アライメント用顕微鏡２２か
ら現画像フレーム用フレーム４２に出力されるウェーハ
１２面上の現画像パターンとがパターンマッチング処理
されてマッチング信号がコントローラ３０に出力され
る。
１４からワークテーブル１８に移載される。そして、比
較器４４において登録用フレームメモリ４０に記憶され
たモデル画像パターンと、アライメント用顕微鏡２２か
ら現画像フレーム用フレーム４２に出力されるウェーハ
１２面上の現画像パターンとがパターンマッチング処理
されてマッチング信号がコントローラ３０に出力され
る。
【００１６】次に、コントローラ３０では、識別器２８
からの識別信号と比較器４４からのパターンマッチング
信号により、ワークテーブル１８のＸ軸方向駆動機構３
２と回転駆動機構３４を駆動すると共に、スピンドル２
４のＹ軸方向駆動機構３２を駆動してフェイルマークの
付されていないチップのみを見つけ出してウェーハ１２
を所望位置にアライメントする。
からの識別信号と比較器４４からのパターンマッチング
信号により、ワークテーブル１８のＸ軸方向駆動機構３
２と回転駆動機構３４を駆動すると共に、スピンドル２
４のＹ軸方向駆動機構３２を駆動してフェイルマークの
付されていないチップのみを見つけ出してウェーハ１２
を所望位置にアライメントする。
【００１７】このように、本発明のアライメント方法及
びその装置では、アライメントを行う前に多数のチップ
が配列されたウェーハ１２面全体をウェーハ撮像装置１
６で撮像してその画像データからフェイルマークの付さ
れたチップと付されていないチップを識別器４４で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみをサーチすることによりウェーハ１２
を所望位置にアライメントするようにした。これによ
り、小チップのガリウム砒素、ＬＥＤのように、同一ウ
ェーハ面上に多数のフェイルマークの付されたウェーハ
でも、モデル画像パターンと一致する現画像パターンを
サーチする時間が大幅に短縮されるので、アライメント
の能率を著しく向上させることができる。また、モデル
画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか見つ
からないで、コントローラ３０がアライメント不能と判
断することがなくなるので、フェイルマークが多数ある
ウェーハ１２の場合にアライメントができなくなるとい
う従来の欠点を解消できる。
びその装置では、アライメントを行う前に多数のチップ
が配列されたウェーハ１２面全体をウェーハ撮像装置１
６で撮像してその画像データからフェイルマークの付さ
れたチップと付されていないチップを識別器４４で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみをサーチすることによりウェーハ１２
を所望位置にアライメントするようにした。これによ
り、小チップのガリウム砒素、ＬＥＤのように、同一ウ
ェーハ面上に多数のフェイルマークの付されたウェーハ
でも、モデル画像パターンと一致する現画像パターンを
サーチする時間が大幅に短縮されるので、アライメント
の能率を著しく向上させることができる。また、モデル
画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか見つ
からないで、コントローラ３０がアライメント不能と判
断することがなくなるので、フェイルマークが多数ある
ウェーハ１２の場合にアライメントができなくなるとい
う従来の欠点を解消できる。
【００１８】
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のアライメ
ント方法及びその装置によれば、アライメントを行う前
に多数のチップが配列されたウェーハ面全体を撮像して
その画像データからフェイルマークの付されているチッ
プと付されていないチップを識別し、識別した結果に基
づいてフェイルマークの付されていないチップのみを見
つけ出してウェーハを所望位置にアライメントするよう
にした。
ント方法及びその装置によれば、アライメントを行う前
に多数のチップが配列されたウェーハ面全体を撮像して
その画像データからフェイルマークの付されているチッ
プと付されていないチップを識別し、識別した結果に基
づいてフェイルマークの付されていないチップのみを見
つけ出してウェーハを所望位置にアライメントするよう
にした。
【００２０】これにより、小チップのガリウム砒素、Ｌ
ＥＤのように、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマー
クの付されたウェーハでも、モデル画像パターンと一致
する現画像パターンをサーチする時間が大幅に短縮され
るので、アライメントの能率を著しく向上させることが
できる。また、モデル画像パターンと一致する現画像パ
ターンがなかなか見つからないで、アライメント不能と
判断することがなくなるので、フェイルマークが多数あ
るウェーハの場合にアライメントができなくなるという
従来の欠点を解消できる。この結果、マニュアルダイサ
等で人手によりアライメントを行う必要はないので、作
業効率を向上させることができる。
ＥＤのように、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマー
クの付されたウェーハでも、モデル画像パターンと一致
する現画像パターンをサーチする時間が大幅に短縮され
るので、アライメントの能率を著しく向上させることが
できる。また、モデル画像パターンと一致する現画像パ
ターンがなかなか見つからないで、アライメント不能と
判断することがなくなるので、フェイルマークが多数あ
るウェーハの場合にアライメントができなくなるという
従来の欠点を解消できる。この結果、マニュアルダイサ
等で人手によりアライメントを行う必要はないので、作
業効率を向上させることができる。
【図１】本発明に係るアライメント装置を備えたダイシ
ングマシンの概略外観図
ングマシンの概略外観図
【図２】本発明のアライメント装置の構成を説明する構
成図
成図
【図３】小チップのウェーハのように同一ウェーハ面上
に多数のフェイルマークの付されたウェーハにおける従
来のアライメント方法を説明する説明図
に多数のフェイルマークの付されたウェーハにおける従
来のアライメント方法を説明する説明図
１０…ダイシング装置 １２…ウェーハ １４…プリロードステージ １６…ウェーハ撮像装置（第２の撮像装置） １８…ワークテーブル ２２…アライメント用顕微鏡（第１の撮像装置） ２４…スピンドル ２５…Ｙ軸駆動機構 ２６…ブレード ２８…識別器 ３０…コントローラ ３２…Ｘ軸駆動機構 ３４…回転駆動機構 ３６…アライメント用顕微鏡の撮像部 ３８…切換器 ４０…登録用画像フレームメモリ ４２…現画像用フレームメモリ ４４…比較器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 17/24 G05D 3/12 H01L 21/301 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】ダイシングにより切り離される前の多数の
チップが配列されたウェーハ面のＩＣ等のパターンを撮
像記憶し、その撮像記憶されたパターンと一致するパタ
ーンをウェーハ面をサーチして見つけ出すことによりウ
ェーハを所望位置にアライメントしてダイシングするダ
イシング装置のアライメント方法に於いて、 前記アライメントを行う前に、ウェーハ撮像装置で多数
のチップが配列されたウェーハ面の全面を撮像して、そ
の画像データからフェイルマークの付されているチップ
と付されていないチップを識別し、フェイルマークが付
されていないチップの座標をコントローラに出力し、 コントローラはウェーハ全体のマップ座標の中から前記
フェイルマークが付されていないチップの座標のみをア
ライメント用顕微鏡がサーチするように、Ｘ軸駆動機
構、Ｙ軸駆動機構及び回転駆動機構にウェーハの移動座
標を指示することによって 、前記切り離す前のウェーハ
面上における前記フェイルマークが付されていない領域
を見つけ出し、該領域中から撮像記憶されたモデル画像
パターンと一致する現画像パターンを見つけ出すことに
よりアライメントを行うことを特徴とするダイシング装
置のアライメント方法。 - 【請求項２】ウェーハを載置する載置手段と、前記載置
手段に載置されてダイシングにより切り離される前の多
数のチップが配列されたウェーハを切断する切断刃を支
持するスピンドルと、前記載置手段をＸ方向及び回転方
向に移動させる載置手段駆動機構と、前記スピンドルを
Ｙ方向に移動させるスピンドル駆動機構と、前記載置手
段に載置されたウェーハのＩＣ等のパターンを撮像する
第１の撮像手段と、前記第１の撮像手段で撮像されたモ
デル画像パターンを記憶する記憶手段と、前記第１の撮
像手段からの現画像パターン信号が入力されると共に、
現画像パターンと予め記憶したモデル画像パターンを比
較してマッチング信号を出力するマッチング手段と、前
記マッチング手段の出力に基づいて前記載置手段駆動機
構とスピンドル駆動機構を駆動してダイシングのために
アライメントする駆動信号を出力するコントローラと、
から成るダイシング装置のアライメント装置に於いて、前記アライメントを行う前に、プリロードステージ上方
に設けられたウェーハ撮像装置で多数のチップが配列さ
れたウェーハ面の全面 を撮像する第２の撮像手段と、 前記第２の撮像手段で撮像された画像データからフェイ
ルマークの付されているチップと付されていないチップ
を識別すると共に、フェイルマークが付されていないチ
ップの座標を前記コントローラに出力する識別手段と、 を備え、前記コントローラはウェーハ全体のマップ座標
の中から前記フェイルマークが付されていないチップの
座標のみをアライメント用顕微鏡がサーチするように、
前記載置手段駆動機構と前記スピンドル駆動機構にウェ
ーハの移動座標を指示することによって、前記切り離す
前のウェーハ面上における前記フェイルマークが付され
ていない領域を見つけ出し、該領域中から撮像記憶され
たモデル画像パターンと一致する現画像パターンを見つ
け出すことによりアライメントを行うことを特徴とする
ダイシング装置のアライメント装置。 - 【請求項３】前記第１の撮像手段と前記第２の撮像手段
を兼用することを特徴とする請求項２のダイシング装置
のアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19673894A JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19673894A JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0857750A JPH0857750A (ja) | 1996-03-05 |
| JP3223411B2 true JP3223411B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=16362785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19673894A Expired - Fee Related JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3223411B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101728227B (zh) * | 2008-10-27 | 2012-05-23 | 威控自动化机械股份有限公司 | 标兵式晶粒挑拣方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101885102B (zh) * | 2010-06-29 | 2012-08-15 | 哈尔滨工业大学 | 应用于铝合金tig焊反面熔池检测的背面摄像机与焊枪随动的控制装置及方法 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP19673894A patent/JP3223411B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101728227B (zh) * | 2008-10-27 | 2012-05-23 | 威控自动化机械股份有限公司 | 标兵式晶粒挑拣方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0857750A (ja) | 1996-03-05 |
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