JP7384132B2 - 物品収容装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の態様に係る物品収容装置は、板状の物品を載せて支持可能な支持体を複数有し、これら前記支持体を上下方向に重ねることにより、内部に上下の前記支持体間に連なり、不活性ガスを充填可能な閉じた空間となるガス充填可能部を構成する収容容器と、前記収容容器を構成する重ねられた複数の前記支持体のうちの1つの前記支持体と、その上側の前記支持体とを上下方向に離し、前記1つの支持体に支持された物品を取り出すための取り出し空間を形成する開閉装置と、前記取り出し空間に向けて不活性ガスを噴出するガス噴出装置と、を備え、前記ガス噴出装置は、不活性ガスが入れられていた前記ガス充填可能部から前記開閉装置により形成された前記取り出し空間を介して前記収容容器外に漏れ出ることを抑制する、又は、前記取り出し空間を介して、不活性ガスが入れられている前記ガス充填可能部に不活性ガスを補填し、前記ガス噴出装置は、前記収容容器を構成する重ねられた複数の前記支持体のうちの最上部の前記支持体と、その上側の蓋体とを上下方向に離して形成された第3空間に向けて不活性ガスを噴出する。
D3、D4、D6・・・第2空間
D5・・・第3空間
W・・・ウェハ
5・・・収容容器
7・・・支持体
30・・・物品収容装置
60・・・開閉装置
62・・・昇降装置
65・・・昇降台
68・・・ノズル
70・・・ガス噴出装置
71・・・ガス供給部
72・・・配管
73・・・噴出口
74・・・流量調整部
81a、82a、83a、84a・・・第1爪部
81b、82b、83b、84b・・・第2爪部
100・・・ウェハ貯蔵システム
Claims (8)
- 板状の物品を載せて支持可能な支持体を複数有し、これら前記支持体を上下方向に重ねることにより、内部に上下の前記支持体間に連なり、不活性ガスを充填可能な閉じた空間となるガス充填可能部を構成する収容容器と、
前記収容容器を構成する重ねられた複数の前記支持体のうちの1つの前記支持体と、その上側の前記支持体とを上下方向に離し、前記1つの支持体に支持された物品を取り出すための取り出し空間を形成する開閉装置と、
前記取り出し空間に向けて不活性ガスを噴出するガス噴出装置と、
前記収容容器を昇降させる昇降装置と、を備え、
前記ガス噴出装置は、不活性ガスが入れられていた前記ガス充填可能部から前記開閉装置により形成された前記取り出し空間を介して前記収容容器外に漏れ出ることを抑制する、又は、前記取り出し空間を介して、不活性ガスが入れられている前記ガス充填可能部に不活性ガスを補填し、
前記開閉装置は、前記昇降装置により昇降される前記収容容器に対して所定高さで前記取り出し空間を形成させ、
前記ガス噴出装置は、前記所定高さに対応した不活性ガスの噴出口を備える、
物品収容装置。 - 板状の物品を載せて支持可能な支持体を複数有し、これら前記支持体を上下方向に重ねることにより、内部に上下の前記支持体間に連なり、不活性ガスを充填可能な閉じた空間となるガス充填可能部を構成する収容容器と、
前記収容容器を構成する重ねられた複数の前記支持体のうちの1つの前記支持体と、その上側の前記支持体とを上下方向に離し、前記1つの支持体に支持された物品を取り出すための取り出し空間を形成する開閉装置と、
前記取り出し空間に向けて不活性ガスを噴出するガス噴出装置と、を備え、
前記ガス噴出装置は、不活性ガスが入れられていた前記ガス充填可能部から前記開閉装置により形成された前記取り出し空間を介して前記収容容器外に漏れ出ることを抑制する、又は、前記取り出し空間を介して、不活性ガスが入れられている前記ガス充填可能部に不活性ガスを補填し、
前記ガス噴出装置は、前記収容容器を構成する重ねられた複数の前記支持体のうちの最上部の前記支持体と、その上側の蓋体とを上下方向に離して形成された第3空間に向けて不活性ガスを噴出する、物品収容装置。 - 前記開閉装置は、前記複数の支持体の間に対して進退可能な爪部と、前記収容容器を昇降させる昇降装置とを備え、
前記昇降装置は、前記爪部が進出して前記上側の支持体を支持した状態で前記1つの支持体を下降させることにより、前記1つの支持体と、前記爪部に支持された前記上側の支持体とを離して、前記取り出し空間を形成させる、請求項2に記載の物品収容装置。 - 前記噴出口は、前記取り出し空間の上下寸法に対応して上下方向に複数配設される、請求項1に記載の物品収容装置。
- 前記開閉装置は、前記取り出し空間とは別に前記1つの支持体と、その下側の前記支持体とを上下方向に離した第2空間を形成させ、
前記噴出口は、前記第2空間にも対応して設けられる、請求項1又は請求項4に記載の物品収容装置。 - 前記ガス噴出装置は、前記取り出し空間が形成されているときに第1流量で不活性ガスを噴出させ、前記取り出し空間が形成されていないときに前記第1流量よりも小さい第2流量で不活性ガスを噴出させる流量調整部を有する、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の物品収容装置。
- 前記ガス噴出装置は、前記取り出し空間が形成されているときに第1流量で不活性ガスを噴出させ、前記取り出し空間が形成されていないときに前記第1流量よりも小さい第2流量で不活性ガスを噴出させる流量調整部を有し、
前記流量調整部は、前記昇降装置により前記収容容器を昇降させる際にも前記第1流量で不活性ガスを噴出させる、請求項1又は請求項3に記載の物品収容装置。 - 前記昇降装置は、前記収容容器を載せて昇降する昇降台を備え、
前記昇降台は、前記昇降台に載置されている前記収容容器に、この収容容器の底部から不活性ガスを供給するノズルを有する、請求項1又は請求項3に記載の物品収容装置。
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