KR20010113147A - 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한반도체패키지 제조 장치 - Google Patents
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Abstract
이 발명은 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치에 관한 것으로, 카셋트에서 카셋트로 스트립을 이송함은 물론, 매거진->카셋트, 카셋트->매거진, 매거진->매거진으로의 스트립의 이송이 가능하도록, 다수의 반도체패키지 스트립이 상,하 일정 간격을 두고 적층된 카셋트를 수평방향으로 이송하는 카셋트 수평 이송부와; 상기 수평 이송부에 의해 일측으로 이송된 카셋트를 상부로 일정 피치씩 상승시키는 카셋트 수직 상승부와; 상기 수직 상승부의 카셋트에서 한 스트립씩 일측으로 이송하는 스트립 이송부와; 상기 스트립이 모두 이송된 빈 카셋트를 일측으로 반송시키는 카셋트 반송부를 포함하여 이루어진 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치임.
Description
본 발명은 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 반도체패키지 스트립(이하 '스트립'이라 함)이 수납되어 있거나 또는 비어 있는 카셋트를 로딩 및 언로딩시키는 인/아웃 로더와, 이 인/아웃 로더를 종래의 반도체패키지 제조 장치에 부착하여 카셋트에서 카셋트로 스트립을 이송함은 물론, 매거진->카셋트, 카셋트->매거진, 매거진->매거진으로의 스트립의 이송이 가능한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치에 관한 것이다.
통상 반도체패키지는 웨이퍼에서 양품의 반도체칩을 소잉하는 반도체칩 제공 단계, 상기 양품의 반도체칩을 스트립(리드프레임 또는 회로기판)에 탑재하는 칩 탑재 단계와, 상기 반도체칩과 스트립을 도전성와이어를 이용하여 상호 접속시키는 전기적 접속 단계, 상기 반도체칩 및 스트립을 봉지재로 봉지하는 봉지 단계, 상기 봉지재로 봉지된 면에 일정한 문자 및 도형 등을 마킹하는 마킹 단계, 상기 스트립에서 댐바 등을 제거하고 리드 등을 소정 형상으로 성형하는 트림/폼 단계, 상기 스트립에서 낱개의 반도체패키지로 싱귤레이션하는 싱귤레이션 단계 등으로 이루어져 있다.
이러한 반도체패키지의 제조 단계중에서, 통상 칩 탑재 단계 내지 트림/폼 단계에서는 반도체패키지가 매거진이나 카셋트 등에 수납된 채로 순차적으로 작업 영역(봉지 영역, 마킹 영역 또는 트림/폼 영역)에 투입되고, 또한 작업이 완료된 자재 역시 상기 매거진이나 카셋트 등에 다시 수납된다.
여기서, 종래 반도체패키지 제조용 마킹 장치 또는 트림/폼 장치의 개념적 구성을 도1에 도시하였다.
도시된 바와 같이 통상 스트립의 마킹이나 트림/폼 등의 작업이 이루어지는 작업 몸체(B)의 양측에는 매거진에서 스트립을 로딩하기 위한 인 로더(MIL) 및 다시 매거진으로 스트립을 언로딩하기 위한 아웃 로더(MOL)가 장착되어 있다. 또한, 상기 작업 몸체(B)에서의 스트립은 주지된 바와 같이 일정길이를 갖는 레일을 통해 이송되며, 상기 인 로더에서 레일로의 스트립 이송은 픽엔플레이스(Pick andPlace, 도시되지 않음)가 담당하고, 레일에서 아웃 로더(MOL)로의 스트립 이송은 통상 스트립을 직접 레일 하부로 하강시켜 수행하고 있다.
참고로 매거진(M)은 도2a에 도시된 바와 같이 상부에서 하부 방향으로 스트립(S)을 적층하여 수납할 수 있도록 상부 전체가 개구되어 있고, 하부에는 승강 푸셔(도시되지 않음)에 의해 상기 스트립(S)을 상방으로 일정 피치씩 밀어 올릴 수 있도록 관통공이 형성되어 있다.
또한 카셋트(C)는 도2b에 도시된 바와 같이 스트립(S)을 측방으로부터 수납할 수 있도록 양측부가 완전 개구되어 있고, 또한 내측에는 상호 대향되는 다수의 레일이 형성되어 그 레일 사이에 스트립(S)이 위치할 수 있도록 되어 있다. 이러한 카셋트(C)는 통상 푸셔(도시되지 않음)가 상기 카셋트의 측방향에서 카셋트 내측으로 이동하여 상기 스트립을 일측 방향으로 밀어낸다.
더불어 일반적으로 종래의 반도체패키지용 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치는 인 로더에 매거진을 로딩할 수 있도록 되어 있을 경우에는 반듯이 아웃 로더 쪽에도 매거진을 언로딩할 수 있도록 되어 있고, 인 로더에 카셋트를 로딩할 수 있도록 되어 있을 경우에는 반듯이 아웃 로더 쪽에도 카셋트를 언로딩할 수 있도록 구성된 단점이 있다. 즉, 인 로더에 매거진을 아웃 로더에 카셋트를 또는 그 역으로 인 로더에 카셋트를 아웃 로더에 매거진을 운용할 수 있는 장치가 개발되지 않았다.
이러한 반도체패키지 제조 장치는 반도체패키지의 제조 공정중 소정의 작업이 완료된 후 카셋트에 담겨진 스트립을 매거진에 수납하여만 하는 경우도 있고,또한 매거진에 담겨진 스트립을 카셋트에 수납하여 다음 단계로 진행해야 하는 작업 특성에 능동적으로 대처하지 못하는 문제가 있다. 따라서, 종래에는 상기와 같이 매거진에서 카셋트 또는 카셋트에서 매거진으로의 스트립 이송을 작업자가 일일히 수작업으로 하는 불편이 따랐고, 또한 상기와 같은 수작업 도중에 상기 스트립에 불량이 발생하는 경우도 빈번히 발생한다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 스트립이 수납되어 있거나 비어 있는 카셋트를 로딩 및 언로딩시키는 인/아웃 로더와, 이 인/아웃 로더를 종래의 반도체패키지 제조 장치에 부착하여 카셋트에서 카셋트로 스트립을 이송함은 물론, 카셋트->매거진, 매거진->카셋트, 매거진->매거진으로의 스트립의 이송이 가능한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더 및 이를 이용한 반도체패키지 제조 장치를 제공하는데 있다.
도1은 종래의 반도체패키지용 인/아웃 로더가 장착된 상태를 도시한 개념도이다.
도2a 및 도2b는 스트립이 수납되는 매거진 및 카셋트를 도시한 사시도이다.
도3은 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더를 도시한 평면도이다.
도4는 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 카셋트 수평 이송부를 도시한 평면도이다.
도5a 및 도5b는 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 카셋트 수직 상승부를 도시한 평면도 및 측면도이다.
도6은 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 스트립 이송부를 도시한 평면도이다.
도7은 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 카셋트 반송부를 도시한 평면도이다.
도8은 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 카셋트 이송부및 반송부의 길이 조절부를 도시한 평면도이다.
도9는 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더가 장착된 반도체패키지 제조 장치를 도시한 평면도이다.
- 도면중 주요 부호에 대한 설명 -
CIL; 카셋트 인 로더 COL: 카셋트 아웃 로더
MIL; 매거진 인 로더 MOL; 매거진 아웃 로더
B; 작업 몸체(레일, 모터, 롤러) S; 스트립
C; 카셋트 M; 매거진
10; 카셋트 수평 이송부 20; 카셋트 수직 상승부
30; 스트립 이송부 40; 레일 폭 조절부
50; 카셋트 반송부 60; 카셋트 길이 조절부
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더는 다수의 스트립이 상,하 일정 간격을 두고 적층된 카셋트를 수평방향으로 이송하는 카셋트 수평 이송부와; 상기 수평 이송부에 의해 일측으로 이송된 카셋트를 상부로 일정 피치씩 상승시키는 카셋트 수직 상승부와; 상기 수직 상승부의 카셋트에서 한 스트립씩 일측으로 이송하는 스트립 이송부와; 상기 스트립이 모두 이송된 빈 카셋트를 일측으로 반송시키는 카셋트 반송부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 카셋트 수평 이송부는 모터와, 상기 모터에 벨트로 결합된 제1샤프트와, 상기 제1샤프트와 일정거리 이격된 채 평행하게 설치된 제2샤프트와, 상기 제1샤프트와 제2샤프트 사이에 결합되어 카셋트를 일측으로 이송시키는 다수의 벨트를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 카셋트 수직 상승부는 모터와, 상기 모터에 벨트로 결합된 볼스크류와, 상기 볼스크류와 수평방향으로 위치된 가이드레일과, 상기 볼스크류 및 가이드레일에 결합된 업/다운바를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 스트립 이송부는 상호 대응되며, 중앙 근처에는 상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 수직 상승부에 의해 소정 영역에 위치된 카셋트가 위치될 수 있도록 개구부가 형성되고, 스트립이 이송될 수 있도록 서로 마주보는 방향을 따라 요홈이 형성된 레일과, 상기 레일의 일측에 상기 카셋트로부터의 스트립을 밀어낼 수 있도록 설치된 제1스트립 푸셔와, 상기 카셋트에서 밀려 나오는 스트립이 요홈을 따라 원할이 이송될 수 있도록 상기 레일에 설치된 다수의 롤러와, 상기 롤러에 의해 이송되는 스트립을 외측으로 완전히 배출시키도록 레일의 일측에 설치된 제2스트립 푸셔를 포함하여 이루어진다.
상기 레일은 폭이 조절될 수 있도록 모터에 의해 회전되며, 상기 레일을 중심으로 서로 반대방향으로 나사홈이 형성된 다수의 볼스크류가 결합되어 이루어진 레일 폭 조절부가 더 부착될 수 있다.
상기 롤러는 스트립의 이송시 강제로 회전될 수 있도록 모터에 결합될 수도 있다.
상기 제1스트립 푸셔 및 제2스트립 푸셔는 실린더와, 상기 실린더에 결합된 푸시바와, 상기 푸시바에 상기 실린더와 수평 방향으로 결합된 가이드바 및 가이드블럭을 포함하여 이루어진다.
상기 카셋트 반송부는 카셋트의 저면을 임시로 지지하는 임시 지지부와, 상기 카셋트를 상기 임시 지지부를 통하여 일측으로 밀어내는 카셋트 푸셔부와, 상기 카셋트 푸셔부에 의해 밀려진 카셋트를 저면에서 지지하는 지지부로 이루어진다.
여기서, 상기 임시 지지부는 실린더와, 상기 실린더의 단부에 그 실린더와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 다수의 가이드바로 이루어진다.
또한, 상기 카셋트 푸셔부는 실린더와, 상기 실린더의 단부에 그 실린더와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 다수의 가이드바와, 상기 가이드바의 단부에 결합되어 카셋트의 일측에 접촉되는 푸시블럭으로 이루어진다.
상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 반송부에는 다양한 길이를 갖는 카셋트를 이송 및 반송할 수 있도록 카셋트 길이 조절부가 더 장착될 수 있다.
여기서, 상기 카셋트 길이 조절부는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼스크류와, 상기 볼스크류에 결합된 동시에 상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 반송부의 측부에 위치된 판상의 플레이트와, 상기 플레이트를 관통하여 결합된 동시에 상기 볼스크류와 평행한 다수의 가이드바로 이루어진다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 반도체패키지 제조 장치는 스트립의 마킹 작업 또는 트림/폼 작업이 수행되는 작업 몸체와; 상기 작업 몸체의 전방 양측에 상부에서 하부로 다수의 스트립이 적층된 매거진에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 결합된 매거진 인/아웃 로더와; 상기 작업 몸체의 양측에 측방에서 다수의 스트립이 수납된 카셋트에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 결합된 카셋트 인/아웃 로더를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 매거진 및 카셋트 내에 수납된 스트립은 카셋트->카셋트, 카셋트->매거진, 매거진->카셋트 또는 매거진->매거진 중 어느 하나로 전달될 수 있다.
상기와 같이 하여 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더에 의하면, 스트립이 수납된 다수의 카셋트를 카셋트 수평 이송부에 적재한 후, 카셋트 수직 상승부에 의해 일정피치씩 상부로 상승시키며, 스트립 이송부에 의해 한 스트립씩 배출할 수 있게 되며 또한, 모든 스트립의 배출후에는 카셋트 반송부에 의해 상기 카셋트를 일측으로 반송시킬 수 있게 된다.(상기 로더를 인 로더로 사용했을 경우)
또한, 비어있는 카셋트를 수평 이송부에 적재한 후, 카셋트 수직 상승부에 의해 일정피치씩 상부로 상승시키며, 작업 몸체에서 소정 작업이 완료된 스트립을 스트립 이송부에 의해 한 스트립씩 상기 카셋트에 적재할 수도 있으며, 또한 상기 카셋트에 스트립이 모두 수납된 후에는 카셋트 반송부에 의해 상기 카셋트를 일측으로 반송시킬 수 있게 된다.(상기 로더를 아웃 로더로 사용했을 경우)
따라서, 다수의 카셋트에 수납된 스트립을 순차적으로 용이하게 배출할 수 있고, 또한 다수의 비어 있는 카셋트에 스트립을 순차적으로 용이하게 수납할 수 있게 됨으로써 작업자가 카셋트를 교체해주기 위하여 항상 대기할 필요가 없게 된다. 더불어, 인 로더에서 제1스트립 푸셔만을 제거하여 그대로 아웃 로더로 사용할 수 있으므로, 제조 경비면에서도 월등한 경쟁력을 갖는다.
한편, 상기한 인/아웃 로더를 종래의 반도체패키지 제조 장치(예를 들면, 매거진 인/아웃 로더가 기장착된 마킹 장치 또는 트림/폼 장치)에 장착하게 되면, 카셋트에서 카셋트로 스트립을 이송함은 물론, 카셋트->매거진, 매거진->카셋트, 매거진->매거진으로의 스트립 이송이 자유롭게 되며, 따라서 종래와 같이 작업자가 수작업으로 스트립을 카셋트에서 매거진으로 또는 매거진에서 카셋트로 바꿔 수납하는 공정이 생략된다.
또한, 상기 카셋트 인/아웃 로더는 반도체패키지 제조 장치의 양측부에 완전히 고정되는 것이 아니라, 이동이 자유롭도록 설계할 수 있으므로, 여러 반도체패키지 제조 장치에 착탈 가능한 잇점이 있다.
이하 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도3은 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더를 도시한 평면도이다. 도4는 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더의 카셋트 수평 이송부를 도시한 평면도이고, 도5a 및 도5b는 카셋트 수직 상승부를 도시한 평면도 및 측면도이며, 도6은 스트립 이송부, 도7은 카셋트 반송부, 도8은 카셋트 이송부 및 반송부의 길이 조절부를 도시한 평면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더는 다수의 반도체패키지 스트립(S)이 상,하 일정 간격을 두고 적층된 카셋트(C)를 수평방향으로 이송하는 카셋트 수평 이송부(10)와, 상기 수평 이송부(10)에 의해 일측으로 이송된 카셋트(C)를 상부로 일정 피치씩 상승시키는 카셋트 수직 상승부(20)와, 상기 수직 상승부(20)의 카셋트(C)에서 한 스트립(S)씩 일측으로 이송하는 스트립 이송부(30)와, 상기 스트립(S)이 모두 이송된 빈 카셋트(C)를 일측으로 반송시키는 카셋트 반송부(50)와, 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 카셋트 반송부(50)에서 다양한 길이를 갖는 카셋트(C)를 이송 및 반송할 수 있는 카셋트 길이 조절부(60)로 이루어져 있다.
여기서, 상기 카셋트(C)의 진행 순서를 따라서 각 구성 요소 및 이들의 결합 관계와, 주로 인 로더의 작동을 중심으로 설명하기로 한다.
먼저, 상기 카셋트 수평 이송부(10)는 상기 스트립 이송부(30), 카셋트 길이 조절부(60) 및 카셋트 반송부(50)의 하부에 설치되어 있으며, 스트립 이송부(30)의 스트립(S) 진행 방향과 대략 수직 방향으로 카셋트(C)가 진행하도록 되어 있다.(도3 및 도4 참조)
대략 판상의 미들 베이스(MB)에 모터(11, 서보 모터 또는 스텝 모터)가 설치되어 있고, 상기 모터(11)의 회전축(도시되지 않음)에는 풀리(도시되지 않음)가 결합되어 있다. 상기 모터(11)의 상부에는 대략 스트립의 진행 방향과 평행한 방향으로 제1샤프트(12)가 설치되어 있으며, 상기 제1샤프트(12)에는 풀리가 결합되어 있다. 상기 모터(11)의 풀리와 상기 제1샤프트(12)의 풀리는 벨트로 결합되어 있다. 또한, 상기 제1샤프트(12)와 일정거리 이격된 위치 즉, 스트립 이송부(30)의 전방에는 제2샤프트(13)가 설치되어 있으며, 상기 제2샤프트(13)는 상기 제1샤프트(12)와 대략 2개의 벨트(14, 예를 들면, 타이밍 벨트)로 연결되어 있다. 따라서, 상기 모터(11)의 작동에 의해 상기 제1샤프트(12), 벨트(14) 및 제2샤프트(13)가 소정 방향으로 회전된다. 한편, 다수의 스트립이 수납된 카셋트(C)는 상기 제1샤프트(12)와 제2샤프트(13) 사이의 벨트(14) 상부에 위치하게 된다. 결국, 상기 모터(11)의 작동에 의해 상기 카셋트(C)는 스트립 이송부(30)의 하방으로 이송된다.
계속해서, 상기 카셋트 수평 이송부(10)에 의해 이송된 카셋트(C)는 카셋트 수직 상승부(20) 상부에 위치하게 된다. 물론, 상기 카셋트 수직 상승부(20)는 상기한 카셋트 수평 이송부(10)의 하부에 설치되어 있다.(도3 및 도5a, 도5b 참조) 상기 수직 상승부(20)는 바텀 베이스(BB)에 회전축이 하부를 향하는 모터(21)가 설치되어 있고, 상기 회전축에는 풀리가 결합되어 있다. 상기 모터(21)와 일정거리 이격된 위치에는 대략 지면과 수직 방향으로 볼 스크류(22)가 설치되어 있으며, 이 볼 스크류(22)의 하방에도 풀리가 결합되어 있다. 또한 상기 모터(21)의 풀리와 볼 스크류(22)의 풀리는 벨트(25)로 결합되어 있다. 상기 볼 스큐류(22)의 측부에는 그것과 평행한 방향으로 가이드 레일(23)이 결합되어 있으며, 상기 볼 스크류(22) 및 가이드 레일(23)에는 업/다운 바(24)가 결합되어 있다. 상기 업/다운 바(24)는 도시된 바와 같이 카셋트 수평 이송부(10)에 설치된 2개의 벨트(14) 사이에 위치된다. 따라서, 상기 업/다운 바(24)는 상기 2개의 벨트(14) 사이를 관통하여 상부로 상승 가능함으로써 상기 카셋트(C)를 일정 피치씩 상부로 상승시킬 수 있다.
이어서, 상기 카셋트 수직 이송부(20)에 의해 상부로 상승된 카셋트(C)에서 한 스트립(S)씩 외부로 배출시키기 위한 스트립 이송부(30)가 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 수직 상승부(20) 상부에 설치되어 있다.(도3 및 도6 참조)
먼저 상기 스트립 이송부(30)는 상호 대향되며, 중앙 근처에는 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 수직 상승부(20)에 의해 이송 및 상승된 카셋트(C)가 위치될 수 있도록 일정 크기의 개구부(32)가 형성되고, 또한 스트립(S)이 이송될 수 있도록 서로 마주보는 방향으로 요홈(33, 도5b 참조)이 형성된 레일(31)이 구비되어 있다.
상기 레일(31)의 일측(도6에서 좌측)에는 상기 카셋트(C)로부터의 스트립(S)을 타측(도6에서 우측)으로 밀어낼 수 있도록 제1스트립 푸셔(34)가 설치되어 있으며, 상기 카셋트(C)에서 밀려 나오는 스트립(S)이 요홈(33)을 따라 원할히 이송될 수 있도록 다수의 롤러(37)가 설치되어 있다. 또한, 상기 롤러(37)에 의해 이송되는 스트립(S)을 외측으로 완전히 배출시킬 수 있도록 레일(31)의 일측(도6에서 우측)에는 제2스트립 푸셔(35)가 설치되어 있다.
여기서, 상기 레일(31)은 다양한 크기의 스트립(S)을 수용할 수 있도록 모터(41)의 회전축에 결합되어 회전되며, 상기 레일(31)을 중심으로 서로 반대방향으로 나사홈이 형성된 다수의 볼스크류(42)가 결합되어 이루어진 레일 폭 조절부(40)가 구비되어 있다. 따라서, 상기 레일 폭 조절부(40) 즉, 모터(41)의 작동에 따른 상기 볼 스크류(42)의 회전에 의해 상기 레일(31)의 간격은 스트립(S)의 폭에 알맞게 조정된다.
또한, 상기 다수의 롤러(37)는 스트립(S)의 이송이 보다 원할히 이루어지도록 모터(36)에 결합되어 있으며, 상기 모든 롤러(37)의 회전축은 일체의 벨트(도시되지 않음)로 결합되어 동시에 회전 가능하다.
더불어, 상기 제1스트립 푸셔(34) 및 제2스트립 푸셔(35)는 상기 레일(31)의 길이 방향을 따라 결합된 공압 또는 유압 실린더(34a, 35a)와, 상기 실린더(34a, 35a)에 결합된 푸시바(34b, 35b)와, 상기 푸시바(34b, 35b)에 상기 실린더(34a, 35a)와 수평 방향으로 결합된 2개의 가이드 바(34c, 35c)와, 상기 레일(31)에 결합되고 상기 가이드바(34c, 35c)가 관통되어 결합되는 가이드블럭(34d, 35d)으로 이루어져 있다.
계속해서, 상기 스트립 이송부(30)에서 모든 스트립(S)이 배출된 후 카셋트(C)를 일측으로 배출하기 위해 카셋트 반송부(50)가 상기 스트립 이송부(30)의 상부에 설치되어 있다.(도3 및 도7 참조)
상기 카셋트 반송부(50)는 크게 카셋트(C)의 저면을 임시로 지지하는 임시 지지부(51)와, 상기 카셋트(C)를 상기 임시 지지부(51)를 통하여 일측으로 밀어내는 카셋트 푸셔부(52)와, 상기 카셋트 푸셔부(52)에 의해 밀려진 카셋트(C)를 저면에서 안전하게 지지하는 지지부(53)로 이루어져 있다.
먼저, 상기 임시 지지부(51)는 공압 또는 유압 실린더(51a)와, 상기 실린더(51a)의 단부에 그 실린더(51a)와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 2개의 가이드바(51b)로 이루어져 있다. 또한, 상기 카셋트 푸셔부(52) 역시 실린더(52a)와, 상기 실린더(52a)의 단부에 그 실린더(52a)와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 2개의 가이드바(52b)와, 상기 가이드바(52b)의 단부에 결합되어 카셋트(C)의 측부와 접촉되는 푸시블럭(52c)으로 이루어져 있다. 여기서, 도시되지는 않았지만 상기 푸시블럭(52c)에는 상기 임시 지지부(51)의 가이드바(51b)가 관통되어 지나갈 수 있도록 관통공이 형성되어 있다.
따라서, 상기 스트립 이송부(30)에서 모든 스트립(S)이 배출된 후에는, 상기 임시 지지부(51)의 가이드바(51b)가 상기 레일(31)의 개구부(32) 상부를 지나 푸시블럭(52c)에 형성된 관통공에 결합되고, 이어서 상기 카셋트 푸셔부(52)가 작동하게 되어 결국 카셋트(C)를 지지부(53)상에 위치시킨다.
한편, 상기 카셋트(C)는 다양한 길이를 가질 수 있으므로, 이러한 다양한 길이의 카셋트(C)를 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 카셋트 반송부(50)에서 수용할 수 있도록 상기 카셋트 반송부(50)의 상부에는 카셋트 길이 조절부(30)(도3 및 도8 참조)가 설치되어 있다.
상기 카셋트 길이 조절부(30)는 소정의 회전력을 제공하는 모터(61)와, 상기 모터(61)에 결합된 볼스크류(62)와, 상기 볼스크류(62)에 결합된 동시에 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 카셋트 반송부(50)의 측부에 위치되는 판상의 플레이트(65)와, 상기 플레이트(65)를 관통하여 결합된 동시에 상기 볼스크류(62)와 평행한 다수의 가이드바(63)로 이루어져 있다. 여기서, 상기 볼스크류(62)와 가이드바(63)는 상기 레일(31)의 길이 방향과 대략 평행하게 형성되어 있다. 또한 상기 가이드바(63)의 일측은 서포트블럭(64)에 결합되어 있으며, 상기 볼스크류(62)는상기 서포트블럭(64)을 관통하고 있다. 또한 상기 볼스크류(62) 및 가이드바(63)의 타측은 또다른 서포트블럭(64)에 결합되어 고정되어 있다.
한편, 여기서 로더를 아웃 로더로 사용하고자 할 경우에는 상기 구성 요소 중에서 스트립 이송부(30)의 제1스트립 푸셔부(34)만을 제거하면 된다.
상기와 같은 구성을 하는 본 발명에 의한 반도체패키지용 인/아웃 로더의 작동을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 인 로더로 사용했을 경우의 작동을 설명한다.
1. 카셋트 수평 이송 단계로서, 카셋트 수평 이송부(10)의 벨트(14) 상부에 다수의 스트립(S)이 수납된 카셋트(C)를 올려 놓는다. 그러면, 모터(11)의 작동에 의해 제1샤프트(12) 및 이것에 벨트(14)로 결합된 제2샤프트(13)가 회전하게 되고, 따라서, 상기 벨트(14) 상부에 위치된 카셋트(C)는 레일(31)의 하부까지 이동된다.
2. 카셋트 수직 상승 단계로서, 상기 레일(31)의 하부에 위치된 카셋트 수직 상승부(20)가 상기 카셋트(C)를 레일(31)에 형성된 개구부(32) 내측을 통하여 그 상부로 일정피치씩 상승시킨다. 즉, 모터(21)가 회전하게 되면, 이것과 벨트(25)로 결합된 볼 스크류(22)가 회전하게 되고, 따라서, 상기 볼 스크류(22) 및 가이드레일(23)에 결합된 업/다운 바(24)가 일정 피치를 가지며 상부로 상승된다. 그러면, 상기 업/다운 바(24)에는 카셋트(C)의 저면이 접촉하고 있으므로, 결국 상기 카셋트(C)는 레일(31)의 개구부(32)를 통해 상부로 일정 피치씩 상승하게 된다.
3. 스트립 이송 단계로서, 스트립 이송부(30)의 작동에 의해 상기 카셋트(C)에서 한 스트립(S)씩 레일(31)을 따라 실제 작업이 이루어지는 영역쪽으로 배출된다. 즉, 제1스트립 푸셔(34)의 푸시 바(34b)에 의해 카셋트(C) 내측의 스트립(S)이 외측으로 일정 길이만큼 배출되며, 상기 일정 길이 배출된 스트립(S)은 일정 속도로 회전하는 롤러(37)에 접촉됨으로써 상기 레일(31)의 요홈(33)을 따라 일측으로 계속 전진하게 된다. 상기와 같이 전진하던 스트립(S)은 또한 제2스트립 푸셔(35)의 푸시바(35b)에 의해 실제 작업 영역으로 이송된다.
4. 카셋트 반송 단계로서, 먼저 임시 지지부(51)가 작동하여, 상기 카셋트(C)를 저면에서 임시로 지지하고, 계속해서 카셋트 푸셔부(52)의 작동에 의해 상기 비어 있는 카셋트(C)를 지지부(53)쪽으로 완전히 밀어낸다. 즉, 임시 지지부(51)의 실린더(51a)가 작동하여 2개의 가이드바(51b)가 상기 카셋트 푸셔부(52)의 푸셔블럭(52c)에 관통되어 위치되고, 이어서 상기 카셋트 푸셔부(52)의 실린더(52a)가 작동하여 2개의 가이드바(52b) 및 푸시블럭(52c)이 상기 카셋트(C)를 전방의 지지부(52)쪽으로 반송시킨다. 이때, 상기 카셋트 수직 상승부(20)의 업/다운 바(24)는 하부로 이동된 상태이다.
한편, 스트립(S)의 폭이 변경되었을 경우에는 레일 폭 조절부(40)가 작동하여 상기 레일(31)의 폭을 조절하게 되고, 또한 카셋트(C)의 길이가 변경되었을 경우에는 카셋트 길이 조절부(60)가 작동되어, 상기 카셋트 수평 이송부(10) 및 카셋트 반송부(50)에서 카셋트(C)가 용이하게 수용될 수 있도록 한다.
계속해서, 아웃 로더로 사용했을 경우의 작동을 설명한다.
1. 카셋트 수평 이송 단계로서, 카셋트 수평 이송부(10)의 벨트(14) 상부에 비어 있는 카셋트(C)를 올려 놓는다. 그러면, 모터(11)의 작동에 의해제1샤프트(12) 및 이것에 벨트(14)로 결합된 제2샤프트(13)가 회전하게 되고, 따라서, 상기 벨트(14) 상부에 위치된 카셋트(C)는 레일(31)의 하부까지 이동된다.
2. 카셋트 수직 상승 단계로서, 상기 레일(31)의 하부에 위치된 카셋트 수직 상승부(20)가 상기 카셋트(C)를 레일(31)에 형성된 개구부(32) 내측을 통하여 그 상부로 일정피치씩 상승시킨다. 즉, 모터(21)가 회전하게 되면, 이것과 벨트(25)로 결합된 볼 스크류(22)가 회전하게 되고, 따라서, 상기 볼 스크류(22) 및 가이드레일(23)에 결합된 업/다운 바(24)가 일정 피치를 가지며 상부로 상승된다. 그러면, 상기 업/다운 바(24)에는 카셋트(C)의 저면이 접촉하고 있으므로, 결국 상기 카셋트(C)는 레일(31)의 개구부(32)를 통해 상부로 일정 피치씩 상승하게 된다.
3. 스트립 이송 단계로서, 스트립 이송부(30)의 작동에 의해 반도체 제조 장치쪽에서 한 스트립(S)씩 상기 카셋트(C)에 수납된다. 즉, 제2스트립 푸셔(35)의 푸시바(35b)에 의해 레일(31)의 요홈(33)에 스트립(S)이 끼워지고 이어서 롤러(37)의 작동에 의해 상기 스트립(S)이 계속 전진하여 상기 카셋트(C)의 소정 영역에 수납된다. 상기와 같이 한 스트립(S)의 수납이 완료된 후에는 카셋트 수직 상승부(20)의 작동에 의해 상기 카셋트(C)가 상부로 한 피치 상승된다.
4. 카셋트 반송 단계로서, 먼저 임시 지지부(51)가 작동하여, 상기 카셋트(C)를 저면에서 임시로 지지하고, 계속해서 카셋트 푸셔부(52)의 작동에 의해 다수의 스트립(S)이 수납된 카셋트(C)가 지지부(53)쪽으로 완전히 밀려 나온다. 즉, 임시 지지부(51)의 실린더(51)가 작동하여 2개의 가이드바(51b)가 상기 카셋트 푸셔부(52)의 푸셔블럭(52c)에 관통되어 위치되고, 이어서 상기 카셋트푸셔부(52c)의 실린더(52a)가 작동하여 2개의 가이드바(52b) 및 푸시블럭(52c)이 상기 카셋트(C)를 전방의 지지부(53)쪽으로 반송시킨다.
도9는 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더가 장착된 반도체패키지 제조 장치를 도시한 평면도이다.
도시된 바와 같이 실제 스트립의 마킹 작업 또는 트림/폼 작업이 수행되는 작업 몸체(B)가 구비되어 있고, 상기 작업 몸체(B)의 전방 양측에는 상부에서 하부로 다수의 반도체패키지 스트립이 적층된 매거진에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 매거진 인 로더(MIL) 및 아웃 로더(MOL)가 설치되어 있다.
또한, 상기 작업 몸체(B)의 양측에 측방에서 다수의 스트립이 수납된 카셋트에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 앞에서 상세히 설명한 카셋트 인 로더(CIL) 및 카셋트 아웃 로더(COL)가 결합되어 있다.
여기서, 상기 작업 몸체(B)의 아웃 로더(COL)와 인접한 영역에는 레일을 따라 스트립이 아웃 로더(COL)쪽으로 용이하게 배출될 수 있도록 모터(b1)에 의해 회전하는 다수의 롤러(b2)가 더 결합되어 있다.
한편, 상기 반도체패키지 장치는 다음과 같이 4가지 경우로 작동 가능하다. 즉, 카셋트 인 로더(CIL)->카셋트 아웃 로더(COL)(매거진 로더(MIL) 및 아웃 로더(MOL) 정지), 카셋트 인 로더(CIL)->매거진 아웃 로더(MOL)(매거진 인 로더(MIL) 및 카셋트 아웃 로더(COL) 정지), 매거진 인 로더(MIL)->카셋트 아웃 로더(COL)(카셋트 인 로더(CIL) 및 매거진 아웃 로더(MOL) 정지), 마지막으로 매거진 인 로더(MIL)->매거진 아웃 로더(MOL)(카셋트 인 로더(CIL) 및 아웃 로더(COL) 정지) 순으로 작동될 수 있으며, 이는 작업 여건에 따라 임의로 결정되어 진행될 수 있다. 따라서, 상기 카셋트(C) 및 매거진(M)에 수납된 스트립(S)은 카셋트(C)->카셋트(C), 카셋트(C)-> 매거진(M), 매거진(M)->카셋트(C) 또는 매거진(M)->매거진(M) 중 어느 하나로 전달될 수 있게 된다.
이상에서와 같이 본 발명은 비록 상기의 실시예에 한하여 설명하였지만 여기예만 한정되지 않으며, 본 발명의 범주 및 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지로 변형된 실시예도 가능할 것이다.
따라서 본 발명에 의한 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더에 의하면, 상기 로더를 인 로더로 사용했을 경우 스트립이 수납된 다수의 카셋트를 카셋트 수평 이송부에 적재한 후, 카셋트 수직 상승부에 의해 일정피치씩 상부로 상승시키며, 스트립 이송부에 의해 한 스트립씩 배출할 수 있게 되며 또한, 모든 스트립의 배출후에는 카셋트 반송부에 의해 상기 카셋트를 일측으로 반송시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 로더를 아웃 로더로 사용했을 경우 비어있는 카셋트를 수평 이송부에 적재한 후, 카셋트 수직 상승부에 의해 일정피치씩 상부로 상승시키며, 작업 몸체에서 소정 작업이 완료된 스트립을 스트립 이송부에 의해 한 스트립씩 상기 카셋트에 적재할 수도 있으며, 또한 상기 카셋트에 스트립이 모두 수납된 후에는 카셋트 반송부에 의해 상기 카셋트를 일측으로 반송시킬 수 있는 효과가 있다.
결국, 다수의 카셋트에 수납된 스트립을 순차적으로 용이하게 배출할 수 있고, 또한 다수의 비어 있는 카셋트에 스트립을 순차적으로 용이하게 수납할 수 있게 됨으로써 작업자가 카셋트를 교체해주기 위하여 항상 대기할 필요가 없게 된다.
더불어, 인 로더에서 제1스트립 푸셔만을 제거하여 그대로 아웃 로더로 사용할 수 있으므로, 제조 경비면에서도 월등한 경쟁력을 갖는다.
상기한 인/아웃 로더를 장착한 반도체패키지 제조 장치(예를 들면, 매거진 인/아웃 로더가 기장착된 마킹 장치 또는 트림/폼 장치)에 의하면, 카셋트에서 카셋트로 스트립을 이송함은 물론, 카셋트->매거진, 매거진->카셋트, 매거진->매거진으로의 스트립 이송이 자유롭게 되며, 따라서 종래와 같이 작업자가 수작업으로 스트립을 카셋트에서 매거진으로 또는 매거진에서 카셋트로 바꿔 수납하는 공정이 생략되는 효과가 있다.
또한, 상기 카셋트 인/아웃 로더는 반도체패키지 제조 장치의 양측부에 완전히 고정되는 것이 아니라, 이동이 자유롭도록 설계할 수 있으므로, 여러 반도체패키지 제조 장치에 자유롭게 착탈 가능한 잇점이 있다.
Claims (14)
- 다수의 반도체패키지 스트립이 상,하 일정 간격을 두고 적층된 카셋트를 수평방향으로 이송하는 카셋트 수평 이송부와;상기 수평 이송부에 의해 일측으로 이송된 카셋트를 상부로 일정 피치씩 상승시키는 카셋트 수직 상승부와;상기 수직 상승부의 카셋트에서 한 스트립씩 일측으로 이송하는 스트립 이송부와;상기 스트립이 모두 이송된 빈 카셋트를 일측으로 반송시키는 카셋트 반송부를 포함하여 이루어진 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제1항에 있어서, 상기 카셋트 수평 이송부는 모터와, 상기 모터에 벨트로 결합된 제1샤프트와, 상기 제1샤프트와 일정거리 이격된 채 평행하게 설치된 제2샤프트와, 상기 제1샤프트와 제2샤프트 사이에 결합되어 카셋트를 일측으로 이송시키는 다수의 벨트를 포함하여 이루어진 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제1항에 있어서, 상기 카셋트 수직 상승부는 모터와, 상기 모터에 벨트로 결합된 볼스크류와, 상기 볼스크류와 수평방향으로 위치된 가이드레일과, 상기 볼스크류 및 가이드레일에 결합된 업/다운바를 포함하여 이루어진 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제1항에 있어서, 상기 스트립 이송부는 상호 대응되며, 중앙 근처에는 상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 수직 상승부에 의해 소정 영역에 위치된 카셋트가 위치될 수 있도록 개구부가 형성되고, 스트립이 이송될 수 있도록 서로 마주보는 방향을 따라 요홈이 형성된 레일과, 상기 레일의 일측에 상기 카셋트로부터의 스트립을 밀어낼 수 있도록 설치된 제1스트립 푸셔와, 상기 카셋트에서 밀려 나오는 스트립이 요홈을 따라 원할이 이송될 수 있도록 상기 레일에 설치된 다수의 롤러와, 상기 롤러에 의해 이송되는 스트립을 외측으로 완전히 배출시키도록 레일의 일측에 설치된 제2스트립 푸셔를 포함하여 이루어진 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제4항에 있어서, 상기 레일은 길이가 조절될 수 있도록 모터에 의해 회전되며, 상기 레일을 중심으로 서로 반대방향으로 나사홈이 형성된 다수의 볼스크류가 결합되어 이루어진 레일 폭 조절부가 더 형성된 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제4항에 있어서, 상기 롤러는 스트립의 이송시 강제로 회전될 수 있도록 모터에 결합된 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제4항에 있어서, 상기 제1스트립 푸셔 및 제2스트립 푸셔는 실린더와, 상기 실린더에 결합된 푸시바와, 상기 푸시바에 상기 실린더와 수평 방향으로 결합된 가이드바 및 가이드블럭을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제1항에 있어서, 상기 카셋트 반송부는 카셋트의 저면을 임시로 지지하는 임시 지지부와, 상기 카셋트를 상기 임시 지지부를 통하여 일측으로 밀어내는 카셋트 푸셔부와, 상기 카셋트 푸셔부에 의해 밀려진 카셋트를 저면에서 지지하는 지지부로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제8항에 있어서, 상기 임시 지지부는 실린더와, 상기 실린더의 단부에 그 실린더와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 다수의 가이드바로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제8항에 있어서, 상기 카셋트 푸셔부는 실린더와, 상기 실린더의 단부에 그 실린더와 평행한 방향으로 결합되어 일정 거리 왕복 운동이 가능한 다수의 가이드바와, 상기 가이드바의 단부에 결합되어 카셋트의 일측에 접촉되는 푸시블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제1항에 있어서, 상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 반송부에는 다양한 길이를 갖는 카셋트를 이송 및 반송할 수 있도록 카셋트 길이 조절부가 더 장착된 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 제11항에 있어서, 상기 카셋트 길이 조절부는 모터와, 상기 모터에 결합된 볼스크류와, 상기 볼스크류에 결합된 동시에 상기 카셋트 수평 이송부 및 카셋트 반송부의 측부에 위치된 판상의 플레이트와, 상기 플레이트를 관통하여 결합된 동시에 상기 볼스크류와 평행한 다수의 가이드바로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체패키지용 카셋트 인/아웃 로더.
- 반도체패키지 스트립의 마킹 작업 또는 트림/폼 작업이 수행되는 작업 몸체와;상기 작업 몸체의 전방 양측에 상부에서 하부로 다수의 반도체패키지 스트립이 적층된 매거진에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 결합된 매거진 인/아웃 로더와;상기 작업 몸체의 양측에 측방에서 다수의 반도체패키지 스트립이 수납된 카셋트에서 스트립을 로딩 또는 온로딩할 수 있도록 결합된 카셋트 인/아웃 로더를 포함하여 이루어진 반도체패키지 제조 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 매거진 및 카셋트 내에 수납된 스트립은 카셋트->카셋트, 카셋트-> 매거진, 매거진->카셋트 또는 매거진->매거진 중 어느 하나로 전달됨을 특징으로 하는 반도체패키지 제조 장치.
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