JP4351750B2

JP4351750B2 - レーザ捺印方法、及び装置

Info

Publication number: JP4351750B2
Application number: JP23778998A
Authority: JP
Inventors: 明男小高
Original assignee: Oki Semiconductor Co Ltd
Current assignee: Lapis Semiconductor Co Ltd
Priority date: 1998-08-24
Filing date: 1998-08-24
Publication date: 2009-10-28
Anticipated expiration: 2018-08-24
Also published as: JP2000062942A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体パッケージをそれぞれ収納する複数の収納凹部内でパッケージが移動可能なトレイを用いて搬送する半導体パッケージの搬送方法、パッケージ表面へのレーザ捺印方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体パッケージを収納できる平面矩形の凹部を多数備えたトレイに、凹部の内寸法とパッケージ外形との寸法差が０．１〜０．２ｍｍ程度で、がたがほとんどない状態で整列収納されているパッケージ表面にレーザ光にて捺印する方法として、図９に示すようなトレイ搬送装置を有するレーザ捺印装置により行われている。
【０００３】
この図９及び図１０を参照して説明すると、パッケージＰが整列収納されているトレイＴを段積みで、随時供給可能な、かつ段積みトレイを下側部分に設けたトレイを一枚ずつ切り出すトレイ切り出し機構を具備したトレイ供給部であるＡ部にセットする。
【０００４】
次に、前記下部の切り出し機構より一枚ずつ切り出されたトレイは、搬送機構Ｂにより待機位置Ｃまで水平搬送される。
【０００５】
次に、Ｘ軸移動部、Ｙ軸移動部を組み合わせたＸＹロボットＲＢに取り付けられ、チャック機構を具備したトレイ搬送アームＤによりトレイをＣ部よりチャックし、ＸＹ動作しながら水平搬送を行う。このとき、上部に設置してあるレーザ本体Ｅのヘッド部ＥＬからのレーザ光によりトレイ内のパッケージ表面にレーザ捺印を行う。
【０００６】
次に、トレイ搬送機構Ｇにより置き台Ｆからトレイ収納部Ｈに搬送される。収納部Ｈは下部にトレイの押し上げ用の上下機構と、押し上げられたトレイを保持するチャック機構からなり、トレイが搬送されてくると一枚ごとに押し上げチャックし、トレイの段積み収納を行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成の装置では、パッケージＰが収納されているトレイＴの収納凹部ｔ１の内寸法とパッケージＰの外形寸法の差が０．３〜１．０ｍｍ程度でがたが大きい場合に、トレイＴを水平に保持し、ＸＹ方向に搬送、又はピッチ送りのスピードを早めた時、パッケージＰが軽量のために収納凹部ｔ１内でＸ、Ｙ方向及び、回転（θ）方向にずれを生じ、トレイＴの搬送上部に設置したレーザ照射装置でレーザ捺印を行った時に捺印文字がＸ、Ｙ方向にずれるという問題があった。
【０００８】
よって、本発明は、トレイ内での半導体パッケージの位置ずれを防止した状態で搬送できる技術、及びパッケージ表面に対して精度よく捺印できるようにしたレーザ捺印方法及びその装置の技術を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明では、半導体パッケージＰをそれぞれ収納する複数の収納凹部ｔ１内でパッケージＰが移動可能なトレイＴを用いて搬送する際に、パッケージＰが収納凹部ｔ１内の隅部分に偏って位置するようにトレイＴを傾けた状態に保持して搬送する方法を採用した。その場合、トレイＴの搬送途中又は搬送後におけるトレイＴが傾いた状態にあるとき、トレイＴに振動を与えるのも大変好適である。
【００１０】
また、本発明では、半導体パッケージＰをそれぞれ収納する複数の収納凹部ｒｔ１を有し、各収納凹部ｔ１は内部でパッケージＰが移動できる程度の大きさに形成されているトレイＴを用い、そのトレイＴを移動させつつ、各パッケージＰの表面に対して順次レーザ光を照射して捺印する方法であって、各パッケージＰが各収納凹部ｔ１内の隅部分に偏って位置するようにトレイＴを傾けた状態で移動させる工程と、パッケージ表面に対して直交する方向からレーザ光を照射して捺印する工程とを含む方法とした。その場合、トレイＴの各収納凹部ｔ１は平面ほぼ矩形であって四隅を有し、その四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるようにトレイＴを傾ける方法とすることもできる。
【００１１】
また、本発明では、半導体パッケージＰをそれぞれ収納する複数の収納凹部ｔ１内でパッケージＰが移動可能なトレイＴを用い、そのトレイＴを移動させつつ、各パッケージＰの表面に対して順次レーザ光を照射して捺印する装置であって、トレイ搬送装置ＴＨと、レーザ照射装置ＬＺと、それらを載せて傾斜状態に支持する傾斜台ＫＤとを備え、トレイ搬送装置ＴＨは、トレイＴを載せる搬送ステージ１６と、その搬送ステージ１６の傾きを調整するための傾斜機構ＫＳと、搬送ステージ１６をトレイＴの表面に沿う方向へ移動させる移動機構ＲＢとを含み、傾斜台ＫＤは、レーザ照射装置ＬＺによるレーザ光軸がパッケージＰの表面に対して直交するような傾斜角度に設定する構成とした。
【００１２】
ここで、搬送ステージ１６は、その搬送ステージ上の所定位置にトレイＴを位置決めするためのアライメント機構ＰＳを備える構成とすることもできる。
また、搬送ステージ１６は、その搬送ステージ上に位置決めされたトレイＴを搬送ステージに対して押さえ付ける押さえ機構ＯＳを備えた構成とすることもできる。
また、搬送ステージ１６は、トレイＴに振動を与えるバイブレータ３０を備えた構成とすることもできる。
また、バイブレータ３０は、トレイＴの長手方向に振動が伝達されるように設定した構成とすることもできる。
また、傾斜台ＫＤの表面は、平面矩形であってその四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成され、その傾斜面上にトレイ搬送装置ＴＨ及びレーザ照射装置ＬＺが搭載されている構成とすることもできる。
さらに、傾斜台は、トレイ搬送装置ＴＨを載せる第１の傾斜台ＫＤと、レーザ照射装置ＬＺを載せる第２の傾斜台３４とを有し、共に同一傾斜角に設定してある構成とすることもできる。
【００１３】
一方、本発明のレーザ捺印装置は、パッケージＰを収納したトレイＴを１枚ずつ切り出す機構を備えたトレイ供給部４１と、トレイＴを１枚ずつ搬送するトレイ搬送部４２と、搬送されたトレイＴを一時保管するバッファーレール４３と、バッファーレール４３から捺印部の搬送ステージ１６にトレイＴを押込むための押込みアーム４４と、傾斜したベース４５上に配置され、前記搬送ステージ及び搬送ステージの傾斜機構を有するトレイ搬送装置ＴＨと、搬送ステージ１６の上部にレーザ照射光が直交するように配置したレーザ照射装置ＬＺと、搬送ステージ１６からトレイＴを引き出すためのチャック機構を具備した引き出しアーム４６と、複数のトレイ置台間を往復動作をするシフト機構４９と、ブラシを保持し左右動作するブラシ機構５０と、トレイＴを置台４８から置台５２まで搬送する搬送台を具備したピッチ送り可能な搬送機構部５１と、搬送機構部５１の搬送途中の上部で直角に交わる位置に配置され、カメラを保持してピッチ送り可能なカメラ搬送機構部５３と、パッケージＰの吸着アームを有し、パッケージＰの不良排出及び歯抜け供給を行う排出供給機構５４と、トレイ収納部５７までトレイを搬送するトレイシフト搬送機構５８とを備えた構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照し、本発明の好適な実施の形態について説明する。
図１〜４図は、本発明の実施の形態に係るレーザ捺印装置のトレイ搬送装置を示す図で、図１は搬送ステージの傾斜機構を示す平面図、図２はトレイ搬送装置の側面図、図３はその平面図、図４は図２同様の側面図である。
【００１５】
図１及び図２において、１６はトレイの搬送ステージであり、傾斜機構ＫＳを介してユニットベース１に支持されている。この傾斜機構ＫＳについては、次のような構成である。
【００１６】
ユニットベース１に支持板２を両サイドに設置し、この支持板２に軸芯が同一になるように四角に囲った回転ユニット９を介して第１の回転軸３、４を設けている。回転軸３の軸端には回転伝達用のプーリー５を取り付け、このプーリー５には、モーター８の出力軸に固定してあるプーリー６との間に掛け渡したベルト７を介してモーター８の回転を伝えている。モーター８は、例えば回転角度制御可能なステップモータ等からなる。
【００１７】
回転軸３の他端は回転ユニット９の一端部に固定してある。又、回転軸４の一端を回転ユニット９の他端に固定している。これにより、回転ユニット９はモータ８を動力とし、回転軸３、４の軸回りに所定角度回転することができる。回転軸３、４は同一軸線上に位置し、第１の回転軸を構成している。
【００１８】
回転ユニット９上には、回転ユニット９の長手方向中間部であって、第１の回転軸３、４の軸線に対し直角となる位置に、第２の回転軸１０を軸支している。この第２の回転軸１０の一端部に回転伝達用プーリー１１を取付けている。このプーリー１１には、モーター１２の出力軸に設けたプーリー１３との間に掛け渡したベルト１４を介してモータ１２の回転を伝達する。
【００１９】
第２の回転軸１０には、駒１５を間隔をおいて２個個着し、この駒１５を利用してトレイＴを保持する搬送ステージ１６を水平に架設してある。
【００２０】
この傾斜機構ＫＳの動作や機能については、第１の回転軸３、４をプーリー５、６とベルト７を介してモーター８により回転ユニット９をＹ方向（第１の回転軸回りの方向）にある一定角度（１５〜３０度）回転させた状態でこれを保持する。次に第２の回転軸１０をプーリー１１、１３とベルト１４を介してモーター１２により搬送ステージ１６をＸ方向（第２の回転軸回りの方向）にある一定角度（１５〜３０度）回転させた状態でこれを保持する。
【００２１】
このように構成すれば、第１の回転軸３、４と第２の回転軸１０を用いて、それぞれの回転軸を同持動作させることにより、トレイＴをＸ、Ｙ方向にそれぞれ同時に傾けることができる。これにより、トレイＴ内に収納されている半導体パッケージＰのアライメントが可能となる。
【００２２】
次に、トレイＴの押さえ機構ＯＳについて説明する。
図３及び図４において、トレイ搬送搬送ステージ１６は平面長方形であり、その四隅近くに軸支用の駒２１を固定してある。これらの駒２１は、図示例では搬送ステージ１６の幅方向両サイドに配置している。そして、これらの駒２１に軸支される回転軸２２を設けている。回転軸２２は平行に２本配置している。
【００２３】
この回転軸２２にはトレイＴの押さえツメ２３をあるピッチ間隔をおき複数取り付ている。図３に示す例では片側に６個、合計１２個取り付けている。又搬送ステージ１６の下部にシリンダー２４が配置され、そのロッド２４ａの端部は、図示しない回転機構を介して回転軸２２と連結されている。この回転機構は搬送ステージ１６の両サイドに対象位置に設けてある。これによりトレイＴの押さえ機構ＯＳを構成している。
【００２４】
搬送ステージ１６の一端側（矢印で示すトレイ供給側）には、トレイＴのアライメント機構ＰＳを配置している。このアライメント機構ＰＳは、搬送ステージ１６の下面側に配置したシリンダー２６と、そのロッド２６ａの先端に設けたアライメントツメ２５とを有する。シリンダー２６は、搬送ステージ１６のほぼ対角線方向になるように斜めに配置してあり、したがって、アライメントツメ２５も斜めに移動する。
【００２５】
アライメントツメ２５は、図４に示すように搬送ステージ１６の表面側へ立ち上がっており、図８に示すようにトレイＴのコーナーの一端部を平坦にした部分ｔ２に押し当ててトレイＴを押し込むことができるように設計している。
【００２６】
搬送ステージ１６上の幅方向両サイド近くには、トレイ押し込み時に搬送ステージ１６上でトレイＴをスライドさせつつ案内するためのレール状のガイド駒２７が配置されている。ガイド駒２７、２７の間隔は、トレイＴの幅よりも僅かに大きく設定されている。さらに、搬送ステージ１６上の他端側にも、同じくレール状のガイド駒２８が配置され、トレイＴの押し込み位置を規制するように設計されている。
【００２７】
このような構成において、トレイＴの押さえツメ２３とアライメントツメ２５共に開いた状態の搬送ステージ１６上に、トレイＴのコーナーの一端部を平坦にした部分ｔ２を後方にした状態で矢印の方向から図示しないトレイ押込み機構にてトレイＴが搬送ステージ上面をスライドしてくると、トレイＴの幅よりも例えば０．５〜０．８ｍｍ程度広くして配置してあるトレイガイド駒２７の間を、突き当たりのガイド駒２８の位置まで押込まれセットされる。
【００２８】
次に、シリンダー２６と連動しているアライメントツメ２５が動作しトレイＴの平坦部を押さえ込み、トレイＴのアライメントツメ２５と反対側のガイド駒２７とガイド駒２８に押し付けてトレイＴをアライメントする。
【００２９】
次に、搬送ステージ１６の下部に付設してあるシリンダー２４の駆動によって、搬送ステージ１６の押さえツメ２３が閉じ、アライメントされたトレイＴの両サイド部分を押さえ込み、その位置に位置決めする。
【００３０】
このようにトレイサイドを押さえ込むことにより、トレイＴの搬送時において位置ずれを起こさない、又トレイサイドを押さえることにより、トレイＴに生じているそりもなくなりトレイ上面が常に平坦な状態で搬送されることになる。
【００３１】
ところで、このトレイ搬送装置ＴＨの搬送ステージ１６には、次のような配慮もさらに加えられている。即ち、搬送ステージ１６の底部に振動発信器であるバイブレーター３０を振動がトレイＴの長手方向に伝わるように、トレイＴの長手方向に向けて付設している。
【００３２】
このようにバイブレータ３０を設けておくことで、例えばトレイＴの収納凹部ｔ１内寸法とパッケージＰの外形寸法差が０．３〜１．０ｍｍとがたの大きいパッケージＰが収納されているトレイＴをＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ１５〜３０度傾けた状態で、搬送ステージ１６の下部に付設した振動源であるバイブレーター３０からトレイＴの長手方向に向けてパッケージＰが動く程度の弱い振動を発信する。
【００３３】
すると、振動はバイブレーター３０から搬送ステージ１６、搬送ステージ１６からトレイＴへと伝わり、トレイＴ内のパッケージＰは図８のように、傾けられているトレイＴ内収納凹部ｔ１の一番低いコーナー（四隅のうちの一番低い一隅側）に移動する。
【００３４】
このようにトレイＴを傾けた状態でトレイＴに外部より振動を与えることにより、トレイＴの各収納凹部ｔ１内に収納されているパッケージＰは、収納凹部ｔ１内の―辺のコーナーに整列されるため、自動搬送時におけるトレイＴ内のパッケージＰの自動整列が可能となる。
【００３５】
この場合、トレイサイドの押さえ機構ＯＳによってトレイサイドをクランプすることにより、搬送ステージ１６とトレイＴの接触がよく、振動もトレイＴ全面に均一に伝わり、トレイＴ内の全てのパッケージＰを同時にしかも効率よく整列させることができる。
【００３６】
図５は、第１の傾斜台ＫＤの構成を示す斜視図である。この図５から明確に理解できるように、第１の傾斜台ＫＤは、上部を平面状態から左側端面を基準に他端を１５度傾けてＸ方向の傾きとし、次に前面を基準に他端を１５度後方に傾けてＹ方向の傾きとして形成したものである。換言すれば、第１の傾斜台ＫＤの表面は、平面矩形であってその四隅のうちの一隅ｋｃ側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成している。この第１の傾斜台ＫＤは軽量化を考慮して、骨組み構造としている。
【００３７】
そして、この第１の傾斜台ＫＤの上に、図６及び図７のようにベース４５を固定し、そのベース４５の上に、Ｘ軸移動部３１を下側にＹ軸移動部３２を上側に配置して組み合わせたＸＹロボットＲＢを設置し、Ｙ軸移動部３２に対して、搬送ステージ１６を具備したトレイ搬送装置のユニットベース１を取付けている。
【００３８】
レーザ照射装置ＬＺは、先端部にレンズを具備した円筒形のレーザ発射部３６を有する本体部３５と、本体部３５を傾斜状態で搭載する第２の傾斜台３４とを含む構成である。レーザ発射部３６は、ＸＹロボットＲＢにより移動する搬送ステージ１６の動作範囲内の上部に位置するように設定してある。さらに、このレーザ発信部３６からのレーザ光軸が、搬送ステージ１６にて搬送されるトレイＴ内に収納してあるパッケージＰの表面に対して直交するように設定してある。
【００３９】
この設定は、第２の傾斜台３４の傾斜角度により決定してある。即ち、第２の傾斜台３４も、第１の傾斜台と同様に、平面矩形であってその四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成している。基本的には第１の傾斜台ＫＤと第２の傾斜台３４の表面は互いに平行となるように設定してある。したがって、両者の表面は同じ角度をもつように傾斜している。これにより、レーザ照射装置ＬＺ及びトレイ搬送装置ＴＨは共に同一角度で傾斜している。
【００４０】
このような構成において、図示しないトレイ搬送部よりトレイＴを受け取る時には、回搬送ステージ１６を図６の（ａ）の位置に移動させ、搬送ステージ１６の上面を水平状態にしてトレイＴを受け取る。
【００４１】
次に、図１〜図４で説明したように、トレイＴのクランプとトレイＴ内のパッケージＰの整列をした後に、搬送ステージ１６をＸ方向及びＹ方向への傾け（１５度）動作を行う。この時、搬送ステージ１６の上面とＸＹロボットを固定してあるベース３１とは平行状態となる。またこの時、トレイＴの収納凹部内に収納されているパッケージＰはＸ方向及びＹ方向にそれぞれ傾けられた収納凹部内で一番低いところのコーナーに整列された状態となる。
【００４２】
次に、搬送ステージ１６を図６の（ｂ）の捺印位置に移動させる。その位置で、搬送ステージ１６をＸＹロボットＲＢによりピッチ送りをし、トレイＴの収納凹部内に整列収納されているパッケージＰ表面に、搬送経路の上部に設置してあるレーザ照射装置のレーザ発射部３６から発射されるレーザにより順次捺印する。捺印完了後は再び前記（ａ）のようにトレイＴ受け渡し位置に移動し搬送ステージ１６を水平状態に戻し図示しない搬送部へのトレイＴの受け渡しを行う。
【００４３】
このように、トレイＴの収納凹部とパッケージＰの外形寸法の差（０、３〜１、０ｍｍ）が大きく、パッケージＰがたついていても、搬送ステージをＸ方向及びＹ方向へそれぞれある―定角度傾けて搬送することにより、トレイＴ内のパッケージＰを収納凹部内の一番低いところのコーナーに整列した状態を保ちながら搬送することができる。
【００４４】
そして、この傾斜状態を維持したまま、ＸＹロボットＲＢからなる移動機構により所定の捺印位置でパッケージＰ相互の間隔でピッチ送りするだけで、搬送ステージ１６と同等の傾きをもって設置したレーザ照射機からのレーザ光によりパッケージＰの表面に効率よく捺印することができる。また、捺印中にパッケージＰが位置ずれしたりすることもないので、パッケージＰ表面に文字の位置を精度よく捺印することができ、これらの結果、生産効率も向上する。
【００４５】
図７は、本発明の他の実施の形態に係るトレイ自動搬送システムを含むレーザ捺印装置全体の構成を示す概略平面図である。以下、この図７に示すシステム構成及び動作等について説明する。なお、先の説明と重複する部分についてはここでは概略的に説明する。
【００４６】
この図７に示す例では、パッケージＰを収納したトレイＴを段積み供給可能で、且つ下部よりトレイＴを１枚ずつ切り出す機構を備えたトレイ供給部４１と、トレイＴを１枚ずつ搬送するトレイ搬送部４２と、搬送されたトレイＴを一時保管するバッファーレール４３と、バッファーレール４３から捺印部の搬送ステージ１６にトレイＴを押込むための、上下機構を具備した押込みアーム４４と、トレイＴの受け取り側を基準に他端をＸ方向に傾け、またその位置からＹ方向にそれぞれ１５度ずつ傾けたベース４５とを備える。
【００４７】
さらに、ベース４５の上部にＸ軸移動部３１を下側にＹ軸移動部３２を上側に組み合わせたＸＹロボットＲＢと、このＹ軸移動部に傾斜機構ＫＳを具備する搬送ステージ１６を取付けてなるトレイ搬送装置ＴＨと、搬送ステージ１６の上部にレーザ照射光が直交するように配置した本体部３５とを備える。
【００４８】
また、搬送ステージ１６からトレイＴを引き出すためのチャック機構を具備した引き出しアーム４６と、置台４７、４８を固定し、その間を上下機構を具備し往復動作をするシフト機構４９と、ブラシを保持し左右動作するブラシ機構５０と、トレイＴを置台４８から置台５２まで搬送する搬送台を具備したピッチ送り可能な搬送機構部５１と、搬送機構部５１の搬送途中の上部で直角に交わる位置に配置され、カメラを保持してピッチ送り可能なカメラ搬送機構部５３とを備える。
【００４９】
また、前記同様設置したカメラ搬送機構部５３の後部に、上下機構を具備したパッケージＰの吸着アームを有し、置台５２から５６までをピッチ送りしつつパッケージＰの不良排出および歯抜け供給を行う排出供給機構５４と、置台５５からトレイ収納部５７までトレイを搬送する上下機構を具備したトレイシフト搬送機構５８と、トレイＴを上昇するための上下機構を具備したアーム及び、トレイＴのチャック機構を具備したトレイ収納機構とを備える。
【００５０】
このようなシステム構成においては、パッケージＰ外形とほぼ同形に形成された溝部を多数個備えた樹脂製のトレイＴの収納凹部ｔ１内にパッケージＰが収納されているトレイＴを、下部よりトレイＴを１枚ずつ切り出す機構を備えたトレイ供給部４１に段積みにセットする。
【００５１】
供給部４１の下部より切だされたトレイＴは搬送ステージを保持した搬送機構部４２によりバッファーレール４３に水平搬送され待機する。次にバソファーレール端部より、第１の傾斜台ＫＳのベース４５上に搭載してあるＸＹロボットＲＢに取付けた傾斜機構、トレイＴのアライメント機構、トレイＴのチャック機構、バイブレータ等を備え、水平状態で待機している搬送ステージ１６内に、トレイ押込みアーム４４により前記待機しているトレイＴを押込む。
【００５２】
搬送ステージ１６に押込まれたトレイＴはアライメントされその状態でチャックされその後、トレイＴチャックしたまま水平状態からＸ方向に１５度、Ｙ方向に１５度とそれぞれ傾けられる。この傾けた位置においてトレイＴ全体に振動を与え、トレイＴの各収納凹部内に収納されているパッケージＰを全て一度に整列させる。
【００５３】
整列した状態において、ＸＹロボットＲＢの搬送範囲内の上部に設置してあるレーザ照射装置ＬＺのレーザ発射部３６より発射するレーザ光によりパッケージ表面にレーザ捺印をする。
【００５４】
捺印終了後、搬送ステージ１６はトレイＴの取り出し位置（置台４７の手前）に搬送され、この位置において、搬送ステージ１６を水平状態にもどしチャックを解く。
【００５５】
次に、チャック引き出し機構４６により置台４７にトレイＴを引き出す。引き出されたトレイＴはシフト機構４９により置台４８にシフト搬送される。置台４８に置かれたトレイＴはブラシ機構に固着してあるブラシによりその上面を左右にブラッシングされる。これにより、トレイＴ内に収納されているパッケージＰ上面が清掃される。
【００５６】
次に、トレイ搬送機構５１の搬送台により置台４８から置台５２に向けてトレイＴをビッチ送り（Ｘ動作）搬送を行う。この時、搬送上部に設置してあるカメラ搬送機構部５３のカメラにおいてカメラをトレイ搬送機構５１と直角方向にピッチ移動（Ｙ動作）させ、トレイＴ内に捺印収納されているパッケージＰ上面の印字状態を検査する。
【００５７】
検査終了後のトレイＴは置台５２まで搬送される。前記捺印検査において、捺印不良があった場合には、カメラ搬送機構５３の後部に位置し、置台５２から置台５６の上部に架設してあるパッケージＰの不良排出及び歯抜け供給を行う排出供給機構５４の吸着アームにより不良パッケージＰを、予めセットしてある置台５６の空トレイＴ内に吸着搬送し、前記不良パッケージＰを取り出した歯抜け部分には、予めセットしてある置台５５の良品トレイＴ内より良品パッケージＰを供給してやる。
【００５８】
上記動作を終了したトレイＴは、シフト機構５８の搬送アームによりトレイ収納部５７にシフト搬送され、その位置において収納部下部のトレイＴ押し上げ用アームによりトレイＴを押し上げ、チックし段積み収納する。
【００５９】
このように、トレイＴの供給部においてトレイＴの自動切り出し及トレイＴの自動搬送と、レーザ捺印部において、トレイＴの傾き搬送をしながらレーザ捺印をすること、収納搬送時においてトレイ内パッケージＰの捺印検査と、パッケージＰの不良排出及び歯抜け供給を行う排出供給機構と、トレイＴの段積み収納をしたことにより、パッケージＰの外形とほぼ同形に形成された収納凹部を多数備えた樹脂製のトレイＴに、収納凹部内寸法とパッケージＰの外枠寸法の差が０、３〜１、０ｍｍとがたが大きいパッケージＰが収納されているトレイＴの全自動の搬送及びレーザ捺印技術を実現することができる。
【００６０】
なお、以上の実施形態では、レーザ捺印技術を主体に説明したが、トレイＴ内にパッケージＰを収納したままで、パッケージＰのフレーム等の測定または外観検査等をしたい場合の装置にも適用可能である。
【００６１】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、半導体パッケージＰをそれぞれ収納する複数の収納凹部内でパッケージが移動可能なトレイを用いて搬送する際に、パッケージが収納凹部内の隅部分に偏って位置するようにトレイを傾けた状態に保持して搬送する方法を採用したので、トレイ内でのパッケージの位置ずれを確実に防止した状態で搬送することができる。
【００６２】
また、各パッケージが各収納凹部内の隅部分に偏って位置するようにトレイを傾けた状態で移動させる工程と、パッケージ表面に対して直交する方向からレーザ光を照射して捺印する工程とを行うようにしたので、パッケージの位置ずれを防止した状態でパッケージ表面に対して精度よく捺印することができる。これにより、レーザ捺印工程での不良品の発生を防止し、生産性の向上を図ることができる。
【００６３】
また、トレイの搬送途中又は搬送後におけるトレイが傾いた状態にあるとき、トレイに振動を与えるようにすることによって、トレイ内のパッケージの全てを収納凹部内の隅部分に瞬時に整列させることができる。そして、このようにトレイに振動を与えることで、トレイを必要以上に傾けることなく、パッケージを整列させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の傾斜機構を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の搬送ステージを示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置を示す側面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の傾斜台を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るレーザ捺印装置要部の構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るレーザ捺印装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るトレイとパッケージの関係を示す平面図である。
【図９】従来例に係るレーザ捺印装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図１０】トレイの構成を示す概略平面図である。
【符号の説明】
Ｔトレイ
Ｐパッケージ
ＴＨトレイ搬送装置
ＲＢＸＹロボット（移動機構）
ＫＳ傾斜機構
ＯＳ押さえ機構
ＰＳアライメント機構
ＬＺレーザ照射装置
ＫＤ傾斜台（第１の傾斜台）
１ベースユニット
２支持板
３、４回転軸（第１の回転軸）
５、６プーリー
７ベルト
８、１２モーター
９回転ユニット
１０第２の回転軸
１６搬送ステージ
２３押さえツメ
２５アライメントツメ
２７、２８ガイド駒
３０バイブレータ
３１Ｘ軸駆動部
３２Ｙ軸駆動部
３４第２の傾斜台
３５本体部
３６レーザ発射部

Claims

半導体パッケージをそれぞれ収納する複数の収納凹部を有し、各収納凹部は内部でパッケージが移動できる程度の大きさに形成されているトレイを用い、そのトレイを移動させつつ、各パッケージの表面に対して順次レーザ光を照射して捺印する方法であって、
各パッケージが各収納凹部内の隅部分に偏って位置するようにトレイを傾けた状態で移動させる工程と、
前記トレイが傾いていることにより傾斜した状態のパッケージ表面に対して直交する方向からレーザ光を照射して捺印する工程とを含み、
前記トレイの各収納凹部は平面ほぼ矩形であって四隅を有し、その四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるようにトレイを傾けることを特徴とするパッケージ表面へのレーザ捺印方法。
半導体パッケージをそれぞれ収納する複数の収納凹部内でパッケージが移動可能なトレイを用い、そのトレイを移動させつつ、各パッケージの表面に対して順次レーザ光を照射して捺印する装置であって、
トレイ搬送装置と、
レーザ照射装置と、
それらを載せて傾斜状態に支持する傾斜台とを備え、
前記トレイ搬送装置は、
トレイを載せる搬送ステージと、
その搬送ステージの傾きを調整するための傾斜機構と、
搬送ステージをトレイの表面に沿う方向へ移動させる移動機構とを含み、
前記傾斜台は、
前記レーザ照射装置によるレーザ光軸が前記パッケージの表面に対して直交するような傾斜角度に設定してあり、
前記レーザ照射装置は、前記トレイが傾けられた状態で振動を与えられることにより各収納凹部内で整列した前記各パッケージの表面に対し、順次レーザ光を照射し、
前記傾斜台の表面は、平面矩形であってその四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成され、その傾斜面上に前記トレイ搬送装置及びレーザ照射装置が搭載されていることを特徴とする、
レーザ捺印装置。
前記搬送ステージは、その搬送ステージ上の所定位置にトレイを位置決めするためのアライメント機構を備えていることを特徴とする、請求項２記載のレーザ捺印装置。
前記搬送ステージは、その搬送ステージ上に位置決めされたトレイを搬送ステージに対して押さえ付ける押さえ機構を備えていることを特徴とする、請求項２又は３に記載のレーザ捺印装置。
前記搬送ステージは、トレイに振動を与えるバイブレータを備えていることを特徴とする、請求項２〜４の何れかに記載のレーザ捺印装置。
前記バイブレータは、トレイの長手方向に振動が伝達されるように設定してあることを特徴とする、請求項５記載のレーザ捺印装置。
前記傾斜台は、
前記搬送装置を載せる第１の傾斜台と、
前記レーザ照射装置を載せる第２の傾斜台とを有し、
共に同一傾斜角に設定してあることを特徴とする、請求項２記載のレーザ捺印装置。