JPH09186072A - 原板搬送装置および方法 - Google Patents
原板搬送装置および方法Info
- Publication number
- JPH09186072A JPH09186072A JP8014775A JP1477596A JPH09186072A JP H09186072 A JPH09186072 A JP H09186072A JP 8014775 A JP8014775 A JP 8014775A JP 1477596 A JP1477596 A JP 1477596A JP H09186072 A JPH09186072 A JP H09186072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- opening
- upper lid
- reticle
- original plate
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単かつ安価な構成で高速に原板を搬送する
原板搬送装置を提供する。 【解決手段】 開口部および上蓋を有し、開口部を上蓋
で閉じた状態で原板１を収納したカセット２を複数個収
納する収納手段５と、収納手段から任意のカセットを取
り出すカセット取出し手段６と、これによって取り出さ
れたカセットの上蓋を開閉する開閉手段９と、これによ
って上蓋が開けられたカセットから原板を取り出し、他
の場所１２へ搬送する搬送手段１１とを有する原板搬送
装置において、開閉手段を、カセット取出し手段上に設
ける。
原板搬送装置を提供する。 【解決手段】 開口部および上蓋を有し、開口部を上蓋
で閉じた状態で原板１を収納したカセット２を複数個収
納する収納手段５と、収納手段から任意のカセットを取
り出すカセット取出し手段６と、これによって取り出さ
れたカセットの上蓋を開閉する開閉手段９と、これによ
って上蓋が開けられたカセットから原板を取り出し、他
の場所１２へ搬送する搬送手段１１とを有する原板搬送
装置において、開閉手段を、カセット取出し手段上に設
ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子製造用
のフォトマスク、レチクル等の原板を搬送する装置およ
び方法に関し、特に露光装置、洗浄装置等に組み込むの
に適した原板搬送装置および方法に関する。
のフォトマスク、レチクル等の原板を搬送する装置およ
び方法に関し、特に露光装置、洗浄装置等に組み込むの
に適した原板搬送装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、原板搬送装置は、一般に、フォト
マスクやレチクル（以下、レチクルという）を入れたカ
セットを多数収納して待機させる収納棚と、収納棚に沿
って垂直方向に往復運動するエレベータ機構と、エレベ
ータ機構上に載り、収納棚から所望のカセットを取り出
すカセットハンドと、取り出されたカセットを開くカセ
ット開閉装置と、開いたカセットからレチクルを取り出
し、露光装置に移送するレチクルハンドとから構成され
る。
マスクやレチクル（以下、レチクルという）を入れたカ
セットを多数収納して待機させる収納棚と、収納棚に沿
って垂直方向に往復運動するエレベータ機構と、エレベ
ータ機構上に載り、収納棚から所望のカセットを取り出
すカセットハンドと、取り出されたカセットを開くカセ
ット開閉装置と、開いたカセットからレチクルを取り出
し、露光装置に移送するレチクルハンドとから構成され
る。
【０００３】この構成において、レチクルを露光装置に
移送するには、最初にエレベータを駆動し、カセットハ
ンドを所定のカセット収納棚の高さまで移動し、カセッ
トハンドによりカセットを取り出して開閉装置に移送す
る。次に、開閉装置において、カセットの上蓋と下皿を
分離し、レチクルを露出した後、レチクルハンドがカセ
ット下皿に置かれているレチクルを取り出して露光装置
に搬送する。
移送するには、最初にエレベータを駆動し、カセットハ
ンドを所定のカセット収納棚の高さまで移動し、カセッ
トハンドによりカセットを取り出して開閉装置に移送す
る。次に、開閉装置において、カセットの上蓋と下皿を
分離し、レチクルを露出した後、レチクルハンドがカセ
ット下皿に置かれているレチクルを取り出して露光装置
に搬送する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、カセットを取り出すカセットハンドと、カ
セットを開く開閉装置が異なる位置に設置されているた
めに、多くのスペースを必要とし、また構成が複雑化し
て露光装置にレチクルを送り込む時間が長くなるという
問題がある。
来技術では、カセットを取り出すカセットハンドと、カ
セットを開く開閉装置が異なる位置に設置されているた
めに、多くのスペースを必要とし、また構成が複雑化し
て露光装置にレチクルを送り込む時間が長くなるという
問題がある。
【０００５】本発明の目的は、この従来技術の問題点に
鑑み、簡単かつ安価な構成で高速に原板を搬送する原板
搬送装置を提供することにある。
鑑み、簡単かつ安価な構成で高速に原板を搬送する原板
搬送装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】この目的を達
成するため、本発明では、開口部および上蓋を有し、開
口部を上蓋で閉じた状態で原板を収納したカセットを複
数個収納する収納手段と、収納手段から任意のカセット
を取り出すカセット取出し手段と、これによって取り出
されたカセットの上蓋を開閉する開閉手段と、これによ
って上蓋が開けられたカセットから原板を取り出し、他
の場所へ搬送する搬送手段とを有する原板搬送装置にお
いて、開閉手段は、カセット取出し手段上に設けられた
ことを特徴とする。これによれば、カセットを収納手段
から取り出してカセットの上蓋を開ける開閉手段がカセ
ット取出し手段上に設けられているため、多くのスペー
スを必要としない。したがって、簡単かつ安価な構成で
高速に原板を搬送する原板搬送装置を提供することが可
能となる。
成するため、本発明では、開口部および上蓋を有し、開
口部を上蓋で閉じた状態で原板を収納したカセットを複
数個収納する収納手段と、収納手段から任意のカセット
を取り出すカセット取出し手段と、これによって取り出
されたカセットの上蓋を開閉する開閉手段と、これによ
って上蓋が開けられたカセットから原板を取り出し、他
の場所へ搬送する搬送手段とを有する原板搬送装置にお
いて、開閉手段は、カセット取出し手段上に設けられた
ことを特徴とする。これによれば、カセットを収納手段
から取り出してカセットの上蓋を開ける開閉手段がカセ
ット取出し手段上に設けられているため、多くのスペー
スを必要としない。したがって、簡単かつ安価な構成で
高速に原板を搬送する原板搬送装置を提供することが可
能となる。
【０００７】また、開閉手段は、カセットに収納されて
いる原板の端面と平行な軸を中心として、カセットの上
蓋を回転移動させることにより、開口部を開閉するもの
であることを特徴とする。
いる原板の端面と平行な軸を中心として、カセットの上
蓋を回転移動させることにより、開口部を開閉するもの
であることを特徴とする。
【０００８】これによれば、開口部を開けた後レチクル
の上面が全て露出するために、上面からの原板取り出し
も可能となり、原板搬送装置を構成する上で、多くの搬
送手法を提供することが可能となる。
の上面が全て露出するために、上面からの原板取り出し
も可能となり、原板搬送装置を構成する上で、多くの搬
送手法を提供することが可能となる。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例に係る原板搬送装
置を示す図であり、本発明の特徴を最もよく表す図であ
る。
置を示す図であり、本発明の特徴を最もよく表す図であ
る。
【００１０】同図において、１はレチクル、２はレチク
ル１を収納してあるカセット、３はカセット２の下皿で
あり、レチクル１を積載するものである。４はカセット
２の上蓋であり、下皿３と共に密閉状態を保つことによ
りレチクル１に異物等が付着することを防ぐものであ
る。５はカセット２を複数個保管しておく収納棚、６は
カセット２を収納棚５から取り出すためのカセットハン
ド、７はカセットハンド６をＹ方向に移動させるための
Ｙ軸スライダ、８はカセットハンド６をＺ方向に移動さ
せるためのＺ軸スライダである。９はカセットハンド６
上に配置されたカセット開閉機構であり、カセット上蓋
４を回転移動させることによりカセット２を開閉する。
１０はレチクル位置決め部であり、レチクル１の４辺を
直交する２方向から挟み込むことによりレチクル１の位
置決めおよび保持をするものである。この際、カセット
開閉機構９により上蓋４が外され、下皿３上で露出され
た状態のレチクル１の位置決め、保持が可能である。１
１はレチクル位置決め部１０に保持されているレチクル
１を受け取り、搬送するためのレチクルハンドであり、
上下および回転移動が可能である。また、レチクルハン
ド１１には不図示の真空吸着穴が設けられており、不図
示の真空ポンプのオンまたはオフにより、レチクル１を
保持または解除する。１２は最終的にレチクル１をセッ
トする露光台である。
ル１を収納してあるカセット、３はカセット２の下皿で
あり、レチクル１を積載するものである。４はカセット
２の上蓋であり、下皿３と共に密閉状態を保つことによ
りレチクル１に異物等が付着することを防ぐものであ
る。５はカセット２を複数個保管しておく収納棚、６は
カセット２を収納棚５から取り出すためのカセットハン
ド、７はカセットハンド６をＹ方向に移動させるための
Ｙ軸スライダ、８はカセットハンド６をＺ方向に移動さ
せるためのＺ軸スライダである。９はカセットハンド６
上に配置されたカセット開閉機構であり、カセット上蓋
４を回転移動させることによりカセット２を開閉する。
１０はレチクル位置決め部であり、レチクル１の４辺を
直交する２方向から挟み込むことによりレチクル１の位
置決めおよび保持をするものである。この際、カセット
開閉機構９により上蓋４が外され、下皿３上で露出され
た状態のレチクル１の位置決め、保持が可能である。１
１はレチクル位置決め部１０に保持されているレチクル
１を受け取り、搬送するためのレチクルハンドであり、
上下および回転移動が可能である。また、レチクルハン
ド１１には不図示の真空吸着穴が設けられており、不図
示の真空ポンプのオンまたはオフにより、レチクル１を
保持または解除する。１２は最終的にレチクル１をセッ
トする露光台である。
【００１１】この構成において、まずＺ軸スライダ８を
駆動し、カセット２が保管された収納棚５の高さよりわ
ずかに低い位置までカセットハンド６を昇降させる。次
に、Ｙ軸スライダ７を駆動し、カセットハンド６を収納
棚５へ挿入する。次に、Ｚ軸スライダ８をわずかに駆動
し、カセットハンド６を上昇させ、収納棚５の棚からカ
セット２を持ち上げる。そして、Ｙ軸スライダ７を上述
の方向と逆方向に駆動し、カセット２を収納棚５から引
き出す。
駆動し、カセット２が保管された収納棚５の高さよりわ
ずかに低い位置までカセットハンド６を昇降させる。次
に、Ｙ軸スライダ７を駆動し、カセットハンド６を収納
棚５へ挿入する。次に、Ｚ軸スライダ８をわずかに駆動
し、カセットハンド６を上昇させ、収納棚５の棚からカ
セット２を持ち上げる。そして、Ｙ軸スライダ７を上述
の方向と逆方向に駆動し、カセット２を収納棚５から引
き出す。
【００１２】次に、カセット開閉機構９を駆動し、カセ
ットハンド６上のカセット２の上蓋４と下皿３とを分離
し、下皿３に積載されたレチクル１を露出状態にする。
次に、Ｚ軸スライダ８を駆動し、露出したレチクル１が
レチクル位置決め部１０の位置に到達するまでカセット
ハンド６を上昇させる。
ットハンド６上のカセット２の上蓋４と下皿３とを分離
し、下皿３に積載されたレチクル１を露出状態にする。
次に、Ｚ軸スライダ８を駆動し、露出したレチクル１が
レチクル位置決め部１０の位置に到達するまでカセット
ハンド６を上昇させる。
【００１３】カセット位置決め部１０は、上昇してきた
下皿３上のレチクル１の４辺を挟み込み、位置決めした
状態で保持し、さらにＺ軸スライダ８を駆動し、カセッ
トハンド６上にある下皿３を下降させることにより、レ
チクル１を下皿から離脱させる。
下皿３上のレチクル１の４辺を挟み込み、位置決めした
状態で保持し、さらにＺ軸スライダ８を駆動し、カセッ
トハンド６上にある下皿３を下降させることにより、レ
チクル１を下皿から離脱させる。
【００１４】次に、レチクルハンド１１をレチクル位置
決め部１０の下まで回転移動し、レチクル１の位置に到
達するまで上昇させ、真空ポンプをオンにし、レチクル
１を吸着保持する。その後、レチクル位置決め部１０に
よるレチクル１の位置決め、保持を解除し、レチクルハ
ンド１１をわずかに下降することにより、位置決めされ
たレチクル１をレチクルハンド１１に受け渡す。最終的
にレチクルハンド１１は露光台１２まで回転移動し、わ
ずかに下降することによりレチクル１を露光台１２に受
け渡す。
決め部１０の下まで回転移動し、レチクル１の位置に到
達するまで上昇させ、真空ポンプをオンにし、レチクル
１を吸着保持する。その後、レチクル位置決め部１０に
よるレチクル１の位置決め、保持を解除し、レチクルハ
ンド１１をわずかに下降することにより、位置決めされ
たレチクル１をレチクルハンド１１に受け渡す。最終的
にレチクルハンド１１は露光台１２まで回転移動し、わ
ずかに下降することによりレチクル１を露光台１２に受
け渡す。
【００１５】次に、図２、図３および図４を用いてカセ
ット開閉機構９の構造を説明する。図２は図１の装置に
おいてカセット２を閉じた状態のカセット開閉機構９を
示す平面図、図３は図１の装置においてカセット２を閉
じた状態のカセット開閉機構９を示す側面図、図３は図
１の装置においてカセット２を開いた状態のカセット開
閉機構９を示す側面図である。
ット開閉機構９の構造を説明する。図２は図１の装置に
おいてカセット２を閉じた状態のカセット開閉機構９を
示す平面図、図３は図１の装置においてカセット２を閉
じた状態のカセット開閉機構９を示す側面図、図３は図
１の装置においてカセット２を開いた状態のカセット開
閉機構９を示す側面図である。
【００１６】図２、図３および図４において、１３はカ
セット上蓋４上の左右に形成された上蓋突起である。１
４は左右２組の平行棒からなる突起１３の支持部であ
り、カセット２がカセットハンド６に搭載された状態で
は、左右それぞれ上蓋突起１３のわずかに高い位置と、
わずかに低い位置に設置されている。１５は突起支持部
１４を固定している開閉アームであり、１６は開閉アー
ム１５の回転移動を支持するための支点である。１７は
開閉アーム１５を回転移動するためのカムであり、これ
に、開閉アーム１５の右端が接している。１８は開閉ア
ーム１５を回転移動させるためのモータであり、カム１
７と同軸に固定されている。
セット上蓋４上の左右に形成された上蓋突起である。１
４は左右２組の平行棒からなる突起１３の支持部であ
り、カセット２がカセットハンド６に搭載された状態で
は、左右それぞれ上蓋突起１３のわずかに高い位置と、
わずかに低い位置に設置されている。１５は突起支持部
１４を固定している開閉アームであり、１６は開閉アー
ム１５の回転移動を支持するための支点である。１７は
開閉アーム１５を回転移動するためのカムであり、これ
に、開閉アーム１５の右端が接している。１８は開閉ア
ーム１５を回転移動させるためのモータであり、カム１
７と同軸に固定されている。
【００１７】この構成において、カセット２を開閉する
カセット開閉機構９の動作を説明する。カセット２の開
口部が閉じた状態では、図２および図３のように、カム
１７の先端は上方を向いている。この状態で、モータ１
８を回転させることにより、カム１７を反時計回りに回
転させ、カム１７に接している開閉アーム１５の右端を
押し下げる。その結果、開閉アーム１５は支点１６を中
心として回転移動し、これに接続されている突起支持部
１４も同時に回転する。
カセット開閉機構９の動作を説明する。カセット２の開
口部が閉じた状態では、図２および図３のように、カム
１７の先端は上方を向いている。この状態で、モータ１
８を回転させることにより、カム１７を反時計回りに回
転させ、カム１７に接している開閉アーム１５の右端を
押し下げる。その結果、開閉アーム１５は支点１６を中
心として回転移動し、これに接続されている突起支持部
１４も同時に回転する。
【００１８】ここで、突起支持部１４はカセット上蓋４
の上蓋突起１３を上下から挟んでいるために、カセット
上蓋４も支点１６を中心として回転移動し、最終的に図
４のように、カセット２が開き、レチクル１が露出する
こととなる。
の上蓋突起１３を上下から挟んでいるために、カセット
上蓋４も支点１６を中心として回転移動し、最終的に図
４のように、カセット２が開き、レチクル１が露出する
こととなる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カセットを収納手段から取り出してカセットの上蓋を開
ける開閉手段がカセット取出し手段上に設けられている
ため、多くのスペースを必要としない。したがって、簡
単かつ安価な構成で高速に原板を搬送する原板搬送装置
を提供することができる。
カセットを収納手段から取り出してカセットの上蓋を開
ける開閉手段がカセット取出し手段上に設けられている
ため、多くのスペースを必要としない。したがって、簡
単かつ安価な構成で高速に原板を搬送する原板搬送装置
を提供することができる。
【００２０】また、開閉手段は、カセットに収納されて
いる原板の端面と平行な軸を中心として、カセットの上
蓋を回転移動させることにより、開口部を開閉するよう
にしため、原板の上面が全て露出し、上面から原板を取
り出すことができ、原板搬送装置を構成する上で、多く
の搬送手法を提供することができる。
いる原板の端面と平行な軸を中心として、カセットの上
蓋を回転移動させることにより、開口部を開閉するよう
にしため、原板の上面が全て露出し、上面から原板を取
り出すことができ、原板搬送装置を構成する上で、多く
の搬送手法を提供することができる。
【図１】 本発明の一実施例に係る原板搬送装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】 図１の装置においてカセットを閉じた状態の
カセット開閉機構を示す平面図である。
カセット開閉機構を示す平面図である。
【図３】 図１の装置においてカセットを閉じた状態の
カセット開閉機構を示す側面図である。
カセット開閉機構を示す側面図である。
【図４】 図１の装置においてカセットを開いた状態の
カセット開閉機構を示す側面図である。
カセット開閉機構を示す側面図である。
１：レチクル、２：カセット、３：カセットの下皿、
４：カセットの上蓋、５：収納棚、６：カセットハン
ド、７：Ｙ軸スライダ、８：Ｚ軸スライダ、９：カセッ
ト開閉機構、１０：位置決め部、１１：レチクルハン
ド、１２：露光台、１３：上蓋突起、１４：突起支持
部、１５：開閉アーム、１６：支点、１７：カム、１
８：モータ。
４：カセットの上蓋、５：収納棚、６：カセットハン
ド、７：Ｙ軸スライダ、８：Ｚ軸スライダ、９：カセッ
ト開閉機構、１０：位置決め部、１１：レチクルハン
ド、１２：露光台、１３：上蓋突起、１４：突起支持
部、１５：開閉アーム、１６：支点、１７：カム、１
８：モータ。
Claims (4)
- 【請求項１】 開口部および上蓋を有し、前記開口部を
前記上蓋で閉じた状態で原板を収納したカセットを複数
個収納する収納手段と、前記収納手段から任意の前記カ
セットを取り出すカセット取出し手段と、これによって
取り出された前記カセットの前記上蓋を開閉する開閉手
段と、これによって前記上蓋が開けられた前記カセット
から前記原板を取り出し、他の場所へ搬送する搬送手段
とを有する原板搬送装置において、 前記開閉手段は、前記カセット取出し手段上に設けられ
たことを特徴とする原板搬送装置。 - 【請求項２】 前記開閉手段は、前記カセットに収納さ
れている前記原板の端面と平行な軸を中心として、前記
カセットの上蓋を回転移動させることにより、前記開口
部を開閉するものであることを特徴とする請求項１記載
の原板搬送装置。 - 【請求項３】 開口部および上蓋を有し、前記開口部を
前記上蓋で閉じた状態で原板を収納するカセットを複数
個収納手段へ収納する工程と、前記収納手段から任意の
前記カセットを取り出す工程と、この取り出されたカセ
ットを原板取出し位置へ移送する工程と、前記取り出さ
れたカセットの上蓋を開く工程と、この上蓋が開かれた
カセットから前記原板を前記原板取出し位置において取
り出し、他の場所へ搬送する工程とを有する原板搬送方
法において、 前記上蓋を開く工程は、前記原板取出し位置へ移送する
工程と同時に進行することを特徴とする原板搬送方法。 - 【請求項４】 前記上蓋を開く工程において、収納され
ている前記原板の端面と平行な軸を中心として、前記上
蓋を回転移動させることにより、前記上蓋を開くことを
特徴とする請求項３記載の原板搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8014775A JPH09186072A (ja) | 1996-01-04 | 1996-01-04 | 原板搬送装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8014775A JPH09186072A (ja) | 1996-01-04 | 1996-01-04 | 原板搬送装置および方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186072A true JPH09186072A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=11870437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8014775A Pending JPH09186072A (ja) | 1996-01-04 | 1996-01-04 | 原板搬送装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09186072A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011053586A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Ushio Inc | 露光装置 |
| US9983487B2 (en) * | 2008-04-18 | 2018-05-29 | Asml Holding N.V | Rapid exchange device for lithography reticles |
-
1996
- 1996-01-04 JP JP8014775A patent/JPH09186072A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9983487B2 (en) * | 2008-04-18 | 2018-05-29 | Asml Holding N.V | Rapid exchange device for lithography reticles |
| JP2011053586A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Ushio Inc | 露光装置 |
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