JPH0684972A - ローダ・アンローダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は半導体組立装置のローダ・アンロー
ダに関し、マガジンの交換が迅速にでき、また工具を必
要とせずに、簡単且つ短時間で品種変更に対応できるロ
ーダ・アンローダを実現することを目的とする。 【構成】 空マガジン供給部から供給されたマガジンを
エレベーターで所定位置に上昇させ、そこで複数枚のリ
ードフレームを収納し、満杯になったマガジンを排出側
に移動させるアンローダにおいて、上記所定位置でリー
ドフレームが満杯となったマガジン３と空マガジン５と
を交替させるため、フレーム収納エレベーター１とマガ
ジン供給エレベーター６の２つのエレベーターを設ける
ように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体組立装置のローダ
・アンローダに関する。

【０００２】半導体装置（例えばダイスボンダー）から
ダイス付け後のリードフレームを取り出す際には、リー
ドフレームを複数枚収納できるマガジンにリードフレー
ムを収納してから取り出すが、この時、空マガジンのセ
ット、マガジンエレベーター昇降によるフレーム収納動
作、フレーム満杯マガジンの排出動作等が必要とされ
る。これらの動作を自動で行うものをアンローダと呼
び、逆にマガジンから装置にリードフレームを供給する
側をローダと呼んでいる。

【０００３】

【従来の技術】図５に従来のアンローダを示す。これは
ローダとしても使用できるが、以下アンローダとして説
明する。このアンローダは、空マガジン供給部Ａと、エ
レベーター部Ｂと、マガジン排出部Ｃとよりなり、空マ
ガジン供給部Ａは空マガジン４７を１個ずつエレベータ
ー部Ｂのガイドポスト内に供給し、エレベーター部Ｂは
空マガジン４７を原点位置まで上昇させ、ここでリード
フレーム収納部の１ピッチずつの上昇を行なってリード
フレーム５６を収容する。満杯になったマガジンはマガ
ジン排出部Ｃのシリンダ５７により排出側テーブル５８
上に押し出すようになっている。

【０００４】また、品種変更に対処する場合は、空マガ
ジンガイド４５を、２箇所の長円穴部にねじこまれてい
るねじ４６をゆるめてガイド位置を動かしてマガジン４
７の長さに対応させる。エレベーターのマガジンガイド
は、マガジンの４隅にコの字型のガイドポスト４８によ
りガイドされ、ガイドポストの幅調整は２ケ所のノブ４
９を回転させて調整する。ノブ４９に固定されたねじ軸
５０は中心部を境に逆ねじが切られており、ノブ４９を
回転させて前後のガイドポストをマガジンの中心向きに
同じ距離だけ近ずけたり離したりさせてマガジン幅の変
更に対応させる。

【０００５】前後のガイドポスト４８は、ポストに固定
されている２ケ所のリニアベアリング５１がガイドポス
トベース５２に固定されているガイドシャフト５３上を
揺動する為、平行に移動する。マガジン長さの変更時
は、右側のガイドポストを移動させて対応させる。ガイ
ドポストベース５２を固定しているストッパーねじ５４
をゆるめて、２本のガイド５５で支持されているガイド
ポストベース５２を移動させる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のアンローダ
（又はローダ）では、空マガジンの原点位置までの上昇
及びフレーム収納時の１ピッチ上昇を１つのエレベータ
ーで行なっているため、マガジンが満杯になり、マガジ
ンを排出して次の空マガジンをセットするまでに時間が
かかり、リードフレーム搬送部で待機中のリードフレー
ムをマガジンに収納できず、この間装置は停止すること
になる。

【０００７】又、生産現場では少量多品種化が進んでお
り、装置の稼働率を上げる為には汎用性が高く、品種変
更が容易であることが要求される。しかし従来のロー
ダ、アンローダでは、マガジンをガイドしている部分が
前述した様にねじ締めによる固定方式であり、またマガ
ジンとガイドとの隙間調整が微妙な為、調整する作業者
により個人差を生ずる。また工具を必要とする為、作業
が面倒である。さらに空マガジン供給部はマガジンを複
数ストックしておく為には、上段の満杯マガジン排出部
が邪魔になり、作業性が悪い。

【０００８】本発明は、マガジンの交換が迅速にでき、
また工具を必要とせずに、簡単且つ短時間で品種変更に
対応できるローダ・アンローダを実現しようとする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のアンローダに於
いては、空マガジン供給部から供給された空マガジンを
エレベーターで所定位置に上昇させ、そこで複数枚のリ
ードフレームを収納し、満杯になったマガジンを排出側
に移動させるアンローダにおいて、上記所定位置でリー
ドフレームが満杯となったマガジン３と空マガジン５と
を交替させるため、フレーム収納エレベーター１とマガ
ジン供給エレベーター６の２つのエレベーターを設けた
ことを特徴とする。

【００１０】また、それに加えて、満杯マガジン収納部
に排出された満杯マガジン３を左右から挟んで１ピッチ
ずつ移動させることができる１対のスライドアーム４
１，４１′を設けたことを特徴とする。

【００１１】また、本発明のローダに於いては、上記ア
ンローダにマガジン３からのリードフレーム取り出し用
のプッシャーを設けたことを特徴とする。また、本発明
のローダ・アンローダに於いては、空マガジン供給部を
前方へ引き出し可能な引出し方式にしたことを特徴とす
る。

【００１２】また、それに加えて、マガジン供給部のマ
ガジンガイド９にはインデックスプランジャー７を、満
杯マガジン収納部のスライドアーム４１にはインデック
スプランジャー４２を設け、該インデックスプランジャ
ー７，４１でマガジンガイド９及びスライドアーム４１
の間隔をマガジン５の長さに合わせて調節可能としたこ
とを特徴とする。この構成を採ることにより、マガジン
の交換が迅速にでき、また工具を必要とせずに、簡単且
つ短時間で品種変更に対応できるローダ・アンローダが
得られる。

【００１３】

【作用】本発明では図１に示すように、先ず（ａ）図の
如くフレーム収納エレベーター１の収納エレベーターア
ーム２上の満杯マガジン３排出時、マガジン取出しアー
ム４が突出し、アーム２の下で停止する。次いで（ｂ）
図の如くフレーム収納エレベーター１が下降して、満杯
マガジン３をマガジン取出しアーム４に移す。次いで
（ｃ）図の如くマガジン取出しアーム４は引っ込み、満
杯マガジン３を排出部に取り込む。

【００１４】次いで（ｄ）図の如く、フレーム収納エレ
ベーター１は停止して、そのアーム２を９０゜回転させ
下に向ける。アーム２が下がると空マガジン５を載せた
マガジン供給エレベーター６が上昇し、フレーム収納エ
レベーター１より上の位置で停止する。次いで（ｅ）図
の如くフレーム収納エレベーター１がアーム２を元に戻
し、マガジン供給エレベーター６が下降することでアー
ム２上に空マガジン５を受け渡し、（この位置が原点、
つまりマガジンの一番上の段にリードフレームを収納出
来る位置になる。）マガジン供給エレベーター６は元の
位置まで下降する。次いで（ｆ）図の如くフレーム収納
エレベーター１が、アーム２上の空マガジン５にリード
フレームを収納している間に、次の空マガジン５′がマ
ガジン供給エレベーター６にセットされる。

【００１５】以上の本発明は、従来に比し次の様に時間
節約ができる。即ち、従来の様なマガジンエレベーター
が１つの場合は、満杯マガジンになったマガジンを排出
した後、エレベーターを下まで下降させ、空マガジンを
供給してから原点まで上昇させる為、空マガジンセット
時間と原点位置までのエレベーター上昇時間が必要であ
るが、本発明はリードフレームを収納している間に次の
マガジンがセットできるため、前記空マガジンセット時
間と原点位置までのエレベーター上昇時間が節約でき
る。

【００１６】

【実施例】図２乃至図４は本発明の実施例を示す図であ
り、図２は装置外観斜視図、図３は内部構造斜視図、図
４はマガジン供給エレベーター位置決め機構を示してい
る。本実施例では、図２に示すように筐体６０と、該筐
体６０の中段に設けられ空マガジン供給部６１及びマガ
ジン供給エレベーター６と、筐体６０後部に設けられフ
レーム収納エレベーター１と、筐体６０上部に設けられ
た満杯マガジン収納部６２及び操作パネル４４とを具備
して構成されている。

【００１７】さらに、図３により内部構造の詳細を説明
する。先ず、空マガジン供給部６１は、２本のガイド２
５で支持され、シリンダ２６で上下するマガジンプッシ
ャー２７と、該マガジンプッシャー２７を介して空マガ
ジン５をマガジン供給エレベーター６の方へ移動させる
スライドシリンダ２８と、空マガジン５を案内する２本
のマガジンガイド９，９′と、図２に示したように取手
２４で前方に引き出せるようにした空マガジントレー２
３とを有している。

【００１８】そして、マガジンガイド９，９′の一方
は、２本のガイド８で平行移動でき、マガジンの長さに
合わせて固定するときは、該マガジンガイド９に設けら
れたインデックスプランジャー７のシャフトを、あらか
じめベース１０に設けられた位置決め穴に差し込んで固
定するようになっている。

【００１９】マガジン供給エレベーター６は、空マガジ
ン供給部６１の後部に位置し、空マガジン供給部６１か
ら空マガジンを受け取って上昇し、フレーム収納エレベ
ーター１にマガジンを供給するようになっている。その
際、マガジンの幅方向の中心位置を決めるため、図４の
機構を用いている。同図において、マガジンを固定する
２本のステー１１，１１′には、ラック１２，１２′が
固定されており、一方のステー１１に固定されたエアシ
リンダ１３が作動するとピニオン歯車１４を介して他方
のステー１１′を動かす。両方のステー１１，１１′に
は各２ケ所ずつリニアベアリング１５が固定されてお
り、ガイドシャフト１６上を平行に移動する。このよう
にしてマガジンを中心位置基準で位置決めするようにな
っている。

【００２０】フレーム収納エレベーター１は、図３に示
すようにガイドポストが無くマガジン供給エレベーター
６で中心基準の位置決めをされたマガジンの両横を受け
るマガジントレー１７と収納エレベーターアーム２が設
けられており、マガジン前後方向の位置決めにはマガジ
ントレー１７に固定されたマガジンストッパー１８と、
筐体６０に固定されたマガジンストッパー１９（図２参
照）が設けられ、マガジン上昇移動中及びリードフレー
ム収納中のマガジンのずれを防止するようになってい
る。

【００２１】マガジントレー１７及びマガジンストッパ
ー１９は着脱式であり、マガジントレー１７は収納エレ
ベーターアーム上にあらかじめ設けられた２ケ所の位置
決めピン２０にマガジントレー１７をはめこみ、磁石の
吸着等で固定し抜けを防ぐようになっている。マガジン
トレー１７は品種変更等のマガジンの幅に合わせて交換
を行う。マガジンストッパー１９は２ケ所の蝶ボルト２
１で固定され、品種変更時のマガジンの長さに合わせて
交換を行う。以上のフレーム収納エレベーター１とマガ
ジン供給エレベーター６の２つのエレベーターは多点位
置決めのため、駆動はパルスモータ３７にするのが望ま
しい。

【００２２】満杯マガジン収納部６２は、マガジントレ
ー１７から満杯マガジンを受け取り、シリンダ３８で駆
動されるマガジン取出アーム４と、取り出した満杯マガ
ジン３を１ピッチずつ送る１対のスライドアーム４１，
４１′を有し、該スライドアーム４１，４１′はシリン
ダ３９でマガジンをつかみ、スライドシリンダ４０で送
り方向に駆動できる。また、該スライドアームの一方４
１は前述した空マガジン供給部６１のマガジンガイド９
と同様にマガジンの長さに合わせて位置調整ができるよ
うにインデックスプランジャー４２が設けられている。
また、操作パネル４４は、その品種変更スイッチを押す
事でモータのパルスデーター等がプログラム内に設定す
るようになっている。

【００２３】このように構成された本実施例の作用を次
に説明する。先ず空マガジン供給部６１の空マガジント
レー２３を引き出して空マガジン５を供給する。供給さ
れた空マガジン５はマガジンガイド９，９′に案内さ
れ、且つマガジンプッシャー２７でマガジン供給エレベ
ーター側へ移動する。空マガジン５は、マガジン供給エ
レベーター６の手前で停止し、（この位置をセンサ等で
検出させる。）シリンダ２９のシャフトに固定されたグ
リッパー３０で固定され、引き出しシリンダ３１で引き
込み動作をさせて、マガジン５をマガジン供給エレベー
ター６側に移動させる。

【００２４】グリッパー３０のシリンダ２９は、スライ
ドテーブル３２に固定されており、スライドテーブル３
２に固定されたグリッパーステー３３内のリニアベアリ
ング３４とマガジンガイド９に固定されたガイドシャフ
ト３５によって、グリッパー３０は品種変更時のマガジ
ンガイドの移動に同期して移動する。又、このリニアベ
アリング３４とガイドシャフト３５によって、引き出し
シリンダ３１動作時の前後の動きに対応できる。

【００２５】マガジン供給エレベーター６側に空マガジ
ン５が移動すると、供給エレベーター６は空マガジン５
を受ける為に上昇し、空マガジン５を受けた後に位置決
めを行い、上昇してフレーム収納エレベーター１にマガ
ジンを供給する。フレーム収納エレベーター１のアーム
２の回転は、ロータリーアクチュエータ３６で行なって
おり、マガジン供給エレベーター６が上昇して来る時は
アーム２を下に向け、マガジン受け渡しの為に９０゜ア
ームを回転させ、マガジン供給エレベーター６の下降に
より、空マガジン５をアーム２上のトレー１７に収納す
る。

【００２６】フレーム収納エレベーター１は１段ずつ上
昇して空マガジン５にリードフレーム６４を収納する。
満杯になった満杯マガジン３は、シリンダ３８に固定さ
れたマガジン取出しアーム４が突出してフレーム収納エ
レベーター１が下降する時に受け取られる。

【００２７】マガジン取出しアーム４が引っ込み、満杯
マガジン収納部６２に満杯マガジン３を移すと該マガジ
ンの前後方向２ケ所のシリンダ３９とスライドシリンダ
４０の動作で、２本のシリンダに固定されたスライドア
ーム４１，４１′で満杯マガジン３を前後方向から挟
み、手前（前面）に１ピッチずつ移動させる。品種変更
時はインデックスプランジャー４２のロックを解除して
後ろのスライドアーム４１をスライドベース４３上に設
けられた位置決め穴に、プランジャーのシャフトを入れ
て固定し、マガジン長さの変更に対応させる。

【００２８】以上の本実施例によれば、品種変更に伴う
マガジンの大きさの変化に対し、工具を用いずに簡単容
易にガイド類の調整ができる。また２つのエレベーター
を設けたことにより、マガジンの交換を迅速にできる。
さらに空マガジン供給部の空マガジントレーを引出し方
式としたことにより、空マガジンの供給を満杯マガジン
収納部に邪魔されずに容易に行うことができる。

【００２９】以上の実施例は主にアンローダに関して説
明したが、マガジンからリードフレームを取り出すプッ
シャーユニットを増設することで、ローダとしても使用
できる。通常ローダ・アンローダはダイスボンダー等の
装置にあらかじめ組み込まれているが、本発明によるロ
ーダ・アンローダは汎用性が高く、特別な調整が必要な
い等の利点から、独自の制御系を持たせ、外部との入出
力信号の接続をコネクタで行う事で、改造等による既存
設備への接続、又は小ユニット化された他の装置との接
続が可能である。

【００３０】満杯マガジン排出後のマガジンのピッチ移
動及び空マガジン供給部６１のマガジン移動方式は、パ
ルスモータ等に置き換える事でより正確に出来る。空マ
ガジンの供給時のマガジン位置精度は特に要求されず、
空マガジンの排出位置ではマガジンの前後からスライド
アームでマガジンをはさみ固定し、１ピッチずつ移動を
行い、常に同じ位置にマガジンが排出される事から、ロ
ボットを接続してマガジンの供給及び排出の無人化が可
能である。また、満杯マガジン排出部６２のスライドア
ームのピッチ移動は、モータとカムを使用した方法でも
良いし、又スライドアームを廃してモータ駆動によるベ
ルトコンベア方式でも良い。

【００３１】

【発明の効果】本発明に依れば、２つのマガジンエレベ
ーターによるマガジン交換を行う事で、交換時の装置の
待ち時間を短縮できる。また、品種交換時の位置調整作
業が容易であり、短時間で品種交換を完了出来る等、汎
用性の高い装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理説明図である。

【図２】本発明の実施例の外観斜視図である。

【図３】本発明の実施例の内部構造を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明の実施例におけるマガジン供給エレベー
ター位置決め機構を示す図である。

【図５】従来のアンローダを示す斜視図である。

【符号の説明】

１…フレーム収納エレベーター ２…収納エレベーターアーム ３…満杯マガジン ４…マガジン取出しアーム ５，５′…空マガジン ６…マガジン供給エレベーター ７，４２…インデックスプランジャー ８，２５…ガイド ９，９′…マガジンガイド １０…ベース １１，１１′…ステー １２，１２′…ラック １３…エアシリンダ １４…ピニオン歯車 １５，３４…リニアベアリング １６，３５…ガイドシャフト １７…マガジントレー １８，１９…マガジンストッパー ２０…位置決めピン ２１…蝶ボルト ２２…スライドレール ２３…空マガジントレー ２４…取手 ２６，２９，３８，３９…シリンダ ２７…マガジンプッシャー ２８，４０…スライドシリンダ ３０…グリッパー ３１…引出しシリンダ ３２…スライドテーブル ３３…グリッパーステー ３６…ロータリーアクチュエータ ３７…パルスモータ ４１，４１′…スライドアーム ４３…スライドベース ４４…操作パネル ６０…筐体 ６１…空マガジン供給部 ６２…満杯マガジン収納部 ６３…リードフレーム

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空マガジン供給部から供給された空マガ
   ジンをエレベーターで所定位置に上昇させ、そこで複数
   枚のリードフレームを収納し、満杯になったマガジンを
   排出側に移動させるアンローダにおいて、 上記所定位置でリードフレームが満杯となったマガジン
   （３）と空マガジン（５）とを交替させるため、フレー
   ム収納エレベーター（１）とマガジン供給エレベーター
   （６）の２つのエレベーターを設けたことを特徴とする
   アンローダ。
2. 【請求項２】 満杯マガジン収納部に排出された満杯マ
   ガジン（３）を左右から挟んで１ピッチずつ移動させる
   ことができる１対のスライドアーム（４１，４１′）を
   設けたことを特徴とする請求項１のアンローダ。
3. 【請求項３】 請求項１のアンローダに、マガジン
   （５）からのリードフレーム取り出し用のプッシャーを
   設けたことを特徴とするローダ。
4. 【請求項４】 空マガジン供給部を前方へ引き出し可能
   な引出し方式にしたことを特徴とする請求項１又は３の
   ローダ・アンローダ。
5. 【請求項５】 空マガジン供給部のマガジンガイド
   （９）にはインデックスプランジャー（７）を、満杯マ
   ガジン収納部のスライドアーム（４１）にはインデック
   スプランジャー（４２）を設け、該インデックスプラン
   ジャー（７，４１）でマガジンガイド（９）及びスライ
   ドアーム（４１）の間隔をマガジン（５）の長さに合わ
   せて調節可能としたことを特徴とする請求項１又は３の
   ローダ・アンローダ。