JP3223411B2 - ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 - Google Patents
ダイシング装置のアライメント方法及びその装置Info
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Description
の装置に係り、特に、ガリウム砒素、LEDのウェーハ
に多く見られるように、同一ウェーハ面上に多数のフェ
イルマークが付されたウェーハをダイシングする場合の
アライメント方法及びその装置に関する。
位置決め)は、ウェーハ上の特定位置におけるパター
ン、例えばICパターン(集積回路パターン)或いはウ
ェーハ上に設けられたマーク等を撮像した画像データか
らのモデル画像パターン(又は画像データを電気信号に
変換したもの)を、アライメントを実行する前に記憶
し、この記憶されたモデル画像パターンと一致する現画
像パターンをウェーハ面上でサーチして見つけ出すこと
によりアライメントを実行している。もし、一度で見つ
からなければ順次近傍に移動して一致するパターンをサ
ーチする。
m程度)のウェーハ、特にガリウム砒素、LEDのウェ
ーハでは、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマーク
(不良品マーク)の付されたウェーハがあり、アライメ
ントは上記した要領で行われる。
フェイルマークの付されたウェーハのアライメントを上
記の如く行う場合、フェイルマークの付されたものに対
してモデル画像パターンと同一のものが見つけられない
としてフェイルマークの付されていないチップを見つけ
るまで順次サーチを繰り返す。例えば、図3に示すよう
に、ウェーハ1の上から一段目のチップ列(図3におけ
る一番上の列)のフェイルマーク2の付されているチッ
プ3から3段目のチップ列にあるフェイルマーク2の付
されていないチップ4まで20個のチップを順番にサー
チしなくてはならない。従って、ウェーハ1面上でモデ
ル画像パターンと一致する現画像パターンを見つけ出す
のに時間がかかりすぎて本来のアライメントの作業能率
が悪くなるという欠点があった。
デル画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか
見つからないので、コントローラ(コンピュータ)がア
ライメント不能と判断する場合がありアライメントがで
きなくなるという欠点があった。この結果、自動アライ
メントできないウェーハは、再度マニュアルダイサ等で
人手によりアライメントを行う等の作業を必要とし、効
率の悪い作業となる。
たもので、多数のフェイルマークが付されたウェーハで
もアライメント時間を大幅に短縮することのできるアラ
イメント方法及びその装置を提供することを目的とす
る。
する為に、ダイシングにより切り離される前の多数のチ
ップが配列されたウェーハ面のIC等のパターンを撮像
記憶し、その撮像記憶されたパターンと一致するパター
ンをウェーハ面をサーチして見つけ出すことによりウェ
ーハを所望位置にアライメントしてダイシングするダイ
シング装置のアライメント方法に於いて、前記アライメ
ントを行う前に、ウェーハ撮像装置で多数のチップが配
列されたウェーハ面の全面を撮像して、その画像データ
からフェイルマークの付されているチップと付されてい
ないチップを識別し、フェイルマークが付されていない
チップの座標をコントローラに出力し、コントローラは
ウェーハ全体のマップ座標の中から前記フェイルマーク
が付されていないチップの座標のみをアライメント用顕
微鏡がサーチするように、X軸駆動機構、Y軸駆動機構
及び回転駆動機構にウェーハの移動座標を指示すること
によって、前記切り離す前のウェーハ面上における前記
フェイルマークが付されていない領域を見つけ出し、該
領域中から撮像記憶されたモデル画像パターンと一致す
る現画像パターンを見つけ出すことによりアライメント
を行うことを特徴とする。
のチップが配列されたウェーハ面全体を第2の撮像手段
で撮像してその画像データからフェイルマークの付され
ているチップと付されていないチップを識別手段で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみを見つけ出してウェーハを所望位置に
アライメントする。これにより、フェイルマークの付さ
れているチップはサーチされないので、アライメント時
間を短縮できる。
ント方法及びその装置の好ましい実施例について詳説す
る。図1は本発明のアライメント装置を備えたダイシン
グマシンの例で、ダイシングマシンの概略外観図であ
る。また、図2は本発明のアライメント装置の構成を説
明するための装置構成図である。
は、装置本体内の図示しないカセットに収納されたウェ
ーハ12がエレベータ13上に載置され、ここから図示
しない搬送アームによりプリロードステージ14に搬送
載置される。プリロードステージ14に載置されたウェ
ーハ12は、CCDカメラ等のウェーハ撮像装置16で
ウェーハ12面全体が撮像された後、プリロードステー
ジ14からワークテーブル18に移載される。ワークテ
ーブル18に移載されたウェーハ12は、アライメント
用顕微鏡22等でアライメント(平行合わせと位置決
め)され、スピンドル24に支持された回転ブレード2
6によりウェーハ12のストリートに沿ってダイシング
される。これにより、ウェーハ12は多数のチップに分
離される。
成を説明する。ウェーハ12が載置されるワークテーブ
ル18は、X軸駆動機構32によりX方向に駆動される
と共に、回転駆動機構34により所定角度θ°回転され
るようになっている。また、ブレード26を支持するス
ピンドル24は、Y軸駆動機構25によりY方向に駆動
される。これにより、ワークテーブル18に載置された
ウェーハ12は、ブレードに対して相対的にX−Y方向
及び所定角度θ°移動させることができる。また、ワー
クテーブル18の上面には図示しないエア吸着機構が設
けられ、これによりウェーハ12はワークテーブル18
に吸着載置される。また、ワークテーブル18の上方に
はアライメント用顕微鏡22が設けられ、このアライメ
ント顕微鏡22は撮像部36と接続されている。そし
て、撮像部36からの画像信号はA/D変換された後、
ウェーハ12面上の特定位置におけるモデル画像パター
ン(例えばICパターン或いはウェーハ面上に設けたマ
ーク)は切換器38により登録用フレームメモリ40に
送られて記憶される。また、ウェーハ12面上をアライ
メント用顕微鏡22でサーチした時の現画像パターンは
現画像用フレームメモリ42に送られる。また、登録用
フレームメモリ40と現画像用フレームメモリ42はそ
れぞれ比較器44に接続される。そして、比較器44で
はモデル画像パターンと現画像パターンとのパターンマ
ッチング処理が行われ、パターンマッチング処理された
信号が前記コントローラ30に出力される。そして、コ
ントローラ30では、比較器44からの信号に基づいて
ワークテーブル18をX軸方向制御、回転方向制御する
と共に、スピンドル24をY軸方向制御する。また、コ
ントローラ30は、ウェーハ12面上の各チップのマッ
プ座標を記憶するマップ座標記憶部(図示せず)を有
し、このマップ座標に基づいてX軸駆動機構32、Y軸
駆動機構25及び回転駆動機構34にウェーハ12の移
動座標を指示する。
構成であり、次に本発明の改良部分について説明する。
前記したプリロードステージ14の上方には、ウェーハ
撮像装置16が設けられ、ウェーハ撮像装置16では、
多数のチップが配列されたウェーハ12面の全面が撮像
されて、その画像データは識別器28に出力される。識
別器28では、フェイルマーク(図3参照)が付された
チップとフェイルマークが付されていないチップとを識
別すると共に、フェイルマークが付されていないチップ
のマップ座標をコントローラ30に出力する。コントロ
ーラ30では、ウェーハ12全体のマップ座標からフェ
イルマークが付されていないチップの座標のみをアライ
メント用顕微鏡22がサーチするように、X軸駆動機構
32、Y軸駆動機構25及び回転駆動機構34にウェー
ハ12の移動座標を指示する。
画像データは、パターン画像である必要はなく、フェイ
ルマークが付されたチップと付されていないチップの明
るさの違いをとらえた画像でもよい。即ち、ウェーハ撮
像装置16としてCCDカメラと照明器具から構成され
たものを使用し、ウェーハ12面を照明した時に、フェ
イルマークの付されていないチップとフェイルマークの
付されているチップの明るさをCCDカメラでとらえ、
その明るさの違いを識別器28で識別する簡単な識別方
法でもよい。
装置の作用について説明する。プリロードステージ14
に載置されたウェーハ12は、多数のチップが配列され
たウェーハ12面全体がウェーハ撮像装置16で撮像さ
れ、撮像された画像データは識別器28に出力される。
識別器28では、フェイルマークが付されたチップとフ
ェイルマークが付されていないチップとを識別すると共
に、フェイルマークが付されていないチップのマップ座
標をコントローラ30に出力する。
14からワークテーブル18に移載される。そして、比
較器44において登録用フレームメモリ40に記憶され
たモデル画像パターンと、アライメント用顕微鏡22か
ら現画像フレーム用フレーム42に出力されるウェーハ
12面上の現画像パターンとがパターンマッチング処理
されてマッチング信号がコントローラ30に出力され
る。
からの識別信号と比較器44からのパターンマッチング
信号により、ワークテーブル18のX軸方向駆動機構3
2と回転駆動機構34を駆動すると共に、スピンドル2
4のY軸方向駆動機構32を駆動してフェイルマークの
付されていないチップのみを見つけ出してウェーハ12
を所望位置にアライメントする。
びその装置では、アライメントを行う前に多数のチップ
が配列されたウェーハ12面全体をウェーハ撮像装置1
6で撮像してその画像データからフェイルマークの付さ
れたチップと付されていないチップを識別器44で識別
し、識別した結果に基づいてフェイルマークの付されて
いないチップのみをサーチすることによりウェーハ12
を所望位置にアライメントするようにした。これによ
り、小チップのガリウム砒素、LEDのように、同一ウ
ェーハ面上に多数のフェイルマークの付されたウェーハ
でも、モデル画像パターンと一致する現画像パターンを
サーチする時間が大幅に短縮されるので、アライメント
の能率を著しく向上させることができる。また、モデル
画像パターンと一致する現画像パターンがなかなか見つ
からないで、コントローラ30がアライメント不能と判
断することがなくなるので、フェイルマークが多数ある
ウェーハ12の場合にアライメントができなくなるとい
う従来の欠点を解消できる。
ント方法及びその装置によれば、アライメントを行う前
に多数のチップが配列されたウェーハ面全体を撮像して
その画像データからフェイルマークの付されているチッ
プと付されていないチップを識別し、識別した結果に基
づいてフェイルマークの付されていないチップのみを見
つけ出してウェーハを所望位置にアライメントするよう
にした。
EDのように、同一ウェーハ面上に多数のフェイルマー
クの付されたウェーハでも、モデル画像パターンと一致
する現画像パターンをサーチする時間が大幅に短縮され
るので、アライメントの能率を著しく向上させることが
できる。また、モデル画像パターンと一致する現画像パ
ターンがなかなか見つからないで、アライメント不能と
判断することがなくなるので、フェイルマークが多数あ
るウェーハの場合にアライメントができなくなるという
従来の欠点を解消できる。この結果、マニュアルダイサ
等で人手によりアライメントを行う必要はないので、作
業効率を向上させることができる。
ングマシンの概略外観図
成図
に多数のフェイルマークの付されたウェーハにおける従
来のアライメント方法を説明する説明図
Claims (3)
- 【請求項1】ダイシングにより切り離される前の多数の
チップが配列されたウェーハ面のIC等のパターンを撮
像記憶し、その撮像記憶されたパターンと一致するパタ
ーンをウェーハ面をサーチして見つけ出すことによりウ
ェーハを所望位置にアライメントしてダイシングするダ
イシング装置のアライメント方法に於いて、 前記アライメントを行う前に、ウェーハ撮像装置で多数
のチップが配列されたウェーハ面の全面を撮像して、そ
の画像データからフェイルマークの付されているチップ
と付されていないチップを識別し、フェイルマークが付
されていないチップの座標をコントローラに出力し、 コントローラはウェーハ全体のマップ座標の中から前記
フェイルマークが付されていないチップの座標のみをア
ライメント用顕微鏡がサーチするように、X軸駆動機
構、Y軸駆動機構及び回転駆動機構にウェーハの移動座
標を指示することによって 、前記切り離す前のウェーハ
面上における前記フェイルマークが付されていない領域
を見つけ出し、該領域中から撮像記憶されたモデル画像
パターンと一致する現画像パターンを見つけ出すことに
よりアライメントを行うことを特徴とするダイシング装
置のアライメント方法。 - 【請求項2】ウェーハを載置する載置手段と、前記載置
手段に載置されてダイシングにより切り離される前の多
数のチップが配列されたウェーハを切断する切断刃を支
持するスピンドルと、前記載置手段をX方向及び回転方
向に移動させる載置手段駆動機構と、前記スピンドルを
Y方向に移動させるスピンドル駆動機構と、前記載置手
段に載置されたウェーハのIC等のパターンを撮像する
第1の撮像手段と、前記第1の撮像手段で撮像されたモ
デル画像パターンを記憶する記憶手段と、前記第1の撮
像手段からの現画像パターン信号が入力されると共に、
現画像パターンと予め記憶したモデル画像パターンを比
較してマッチング信号を出力するマッチング手段と、前
記マッチング手段の出力に基づいて前記載置手段駆動機
構とスピンドル駆動機構を駆動してダイシングのために
アライメントする駆動信号を出力するコントローラと、
から成るダイシング装置のアライメント装置に於いて、前記アライメントを行う前に、プリロードステージ上方
に設けられたウェーハ撮像装置で多数のチップが配列さ
れたウェーハ面の全面 を撮像する第2の撮像手段と、 前記第2の撮像手段で撮像された画像データからフェイ
ルマークの付されているチップと付されていないチップ
を識別すると共に、フェイルマークが付されていないチ
ップの座標を前記コントローラに出力する識別手段と、 を備え、前記コントローラはウェーハ全体のマップ座標
の中から前記フェイルマークが付されていないチップの
座標のみをアライメント用顕微鏡がサーチするように、
前記載置手段駆動機構と前記スピンドル駆動機構にウェ
ーハの移動座標を指示することによって、前記切り離す
前のウェーハ面上における前記フェイルマークが付され
ていない領域を見つけ出し、該領域中から撮像記憶され
たモデル画像パターンと一致する現画像パターンを見つ
け出すことによりアライメントを行うことを特徴とする
ダイシング装置のアライメント装置。 - 【請求項3】前記第1の撮像手段と前記第2の撮像手段
を兼用することを特徴とする請求項2のダイシング装置
のアライメント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19673894A JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
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---|---|---|---|
JP19673894A JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0857750A JPH0857750A (ja) | 1996-03-05 |
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ID=16362785
Family Applications (1)
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JP19673894A Expired - Fee Related JP3223411B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | ダイシング装置のアライメント方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3223411B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101728227B (zh) * | 2008-10-27 | 2012-05-23 | 威控自动化机械股份有限公司 | 标兵式晶粒挑拣方法 |
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---|---|---|---|---|
CN101885102B (zh) * | 2010-06-29 | 2012-08-15 | 哈尔滨工业大学 | 应用于铝合金tig焊反面熔池检测的背面摄像机与焊枪随动的控制装置及方法 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP19673894A patent/JP3223411B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101728227B (zh) * | 2008-10-27 | 2012-05-23 | 威控自动化机械股份有限公司 | 标兵式晶粒挑拣方法 |
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