JPS63295148A - 基板の交換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえばプリント基板（以下単に基板という
）に穴明けを行なう加工機における基板の交換装置に関
するものである。

〔従来技術〕

加工機を長時間無人運転するため、加工機に対して基板
を供給、排出する基板の交換装置として、たとえば、特
開昭６０−２５９３５１号に示すような交換装置がある
。

この交換装置においては、基板を交換する場合、加工機
上にある加工済の基板を、加工機から供給。

装置のマガジンへ戻したのち、次に加工する基板をマガ
ジンから引出して、加工機上へ供給するようになってい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このため、加：１機に対する基板の交換に時間がかかυ
、加工機の稼動率を低下させる問題点があった。

本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、加工機に対する
基板の交換時間を短縮して、加工機の稼動率を向上させ
るようにした基板の交換装置を提・供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明においては、加工機と
供給装置を結ぶ基板の移送路に沿って、基板を供給装置
と移送路の間で移動させる第１の移送装置と、昇降可能
な基板保持手段を移送路に浴って移動させ、基板を移送
する第２の移送装置。

と、加工機に対向する位置に、昇降可能なくし状の支持
部材を上下２段に配置した待機装置と、加工機と待機装
置の間で基板を移送する第３の移送装置と、加工機に配
置された受渡し装置を設けた。。

〔作　用〕 そして、加工機で基板を加工している間に、加。

１機から待機装置の下段の支持部材上に排出された加工
済の基板を、第２の移送装置によって供給゛装置と対向
する位置へ移送し、第１の移送装置によって供給装置内
へ送り込む。全ての加工済の基板が供給装置に戻される
と、待機手段の支持部材が下降する。一方、次に加工す
べき基板が、第１の移送装置によって、供給装置から移
送路へ引出される。すると、第２の移送装置が基板を保
持して、待機装置の上段の支持部材上へ基板を移送する
。支持部材上に所要数の基板が置かれると、基板保持手
段は供給装置側へ移動して待機する。

そして、加工機による基板の加工が終了し、加工機のテ
ーブルが待機装置側の移動端へ移動すると、受渡し装置
の案内部材が上昇し、加工済の基板を受渡し位置へ押上
げる。同時に、待機手段の支持部材が上昇して、下段の
支持部材が受渡し位置に位置決めされる。すると、第３
の移送装置が加工済の基板を案内部材上から支持部材上
へ引出す、そして、支持部材が下降して上段の支持部材
が受渡し位置に位置すると、第３の移送装置が支持部材
上の未加工の基板を案内部材上に押出す。

そして、案内部材が下降し基板がチー１ル上に載ｆ！ｔ
されると、カロエ機は基板の加工を開始する。

一方、待機装置の支持部材が上昇して、加工済の基板の
移送に備える。

上述のように、加工機で基板を加工している間に、加工
済の基板を待機装置から供給装置へ移送し、次に加工す
べき基板を供給装置から待機装置へ移送して、基板交換
時は、待機装置と加工機の間疋けで基板を移送するよう
にしたので、加工機に対する基板の交換時間を短縮し、
加工機の稼動率を向上させることができる。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を、第１図ないし第８図に基づ
いて説明する。

第８図において、Ａは加工機。Ｂは基板Ｗの供給装置。

Ｃは供給装置Ｂと対向する第１の移送装置。Ｄは加工機
Ａと供給装置Ｂ　Ｋ　′Ｇって配置された第２の移送装
置。Ｅは第２の移送装置ＤＫ宿って配ｆされた待機装置
。Ｆは待機装置Ｅをはさんで加工機Ａと対向するように
配置された第３の移送装置。Ｇは加工機人に配置された
受渡し装置でめる。

前記加工機Ａは、第１図に示すように構成されている。

１はベッド。２はサブチー７′ル２ａを載置したテーブ
ルで、図示しない案内手段によってベッド１上に摺動可
能に支持され、下面にナツト３を突設している。４はギ
アボックスで、ベッド１に固定されている。５はモータ
で、ギアボックス４に取付られている。６は送りねじで
、一端がギアボックス４の出力軸に結合され、他の一端
は、ベッド１に固定されたブラケット７に回転可能に支
持されている。８は門形のコラムで、ベッド１上にチー
１ル２を跨ぐように支持されている。９はガイドパで、
コラム８に支持されている。１０は送りねじで、コラム
８に回転可能に支持され、図示しないモータによシ回転
駆動される。１１はサドルで、ガイドパ９に摺動可能に
嵌合する軸受１２と、送りねじ１０に螺合するナツト１
３を備えている。１４はガイドパで、サドル１１に支持
されている。１５は送シねじで、サドル１１に回転可能
に支持され、サドル１１に支持されたモータ１６により
回転駆動される。１７は主軸頭で、ガイドパ１１に摺動
可能に嵌合する軸受（図示せず）と、送シねじ１５に螺
合するナツト１８が形成されている。１９はスピンドル
で、主軸頭１７に回転可能に支持され、主軸頭１７に支
持されたモータ２０により回転駆動される。２１はドリ
ルで、スピンドル１９内に担込まれたコレットチャック
（図示せず）に涜脱可症に支持されている。

このような構成で、テーブル２を送りねじ６に浴ってＸ
方向に移動させ、サドル１１を送りねじ１０に溢ってＹ
方向に移動させて、チー１ル２上にａｔｉｔされた基板
Ｗとドリル２１のＸ−Ｙ方向の位置決めを行なったのち
、主軸頭１７を込りねじ１５に浴って移動させ、ドリル
２１で基板Ｗに尺明けを行なう。

前記供給装＆ＬＢは、ｍ２図に示すように構成されてい
る。

２６に筐体。２７はレールで、筐体２６の内部に固定さ
れている。２８は送りねじで、ブラケット２９を介して
レール２７に回転可能に支持されている。３０は傘歯車
で、送シねじ２８の一端に固定されている。３１は軸で
、筐体２６に回転可能に支持され、プーリ３２と傘歯車
３０Ｖｃ噛合う傘歯車３３を固定している。３４はモー
タで、筐体２６に配置された台３５に支持され、その回
転軸にはプーリ３６が固定されている。３７はベルトで
、プーリ３２とプーリ３６の間に掛渡されている。３８
はりフタで、その一端に取付けられたブラケット３９に
固定されたナツト４０が、送シ幻 禮じ２８と螺合している。４１はカートリッジタイプの
マガジンで、枠体４２の下面に軸受４３ｔ−介して車輪
４４を設け、上端に取手４５が取付られている。４６は
棚で、枠体４２内に所定の間隔で取付られている。

このような構成で、リフタ３８ｔ−下降肩に２き。

マガジン４１の出入れを行なう。

また、モータ３４を作動させることにより、す７タ３８
を上下に移動させ、マガジン４１内の棚４６を所定の位
置に位置決めする。

前記第１の移動装置Ｃは、第２図および第３図に示すよ
うに構成されている。

５１は支柱で、前記筐体２６上に立設されている。５２
は梁で、支柱５１の間に固定されている。

５３は受板で、梁５２から互りに対向するようにくし状
に突出している。５４は軸で、支柱５１上に固定された
ブラケット５５に回転可能に支持されている。５６はモ
ータで、筐体２６に支持され、その回転軸が軸５４に結
合されている。５７はスズロケットで、軸５４の両端部
に固定されている。

５８はチェーンで、スプロケット５７の間に掛渡嘔れ、
かつビーム５９で結合されている。

このビーム５９には、ブラケット６０を介してチャック
Ｃ１が支持されている。

６１はチャック°Ｃ１のベースで、ブラケット６０を介
してビーム５９に結合されている。６２は軸で、ベース
６１に立設されている。６３は上爪、６４は下爪で、各
々軸６２に回転可能に支持されている。６５はローラで
、上爪６３、下爪６４に各々立設された軸６６に回転可
能に支持されている。６７はばねで、上爪６３と下爪６
４に各々立設されたピン６８の間に掛渡されている。６
９はプラスチック等の軟質材料で形成されたチップで、
上爪６３と下爪６４の先端部に固定されている。

７０はシリンダで、ベース６１に固定されている。

７１はカムで、シリンダ７０のロンドに、ロー２６５の
間に位置するように固定されている。

このような構成で、モータ５６を作動させると、スプロ
ケット５７が回転しチェーン５８を移動させる。そして
、チャックＣ１を供給装置Ｂに近接離間させる。

一方、シリンダ７０′ｔ−作動させると、カム７１がロ
ーラ６５の間を移動して、上爪６３と下爪６４の先端を
開閉する。

したがって、上爪６３と下爪６４の間に基板Ｗを挾持し
た状態で、モータ５６を作動させてチャックＣＩを移動
させると、基板Ｗを移送することができる。

前記第２の移送装置りは、第１図、第２図、第４図およ
び第５図に示すように構成されている。

７２はベース。７３は支柱で、前記筺体２６に立設さ１
ている。７４．７５は支柱でベース７２に立役されてい
る。７６はブラケットで、支柱７４の側面に固定さ７し
ている。７７は桁で、支柱７３．７５およびブラケット
７６に固定されている。

７８はレールで、桁７７の上下面に固定されている。７
９はチェーンガイドで桁７７の側面に固定さｎている。

８０はモータで、前記筐体２］Ｋ支持されている。８１
はプーリで、モータ８０の回転軸に固定されている。８
２は軸で、桁７７の両端部に回転可能に支持されている
。軸８２の一方には、プーリ８３とスズロケット８４が
固定され、他方の軸−＃＝！＃−（図示せず）にはスプ
ロケット（図示せず）が固定されている。８５ａはベル
ト°で、プーリ８１とプーリ８３の間に掛渡されている
。

８５ｂはチェーンで、スプロケット８４とスズロケット
の間に掛渡され、チェーンガイド７９に支持されている
。

このチェーン８５ｂには、キャリアＤ１が結合されてい
る。

８６はガイドで、中央部に直線案内用の突起８６ａが形
成されている。８７は桁で、ガイド８６の上下部を結合
している。８８はブラケットで、ガイド８６に固定され
ている。８９はローラでル−ル７８に３方向から接する
ように、各１ラケツト８８に３個づつ回転可能に支持さ
れている。

９０はジヨイントで、ブラケット８８に固定され、かつ
チェーン８５ｂが結合されている。９１はブラケットで
、桁８７に固定されている。９２はシリンダで、ブラケ
ット９１に固定され、そのロンドには、ジヨイント９３
が固定されている。９４はホルダで、第７図に示すよう
に＠Ｈｍ形に形成されている。９５は吸着用のバットで
、ホルダ９４に支持され、かつ真空圧供給源（図示せず
）に接続されている。９６はガイドで、ホルダ９４に固
定され、アーム９７が形成されている。９８は軸受で、
突起８６＆に摺動可能に嵌合するようにアーム９７の一
端に固定されている。

このような構成で、モータ８０が作動すると、チェーン
８５ｂが移動して、中ヤリアＤ１をレール７８に浦って
移動させる。

また、シリンダ９２が作動すると、ホルダ９４が上下方
向に移動する。

したがって、ホルダ９４上に基板ｗｔ−載置し、パット
９５で吸着保持した状態で、キャリアＤ１を移動させる
ことにより、基板Ｗを任意の仕置へ移送することができ
る。

前記待機装置Ｅは、第１図、第６図および第７図に示す
ように構成されている。

１００は支柱で、前記ベース７２に立設されている。１
０１は直線案内用の軸受で、支柱１００に固定されてい
る。１０２はシリンダで、ベース７２に立設されている
。１０３はブラケットで、シリンダ１０２のロンドの先
端に固定されている。

１０４は７レームで、ブラケット１０３に固定され、か
つ軸受１０２に摺動可能に嵌合するレール１０５を備え
ている。１０６はスペーサで、フレーム１０４の上面の
両端に固定され、その上端にフレーム１０７を支持して
いる。１０８はガイドで、フレーム１０４に所定の間隔
で基板Ｗの移送路側へくし状に突出するように固定され
ている。

１０９はガイドで、フレーム１０４に所定の間隔で基板
Ｗの移送路側へくし状に突出するように固定されている
。

このような構成で、シリンダ１０２が作動すると、フレ
ーム１０４が昇降して、ガイド１０８とガイド１０９を
交互に基板Ｗの受渡し位置へ移動させることかできる。

前記第３の移送装置ｔ　Ｆは、第１図および第７図に示
すように構成されている。

１１０は支柱で、前記ベース７２の四角に立設されてい
る。１１１は桁で、支柱１１０の上部に固定されている
。１１２はモータで、ベース７２上に固定され、その回
転軸にスプロケット１１３を固定している。１１４はス
ズロケットで、支柱１１０に回転可能に支持された軸１
１５の両端に固定されている。１１６はスズロケットで
、支柱１１０間に回転可能に支持された軸１１７に固定
されている。１１８はスプロケットで、支柱１１０に回
転可能に支持された軸１１９に固定されている。１２０
はチェーンで、スプロケ−＋　１−１１３とスプロケッ
ト１１４の間に掛渡されている。１２１はチェーンで、
スズロケット１１４とスプロケット１１６の間に掛渡さ
れている。１２２はチェーンで、スズロケット１１６と
スプロケット１１８の間に掛渡されている。１２３はブ
ラケットで、チェーン１２２に固定されている。１２４
はバーで、ブラケット１２３に固定され、チャックＦ１
を支持している。

なお、チャックＦ１は、第３図に示すチャックＣＩと同
一の構成であるため、説明を省略する。

このような構成で、モータ１１２を作動させると、チェ
ーン１２０，１２１を介してチェーン１２２が移動する
。このとき、チャックＦ１が基板Ｗを挾持していると、
基板Ｗを移送することができる。

前記受渡し装置Ｇは、第１図および第７図に示すように
構成されている。

１２５はガイドで、サブテーブル２ａの中央に形成され
た長大と、両側に形成された切欠きの中に昇降可能に配
置され、下降したとき、その上面がサブテーブル２ａの
上面と同じ高ざになるように形成６れている。１２６は
軸受で、チーグル２の所定の位置に、ガイド１２５と対
向するように固定されている。１２７は軸で、一端がガ
イド１２５に固定され、軸受１２６を摺動可能に貫通し
、他の一端に７ランジが形成されている。１２８はばね
で、軸受１２６と７ランジの間に位置するように、軸１
２７に挿層されている。１２９はシリンダで、テーブル
２が前記待機装置Ｅ側の移動端に位置したとき、軸１２
７のフランジと対向するように■工機Ａのベッド１に配
置されている。

このような構成で、テーブル２が待機装置側の移動端に
位置しているとき、シリンダ１２９が作動し、そのロッ
ドが軸１２７を押上げる。すると、ガイド１２５が上昇
して、基板Ｗを受渡し位置へ押上げる。

また、シリンダ１２９が作動して、ロッドを引込めると
、ばね１２８の抗圧力によって軸１２７が押下げられ、
ガイド１２５が下降して、す１テーブル２の長穴および
切欠き内に収容される。

上記の構成において、待機装置１Ｅの上段のガイド１０
９上に基板Ｗが載置され、かつ受渡し位置に有る状態で
、加工機Ａにおける基板Ｗの加工が終了すると、シリン
ダ１０２の作動によシ、フレーム１０４が上昇し、ガイ
ド１０８が受渡し位置へ移動する。同時に、モータ５の
作動はより、テーブル２が待機装置ＩｆＥ側に移動端へ
移動する。

すると、シリンダ１２９の作動によシ、ガイド１２５が
上昇して、加工済の基板Ｗを受渡し位置へ押上げる。

ついで、モータ１１２が作動して、第３の移送装置ｆＦ
のチャックＦ１を加工機Ａ側に移動させる。

そして、チャックＦ１でガイド１２５上の基板Ｗを挾持
すると、モータ１１２が反転して、基板Ｗをガイド１２
５上からガイド１０８上へ引出す。

基板Ｗがガイド１０８上に引出さムると、チャックＦ１
は基板Ｗを解放して後退する。

すると、シリンダ１０２が作動して、フレーム１０４を
下降させ、上段のガイド１０９を受渡し位置へ移動させ
る。

すると、モータ１１２が再び作動して、チャックＦ１を
加工機Ａ側へ移動させる。このとき、チャックＦＩＶｉ
、ガイド１０９上に載′ｖＩＬされた基板Ｗを挾持して
、基板Ｗをガイド１０９上からガイド１２５上へ押出す
。そして、基板Ｗがガイド１２５上の所定の位置に達す
ると、チャックＦ１が基板Ｗを解放すると共に、モータ
１１２が反転して、チャックＦ１を後退させる。

一方、チャックＦ１が後退すると、シリンダ１２９が作
動して、そのロッドを下降させる。すると、ガイド１２
５が下降して、基板Ｗ１ｔサブテーブル２ａ上に載置す
る。

このようにして、基板Ｗの交換が終ると、モータ５の作
動によシブ−１ル２が加工位置へ移動して、加工機人が
基板Ｗの加工を聞知する。

一方、待機装置Ｅのシリンダ１０２が作動して、下段の
ガイド１０８を受渡し位置へ移動させる。

すると、第３の移送装置Ｆのモータ１１２が作動して、
チャックＦ１を待機装を側へ移動させる。

そして、ガイド１０８上にある加工済の基板Ｗをチャッ
クＦ１で挾持すると、モータ１１２が反転して、基板Ｗ
を移送位置へ引出す。

ここで、移送位置は、第２の移送装置りで移送可能で、
かつガイド１０８（又は１０９）上に基板Ｗが安定した
状態で載置される位置をいう。

そして、チャックＦ１が後退すると、第２の移送装＆Ｄ
のモータ８０が作動して、キャリアＤ１を待機装置Ｅ側
へ移動させる。そして、最も近い所にある基板Ｗの下に
ホルダ９４が到達すると、モータ８０が止シ、キャリア
Ｄ１を止める。

すると、シリンダ９２が作動して、ホルダ９４を上昇さ
せ、ホルダ９４で基板Ｗを押上げ、基板Ｗをガイド１０
８から浮上させる。同時にパット９５に真空圧が供給さ
れ、基板Ｗをパット９５で吸着保持する。

ついで、モータ８０が反転し、キャリアＤ１を供給装置
Ｂと対向する位置へ移動させる。そして、キャリアＤ１
が止まると、パット９５の真空圧が遮断でれ、大気圧に
連通される。

″で１シリンタ゛９２力；作動して、ホルタ゛９４を供
給装置Ｂの受板５３よシ下方に降下させる・すると、基
板Ｗは受板５３上に載置される。この状態で、モータ８
０が作動して、キャリアＤ１は次の基板Ｗを移送するた
めに待機装置Ｅ側へ移動する。

一方、第１の移送装置Ｃのモータ５６が作動して、チャ
ックＣ１ｔ−その上爪６３と下爪６４が基板Ｗｆ：挾持
し得る位置まで移動させる。すると、シリンダ７０が作
動して、上爪６３と下爪６４を回動させて、基板Ｗを挾
持させる。

この状態で、ざらにモータ５６の作動によシ、チャック
Ｃ１が供給装置Ｂ側へ移動すると、基板ＷはチャックＣ
１に押されて、供給装ｆＨのマガジン４２の棚４６上に
挿入される。

そして、チャックＣ１が供給装置Ｂ側の移動端に達する
と、シリンダ７０が作動してカム７１を供給装＋ｔ　Ｂ
側へ移動させ、上爪６３と下爪６４を開いて基板ｗｔ−
解放する。すると、モータ５６の作動によシ、チャック
Ｃ１が後退する。

一方、供給装置Ｂのモータ３４が作動して、マガジン４
２を棚４６の一段分だけ移動させ、次の基板Ｗの挿入に
備える。

このようにして、加工済の基板Ｗを全てマガジン４２内
に収容する。

すると、待機手段Ｅのシリンダ１０２が作動して、ガイ
ド１０９を受渡し位置へ移動させる。一方、供給装置１
Ｂのモータ３４が作動して、次に加工すべき基板Ｗを位
置決めする。また、第２の移送装置りのキャリアＤ１は
、受板５３の下方で待機する。

そして、第１の移送装置Ｃのモータ５６が作動して、チ
ャックＣ１を供給装置Ｂ側へ移動させ、シリンダ７０の
作動によシ、マガジン４２内の未加工の基板Ｗを挟持さ
せる。そして、モータ５６を阪転させ、チャックＣ１を
後退させると、チャックＣ１に挾持された基板Ｗが、棚
４６から受板５ａ上に引出される。そして、基板Ｗは受
板５３上の所定の位置で解放され、チャックＣ１のみが
さらに後退する。

すると、第２の移送装置１１：Ｄのシリンダ９２が作動
して、ホルダ９４を受板５３よシ高い位ｄ！で上昇させ
る。すると、受板５３上に載置されていた基板Ｗは、ホ
ルダ９４によって押上げられ１受板５３から浮上する。

このとき、パット９５に真空圧が供給され、基板Ｗを吸
着保持する。

すると、ｗ、２の移送装［Ｄのモータ８０が作動して、
キャリアＤ１を待機装置ｔＥ側へ移動させる。

このとき、基板ｗｔ−保持したホルダ９４は、待機装置
Ｅのガイド１０９の上方を通る。そして、ホルダ９４が
、基板Ｗを移送すべき範囲の中で最も遠い位置へ到達す
ると、モータ８０が止まシキャリアＤ１が停止する。

すると、パット９５の真空圧が遮断さ几、大気圧に連通
される。そして、シリンダ９２が作動して、ホルダ９４
を待機装置Ｅのガイド１０８の下まで下降させる。この
とき、ホルダ９４に保持された基板Ｗは、ガイド１０９
上に載置される。

そして、第２の移送装置ｔＤのモータ８０が作動して、
中ヤリアｐ１を供給装置Ｂ側へ戻す。

このようにして、未加工の基板Ｗを待機装置Ｅのガイド
１０９上に移送する。

ついで、第３の移送偵ＲＦのモータ１１２が作動して、
チャックＦ１を待機装置Ｅ側へ移だｂさせ、チャックＦ
１で基板Ｗを挾持して、基板Ｗを移送位置から待機装置
　Ｅの加工機Ａ　９１１１の待機位置へ移動させる。

そして、モータ１１２が反転しチャックＦｉが後退する
と、加工機Ａの加工終了を待つ。

上述のように、供給装置Ｂと待機！に置Ｅの間の基板Ｗ
の交換を、加工機Ａの稼動中に行ない、加工機Ａに対す
る基板Ｗの交換を、加工機Ａと待機装置１Ｅの間で行な
うようにしたので、加工機Ａに対する基板Ｗの交換時間
を大巾に短縮し、加工機Ａの稼動率を向上させることが
できる。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明によれば、加工機に対する基板
の交換時間を短縮して、加工機の稼動率を向上嘔せるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明における交換装置の加工機側の側面部
分断面図、第２図は、供給装置側の側面断面図、第３図
は、チャックの拡大図、第４図は・キャリアの側面図、
第５図は、中ヤリアの正面図第６図は、待機手段の背面
図、第７図は、加工機と待機装置およびＷＪ３の移送装
置の関係を示す平面図、第８図は、加工機および各装置
の配置関係を示す平面図である。 Ａ・・・加工機、　　２・・・テーブル、　Ｂ・・・供
給装置Ｃ・・・第１の移送装ｇ、　ｃｉ・・・チャック
、Ｄ・・・第２の移送装置、　Ｄｌ・・・中ヤリア、７
８・・・レール、　　９４・・・ホルダ、Ｅ・・・待機
装置、　　　１０４，１０７・・・フレーム、１０８．
１０９・・・ガイド、 Ｆ・・・第３の移送装置、　　Ｆｌ−°°チャック・Ｇ
・・・受渡し装置、　　１２５・・・ガイド。 第２起 ＄４−図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、加工機と、加工機に並設された供給装置との間で基
   板を交換するための基板の交換装置において、加工機と
   供給装置を結ぶ基板の移送路を横切つて移動する基板の
   挾持手段を備え、この挾持手段で基板を挾持して移送す
   る第１の移送装置を設け、前記移送路を形成する案内部
   材と、この案内部材に沿って移動する移動手段と、この
   移動手段に昇降可能に支持された基板保持手段とを備え
   、基板保持手段に保持された基板を移送する第２の移送
   装置を設け、加工機と前記移送路との間に位置するよう
   に昇降可能に配置され、かつ移送路側が開放されたくし
   状の支持部材を上下２段に備えた待機装置と、前記移送
   路および待機手段を横切つて移動する基板の挾持手段を
   備え、この挾持手段で基板を挾持して移送する第３の移
   送装置を設け、加工機のテーブルに昇降可能に配置され
   た案内部材を備え、基板の受渡し時に案内部材をテーブ
   ル面から上昇させる受渡し装置を設けたことを特徴とす
   る基板の交換装置。