JP2011053586A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のマスクM1での露光中に、第1のハンドラ11aがマスク保管部6から次に使用する第2のマスクM2を取り出し、プリアライメントステージ5に載せてプリアライメントを行う。露光が終わると第2のハンドラ12aが第1のマスクM1をプリアライメントステージ5まで運ぶ。マスク退避機構13の第3のハンドラ13aは第1のマスクM1を受け取りいったん保持する。第2のハンドラ12aは、第2のマスクM2を保持し、マスクステージ2へ搬送する。同時に第3のハンドラ13aが保持していた第1のマスクM1を第1のハンドラが受け取ってマスク保管部6に回収する。マスク退避機構13を設けマスクを退避させるようにしたのでマスクの交換時間を短縮することができる。
【選択図】図1
Description
露光装置は、主に、光照射部1、パターンを形成したマスクM、このマスクMを保持するマスクステージ2、露光処理を行うプリント基板や液晶パネルなどのワークを保持するワークステージ4、マスクMに形成されたパターンをワークステージ4上のワークWに投影する投影レンズ3を備える。なお、投影レンズ3を備えず、マスクMとワークWを近接または密着させて露光を行う露光装置もある。
光照射部1は、紫外線を含む光を放射する光源であるランプ1a、ランプからの光を反射するミラー1bを備える。
プリアライメントステージ5は、マスクMをマスクステージ2に対して位置合せするステージである。すなわち、予めマスクMをプリアライメントステージ5上で位置決めし、位置決めされたマスクMを、相対位置が変わらないようにマスクステージ2上に搬送しマスクステージ2上に載置することで、マスクステージ2上の所定の位置にマスクをセットする。プリアライメントステージ5上でのプリアライメントは、例えば、複数の位置決めピン5aにマスクMの周辺部を突き当てるといった方法により行う。
また、プリアライメントステージ5とマスクステージ2間のマスクの搬送は、第2のマスク搬送機構12により行う。第1のマスク搬送機構12は、主に、マスクの周辺部を保持して吊り下げるハンドラ12a、このハンドラ12aを図面左右方向に移動させるレール12bから構成されている。
第1のマスク搬送機構11のハンドラ(第1のハンドラ)11aが、マスク保管部6からマスクMを取り出し、プリアライメントステージ5まで搬送する(同図の点線参照)。プリアライメントステージ5において、マスクMはマスクステージ2に対して位置合せされる。
第2のマスク搬送機構12のハンドラ(第2のハンドラ)12aが、位置合せが終わったマスクMをマスクステージ2にまで搬送する。マスクステージ2はマスクMを吸着保持する。
ワークステージ4にワークWが置かれ、光照射部1から露光光がマスクM、投影レンズ3を介してワークWに照射される。ワークWにマスクMに形成されているパターンが転写される。
そして、第1のハンドラ11aが、次の露光に使用するマスクMをマスク保管部6から取り出し、プリアライメントステージ5まで搬送する。プリアライメントステージ5にて、マスクMはマスクステージ2に対して位置合せされる。
第2のハンドラ12aが、プリアライメントステージ5のマスクMをマスクステージ2にまで搬送する。マスクステージ2はマスクMを吸着保持する。
特許文献1に記載された基板の高速交換装置は、2本の搬送アームを備えている。両アームとも、マスクカートリッジ(マスクの保管部)からのマスクの取り出し、マスクのプリアライメント装置への搬送、マスクのマスクステージへの載置、マスクのマスク保管部への回収を行うことができる。搬送アームが2本あり、マスクステージから先のマスクを回収することと、次のマスクを搬入することが連続して行える。そのため、アームが1本の場合に比べてマスクの交換時間を短くすることができる。
露光中に、フォーク2によりマスクをライブラリから 取り出してプリアライメントを行い、マスクの交換はロードアーム4Aとアンロードアーム4Bを使用するので、マスクの交換時間は短くてすむ。
特に、光照射部からマスクを挟んだ投影レンズまでの間隔は、高い露光精度を得るための光学特性上、できるだけ狭くしておくことが望ましいとされている。しかし、マスクを複数台のハンドラで搬送すると、ハンドラが通過するためのクリアランスを設けなければならず、その分、光照射部と投影レンズの間隔が広がってしまう。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであって、部品の点数の大幅な増加や大型化、また光照射部から投影レンズまでの間隔が広がることを防ぎつつ、マスクの交換時間を短くすることができる露光装置を提供することを目的とする。
本発明において、マスク交換は、このマスク退避機構を利用して次のように行う。
(イ)第1のマスクでの露光中に、第1のマスク搬送機構のハンドラ(第1のハンドラ)は、マスク保管部から次に使用する第2のマスクを取り出し、プリアライメントステージ部に運んでプリアライメントを行っておく。
(ロ)第1のマスクでの露光が終わると、第2のマスク搬送機構のハンドラ(第2のハンドラ)が、マスクステージから第1のマスクを取り出してプリアライメントステージ部まで運ぶ。ここでマスク退避機構のハンドラ(第3のハンドラ)が、第2のハンドラから第1のマスクを受け取る。第2のハンドラは空になる。
(ハ)空になった第2のハンドラは、プリアライメントステージ部上にある第2のマスクを保持し、マスクステージへと搬送する。それと同時に、第3のハンドラが保持していた第1のマスクを第1のハンドラが受け取ってマスク保管部に回収する。
(ニ)第1のハンドラは、マスク保管部に第1のマスクを収めたら、次に使う第3のマスクを取り出して、プリアライメントステージに搬送する。
(1)マスクステージから回収した第1のマスクを、マスク退避機構により退避させるようにしたので、プリアライメントステージ部において第1のマスク搬送機構と第2のマスク搬送機構が第1と第2のマスクを交換し、第1のマスクをマスク保管部に収納することができる。
すなわち、プリアライメントステージ部において、マスク退避機構により第2のマスク搬送機構が保持していた第1のマスクを退避させ、マスク保管部から取り出した第2のマスクを第1のマスク搬送機構から第2のマスク搬送機構に渡すとともに、マスク退避機構に退避していた第1のマスクを第1のマスク搬送機構が受け取ることで、第1のマスク搬送機構と第2のマスク搬送機構のそれぞれが保持していた第1と第2のマスクを交換し、第1のマスク搬送機構により第1のマスクをマスク保管部に回収するとともに、第1のマスク搬送機構により次のマスクをマスク保管部から取り出すことができる。
このため、背景技術において説明したようにマスク保管部でマスクを交換する場合に比べれば、マスクの交換時間を短縮することができる。
(2)プリアライメントステージ部に、新たにマスクを退避させるマスク退避機構が増えることになるが、マスク退避機構の移動範囲は、プリアライメントステージ部でのわずかな距離の上下動に限られており、装置を極端に大型化したりコストアップしたりするものではない。
すなわち、本実施例の露光装置は、図1に示すように、光照射部1、マスクを保持するマスクステージ2、ワークを保持するワークステージ4、マスクMに形成されたパターンをワークステージ4上のワークWに投影する投影レンズ3を備える。光照射部1は、紫外線を含む光を放射する光源であるランプ1a、ランプからの光を反射するミラー1bを備える。
マスク保管部6には、形成されているパターンがそれぞれ異なる複数のマスクMが保管されている。
プリアライメントステージ5は、前記したようにマスクMを位置合せするステージであり、本実施例では、プリアライメントステージ5の上に、マスク退避機構13が設けられる。マスク退避機構13は、マスクを吊り下げて保持するハンドラ(第3のハンドラ)13aと、この(第3の)ハンドラを上下方向に移動させる第3のハンドラ移動機構13bを備える。
なお、上記プリアライメントステージ5とマスク退避機構13を合わせてプリアライメントステージ部50という。
また、プリアライメントステージ5とマスクステージ2間のマスクの搬送は、前記図10と同様に第2のマスク搬送機構12により行う。第2のマスク搬送機構12は、マスクの周辺部を保持して吊り下げる第2のハンドラ12a、この第2のハンドラ12aを図面左右方向に移動させるレール12bから構成されている。
上記第1のマスク搬送機構11、第2のマスク搬送機構12、第3のハンドラ移動機構13は、制御部20により制御され、制御部20はこれらの移動機構を後述するように動作させて、マスクを交換する。
図2、図3に示すように、第1のマスク搬送機構11は、プリアライメントステージ部50の近傍に配置され、第1のマスク搬送機構11の第1のハンドラ11aは図3に示すように同図の紙面前後方向および紙面上下方向に動く。そして、第1のハンドラ11aでマスクMを下からすくい上げて保持し、マクス保管部6からプリアライメントステージ5へ、また、プリアライメントステージ5からマスク保管部6へ搬送する。
また、マスクステージ2とプリアライメントステージ5の間には第2のマスク搬送機構12が設けられる。第2のハンドラ12aはレール12bに沿って移動し、マスクMを上から吊り下げる保持してレール12bに沿って移動し、プリアライメントステージ5からマスクステージ2へ、また、マスクステージ2からプリアライメントステージ5へマスクMを搬送する。
第3のハンドラ13aは、第2のハンドラ12aで搬送されてきたマスクを受け取って退避させるものであり、第2のハンドラ12aが保持しているマスクを受け取って保持できるように、マスク退避機構13の第3のハンドラ13aは図3においてマスクMの上下の辺を保持するように、第2のマスク搬送機構12aの第2のハンドラ12aはマスクの左右の辺を保持するように構成されている。また、制御部20が設けられ、上記第1、第2のマスク移動機構11,12、マスク退避機構13等を制御する。
(1)従来と同様、第1のマスクM1が、第1のハンドラ11aによりマスク保管部6から取り出され、プリアライメントステージ5で位置合せされ、第2のハンドラ12aによりマスクステージ2に搬送される。
(2)第1のマスクM1がマスクステージ2に保持され、第1のマスクM1により露光がなされる。図4に示すように、第2のハンドラ12aは、露光処理の邪魔にならない位置に退避している。この間に第1のハンドラ11aが、次に使用する第2のマスクM2をマスク保管部6から取り出し、プリアライメントステージ5に搬送する。第2のマスクM2は位置合せがなされる。
(3)第1のマスクM1での露光処理が終わると、図5に示すように、第2のハンドラ12aが、第1のマスクM1をマスクステージ2から取外し、プリアライメントステージ5の上まで搬送する。
(5)図7に示すように、第3のハンドラ13aは、第1のマスクM1を保持した状態で上昇する。第2のハンドラ12aは空になり、プリアライメントステージ5の第2のマスクM2を保持するために、微小下降する。
(6)図8に示すように、第2のマスクM2を保持した第2のハンドラ12aは、マスクステージ2に向かう。それとともに、第3のハンドラ13aは下降して、第1のマスクM1をプリアライメントステージ5に載せ、第1のマスクM1の保持を解除する。
(7)第1のハンドラ11aが、プリアライメントステージ5上の第1のマスクM1を保持する。第1のマスクM1を保持した第1のハンドラ11aは、第1のマスクM1をマスク保管部6に回収する。
続いて第3のマスクでの露光を行う場合は、第1のハンドラ11aは、第1のマスクM1をマスク保管部6に回収した後、第3のマスクを取り出し、プリアライメントステージ5に搬送する。
なお、上記(6)(7)では、第3のハンドラ13aによりプリアライメントステージ5に置かれた第1のマスクM1を、第1のハンドラ11aが受け取りマスク保管部6に収納しているが、第1のハンドラ11aが第3のハンドラ13aから直接マスクM1を受け取ってマスク保管部6に収納するようにしてもよい。
1a ランプ
1b ミラー
2 マスクステージ
3 投影レンズ
4 ワークステージ
5 プリアライメントステージ
50 プリアライメントステージ部
6 マスク保管部
11 第1のマスク搬送機構
11a 第1のハンドラ
11b 第1のレール
11c 第2のレール
12 第2のマスク搬送機構
12a 第2のハンドラ
12b レール
13 マスク退避機構
13a 第3のハンドラ
13b 第3のハンドラ移動機構
20 制御部
M,M1,M2 マスク
W ワーク
Claims (1)
- 露光光を出射する光出射部と、
パターンが形成されたマスクを保持するマスクステージと、
複数の上記マスクを保管するマスク保管部と、
上記マスクをマスクステージに対してプリアライメントするプリアライメントステージ部と、
上記マスク保管部と上記プリアライメントステージとの間でマスクを搬送する第1のマスク搬送機構と
上記プリアライメントステージと上記マスクステージとの間でマスクを搬送する第2のマスク搬送機構と
上記マスクに形成されたパターンが転写されるワークを保持するワークステージと、を備える露光装置において、
上記プリアライメントステージ部へ搬送されてきたマスクを退避させるマスク退避機構を備えている
ことを特徴とする露光装置。
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