JP2001162621A - 樹脂タブレット供給装置 - Google Patents
樹脂タブレット供給装置Info
- Publication number
- JP2001162621A JP2001162621A JP34979499A JP34979499A JP2001162621A JP 2001162621 A JP2001162621 A JP 2001162621A JP 34979499 A JP34979499 A JP 34979499A JP 34979499 A JP34979499 A JP 34979499A JP 2001162621 A JP2001162621 A JP 2001162621A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- magazine
- resin tablet
- tablet
- tablets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
く、樹脂封止装置のポットに樹脂タブレットを円滑に供
給する樹脂タブレット供給装置を提供する。 【解決手段】 各々底部に複数の樹脂タブレット1を並
んで配置し更に樹脂タブレット1を積み上げて収納する
1対のマガジン2A,2Bと、収納された樹脂タブレッ
ト1が滑らかに移動するように各マガジン内部に設けら
れたガイド4と、最上層の樹脂タブレット1を吸着する
ホルダ5と、吸着された樹脂タブレット1をポットに搬
送し投入するアーム7と、収納された樹脂タブレット1
を押し上げるロッド10A,10Bと、マガジン2Aが
空になると各マガジンの位置を入れ替えるターンテーブ
ル3とを備える。マガジン2Aが空になると、ターンテ
ーブル3が回動して樹脂タブレット1を満載したマガジ
ン2Bがホルダ5の直下に位置する。したがって、樹脂
タブレット1を円滑に、途切れなくポットに供給でき
る。
Description
に半導体チップ等の電子部品を樹脂封止する樹脂封止装
置に、円柱状の樹脂タブレットを供給するための樹脂タ
ブレット供給装置であって、特に小径かつ長い寸法形状
を有する樹脂タブレットに適した供給装置に関するもの
である。
小型化するために、樹脂タブレットを配置するポットと
リードフレーム等の配線部材との平面的な位置関係(レ
イアウト)について、新しいレイアウトが採用されてい
る。この新しいレイアウトは、以前にはポットの両側に
リードフレームが配置されていたのに対して、リードフ
レームの内側に小径のポットを配置するレイアウトであ
る。このことにより、ポットに配置される樹脂タブレッ
トは、小径になるとともに、同等の体積を維持するため
に長手方向の寸法が大きくなって、細長い形状を有する
ようになった。そして、複数のポットに樹脂タブレット
を効率的に供給するために、マガジンの底部にポット数
に等しい数の樹脂タブレットを並べ、更に樹脂タブレッ
トを積み上げ、これらを下方から押し上げ、マガジンの
上部から複数の樹脂タブレットを取り出してそれぞれポ
ットに供給している。
来の樹脂タブレット供給装置によれば、樹脂タブレット
の形状が細長くなったことに伴い、樹脂タブレットが円
滑に供給されないという問題が発生することがある。こ
の問題は、同じ段に並んでいる樹脂タブレット間の凹部
に上の段の樹脂タブレットがはまり、詰まってしまうこ
とに起因して発生する。そして、下方から押し上げても
樹脂タブレットが上方へと移動しにくいので、樹脂タブ
レットを円滑に供給できないだけでなく、最悪の場合に
は詰まった樹脂タブレットが折れることさえある。この
場合には、樹脂タブレットの詰まりを解消したり、折れ
た樹脂タブレットを除去するために、いったん供給装置
を停止する必要があるので、樹脂封止装置の稼働率を低
下させるおそれがある。また、マガジンに収納された樹
脂タブレットがなくなると、その都度供給装置を停止し
て、新たにマガジンに樹脂タブレットを装填する必要が
ある。この点からも、樹脂封止装置の稼働率向上を制約
するおそれがある。
されたものであり、樹脂タブレットを円滑に供給し、か
つ、新たに樹脂タブレットを装填する間も樹脂封止装置
に樹脂タブレットを供給可能にすることによって、樹脂
封止装置の稼働率低下を防止する樹脂タブレット供給装
置を提供することを目的とする。
することを目的として、本発明に係る樹脂タブレット供
給装置は、樹脂封止装置の金型が有する1又は複数のポ
ットに柱状の樹脂タブレットを供給する樹脂タブレット
供給装置であって、底部に複数の樹脂タブレットが並ん
で横たわるように配置され、かつ、複数の樹脂タブレッ
トの各々の直上に更に樹脂タブレットが積み上げられて
収納されるマガジンと、収納された樹脂タブレットを押
し上げる押上げ機構と、マガジンの上部における樹脂タ
ブレットを保持する保持機構と、保持された樹脂タブレ
ットをポットまで搬送する搬送機構とを備えるととも
に、マガジンの内部には収納された樹脂タブレットを滑
らかに上昇させるためのガイドが設けられていることを
特徴とするものである。
置は、上述の樹脂タブレット供給装置において、マガジ
ンと押上げ機構とからなる個別供給ユニットが1対だけ
設けられ、マガジンのうち一方が空になった場合には、
他方のマガジンに収納されている樹脂タブレットが供給
されるように、他方のマガジンを有する個別供給ユニッ
トを搬送機構の下方に移動させる移動機構と、一方のマ
ガジンに新たな樹脂タブレットを装填する装填機構とを
更に備えたことを特徴とするものである。
置は、上述の樹脂タブレット供給装置において、1対の
個別供給ユニットと移動機構とが連続供給ユニットを構
成するとともに、連続供給ユニットを複数個備えたこと
を特徴とするものである。
わるように配置された複数の樹脂タブレット上に、マガ
ジンの内部に設けられたガイドに沿って、更に樹脂タブ
レットが整然と積み上げられる。そして、積み上げられ
た樹脂タブレットは、下方から押上げ機構によって押し
上げられるとガイドに沿って滑らかに上方へと移動す
る。したがって、樹脂タブレットの詰まりや折れ等の発
生を抑制することができる。また、マガジンと押上げ機
構とからなる個別供給ユニットが1対設けられ、一方の
マガジンが空になった場合には、移動機構によって、他
方のマガジンが搬送機構の下方に移動する。そして、他
方のマガジンからポットに樹脂タブレットが供給され
る。したがって、1個のマガジンが空になった場合にお
いて、樹脂タブレットを装填するために樹脂タブレット
供給装置を停止させる必要がないので、樹脂封止装置の
稼働率を向上させることができる。また、移動機構と1
対の個別供給ユニットとからなる連続供給ユニットを複
数個備える。したがって、複数の金型を有する樹脂封止
装置において、各金型が有するポットに対して、各連続
供給ユニットが樹脂タブレットを供給することができ
る。
〜図3を参照して説明する。図1は、本発明に係る樹脂
タブレット供給装置の概略を示す斜視図である。図1に
おいて、1は小径のポットに対応する細長い柱状の樹脂
タブレット、2A及び2Bはそれぞれ樹脂タブレット1
が積み上げられて収納されるマガジンである。後述のよ
うに、マガジン2A,2Bの底部には、複数列(図1に
おいては4列)に並んで配置された樹脂タブレット1を
押し上げるための押上げ機構が設けられている。3は、
1対のマガジン2A,2Bが対向して固定されるととも
に、垂直軸の回りに回動自在に設けられたターンテーブ
ルである。4は、マガジン2A,2B内において積み上
げられた樹脂タブレット1が滑らかに上昇するように、
マガジン2A,2Bの内壁に凸状に設けられたガイドで
あって、摩擦係数が小さい材料、例えば四フッ化エチレ
ン樹脂(PTFE)等によって構成されている。
を保持するホルダ、6はホルダ5に設けられ樹脂タブレ
ット1が保持される凹部である。7はホルダ5を固定
し、進退自在かつ水平軸(図1のA−A線に相当)の回
りに回動自在に設けられたアームであって、ホルダ5に
よって保持された樹脂タブレット1を搬送して、樹脂封
止装置の金型が有するポット(図示なし)に投入する搬
送機構である。8は、吸着により樹脂タブレット1を保
持するためにホルダ5及びアーム7に設けられた吸着用
管路であって、ホルダ5において凹部6に面する部分に
開口を有するとともに、それぞれ独立したバルブを介し
て減圧ポンプ(いずれも図示せず)等に接続されてい
る。
動作を、図2及び図3を参照して説明する。図2(1)
は、1対のマガジンの双方に樹脂タブレットが満載され
た状態を、図2(2)は、一方のマガジンが空になった
状態を、図1におけるターンテーブルを除いてA−A線
に沿ってそれぞれ示す断面図である。図2(1),
(2)において、9A,9Bは昇降自在に設けられた底
板であって、通常はマガジンの底部に位置しており、下
方から押し上げられることによって上昇する。10A,
10Bは、それぞれ底板9A,9Bを昇降させるための
ロッドであって、マガジン2A及びロッド10Aの組合
せと、マガジン2B及びロッド10Bの組合せとは、そ
れぞれ個別供給ユニットを構成する。11は、ターンテ
ーブル3を回動させるためのモータである。ターンテー
ブル3とモータ11とは、併せて移動機構を構成する。
更に、移動機構と上述の1対の個別供給ユニットとは、
併せて連続供給ユニットを構成する。
マガジン2Aに収納されている各樹脂タブレット1の真
上に各凹部6が位置するまで、アーム7が前進する。次
に、マガジン2Aの最上部に収納されている各樹脂タブ
レット1が各凹部6でホルダ5にほぼ接触するまで、ア
ーム7が下降する。そして、すべての吸着用管路8にお
けるバルブ(図示なし)を開いて、ホルダ5に4個の樹
脂タブレット1をそれぞれ吸着する。
封止装置の金型が有する1個又は複数個のポット(ここ
では、例として4個のポットを有する場合を考える)の
上まで必要に応じて更に移動した後に、保持する各樹脂
タブレット1の長手方向が垂直になるように回動する。
そして、そのポットの真上に位置する樹脂タブレット1
を吸着していた吸着用管路8におけるバルブ(図示な
し)を閉じて、ホルダ5に吸着されていた樹脂タブレッ
ト1を落下させてポットに投入する。更に、アーム7が
2番目のポットの上まで移動した後に、対応するバルブ
を閉じて、樹脂タブレット1を落下させて2番目のポッ
トに投入する。アーム7は、4個のポットにそれぞれ樹
脂タブレット1を投入すると、マガジン2Aの真上まで
再び移動して、次に樹脂タブレットの投入が必要になる
まで待機する。ここで、樹脂封止装置は、アーム7がす
べてのポットに樹脂タブレット1を投入した後に動作を
開始して、金型を型締めする。一方、ホルダ5が4本の
樹脂タブレットを保持した状態でアーム7が上昇した後
に、ロッド10Aが底板9Aを所定の距離だけ押し上げ
て、新たに最上層になった樹脂タブレット1を、マガジ
ン2Aの最上部に位置させる。そして、アーム7は、必
要に応じて、最上層の樹脂タブレット1を吸着して搬送
し、ポットに投入する。アーム7は、ここまでの動作
を、マガジン2Aの樹脂タブレット1が空になるまで繰
り返す。
マガジン2Aの樹脂タブレット1が空になると、底板9
Aをそのままの位置、つまりマガジン2Aで最も上の位
置に保持するとともに、モータ11が回転してターンテ
ーブル3が回動する。これによって、マガジン2A,2
Bの位置が入れ替わる。
樹脂タブレットが供給されているとともに空になった他
方のマガジンに樹脂タブレットが装填されている状態
を、図3(2)は、一方のマガジンが空になるとともに
他方のマガジンに樹脂タブレットが満載された状態を、
図1におけるターンテーブルを除いてA−A線に沿って
それぞれ示す断面図である。図3(1)において、12
は例えば吸着によって樹脂タブレット1を保持するホル
ダである。13はホルダ12を固定し、進退自在に設け
られたアームであって、ホルダ12によって保持された
樹脂タブレット1を、空になったマガジンに搬送する。
ホルダ12とアーム13とは、併せて装填機構を構成す
る。
7は、マガジン2Bから樹脂タブレット1を吸着してポ
ットまで搬送する。そして、各ポットに順次樹脂タブレ
ット1を投入した後にマガジン2Bの上まで戻って、再
び樹脂タブレット1を吸着する動作から繰り返す。一
方、アーム13は、樹脂タブレット保管部(図示なし)
から、ホルダ12によって吸着された樹脂タブレット1
をマガジン2Aの真上まで搬送し、所定の位置まで下降
する。ホルダ12は吸着を解除して、最も上の位置まで
上昇している底板9Aの上に樹脂タブレット1を置く。
その後に、ロッド10Aは、所定の距離だけ下降して、
アーム13が次に搬送してくる樹脂タブレット1を置く
ことができるだけのスペースを確保する。そして、アー
ム13は再び樹脂タブレット保管部まで戻り、次の樹脂
タブレット1を搬送する。
を繰り返すことによって、マガジン2Bは空になる一
方、マガジン2Aには樹脂タブレット1が満載され、図
3(2)に示された状態になる。この状態で、モータ1
1が回転してターンテーブル3が回動する。これによ
り、マガジン2B,2Aの位置が入れ替わるので、アー
ム7は再びマガジン2Aからポットに樹脂タブレット1
を搬送できる。
る場合には、ターンテーブル3と1対の個別供給ユニッ
トとからなる連続供給ユニットを、金型の数に等しい数
だけ設けておくことが好ましい。これにより、各金型が
有するポットに対して、樹脂タブレット1を円滑に連続
供給することができる。
ガジン2A,2Bの内部に、細長い樹脂タブレット1が
ガイド4に沿って整然と積み上げられるので、下方から
押し上げられた樹脂タブレット1が滑らかに上昇する。
更に、ガイド4の摩擦係数が小さいので、下方から押し
上げられた樹脂タブレット1は、ガイド4に沿っていっ
そう滑らかに上昇する。したがって、樹脂タブレット1
の詰まりや折れ等の発生が抑制され、樹脂タブレット1
が円滑に供給される。また、マガジン2A及びロッド1
0Aの組合せと、マガジン2B及びロッド10Bの組合
せとがそれぞれ個別供給ユニットを構成する。そして、
この1対の個別供給ユニットの一方がポットに樹脂タブ
レット1を供給している間に、他方に樹脂タブレット1
が装填される。したがって、樹脂タブレット1を装填す
るために樹脂タブレット供給装置を停止させる必要がな
いので、樹脂封止装置の稼働率低下を防止することがで
きる。また、ターンテーブル3と1対の個別供給ユニッ
トとからなる連続供給ユニットを複数個備えるので、複
数の金型を有する樹脂封止装置において、各金型が有す
るポットに対して、各連続供給ユニットが樹脂タブレッ
ト1を円滑に連続供給することができる。
A,2Bの底板9A,9Bをそれぞれロッド10A,1
0Bが押し上げる構成とした。これに代えて、マガジン
の底面に開口を設け、マガジン内壁に設けられた段差に
掛かり止めされた最下層の樹脂タブレット1を、ロッド
の上部に固定された押上げ板が押し上げるようにしても
よい。
レット数とポット数とが同数である場合を説明した。こ
れに限らず、ポット数の方が多い場合には、マガジン2
A,2Bから樹脂タブレットを複数回搬送して、ポット
に供給すればよい。また、ポット数の方が少ない場合に
は、ホルダ5が一度に保持する樹脂タブレット1の一部
を、ポットに投入すればよい。
ト1が水平方向に配置される際のピッチを、ポットのピ
ッチに等しくしておくことが好ましい。この場合には、
各バルブを同時に閉じることによって、一度に樹脂タブ
レット1を各ポットに投入することができるので、作業
効率が向上する。
移動させたが、これに代えて、マガジン2A,2Bを平
行移動させることもできる。この場合には、アーム7と
アーム13とがそれぞれマガジンに対して行う動作を互
いに邪魔しないように、各アームが動作するタイミング
を調整しておけばよい。
積み上げられた樹脂タブレットが、下方から押し上げら
れると滑らかに上昇するので、樹脂タブレットの詰まり
や折れ等の発生を抑制することができる。また、1対の
個別供給ユニットの一方がポットに樹脂タブレットを供
給している間に、他方に樹脂タブレットが装填される。
したがって、樹脂タブレットを装填するために樹脂タブ
レット供給装置を停止させる必要がないので、樹脂封止
装置の稼働率低下を防止することができる。また、移動
機構と1対の個別供給ユニットとからなる連続供給ユニ
ットを複数個備えるので、複数の金型を有する樹脂封止
装置において、各金型が有するポットに対して樹脂タブ
レットを連続供給することができる。したがって、樹脂
タブレットの詰まりや折れ等の発生が抑制され、金型の
ポットに樹脂タブレットが円滑に供給される。これによ
り、樹脂封止装置の稼働率低下を防止する樹脂タブレッ
ト供給装置を提供できるという、優れた実用的な効果を
奏するものである。
示す斜視図である。
トが満載された状態を、(2)は一方のマガジンが空に
なった状態を、図1におけるターンテーブルを除いてA
−A線に沿ってそれぞれ示す断面図である。
レットが供給されているとともに空になった他方のマガ
ジンに樹脂タブレットが装填されている状態を、(2)
は、一方のマガジンが空になるとともに他方のマガジン
に樹脂タブレットが満載された状態を、図1におけるタ
ーンテーブルを除いてA−A線に沿ってそれぞれ示す断
面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 樹脂封止装置の金型が有する1又は複数
のポットに柱状の樹脂タブレットを供給する樹脂タブレ
ット供給装置であって、 底部に複数の樹脂タブレットが並んで横たわるように配
置され、かつ、前記複数の樹脂タブレットの各々の直上
に更に樹脂タブレットが積み上げられて収納されるマガ
ジンと、 前記収納された樹脂タブレットを押し上げる押上げ機構
と、 前記押し上げられた樹脂タブレットの最上部を保持する
保持機構と、 前記保持された樹脂タブレットを前記ポットまで搬送す
る搬送機構とを備えるとともに、 前記マガジンの内部には前記収納された樹脂タブレット
を上昇させるためのガイドが設けられていることを特徴
とする樹脂タブレット供給装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の樹脂タブレット供給装置
において、 前記マガジンと前記押上げ機構とからなる個別供給ユニ
ットが1対だけ設けられ、 前記マガジンのうち一方が空になった場合には、他方の
マガジンに収納されている樹脂タブレットが供給される
ように、前記他方のマガジンを有する個別供給ユニット
を前記保持機構の下方に移動させる移動機構と、 前記一方のマガジンに新たな樹脂タブレットを装填する
装填機構とを更に備えたことを特徴とする樹脂タブレッ
ト供給装置。 - 【請求項3】 請求項2記載の樹脂タブレット供給装置
において、 前記1対の個別供給ユニットと前記移動機構とが連続供
給ユニットを構成するとともに、 前記連続供給ユニットを複数個備えたことを特徴とする
樹脂タブレット供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34979499A JP4372923B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | 樹脂タブレット供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34979499A JP4372923B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | 樹脂タブレット供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001162621A true JP2001162621A (ja) | 2001-06-19 |
JP4372923B2 JP4372923B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=18406168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34979499A Expired - Fee Related JP4372923B2 (ja) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | 樹脂タブレット供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4372923B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147188A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂搬送機構を備えた樹脂封止装置、および、当該樹脂封止装置における樹脂の搬送方法 |
KR101187444B1 (ko) * | 2010-02-08 | 2012-10-26 | 주식회사 메탈텍 | 허브 링 고주파 열처리 장치 |
KR101571068B1 (ko) | 2013-04-29 | 2015-11-23 | 주식회사 성남전자 | 재료 연속 공급 장치 |
CN105129416A (zh) * | 2015-08-21 | 2015-12-09 | 芜湖美威包装品有限公司 | 一种包装纸板上料系统 |
EP3187441A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-05 | Celulosas Moldeadas, S.A. | System and method for destacking trays for fruit |
CN110654587A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 克朗斯股份公司 | 用于堆叠物品和/或成件货物的方法和堆垛装置 |
CN112758685A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-05-07 | 广东友力智能科技有限公司 | 一种手套放料抓取设备 |
CN112776241A (zh) * | 2019-11-07 | 2021-05-11 | 东和株式会社 | 树脂材料供给装置、树脂成形装置及成形品的制造方法 |
CN114013992A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-02-08 | 杭州万马智能医疗科技有限公司 | 一种用于医用纺织物品发放的自动推送装置 |
-
1999
- 1999-12-09 JP JP34979499A patent/JP4372923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147188A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂搬送機構を備えた樹脂封止装置、および、当該樹脂封止装置における樹脂の搬送方法 |
KR101187444B1 (ko) * | 2010-02-08 | 2012-10-26 | 주식회사 메탈텍 | 허브 링 고주파 열처리 장치 |
KR101571068B1 (ko) | 2013-04-29 | 2015-11-23 | 주식회사 성남전자 | 재료 연속 공급 장치 |
CN105129416A (zh) * | 2015-08-21 | 2015-12-09 | 芜湖美威包装品有限公司 | 一种包装纸板上料系统 |
EP3187441A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-05 | Celulosas Moldeadas, S.A. | System and method for destacking trays for fruit |
CN110654587A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 克朗斯股份公司 | 用于堆叠物品和/或成件货物的方法和堆垛装置 |
CN112776241A (zh) * | 2019-11-07 | 2021-05-11 | 东和株式会社 | 树脂材料供给装置、树脂成形装置及成形品的制造方法 |
CN112758685A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-05-07 | 广东友力智能科技有限公司 | 一种手套放料抓取设备 |
CN114013992A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-02-08 | 杭州万马智能医疗科技有限公司 | 一种用于医用纺织物品发放的自动推送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4372923B2 (ja) | 2009-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5387265A (en) | Semiconductor wafer reaction furnace with wafer transfer means | |
JP4796024B2 (ja) | 容器交換システム及び容器交換方法 | |
JP5978728B2 (ja) | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 | |
TWI289340B (en) | Liquid processing apparatus and liquid processing method | |
TWI362082B (ja) | ||
JP2000150400A (ja) | 縦型熱処理装置およびボート搬送方法 | |
WO2006129385A1 (ja) | 基板搬送装置 | |
WO2013069716A1 (ja) | ロードポート、efem | |
JP2001162621A (ja) | 樹脂タブレット供給装置 | |
CN208589418U (zh) | 基板处理装置 | |
TW200914349A (en) | Apparatus and method for transferring parts | |
TW202045334A (zh) | 樹脂鑄模裝置 | |
JP3941359B2 (ja) | 被処理体の処理システム | |
TW200933804A (en) | Load port | |
JP7355475B2 (ja) | バッチ・ウエハ処理装置 | |
KR200286751Y1 (ko) | 반도체패키지 제조 장비의 트레이 공급장치 | |
JP7384132B2 (ja) | 物品収容装置 | |
JP5002050B2 (ja) | 基板処理システムおよび基板搬送方法 | |
JPS62175324A (ja) | リ−ドフレ−ムの供給・排出装置 | |
JP2002050678A (ja) | ウェーハ搬送体、ウェーハ搬送機構及び方法、及び半導体製造装置 | |
JP4097358B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JPH0193142A (ja) | 半導体基板収納治具 | |
KR20010113147A (ko) | 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한반도체패키지 제조 장치 | |
JP2010045299A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH09186072A (ja) | 原板搬送装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090825 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090903 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4372923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130911 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |