JP2014123683A - 基板の製造方法、レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い信頼性を有する基板を効率良く製造することが可能な基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板用トレイ91の主面94をレーザー照射装置71に向けた状態で基板用トレイ91をステージ81上に支持する。トレイ押さえユニット101のストッパ部材102によって、配線基板10を避けて基板用トレイ91の主面94を押圧する。ステージ81及びトレイ押さえユニット101を高さ方向に移動させることにより、基板用トレイ91に支持された配線基板10とレーザー照射装置71との距離をあらかじめ決定した規定値に保持する。レーザー照射工程を行い、配線基板10にレーザーを照射することでその表面に刻印部を形成する。
【選択図】図5
【解決手段】基板用トレイ91の主面94をレーザー照射装置71に向けた状態で基板用トレイ91をステージ81上に支持する。トレイ押さえユニット101のストッパ部材102によって、配線基板10を避けて基板用トレイ91の主面94を押圧する。ステージ81及びトレイ押さえユニット101を高さ方向に移動させることにより、基板用トレイ91に支持された配線基板10とレーザー照射装置71との距離をあらかじめ決定した規定値に保持する。レーザー照射工程を行い、配線基板10にレーザーを照射することでその表面に刻印部を形成する。
【選択図】図5
Description
本発明は、レーザーを照射するレーザー照射工程を行う基板の製造方法、及び、レーザーの照射に用いられるレーザー加工装置に関するものである。
従来、ICチップなどの部品を搭載してなる基板がよく知られている。この種の基板では、基板の基板主面を覆うようにソルダーレジストが形成されている。また、一般的に、ソルダーレジストの表面には、基板の種類を判別するためのマーク(文字など)が付与されている。
なお、マークは、例えば、ソルダーレジストの表面上に形成されたインク層に対するレーザー刻印、インクジェットプリンターを用いた印刷、基板の種類を表示したシールの貼付などにより付与される。ところが、インク層に対するレーザー刻印を行う場合には、インク層形成用のインクを準備する必要があり、しかもインク層の形成をレーザー刻印とは別に行う必要があるため、製造コストが上昇するという問題がある。同様に、インクジェットプリンターを用いた印刷を行う場合であっても、インクを準備する必要があるため、製造コストが上昇するという問題がある。また、シールを貼付する場合であっても、シールを準備する必要があるために製造コストが上昇するという問題がある。このため、近年では、ソルダーレジストの表面に対して直接レーザー刻印を行うことにより、低コストで刻印部(文字やマークなど)を形成する技術が提案されている。
なお、刻印部の形成に用いられるレーザー加工装置は、一般的に、基板を横置き状態で支持するステージを備えている。ステージは、基板を支持した状態で高さ方向に移動することにより、基板とレーザー照射装置との距離を調整する機能を有している。このようにすれば、ソルダーレジストの表層部分にレーザーの焦点を合わせることができるため、基板に対して好適なレーザー刻印を施すことができる。しかしながら、厚さが異なる複数種類の基板に対してレーザー刻印を施す場合には、加工される基板の種類が変更される度に、ステージの高さを調整しなければならない。特に、近年では、製造する基板の種類が多岐に亘るため、ステージの調整を頻繁に行わなければならないという問題がある。
そこで、レーザー照射装置の焦点と略同じ高さとなる位置に、ステージに支持された基板の上方への移動を規制するストッパ部材を設け、上方に移動する基板をストッパ部材に当接させることにより、基板とレーザー照射装置との距離を一定に保持する方法(例えば特許文献1参照)が提案されている。このようにすれば、基板をストッパ部材に当接させるだけで、ソルダーレジストの表層部分にレーザーの焦点が合うようになるため、基板を効率良く製造することができる。
しかしながら、特許文献1に記載の従来技術では、基板がストッパ部材に直接接触するため、基板に大きな力が掛かって破損するなどの問題がある。この場合、製造される基板が不良品となり、基板の信頼性が低下してしまう。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その第1の目的は、高い信頼性を有する基板を効率良く製造することが可能な基板の製造方法を提供することにある。また、第2の目的は、基板の製造に好適なレーザー加工装置を提供することにある。
上記課題を解決するための手段(手段1)としては、基板支持手段によって基板を横置き状態で支持する基板支持工程と、レーザー照射装置を用いて前記基板にレーザーを照射するレーザー照射工程とを経て、基板を製造する方法であって、前記基板支持工程は、主面を前記レーザー照射装置に向けた状態で前記基板支持手段をステージ上に支持させ、前記ステージを高さ方向に移動させることにより、前記基板支持手段に支持された前記基板と前記レーザー照射装置との距離をあらかじめ決定した規定値に保持する支持手段移動工程と、前記基板を避けて前記基板支持手段の主面を押圧手段によって押圧する支持手段押圧工程とを含み、前記基板と前記レーザー照射装置との距離が前記規定値に保持されるとともに、前記基板支持手段の主面が押圧された状態で、前記レーザー照射工程を行うことを特徴とする基板の製造方法がある。
従って、手段1の基板の製造方法によると、支持手段押圧工程において、ステージとともに高さ方向に移動する基板支持手段を押圧手段によって押圧することにより、基板支持手段に支持された基板とレーザー照射装置との距離があらかじめ決定した規定値に保持される。その結果、基板支持手段を押圧手段によって押圧するだけで、基板にレーザーの焦点が合うようになるため、基板を効率良く製造することができる。しかも、押圧手段は、基板を避けて基板支持手段の主面を押圧するため、基板に大きな力が掛かって破損するなどの問題が解消される。その結果、製造される基板の信頼性が確保されるため、高い信頼性を有する基板を効率良く製造することができる。
基板支持工程で用いられる基板支持手段としては、基板を横置き状態で支持するものであれば、その構造は特に限定されるものではない。例えば、基板を収容する収容凹部が平面方向に沿って複数配置されるとともに、収容凹部を包囲する枠部が形成された基板用トレイを基板支持手段として用いてもよい。この基板用トレイを用いれば、複数の収容凹部に収容された複数の基板に対してレーザー照射工程を同時に行うことができるため、基板の製造効率が向上する。
支持手段押圧工程では、押圧手段をステージに対して接近させることにより、基板支持手段の主面を押圧手段によって押圧してもよい。また、押圧手段を固定した状態でステージを押圧手段に対して接近させることにより、基板支持手段の主面を押圧手段によって押圧してもよい。さらに、支持手段押圧工程では、基板支持手段における基板の収容凹部を包囲する枠部に押圧手段を面接触させてもよい。このようにすると、基板支持手段に反りが生じていた場合、押圧手段によって押圧することでその反りが解消される。この結果、基板支持手段の主面を水平に保つことができる。従って、複数の収容凹部を有する基板支持手段を用いる場合、各収容凹部に収納されている複数の基板とレーザー照射装置との距離を一定に保つことができる。このため、各基板に対してレーザーの焦点を確実に合わせることができ、品質の高い基板を効率良く製造することができる。
支持手段押圧工程において、基板支持手段に支持された基板の高さを測定し、測定した基板の高さに基づいて、押圧手段の高さを調整してもよい。このようにすると、基板にレーザーの焦点を確実に合わせることができ、品質の高い基板を製造することができる。
上記基板を形成する材料は特に限定されず任意であるが、例えば、樹脂基板などが好適である。好適な樹脂基板としては、EP樹脂(エポキシ樹脂)、PI樹脂(ポリイミド樹脂)、BT樹脂(ビスマレイミド−トリアジン樹脂)、PPE樹脂(ポリフェニレンエーテル樹脂)等からなる基板が挙げられる。その他、これらの樹脂とガラス繊維(ガラス織布やガラス不織布)との複合材料からなる基板を使用してもよい。その具体例としては、ガラス−BT複合基板、高Tgガラス−エポキシ複合基板(FR−4、FR−5等)等の高耐熱性積層板などがある。また、これらの樹脂とポリアミド繊維等の遊技繊維との複合材料からなる基板を使用してもよい。あるいは、連続多孔質PTFE等の三次元網目状フッ素系樹脂基材にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた樹脂−樹脂複合材料からなる基板等を使用してもよい。他の材料として、例えば各種のセラミックなどを選択することもできる。なお、かかる基板の構造としては特に限定されないが、例えばコア基板の片面または両面にビルドアップ層を有するビルドアップ多層配線基板や、コア基板を有さないコアレス配線基板などを挙げることができる。
基板は、基板主面を覆うソルダーレジストを備え、レーザー照射工程では、レーザー照射装置を用いてレーザーを照射してソルダーレジストの表面を刻印することにより、ソルダーレジストの表面に刻印部を形成してもよい。このようにすれば、刻印部形成用の層(インク層など)を別途形成しなくても済むため、低コストで刻印部を形成することができる。なお、刻印部とは、ソルダーレジストの一部に凹凸を付けることによって形成された識別子のことを指す。刻印部の具体例としては、文字、記号、二次元コード、絵柄などが挙げられる。
上記基板を構成するソルダーレジストは、絶縁性及び耐熱性を有する樹脂からなり、基板主面を覆い隠すことによりその基板主面を保護する保護膜として機能する。ソルダーレジストの具体例としては、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂などからなるソルダーレジストがある。
また、上記課題を解決するための別の手段(手段2)としては、基板を横置き状態で支持する基板支持手段と、前記基板支持手段によって支持された前記基板に対してレーザーを照射するレーザー照射装置と、主面を前記レーザー照射装置に向けた状態で前記基板支持手段を支持し、かつ高さ方向に移動させることにより、前記基板支持手段に支持された前記基板と前記レーザー照射装置との距離をあらかじめ決定した規定値に保持するステージと、前記ステージと前記レーザー照射装置との間に配置され、前記ステージによって支持された前記基板支持手段の主面を前記基板を避けて押圧する押圧手段とを備えることを特徴とするレーザー加工装置をその要旨とする。
従って、手段2のレーザー加工装置では、ステージとともに高さ方向に移動する基板支持手段を押圧手段によって押圧することにより、基板支持手段に支持された基板とレーザー照射装置との距離があらかじめ決定した規定値に保持される。その結果、基板支持手段を押圧手段によって押圧するだけで、基板にレーザーの焦点が合うようになるため、基板を効率良く製造することができる。しかも、押圧手段は、基板を避けて基板支持手段の主面を押圧するため、基板に大きな力が掛かって破損するなどの問題が解消される。その結果、製造される基板の信頼性が確保されるため、レーザー加工装置によって高い信頼性を有する基板を効率良く製造することができる。
押圧手段は、ステージに対して接近することにより、基板支持手段の主面を押圧してもよい。また、押圧手段は、高さ方向に対して移動不能に固定されており、ステージを接近させることにより、基板支持手段の主面を押圧してもよい。このようにすると、基板支持手段に反りが生じていた場合、押圧手段によって押圧することでその反りが解消される。この結果、基板支持手段の主面を水平な状態に保つことができる。従って、複数の収容凹部を有する基板支持手段を用いる場合、各収容凹部に収納されている複数の基板とレーザー照射装置との距離を一定に保つことができる。このため、各基板に対してレーザーの焦点を確実に合わせることができ、品質の高い基板を効率良く製造することができる。
以下、本発明を配線基板の製造に用いられるレーザー加工装置として具体化した一実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
図1,図2に示されるように、本実施形態の配線基板10は、ICチップ搭載用の基板である。配線基板10は、略矩形板状のコア基板11と、コア基板11のコア主面12(図2では上面)上に形成される主面側ビルドアップ層31と、コア基板11のコア裏面13(図2では下面)上に形成される裏面側ビルドアップ層32とからなるビルドアップ多層配線基板である。
本実施形態のコア基板11は、縦25mm×横25mm×厚さ1.0mmの平面視略矩形板状である。コア基板11は、ガラスエポキシからなる基材14と、基材14の上面及び下面に形成され、シリカフィラーなどの無機フィラーを添加したエポキシ樹脂からなるサブ基材15と、同じく基材14の上面及び下面に形成され、銅からなる導体層16とによって構成されている。また、コア基板11には、複数のスルーホール導体17がコア主面12、コア裏面13及び導体層16を貫通するように形成されている。かかるスルーホール導体17は、コア基板11のコア主面12側とコア裏面13側とを接続導通するとともに、導体層16に電気的に接続している。なお、スルーホール導体17の内部は、例えばエポキシ樹脂などの閉塞体18で埋められている。また、コア基板11のコア主面12及びコア裏面13には、銅からなる導体層41がパターン形成されており、各導体層41は、スルーホール導体17に電気的に接続されている。
図2に示されるように、主面側ビルドアップ層31は、熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂)からなる3層の樹脂絶縁層33,35,37と、銅からなる導体層42とを交互に積層した構造を有している。また、第3層の樹脂絶縁層37の表面上における複数箇所には、端子パッド44がアレイ状に形成されている。さらに、樹脂絶縁層37の表面、即ち、配線基板10の基板主面19は、ソルダーレジスト51(日立化成工業株式会社製SR7200)によってほぼ全体的に覆われている。
ソルダーレジスト51の所定箇所には、端子パッド44を露出させる開口部47が形成されている。端子パッド44の表面上には、複数のはんだバンプ(図示略)が配設されている。各はんだバンプは、矩形平板状をなすICチップ(図示略)の面接続端子(図示略)に電気的に接続される。なお、各端子パッド44及び各はんだバンプからなる領域は、ICチップを搭載可能なICチップ搭載領域23である。ICチップ搭載領域23は、主面側ビルドアップ層31の表面に設定されている。また、樹脂絶縁層33,35,37内には、それぞれビア導体43が設けられている。これらのビア導体43は、導体層42及び端子パッド44を相互に電気的に接続している。
裏面側ビルドアップ層32は、上述した主面側ビルドアップ層31とほぼ同じ構造を有している。即ち、裏面側ビルドアップ層32は、熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂)からなる3層の樹脂絶縁層34,36,38と、導体層42とを交互に積層した構造を有している。第3層の樹脂絶縁層38の下面上における複数箇所には、ビア導体43を介して導体層42に電気的に接続されるパッド45がアレイ状に形成されている。また、樹脂絶縁層38の下面、即ち配線基板10の基板裏面20は、ソルダーレジスト53によってほぼ全体的に覆われている。ソルダーレジスト53の所定箇所には、パッド45を露出させる開口部48が形成されている。パッド45の表面上には、図示しないマザーボードとの電気的な接続を図るための複数のはんだバンプ(図示略)が配設される。そして、各はんだバンプにより、図1,図2に示される配線基板10は図示しないマザーボード上に実装される。
また、図1,図2に示されるように、ソルダーレジスト51の表面52には、刻印部55が設けられている。刻印部55は、ロット番号や品番等を示す文字(本実施形態では「ABCDE」の文字)からなる。刻印部55は、ICチップ搭載領域23を避けた外縁部に配置されている。本実施形態の刻印部55の文字は、縦0.6mm×横0.45mm程度の文字である。また、刻印部55の深さは、ソルダーレジスト51の厚さ(例えば20μm)の約4分の1、つまり5μm程度に設定されている。なお、刻印部55の幅(文字の線幅)は100μm程度に設定されている。
次に、レーザー加工装置61の構成について説明する。
図3に示されるように、レーザー加工装置61は、配線基板10の種類を示す情報(刻印部55)などを配線基板10にマーキングするためのものであり、供給部62、段バラシ部63、ワーク状態認識部64、レーザー加工部65、印字確認部66、段積み部67、排出部68を備えている。また、レーザー加工装置61は、供給部62、段バラシ部63、ワーク状態認識部64、レーザー加工部65、印字確認部66、段積み部67、排出部68の順に基板用トレイ91を搬送する搬送装置100や、装置全体を統括的に制御する制御装置110を備える。
図4に示されるように、基板用トレイ91は、例えば縦120mm×横315mmの平面視略矩形状をなしている。基板用トレイ91は、合成樹脂製(例えばPET樹脂製など)の板状物によって構成される。なお、基板用トレイ91は、金属製(例えばステンレス製など)の他の部材によって構成されていてもよい。基板用トレイ91は、配線基板10を横置き状態で支持するための基板支持手段である。本実施形態の基板用トレイ91は、配線基板10を収容する正方形状のトレイポケット92(収容凹部)が平面方向に沿って縦横に複数(本実施形態では24個)配置されるとともに、トレイポケット92を包囲する枠部93が形成された構造を有している。この基板用トレイ91は、製品出荷時に製品を収容する製品出荷用トレイとして共通に使用されるトレイである。
図3に示されるように、本実施形態では、レーザー加工装置61の供給部62に、マーキング処理前の複数の配線基板10を収容した基板用トレイ91が複数段に積み重ねられた状態で搬入される。また、段バラシ部63では、搬送装置100を構成するロボットや搬送コンベアなどによって、段積みされた各基板用トレイ91を1段ずつばらした後、基板用トレイ91をワーク状態認識部64に搬入する。
ワーク状態認識部64には、基板用トレイ91の上方からトレイポケット92内の配線基板10を撮影する認識カメラ121及び照明装置122等が設けられている。認識カメラ121及び照明装置122は、画像処理の技術を用いてワーク状態を確認するための機構である。認識カメラ121は、段バラシ部63からワーク状態認識部64に搬送された基板用トレイ91及び配線基板10をその上方から撮影する。照明装置122は、基板用トレイ91及び配線基板10上に光を照射する機能を有しており、基板用トレイ91における各トレイポケット92内の配線基板10を均一に照らすために光量や位置を調整する機能を有している。認識カメラ121は制御装置110に接続されており、認識カメラ121によって撮影された画像のデータが制御装置110に取り込まれる。制御装置110は、その画像データに基づいて、トレイポケット92内にて正しい姿勢(水平の姿勢)で配線基板10が収納されているか否かを確認するとともに、刻印部55となる位置が正しい方向(例えば上方)に向いた状態で配線基板10が収納されているか否かを確認する。
図3,図5に示されるように、レーザー加工部65には、レーザー照射装置71、ステージ81、トレイ押さえユニット101(押圧手段)、アライメントカメラ124及び照明装置125等が設けられている。ステージ81は、基板用トレイ91の主面94をレーザー照射装置71に向けた状態で基板用トレイ91を支持する。また、ステージ81は、高さ方向に移動することにより、基板用トレイ91に支持された配線基板10とレーザー照射装置71との距離をあらかじめ決定した規定値(レーザーの焦点距離に対応した値)に保持するようになっている。具体的には、ステージ81の下方にエアシリンダ83が設けられている。エアシリンダ83は、シリンダ本体84と、エア圧によって上下動するピストンロッド85とからなる。ピストンロッド85は、その先端がステージ81に固定されており、シリンダ本体84から上方に突出することにより、ステージ81全体を上昇させる。さらに、エアシリンダ83のシリンダ本体84は、昇降ロボット87によって昇降される基台88上に固定されている。
トレイ押さえユニット101は、ステージ81とレーザー照射装置71との間に設けられており、ステージ81によって支持された基板用トレイ91の主面94を配線基板10を避けて押圧する。具体的には、トレイ押さえユニット101において、2本の棒状のストッパ部材102がトレイ搬送方向(図3では左右方向)に沿って延びるように配置されている。各ストッパ部材102は、ステージ81の主面94と平行に配置されている。そして、エアシリンダ83の駆動によりステージ81が上方に移動すると、基板用トレイ91の主面94の枠部93がトレイ押さえユニット101のストッパ部材102に面接触し、そのストッパ部材102によって基板用トレイ91の主面94が押圧される。この結果、基板用トレイ91の主面94が水平に保持され、それに伴って、配線基板10の上面(ソルダーレジスト51の表面52)も水平に保持される。さらに、基板用トレイ91に反りが生じている場合にはその反りも矯正される仕組みになっている。なお、本実施形態において、基板用トレイ91の水平度の角度誤差が0.1°未満となるようステージ81及びトレイ押さえユニット101が設計されている。
さらに、トレイ押さえユニット101(ストッパ部材102)は、連結部材104を介して基台88上に固定されており、それら連結部材104及び基台88を介して昇降ロボット87に連結されている。この昇降ロボット87の駆動によって、基台88が昇降すると、基板用トレイ91の主面94を押圧した状態でステージ81及びトレイ押さえユニット101が高さ方向に移動される。この結果、基板用トレイ91に支持されている配線基板10の表面52にレーザー照射装置71の焦点が合うように位置合わせが行われる。なお、エアシリンダ83及び昇降ロボット87も制御装置110に接続されており、制御装置110から出力される制御信号に基づいてエアシリンダ83及び昇降ロボット87が駆動制御される。
基板用トレイ91は、配線基板10の種類によって異なる規格サイズのものが使用される。この場合、図6〜図9に示されるように、基板用トレイ91におけるトレイポケット92内での配線基板10の収納位置、配線基板10の厚さ、基板用トレイ91の厚さなどによって、配線基板10の表面52の位置P1が異なってしまう。このため、トレイ押さえユニット101の高さ補正を行わない場合、レーザー照射装置71の焦点が配線基板10の表面52に合わなくなる。これに対して、本実施形態では、基板用トレイ91の厚み、トレイポケット92内での配線基板10の位置、配線基板10の厚みなどの情報を制御装置110に入力しておき、その情報に応じてステージ81及びトレイ押さえユニット101の高さを補正している。この結果、レーザー照射装置71と配線基板10の表面52との距離が一定の間隔に保たれる。
図3に示されるように、レーザー加工部65におけるアライメントカメラ124及び照明装置125は、画像処理の技術を用いて配線基板10の位置を認識するための機構である。アライメントカメラ124は、ワーク状態認識部64からレーザー加工部65に搬送された基板用トレイ91及び配線基板10をその上方から撮影する。照明装置125は、基板用トレイ91及び配線基板10上に光を照射する機能を有しており、基板用トレイ91における各トレイポケット92内の配線基板10を均一に照らすために光量や位置を調整する機能を有している。アライメントカメラ124は制御装置110に接続されており、アライメントカメラ124によって撮影された画像のデータが制御装置110に取り込まれる。制御装置110は、その画像データに基づいて、基板用トレイ91における各トレイポケット92内の配線基板10の位置データを取得する。制御装置110は、この位置データを利用してレーザー照射装置71を制御する。
レーザー照射装置71は、基板用トレイ91によって支持された各配線基板10に対してレーザーを照射するためのものである。レーザー照射装置71は、レーザー(本実施形態では、波長532nmのYVO4レーザー)を発生させるレーザー発生部(図示略)と、レーザーを偏向させるレーザー偏向部(図示略)と、レーザー発生部及びレーザー偏向部を制御するレーザー制御部(図示略)とを備えている。レーザー偏向部は、レンズ(図示略)と反射ミラー(図示略)とを複合させてなる光学系であり、これらレンズ及び反射ミラーの位置を変更することにより、レーザーの照射位置や焦点位置を調整するようになっている。レーザー制御部は、レーザーの照射強度、レーザーの発振周波数、レーザーの移動速度(印字速度)などの制御を行う。
印字確認部66には、画像処理の技術を用いて刻印部55の印字状態を検査するための機構、具体的には、検査用カメラ127及び照明装置128が設けられている。検査用カメラ127は、レーザー加工部65から印字確認部66に搬送された基板用トレイ91の各配線基板10をその上方から撮影する。照明装置128は、配線基板10上の刻印部55に光を照射する機能を有しており、基板用トレイ91の各トレイポケット92内の配線基板10を均一に照らすために光量や位置を調整する機能を有している。検査用カメラ127は制御装置110に接続されており、検査用カメラ127によって撮影された画像のデータが制御装置110に取り込まれる。制御装置110は、その画像データに基づいて、各配線基板10の刻印部55の印字状態を確認する。
段積み部67では、印字確認部66から搬入された基板用トレイ91がその厚さ方向に複数段積み重ねて配置される。そして、所定の段数に積み重ねられた各基板用トレイ91は、搬送装置100によって排出部68に送られその排出部68から装置外部に搬出される。
制御装置110は、CPU111、ROM112、RAM113、入出力ポート(図示略)等からなる周知のコンピュータにより構成されている。制御装置110は、レーザー照射装置71、搬送装置100、各カメラ121,124,127及び照明装置122,125,128、エアシリンダ83及び昇降ロボット87等に電気的に接続されており、各種の制御信号によってそれらを制御する。制御装置110において、CPU111は、レーザー加工装置61全体を制御するための各種処理を実行し、その処理結果に応じて各種の制御コマンドを演算処理するようになっている。そして、CPU111は、制御コマンドを所定の制御信号として出力するようになっている。ROM112には、レーザー加工装置61を制御するための制御プログラムなどが記憶されている。また、RAM113には、レーザー加工装置61の動作に必要な各種の情報が一時的に記憶される。
具体的には、レーザー照射を行うためのレーザー照射データがRAM113に記憶されている。レーザー照射データは、CADデータに基づいて生成されるデータであり、CADデータは、刻印部55が形成された画像を示す画像データを変換することによって得られるデータである。また、RAM113には、レーザー照射に用いられるレーザー照射パラメータ(レーザーの照射位置、焦点位置、照射角度、移動速度、照射強度、照射周期、照射ピッチなど)を示すデータが記憶されている。さらに、RAM113には、基板用トレイ91の厚さ、トレイポケット92内での配線基板10の位置、配線基板10の厚さなどの情報が記憶されている。
次に、本実施形態の配線基板10の製造方法について説明する。
本実施形態の配線基板10は、コア基板11のコア主面12及びコア裏面13に周知のビルドアップ工程を行うことで製造される。ここでは、配線基板10となる製品領域が平面方向に沿って縦横に複数配列した多数個取り用基板の形態で製造され、切断工程を経て個片化した複数の配線基板10が同時に得られる。そして、これら配線基板10を基板用トレイ91の各トレイポケット92に1枚ずつ収容し、さらに基板用トレイ91を複数段に積み重ねた状態でレーザー加工装置61の供給部62に搬入する。
その後、作業者によってレーザー加工装置61の稼動スイッチ(図示略)がオンされることで、配線基板10に刻印部55をマーキングするための処理が開始される。具体的には、制御装置110のCPU111は、搬送装置100を駆動することで、段積みされた各基板用トレイ91を段バラシ部63に搬入し、各基板用トレイ91を1段ずつばらす。そして、その基板用トレイ91がワーク状態認識部64に搬入される。
基板用トレイ91がワーク状態認識部64に搬入されると、CPU111は、認識カメラ121及び照明装置122を駆動し、基板用トレイ91及び配線基板10に対する照明及び撮像を開始させる。このとき、CPU111は、認識カメラ121によって撮影された画像のデータを取り込み、画像処理を行う。CPU111は、画像処理の結果、トレイポケット92内にて正しい姿勢(水平の姿勢)、かつ刻印部55となる位置が正しい方向(例えば、上方)に向いた状態で配線基板10が収納されているか否かを確認する。各配線基板10の姿勢や方向が正常であると判断した場合、CPU111は、基板支持工程を行って搬送装置100を駆動することにより、基板用トレイ91をレーザー加工部65に搬入してステージ81上に基板用トレイ91を載置させる。
一方、CPU111は、配線基板10の姿勢や方向が異常であると判断した場合、図示しない警報手段(ブザーやランプ)を用いてその旨を通知するとともに、レーザー加工装置61の各処理を一旦停止する。その後、作業者は、配線基板10の姿勢や方向を正常な状態に直した後、レーザー加工装置61を再稼動し、基板用トレイ91をレーザー加工部65に搬入させるとともにステージ81上に基板用トレイ91を載置させる。
レーザー加工部65において、基板用トレイ91はその主面94をレーザー照射装置71に向けた状態でステージ81上に支持される。続く支持手段押圧工程において、CPU111は、エアシリンダ83を駆動して、ステージ81全体を高さ方向に移動させ、トレイ押さえユニット101のストッパ部材102にステージ81を接近させる。このとき、基板用トレイ91の主面94の枠部93がトレイ押さえユニット101のストッパ部材102に面接触することで、配線基板10を避けた状態で基板用トレイ91の主面94がストッパ部材102によって押圧される。この結果、基板用トレイ91の主面94の水平度が保持されるのと同時に基板用トレイ91の反りが矯正される。
続く支持手段移動工程において、CPU111は、昇降ロボット87を駆動し、基板用トレイ91の主面94を押圧した状態でステージ81及びトレイ押さえユニット101を高さ方向に移動させる。この移動工程によって、基板用トレイ91に支持された配線基板10とレーザー照射装置71との距離があらかじめ決定した値(レーザーの焦点距離に対応した値)に保持される。
その後、CPU111は、アライメントカメラ124及び照明装置125を駆動し、基板用トレイ91及び配線基板10に対する照明及び撮像を開始させる。このとき、CPU111は、アライメントカメラ124によって撮影された画像のデータを取り込み、画像処理を行う。CPU111は、画像処理の結果、基板用トレイ91における各トレイポケット92内の配線基板10の位置データを取得する。
各トレイポケット92の平面形状は配線基板10よりも大きく、トレイポケット92の内壁面と配線基板10の側面との間には若干の遊びがある状態で配線基板10が収納されている。このため、各トレイポケット92内においてその遊び(隙間)に応じて水平方向にずれた状態で配線基板10が収納されているが、CPU111は、位置データに基づいて各配線基板10(刻印部55)の正確な位置を把握する。
その後、CPU111は、レーザー照射工程を行い、位置データ等に基づいてレーザー照射装置71を駆動する。このレーザー照射装置71によって、各配線基板10に対してレーザーを照射してソルダーレジスト51の表面52を刻印することにより、ソルダーレジスト51の表面52に刻印部55を形成する。本実施形態のレーザー照射装置71は、配線基板10の表面52に対するレーザーの入射角が所定角度(例えば垂直方向に対して17°)以上傾くと、レーザーパワーの減衰の影響が大きくなり、印字の品質が保てなくなる。このため、基板用トレイ91における各配線基板10の位置(レーザーの入射角)に応じて、パワー、周波数、焦点深度、加工速度、加工回数などのレーザー照射条件を補正した状態で刻印部55を形成するように構成している。
図10には、レーザー照射装置71の直下を基準位置とし、基板用トレイ91における各配線基板10の位置(水平方向となるXY方向の位置)に応じた補正量を示している。図10に示されるように、本実施形態では、基板用トレイ91におけるXY座標に合わせて、補正量を設定しており、基板用トレイ91の外側に収納される配線基板10ほど補正量を大きくしてレーザー照射を行っている。この結果、基板用トレイ91における中心部の配線基板10と外側の配線基板10とで加工度合いを合わせた状態で刻印部55の文字が印字される。
刻印部55の印字後、CPU111は、搬送装置100を駆動することで基板用トレイ91を印字確認部66に搬送した後、検査用カメラ127及び照明装置128を駆動する。このとき、CPU111は、検査用カメラ127によって撮影された画像のデータを取り込み、画像処理を行う。CPU111は、画像処理の結果、各配線基板10に印字された刻印部55の文字を認識する。CPU111は、刻印部55の文字が正常に印字されているか否かを判定する。ここでは、文字に欠け、薄い部分などの欠陥がないか否かの判定(印字判定)が行われ、欠陥がなく正常であると判定された場合、CPU111は、搬送装置100を駆動することで基板用トレイ91を段積み部67に搬入する。一方、印字に欠陥があると判定した場合、CPU111は、図示しない警報手段(ブザーやランプ)を用いてその旨を通知するとともに、搬送装置100のロボット(図示略)等によって、異常のあった配線基板10を基板用トレイ91のトレイポケット92から取り除く。なお、配線基板10を取り除く作業は、ロボット以外に作業者が行ってもよい。またここで、刻印部55が正常に印字された配線基板10をあらかじめ準備しておき、空の状態となったトレイポケット92に、その配線基板10を入れ替えるようにしてもよい。
そして、CPU111は、搬送装置100を駆動することで段積み部67における基板用トレイ91をその厚さ方向に複数段積み重ねて配置する。さらに、所定の段数に積み重ねられた各基板用トレイ91は、搬送装置100によって排出部68に送られその排出部68から装置外部に搬出される。以上の工程を経て、刻印部55のマーキング処理が完了し、図1に示される配線基板10が製造される。
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
(1)本実施形態では、ステージ81とともに高さ方向に移動する基板用トレイ91をトレイ押さえユニット101のストッパ部材102によって押圧することにより、基板用トレイ91に支持された配線基板10とレーザー照射装置71との距離があらかじめ決定した規定値に保持される。その結果、配線基板10にレーザーの焦点が合うようになるため、配線基板10を効率良く製造することができる。しかも、ストッパ部材102は、配線基板10を避けて基板用トレイ91の主面94を押圧するため、配線基板10に大きな力が掛かって破損するなどの問題が解消される。その結果、製造される配線基板10の信頼性が確保されるため、高い信頼性を有する配線基板10を効率良く製造することができる。
(2)本実施形態では、基板支持手段として基板用トレイ91が用いられ、その基板用トレイ91には、配線基板10を収容するトレイポケット92が平面方向に沿って複数配置されている。この基板用トレイ91を用いると、複数のトレイポケット92に収容された複数の配線基板10に対してレーザー照射工程を同時に行うことができるため、配線基板10の製造効率が向上する。また、基板用トレイ91が製品出荷用トレイとして共通使用される。このため、レーザー照射工程を経て製造された配線基板10を基板用トレイ91のトレイポケット92に収容したままの状態で製品として出荷することができる。
(3)本実施形態では、ストッパ部材102を固定した状態でステージ81をストッパ部材102に対して接近させることにより、基板用トレイ91の主面94がストッパ部材102によって押圧される。このとき、基板用トレイ91の枠部93にストッパ部材102を面接触させているので、基板用トレイ91の反りを確実に矯正することができる。また、基板用トレイ91の主面94の水平度を良好な状態に保持することができる。この結果、基板用トレイ91に収納されている各配線基板10に対してレーザーの焦点を確実に合わせることができ、品質の高い配線基板10を効率良く製造することができる。
(4)本実施形態において、配線基板10は、基板主面19を覆うソルダーレジスト51を備えている。レーザー照射工程では、レーザー照射装置を用いてそのソルダーレジスト51の表面52にレーザーを照射することにより、ソルダーレジスト51の表面52に刻印部55が形成される。このようにすれば、刻印部55形成用の層(インク層など)を別途形成しなくても済むため、低コストで刻印部55を形成することができ、配線基板10の製造コストを低く抑えることができる。
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態の支持手段押圧工程では、押圧手段としてのトレイ押さえユニット101を固定させた状態でステージ81を高さ方向に移動することにより、基板用トレイ91の主面94を押圧していたが、これに限定されるものではない。トレイ押さえユニット101をステージ81に対して接近させることにより、基板用トレイ91の主面94をトレイ押さえユニット101(ストッパ部材102)によって押圧する構成としてもよい。このように構成しても、基板用トレイ91の主面94の水平度を保持できるとともに、基板用トレイ91の反りを矯正することができる。
・上記実施形態の支持手段押圧工程では、基板用トレイ91の厚み、トレイポケット92内での配線基板10の位置、配線基板10の厚みなどの情報に基づいて、ステージ81及びトレイ押さえユニット101の高さを調整する構成としたが、これに限定されるものではない。例えば、アライメントカメラ124や別に設けられた高さ測定手段を用いて、基板用トレイ91に支持された配線基板10の高さを測定し、測定した配線基板10の高さに基づいて、ステージ81及びトレイ押さえユニット101の高さを調整するように構成してもよい。このように構成しても、配線基板10にレーザーの焦点を確実に合わせることができ、品質の高い配線基板10を製造することができる。
・上記実施形態の支持手段押圧工程では、エアシリンダ83を駆動してステージ81上の基板用トレイ91をトレイ押さえユニット101に押圧して基板用トレイ91の反りを矯正した後、昇降ロボット87を駆動してトレイ押さえユニット101の高さを調整していた。これに対し、エアシリンダ83及び昇降ロボット87の駆動順序を逆にして、トレイ押さえユニット101の高さを調整した後、基板用トレイ91の反りを矯正するように構成してもよい。
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
(1)手段1において、前記基板支持手段は、前記基板を収容する収容凹部が平面方向に沿って複数配置されるとともに、前記収容凹部を包囲する枠部が形成された基板用トレイであり、前記支持手段押圧工程では、前記枠部に前記押圧手段を面接触させることを特徴とする基板の製造方法。
(2)手段1において、前記基板支持手段には、前記基板を収容する収容凹部が平面方向に沿って複数配置され、前記レーザー照射工程では、前記基板支持手段における各基板の収容位置に応じてレーザー照射条件を補正し、その補正したレーザー照射条件で前記各基板にレーザーを照射するようにしたことを特徴とする基板の製造方法。
(3)手段1において、前記支持手段押圧工程を行って前記基板支持手段の主面を押圧した後、前記支持手段移動工程を行って前記ステージを高さ方向に移動させることを特徴とする基板の製造方法。
(4)手段1において、前記支持手段移動工程を行って前記ステージを高さ方向に移動させた後、前記支持手段押圧工程を行って前記基板支持手段の主面を押圧することを特徴とする基板の製造方法。
10…基板としての配線基板
19…基板主面
51…ソルダーレジスト
52…表面
55…刻印部
61…レーザー加工装置
71…レーザー照射装置
81…ステージ
91…基板支持手段としての基板用トレイ
92…収容凹部としてのトレイポケット
93…枠部
94…基板支持手段の主面
101…押圧手段としてのトレイ押さえユニット
19…基板主面
51…ソルダーレジスト
52…表面
55…刻印部
61…レーザー加工装置
71…レーザー照射装置
81…ステージ
91…基板支持手段としての基板用トレイ
92…収容凹部としてのトレイポケット
93…枠部
94…基板支持手段の主面
101…押圧手段としてのトレイ押さえユニット
Claims (10)
- 基板支持手段によって基板を横置き状態で支持する基板支持工程と、レーザー照射装置を用いて前記基板にレーザーを照射するレーザー照射工程とを経て、基板を製造する方法であって、
前記基板支持工程は、
主面を前記レーザー照射装置に向けた状態で前記基板支持手段をステージ上に支持させ、前記ステージを高さ方向に移動させることにより、前記基板支持手段に支持された前記基板と前記レーザー照射装置との距離をあらかじめ決定した規定値に保持する支持手段移動工程と、
前記基板を避けて前記基板支持手段の主面を押圧手段によって押圧する支持手段押圧工程と
を含み、
前記基板と前記レーザー照射装置との距離が前記規定値に保持されるとともに、前記基板支持手段の主面が押圧された状態で、前記レーザー照射工程を行う
ことを特徴とする基板の製造方法。 - 前記支持手段押圧工程では、前記押圧手段を前記ステージに対して接近させることにより、前記基板支持手段の主面を前記押圧手段によって押圧することを特徴とする請求項1に記載の基板の製造方法。
- 前記支持手段押圧工程では、前記基板支持手段に支持された前記基板の高さを測定し、測定した前記基板の高さに基づいて、前記押圧手段の高さを調整することを特徴とする請求項2に記載の基板の製造方法。
- 前記支持手段押圧工程では、前記押圧手段を固定した状態で前記ステージを前記押圧手段に対して接近させることにより、前記基板支持手段の主面を前記押圧手段によって押圧することを特徴とする請求項1に記載の基板の製造方法。
- 前記基板支持手段は、前記基板を収容する収容凹部が平面方向に沿って複数配置されるとともに、前記収容凹部を包囲する枠部が形成された基板用トレイであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記基板は、基板主面を覆うソルダーレジストを備え、
前記レーザー照射工程では、レーザーを照射して前記ソルダーレジストの表面を刻印することにより、前記ソルダーレジストの表面に刻印部を形成する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板の製造方法。 - 基板を横置き状態で支持する基板支持手段と、
前記基板支持手段によって支持された前記基板に対してレーザーを照射するレーザー照射装置と、
主面を前記レーザー照射装置に向けた状態で前記基板支持手段を支持し、かつ高さ方向に移動させることにより、前記基板支持手段に支持された前記基板と前記レーザー照射装置との距離をあらかじめ決定した規定値に保持するステージと、
前記ステージと前記レーザー照射装置との間に配置され、前記ステージによって支持された前記基板支持手段の主面を前記基板を避けて押圧する押圧手段と
を備えることを特徴とするレーザー加工装置。 - 前記押圧手段は、前記ステージに対して接近することにより、前記基板支持手段の主面を押圧することを特徴とする請求項7に記載のレーザー加工装置。
- 前記押圧手段は、高さ方向に対して移動不能に固定されており、前記ステージを接近させることにより、前記基板支持手段の主面を押圧することを特徴とする請求項7に記載のレーザー加工装置。
- 前記基板支持手段は、前記基板を収容する収容凹部が平面方向に沿って複数配置されるとともに、前記収容凹部を包囲する枠部が形成された基板用トレイであることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012280142A JP2014123683A (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | 基板の製造方法、レーザー加工装置 |
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JP (1) | JP2014123683A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021122169A (ja) * | 2020-01-31 | 2021-08-26 | トヨタ紡織株式会社 | モータコアの製造方法 |
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JP2005268423A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Kansai Tlo Kk | レーザを用いた配線基板の製造方法 |
-
2012
- 2012-12-21 JP JP2012280142A patent/JP2014123683A/ja active Pending
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