JPH11204670A

JPH11204670A - マーキング方法および装置

Info

Publication number: JPH11204670A
Application number: JP1785998A
Authority: JP
Inventors: Takaharu Jin; 隆治神
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1998-01-14
Filing date: 1998-01-14
Publication date: 1999-07-30

Abstract

(57)【要約】【課題】被マーキング物の仕様変更に容易に対応す
る。【解決手段】複数個の樹脂封止体２が長さ方向に整列
されたリードフレーム１が搬送路を長さ方向に送られ
て、レーザ照射によって樹脂封止体２にマーキングされ
るマーキング装置において、搬送路がＸ軸ロボット３４
およびＹ軸ロボット３１により構成され、Ｘ軸ロボット
３４にはパレット３６が搭載されている。リードフレー
ム１はローディング部１２でパレット３６にローディン
グされ、マーキングステージに搬送される。マーキング
終了後に、リードフレーム１はアンローディング部１５
に搬送されてパレット３６からアンローディングされ
る。【効果】リードフレームがパレットで搬送されるた
め、リードフレームの仕様が変更された場合、パレット
の変更で対応でき仕様変更時の段取り時間等を短縮でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マーキング技術、
特に、被マーキング物（以下、ワークという。）を搬送
する技術の改良に関し、例えば、半導体装置の製造工程
において、多連リードフレームに形成された複数個のパ
ッケージに品種名等のマークをレーザ照射によってマー
キングするのに利用して有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、多連リ
ードフレームに形成された複数個のパッケージに品種名
等のマークをレーザ照射により付するレーザマーキング
装置として、ワークである多連リードフレームを一方向
に案内するガイドレールと、ガイドレールに沿って敷設
され、多連リードフレームをガイドレールに沿って歩進
送りする送りねじ装置と、この送りねじ装置を駆動する
モータと、多連リードフレームの間欠停止時に多連リー
ドフレームに整列された複数個の被マーキング面である
各パッケージにレーザを照射するレーザ照射装置とを備
えており多連リードフレームの歩進送りに伴ってパッケ
ージにレーザを順次照射し、パッケージにマークを順次
付して行くレーザマーキング装置がある。

【０００３】なお、この種のレーザマーキング装置を述
べてある例としては、特開平５−３２６１号公報があ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなレーザマーキング装置においては、多連リードフ
レームの短手方向の幅寸法が変更された場合や、多連リ
ードフレームが多列に並設された多連多列リードフレー
ム（以下、マルチリードフレームという。）が採用され
た場合には装置全体の仕様を変更しなければならないた
め、設備投資が増大するという問題点がある。

【０００５】本発明の目的は、被マーキング物の仕様変
更に容易に対応することができるマーキング技術を提供
することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、複数個の被マーキング面が長さ
方向に整列された被マーキング物が搬送路を長さ方向に
送られて、その搬送路の途中に配設されたマーキング手
段によって各マーキング面がマーキングされるマーキン
グ装置において、前記搬送路を移動するパレットに前記
被マーキング物がローディングされて保持され、前記マ
ーキング終了後に、マーキング済みの被マーキング物が
そのパレットからアンローディングされることを特徴と
する。

【０００９】前記した手段によれば、ワークである被マ
ーキング物がパレットによって搬送するように構成され
ているため、ワークである被マーキング物の幅が変更さ
れた場合であっても、搬送路の仕様を大きく変更しない
で済み、あらゆる仕様の被マーキング物にマーキングす
ることができるとともに、被マーキング物の仕様変更時
の段取り時間等を短縮することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
レーザマーキング装置を示す平面図である。図２はその
一部省略正面図である。図３はそのワークを示してお
り、（ａ）はマルチリードフレームの平面図、（ｂ）は
多連リードフレームの平面図である。図４はローディン
グ部を示す各斜視図である。図５はパレットを示してお
り、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ａ）
のｃ−ｃ矢視図である。図６はパレットを取り外した状
態の搬送台部分を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）
は正面図である。図７はパレットの解除作動を示す各側
面断面図である。

【００１１】本実施形態において、本発明に係るマーキ
ング装置は、各種仕様のマルチリードフレームおよび多
連リードフレームに整列されたパッケージの樹脂封止体
にレーザを照射してマークを付するものとして構成され
ている。ここでは、図３に示されているマルチリードフ
レームおよび多連リードフレームを例にして説明する。
但し、区別の必要のない場合はマルチリードフレームお
よび多連リードフレームを含めてワーク１という。

【００１２】図３（ａ）に示されている被マーキング物
としてのマルチリードフレーム１Ａは全体的に長方形の
平板形状に形成されており、被マーキング面としての樹
脂封止体２Ａから複数本のアウタリード（図示せず）が
突出されたパッケージが長さ方向に一列縦隊に並べられ
ているとともに、その列が幅方向に四列に並べられてい
る。このマルチリードフレーム１Ａについてのレーザの
照射は、図３（ａ）に想像線で示されているマーキング
エリア３Ａによって実行される。すなわち、一つのマー
キングエリア３Ａによって、合計１６個の樹脂封止体２
Ａにマーク（図示せず）が付されることになる。

【００１３】図３（ｂ）に示されている被マーキング物
としての多連リードフレーム１Ｂは全体的に矩形の平板
形状に形成されており、被マーキング面としての樹脂封
止体２Ｂから複数本のアウタリード（図示せず）が突出
されたパッケージが長さ方向に一列縦隊に並べられてい
る。多連リードフレーム１Ｂの短手方向の幅はマルチリ
ードフレーム１Ａの幅よりも狭く設定されている。この
多連リードフレーム１Ｂについてのレーザの照射は、図
３（ｂ）に想像線で示されているマーキングエリア３Ｂ
によって実行される。すなわち、一つのマーキングエリ
ア３Ｂによって、合計６個の樹脂封止体２Ｂにマークが
付されることになる。

【００１４】本実施形態に係るレーザマーキング装置１
０は、機台１１と、ワーク１をローディングするローデ
ィング部１２と、ワーク１を搬送する搬送部１３と、ワ
ーク１にマーキングを含む加工を実施する加工部１４
と、加工済みのワーク１をアンローディングするアンロ
ーディング部１５とを備えている。ローディング部１２
は機台１１の前側左端部（前後左右は図１を基準とす
る。）に配置されており、アンローディング部１５は機
台１１の前側右端部に配置されている。搬送部１３は機
台１１の前後の中央部に左右方向に敷設されており、加
工部１４は搬送部１３の途中に配置されている。

【００１５】ローディング部１２とアンローディング部
１５とは構造的には同様に構成されており、左右対称形
に配置されている。したがって、ローディング部１２の
構成について代表的に説明し、構成要素については同一
の符号を付して示す。

【００１６】ローディング部１２は左右で一対のガイド
レール２１、２１を備えており、両ガイドレール２１、
２１は機台１１の前側左端部前方において互いに対向さ
れて平行に、かつ、水平に敷設されている。両ガイドレ
ール２１、２１間にはワーク１を収納したラック４を保
持するためのラックホルダ２２が、前後方向に位置調整
可能に跨設されている。ラック４は平面視が長方形の筒
形状に形成されており、ワーク１を上面開口から出し入
れして多数段に積み重ねた状態で収納するように構成さ
れている。ラック４に収納されたワーク１はラック４の
下面開口に下から挿入される突上棒（図示せず）によっ
て押し上げられることによって、ラック４から押し出さ
れるようになっている。

【００１７】本実施形態において、ラックホルダ２２は
左右で一対のラック交換用スペーサ（以下、スペーサと
いう。）２３、２３を介してラック４を保持するように
構成されている。すなわち、左右で一対のスペーサ２
３、２３は左右対称形に形成されており、ラック４を左
右から挟持するように装着されてラックホルダ２２に上
面開口から挿入されている。例えば、図４に示されてい
るように、各仕様のワーク１に適合した左右で一対のス
ペーサ２３、２３をそれぞれ準備することにより、ラッ
クホルダ２２はワーク１の仕様変更の都度に改造せずに
各仕様のラック４を保持することができる。

【００１８】ローディング部１２が設定された機台１１
の前側左端部にはＹ軸ロボット２４が前後方向に敷設さ
れており、Ｙ軸ロボット２４の移動台２４ａにはアーム
２５が右方に突き出すように水平に支持されている。Ｙ
軸ロボット２４はアーム２５をＹ軸ロボット２４によっ
て前側のローディング部１２のピックアップステーショ
ンと、後側の搬送部１３のプットダウンステーションと
の間を往復移動させるように構成されている。アーム２
５の先端部にはワークハンドラ２６が垂直ガイド２７に
よって上下動自在に吊持されており、ワークハンドラ２
６はアーム２５の上面に据え付けられたシリンダ装置２
８によって上下駆動されるようになっている。ワークハ
ンドラ２６は複数本の真空吸着ヘッド２６ａによってワ
ーク１の樹脂封止体上面を真空吸着することにより、ワ
ーク１を保持するように構成されている。ワークハンド
ラ２６のピックアップステーションの真下位置にはワー
ク１をガイドするワークガイド２９が配設されている。

【００１９】搬送部１３は機台１１の左右方向の中央に
おいて前後方向に敷設された搬送用Ｙ軸ロボット３１を
備えており、搬送用Ｙ軸ロボット３１の移動台３１ａは
左右で一対のガイド３２、３２によって前後動自在に支
持されたテーブル３３に固定されている。したがって、
テーブル３３は搬送用Ｙ軸ロボット３１によって前後方
向に往復移動されるようになっている。テーブル３３の
上には搬送用Ｘ軸ロボット３４が左右方向に敷設されて
おり、搬送用Ｘ軸ロボット３４の移動台３４ａにはパレ
ット取付台３５が固定されている。したがって、パレッ
ト取付台３５は搬送用Ｘ軸ロボット３４によって左右方
向に往復移動されるようになっている。そして、テーブ
ル３３が搬送用Ｙ軸ロボット３１によって前後方向に往
復移動されるようになっているため、パレット取付台３
５は水平面内で前後左右方向に移動し得るようになって
いる。パレット取付台３５はワークを保持して加工部１
４に供給するためのパレット３６が着脱自在に装着され
るように構成されている。

【００２０】パレット３６はワーク１の大きさに対応し
て複数規格のものが準備されるが、基本的な構造は図５
に示されているように構成されている。図５に示されて
いるように、パレット３６は保持すべきワーク１よりも
充分に大きな長方形の板形状に形成されたベース３７を
備えており、ベース３７はパレット取付台３５に一対の
位置決めピン３８によって位置決めされた状態で、４本
のボルト３９によってパレット取付台３５に固定される
ようなっている。ベース３７の上面における前後両端部
には前後位置決めブロック４０が合計で４個、ワーク１
の四隅に対応するように配されて位置調整可能に取り付
けられている。また、ベース３７の上面における左右両
端部には左右で一対の左右位置決めブロック４１、４１
が、ワーク１の左端辺および右端辺に対応するように配
されて位置調整可能に取り付けられている。これら前後
位置決めブロック４０および左右位置決めブロック４１
によってワーク１はベース３７の上面に位置決めされ
る。

【００２１】ベース３７の上面には前後で一対の押さえ
軸４３、４３が前後端部において左右方向に延在するよ
うに配されて、複数個の軸受４２によって回転自在に支
承されている。両押さえ軸４３、４３の中間部には押さ
え爪４４が合計で４個、ワーク１の４箇所に対応するよ
うに配されて一体回動するように取り付けられており、
各押さえ爪４４は押さえ軸４３の回動によってワーク１
の前後縁辺部を上から押さえて、ワーク１をベース３７
に押さえ付けるようになっている。

【００２２】ベース３７の左右両端面には左右で一対の
ブラケット４５、４５が外側に突出するように固定され
ており、各ブラケット４５にはガイド筒４６が垂直方向
に延在するように固定されている。各ガイド筒４６には
プッシュロッド４７が垂直方向に摺動自在に支承されて
おり、プッシュロッド４７の下端はガイド筒４６の下端
から突出されている。プッシュロッド４７の上端部には
駆動側リンクバー４８の中間部が固定されており、駆動
側リンクバー４８は水平面内で前後方向に延在するよう
に配されている。各駆動リンクバー４８の前後両端部に
は前後で一対のガイド孔４８ａが開設されており、各ガ
イド孔４８ａにはピン４９が前後方向に摺動自在かつ回
転自在に嵌入されている。各ピン４９には前後で一対の
従動側リンクバー５０の一端部が固定されており、各従
動側リンクバー５０の他端部は押さえ軸４３の端部に固
定されている。

【００２３】駆動側リンクバー４８の外側端面には係止
ピン５１が突設されており、係止ピン５１にはスプリン
グ５２の一端が係止されている。スプリング５２の他端
部はブラケット４５に突設された係止ピン５３に係止さ
れており、スプリング５２は駆動側リンクバー４８を下
降させる方向に常時付勢するようになっている。したが
って、プッシュロッド４７はスプリング５２によって常
時押し下げ力を付勢されている。

【００２４】テーブル３３の上面における搬送用Ｘ軸ロ
ボット３４の前側位置にはシリンダ装置によって構成さ
れたローディング側解除装置５４およびアンローディン
グ側解除装置５５が設置されている。ローディング側解
除装置５４はパレット３６がローディング部１３に停止
している時に一方のプッシュロッド４７に下から対向す
るように配置されている。アンローディング側解除装置
５５はパレット３６がアンローディング部１５に停止し
ている時に一方のプッシュロッド４７に下から対向する
ように配置されている。

【００２５】図６および図７に示されているように、シ
リンダ装置によって構成されたローディング側解除装置
５４は垂直方向上向きに据え付けられており、プッシュ
ロッド４７に対向した状態で、ピストンロッド５４ａが
伸長作動することによってプッシュロッド４７を押し上
げるようになっている。プッシュロッド４７がローディ
ング側解除装置５４によって押し上げられると、駆動側
リンクバー４８が押し上げられて従動側リンクバー５０
が上側に傾けられ押さえ軸４３が回動されるため、押さ
え爪４４はワーク１の押さえを解除した状態になる。こ
の状態において、ワーク１はパレット３６に対して自由
に着脱することができる。

【００２６】加工部１４は機台１１の後端部の上方にお
いて左右方向に延在するように水平に架設された支持梁
６１を備えている。支持梁６１にはエアブロー装置６２
と第１ブラッシング装置６３と第２ブラッシング装置６
４とが左側から順に配されて支持されている。エアブロ
ー装置６２と第１ブラッシング装置６３との間にはマー
キングステージ６５が設定されており、マーキングステ
ージ６５にはレーザ照射装置６６からレーザ光６７が照
射されるようになっている。

【００２７】エアブロー装置６２はマーキング前にワー
ク１に吹き付けてワーク１に付着した塵埃を吹き飛ばす
ことによってクリーニングするように構成されている。
第１ブラッシング装置６３および第２ブラッシング装置
６４はマーキングされたワーク１をブラッシングするこ
とにより、マーキングによってワーク１に付着した煤等
をクリーニングするように構成されている。レーザ照射
装置６６はレーザ光６７をマーキングステージ６５に停
止された被マーキング物であるワーク１の被マーキング
面である樹脂封止体２に照射することにより、樹脂封止
体２にマークを付するように構成されている。

【００２８】次に、前記構成に係るレーザマーキング装
置の作用を説明する。

【００２９】例えば、図４（ａ）に示されているよう
に、ワークであるマルチリードフレーム１Ａが多数枚段
積みされて収納されたラック４Ａは、スペーサ２３Ａ、
２３Ａを介してローディング部１２のラックホルダ２２
にセットされる。図１および図２に示されているよう
に、ラック４がセットされると、ラックホルダ２２はロ
ーディング部１２のピックアップステーションに移動さ
れて設置される。

【００３０】ローディング部１２のワークハンドラ２６
はピックアップステーションに設置されたラックホルダ
２２のワーク１を真空吸着保持してピックアップする。
ワーク１をピックアップすると、アーム２５がＹ軸ロボ
ット２４によってプットダウンステーションに移動され
る。プットダウンステーションにおいて、ワークハンド
ラ２６が下降されて保持されたワーク１は、そこに停止
されているパレット取付台３５にセットされたパレット
３６に移載される。

【００３１】この際、パレット３６においては押さえ爪
４４がローディング側解除装置５４によって上側に開か
れた解除状態になっているため、ワークハンドラ２６は
ワーク１をパレット３６のベース３７の上面に移載する
ことができる。パレット３６のベース３７に移載された
ワーク１は、前後位置決めブロック４０および左右位置
決めブロック４１によってパレット３６に対して適正に
位置決めされた状態になる。

【００３２】ワークセンサ等（図示せず）によってワー
ク１の存在が確認された後に、ローディング側解除装置
５４のピストンロッド５４ａが下降されると、ピストン
ロッド５４ａの押し上げ力を失ったパレット３６側のプ
ッシュロッド４７はスプリング５２の弾発力によって自
動的に下降されるため、押さえ軸４３は駆動側リンクバ
ー４８および従動側リンクバー５０によって閉じ方向に
回動される。押さえ軸４３が閉じ側に回動されると、押
さえ爪４４はワーク１の縁辺部を押さえるため、ワーク
１はパレット３６に保持された状態になる。

【００３３】ワーク１がパレット３６に位置決め保持さ
れると、パレット取付台３５が搬送用Ｘ軸ロボット３４
によって加工部１４の方向に移動され、テーブル３３が
搬送用Ｙ軸ロボット３１によって後退されることによ
り、パレット３６が加工部１４に供給される。

【００３４】加工部１４において、パレット取付台３５
は搬送用Ｘ軸ロボット３４によって右方に移動される。
この移動に追従して、エアブロー装置６２はエアをワー
ク１に吹き付けてワーク１に付着した塵埃を吹き飛ばす
ことによってクリーニングし、第１ブラッシング装置６
３および第２ブラッシング装置６４はマーキングされた
ワーク１をブラッシングすることにより、マーキングに
よってワーク１に付着した煤等をクリーニングする。

【００３５】そして、被マーキング物であるワーク１が
マーキングステージ６５に停止している時に、レーザ照
射装置６６はレーザ光６７をワーク１の被マーキング面
である樹脂封止体２に照射することにより、樹脂封止体
２にマーキングする。

【００３６】ここで、ワーク１が図３（ａ）に示されて
いるマルチリードフレーム１Ａである場合には、レーザ
照射装置６６は図３（ａ）に示されているマーキングエ
リア３Ａをもって樹脂封止体２Ａに順次マーキングする
ことになる。また、ワーク１が図３（ｂ）に示されてい
る多連リードフレーム１Ｂである場合には、レーザ照射
装置６６は図３（ｂ）に示されているマーキングエリア
３Ｂをもって樹脂封止体２Ｂに順次マーキングすること
になる。

【００３７】本実施形態においては、レーザ照射装置６
６によるレーザ光６７の照射のタイミングと、予め教示
された指令によって制御される搬送用Ｘ軸ロボット３４
によるパレット取付台３５の送るタイミングとの関係に
より、マーキングエリアは自由に変更調整して設定する
ことができるため、マルチリードフレーム１Ａや多連リ
ードフレーム１Ｂのあらゆる場合にフレキシブルに対応
することができる。

【００３８】加工部１４においてマーキングおよびクリ
ーニングが終了すると、パレット取付台３５は搬送用Ｙ
軸ロボット３１によって前進された後に、搬送用Ｘ軸ロ
ボット３４によってアンローディング部１５に送られ
る。

【００３９】アンローディング部１５のワークハンドラ
２６は送られて来たパレット３６のワーク１を真空吸着
保持してピックアップする。この際、パレット３６側に
おいてはアンローディング側解除装置５５が解除作動す
ることにより、押さえ爪４４が上側に開かれた解除状態
になる。このため、ワークハンドラ２６はワーク１をパ
レット３６のベース３７の上面からピックアップするこ
とができる。

【００４０】ワーク１をピックアップすると、アンロー
ディング部１５のアーム２５がＹ軸ロボット２４によっ
て移動され、続いて、ワークハンドラ２６が下降される
ことにより、ワーク１はアンローディング部１５のラッ
クホルダ２２に保持されたラック４に収容される。

【００４１】以上の作動が繰り返されることにより、ロ
ーディング部１２に供給されたワーク１についてマーキ
ングが実施されて行く。

【００４２】例えば、ワーク１が図３（ａ）に示されて
いるマルチリードフレーム１Ａから図３（ｂ）に示され
ている多連リードフレーム１Ｂに切り換えられる場合に
は、ローディング部１２およびアンローディング部１５
において、図４（ａ）に示されているラック４Ａから図
４（ｂ）に示されているラック４Ｂに切り換えられる。
この切り換え作業に際して、図４（ａ）に示されている
スペーサ２３Ａから図４（ｂ）に示されているスペーサ
２３Ｂに切り換えることにより、ラックホルダ２２を変
更せずにマルチリードフレーム用のラック４Ａから多連
リードフレーム用のラック４Ｂへの切り換え作業を実行
することができる。

【００４３】マルチリードフレーム１Ａから多連リード
フレーム１Ｂへの切り換え作業が実施されると、マルチ
リードフレーム１Ａ用のパレット３６では多連リードフ
レーム１Ｂを保持することができないため、パレット３
６が多連リードフレーム１Ｂ用のものと切り換えられ
る。多連リードフレーム１Ｂ用のパレット３６の構成
は、前後位置決めブロック４０、左右位置決めブロック
４１および前後の押さえ軸４３、４３の位置が異なるだ
けで、マルチリードフレーム１Ａ用のパレット３６の構
成に準じている。

【００４４】前記実施形態によれば、次の効果が得られ
る。

【００４５】パレットによって搬送するように構成
することにより、ワークである被マーキング物の幅が変
更された場合であっても、搬送路の使用を大きく変更し
ないで済むため、あらゆる被マーキング物にマーキング
することができるとともに、被マーキング物の仕様変更
時の段取り時間等を短縮することができる。

【００４６】前記により、マーキング装置の休止
時間を短縮することができ、マーキング方法の全体とし
ての作業効率を高めることができ、ひいては、半導体集
積回路装置の生産性を高めることができる。

【００４７】パレットにおいてワーク押さえ爪をス
プリングによって押さえ状態を維持するように構成する
とともに、外部に設置した解除装置によって押さえ状態
を解除するように構成することにより、パレット側にワ
ーク押さえ爪を作動させるための駆動装置を配備しなく
て済むため、パレットの構造を簡単化することができる
とともに、パレットを搬送させるためのロボットの構造
を小規模に設定することができる。

【００４８】前記により、パレットの交換を容易
に実現することができ、また、設備コストやランニング
コストを軽減することができる。

【００４９】ワークを交換可能のパレットによって
搬送するように構成することにより、ワークである被マ
ーキング物における被マーキング面の位置や大きさ等の
仕様が変更された場合であっても、マーキングするレー
ザ照射装置の能力を大きく変更しないでマーキングする
ことができるため、設備コストやランニングコストを軽
減することができる。

【００５０】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５１】例えば、パレットを搬送する装置として
は、Ｘ軸ロボットおよびＹ軸ロボットを使用するに限ら
ず、送りねじ装置やスプロケット機構等を使用してもよ
い。また、ワークハンドラを搬送する装置についても同
様である。

【００５２】マーキング手段としては、レーザ照射装置
を使用するに限らず、印刷装置やスタンピング装置等の
マーキング装置を使用してもよい。

【００５３】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるマルチ
リードフレームおよび多連リードフレームに整列された
樹脂封止パッケージの樹脂封止体にレーザマーキングす
る技術に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、気密封止パッケージの封止体にレ
ーザマーキングする場合、さらには、それらの被マーキ
ング物の被マーキング面に印刷やスタンピングによって
マーキングするマーキング技術全般に適用することがで
きる。

【００５４】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５５】ワークである被マーキング物を交換可能の
パレットによって搬送するように構成することにより、
被マーキング物の仕様が変更された場合であっても、搬
送路の仕様を大きく変更しないで済むため、あらゆる仕
様の被マーキング物にマーキングすることができるとと
もに、被マーキング物の仕様変更時の段取り時間等を短
縮することができる。

【００５６】パレットにおいてワーク押さえ爪をスプリ
ングによって押さえ状態を維持するように構成するとと
もに、外部に設置した解除装置によって押さえ状態を解
除するように構成することにより、パレット側にワーク
押さえ爪を作動させるための駆動装置を配備しなくて済
むため、パレットの構造を簡単化することができるとと
もに、パレットを搬送させるための搬送装置の構造を小
規模に設定することができ、また、パレットの交換を容
易に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるレーザマーキング装
置を示す平面図である。

【図２】その一部省略正面図である。

【図３】そのワークを示しており、（ａ）はマルチリー
ドフレームの平面図、（ｂ）は多連リードフレームの平
面図である。

【図４】ローディング部を示す各斜視図であり、（ａ）
はマルチリードフレームの場合を示し、（ｂ）は多連リ
ードフレームの場合を示している。

【図５】パレットを示しており、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ａ）のｃ−ｃ矢視図であ
る。

【図６】パレットを取り外した状態のパレット取付台部
分を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図であ
る。

【図７】パレットの解除作動を示しており、（ａ）はロ
ーディング側解除装置の部分の側面断面図、（ｂ）は前
側位置決めブロックおよび押さえ爪を通る側面断面図で
ある。

【符号の説明】

１…ワーク（被マーキング物）、１Ａ…マルチリードフ
レーム、１Ｂ…多連リードフレーム、２、２Ａ、２Ｂ…
樹脂封止体（被マーキング面）、３、３Ａ、３Ｂ…マー
キングエリア、４、４Ａ、４Ｂ…ラック、１０…レーザ
マーキング装置（マーキング装置）、１１…機台、１２
…ローディング部、１３…搬送部、１４…加工部、１５
…アンローディング部、２１…ガイドレール、２２…ラ
ックホルダ、２３、２３Ａ、２３Ｂ…ラック交換用スペ
ーサ、２４…Ｙ軸ロボット、２４ａ…移動台、２５…ア
ーム、２６…ワークハンドラ、２６ａ…真空吸着ヘッ
ド、２７…垂直ガイド、２８…シリンダ装置、２９…ワ
ークガイド、３１…搬送用Ｙ軸ロボット、３１ａ…移動
台、３２…ガイド、３３…テーブル、３４…搬送用Ｘ軸
ロボット、３４ａ…移動台、３５…パレット取付台、３
６…パレット、３７…ベース、３８…位置決めピン、３
９…ボルト、４０…前後位置決めブロック、４１…左右
位置決めブロック、４２…軸受、４３…押さえ軸、４４
…押さえ爪、４５…ブラケット、４６…ガイド筒、４７
…プッシュロッド、４８…駆動側リンクバー、４８ａ…
ガイド孔、４９…ピン、５０…従動側リンクバー、５１
…係止ピン、５２…スプリング、５３…係止ピン、５４
…ローディング側解除装置、５４ａ…ピストンロッド、
５５…アンローディング側解除装置、６１…支持梁、６
２…エアブロー装置、６３…第１ブラッシング装置、６
４…第２ブラッシング装置、６５…マーキングステー
ジ、６６…レーザ照射装置（マーキング手段）、６７…
レーザ光。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個の被マーキング面が長さ方向に整
列された被マーキング物が搬送路を長さ方向に送られ
て、その搬送路の途中に配設されたマーキング手段によ
って各被マーキング面がマーキングされるマーキング方
法において、前記搬送路を移動するパレットに前記被マーキング物が
ローディングされて保持され、前記マーキング終了後
に、マーキング済みの被マーキング物がそのパレットか
らアンローディングされることを特徴とするマーキング
方法。
【請求項２】前記パレットが前記被マーキング物の仕
様に対応して複数規格用意されることを特徴とする請求
項１に記載のマーキング方法。
【請求項３】複数個の被マーキング面が長さ方向に整
列された被マーキング物が搬送路を長さ方向に送られ
て、その搬送路の途中に配設されたマーキング手段によ
って各被マーキング面がマーキングされるマーキング装
置において、前記搬送路を移動するパレットに前記被マーキング物が
ローディングされて保持され、前記マーキング終了後
に、マーキング済みの被マーキング物がそのパレットか
らアンローディングされることを特徴とするマーキング
装置。
【請求項４】複数個の被マーキング面が長さ方向に整
列された被マーキング物をローディングするローディン
グ部と、前記被マーキング物を前記ローディング部から
受け取って保持するパレットを搬送する搬送部と、前記
パレットに保持された前記被マーキング面にマーキング
する加工部と、マーキング済みの前記被マーキング物を
前記パレットからアンローディングするアンローディン
グ部とを備えていることを特徴とするマーキング装置。
【請求項５】前記パレットが回動自在に軸支された押
さえ軸を一対備えており、両押さえ軸には前記被マーキ
ング物の縁辺の一部をそれぞれ押さえる押さえ爪がそれ
ぞれ一体回動するように突設されていることを特徴とす
る請求項３または４に記載のマーキング装置。
【請求項６】前記押さえ軸がスプリングによって前記
押さえ方向に常時付勢されるように構成されているとと
もに、前記パレットの移動から独立した解除装置によっ
て前記スプリングに抗して前記押さえ方向と逆方向に回
動されるように構成されていることを特徴とする請求項
５に記載のマーキング装置。
【請求項７】前記解除装置が前記ローディング部およ
びアンローディング部にそれぞれ配設されていることを
特徴とする請求項６に記載のマーキング装置。
【請求項８】前記パレットが前記被マーキング物の仕
様に対応して複数規格用意されていることを特徴とする
請求項３、４、５、６または７に記載のマーキング装
置。
【請求項９】前記ローディング部は前記被マーキング
物が収容されたラックをスペーサを介してラックホルダ
によって保持するように構成されていることを特徴とす
る請求項４、５、６、７または８に記載のマーキング装
置。
【請求項１０】前記アンローディング部は前記被マー
キング物を収容するラックをスペーサを介してラックホ
ルダによって保持するように構成されていることを特徴
とする請求項４、５、６、７、８または９に記載のマー
キング装置。