KR101452353B1 - 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판에 부착된 보호필름이 박리 과정 중에 찢어지지 않고 박리되는지 여부 및 기판에 잔존하는 보호필름을 확인할 수 있는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치에 관한 것으로서, 상하면에 필름이 부착된 기판을 정렬 테이블에 로딩하는 이동수단과, 상기 정렬 테이블에 로딩된 상기 기판을 정렬하는 정렬수단과, 상기 기판의 상부면을 흡착하여 상기 정렬 테이블과 하부셔틀 사이를 왕복운동하며 상기 기판을 이동시키는 상부셔틀과, 상기 하부 필름의 가장자리에 제1테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 하부 필름을 박리하는 제1필름박리수단과, 상기 기판에서 상기 하부 필름이 상기 제1필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 상부셔틀에 형성되는 제1센서부와, 상기 제1필름박리수단에 의해 박리된 상기 하부 필름이 회수된 뒤 상기 기판을 이동시키는 하부셔틀과, 상기 상부 필름의 가장자리에 제2테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 상부 필름을 박리하는 제2필름박리수단과, 상기 기판에서 상기 상부 필름이 상기 제2필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 하부셔틀에 형성되는 제2센서부와, 상기 기판으로부터 박리되어 제1테이프와 제2테이프에 부착된 상기 상부 및 하부 필름을 회수하는 필름회수부를 포함한다.
본 발명에 의하면, 기판을 이동시키면서 기판의 상하부에 접착되어 있는 필름을 박리하는 과정 중에 필름의 박리 여부 및 박리되지 않은 필름의 위치를 확인할 수 있으므로 필름이 잔존하는 불량기판을 검출 및 기판에 잔존하는 필름을 다시 박리하는 작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판으로부터 필름이 오류없이 박리되는지 여부를 작업자가 일일이 감시하지 않아도 되므로 작업의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Description

박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치{Apparatus for Peeling Protection Film with Checking the Peeling of Protection Film}
본 발명은 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 부착된 보호필름이 박리 과정 중에 찢어지지 않고 박리되는지 여부 및 기판에 잔존하는 보호필름을 확인할 수 있는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuits Board)은 페놀, 에폭시 등의 절연판 위에 구리 등의 동박(Copper Foil)을 부착시킨 다음, 회로 배선에 따라 에칭하여 필요한 회로를 구성하고 회로간 연결 및 부품 탑재를 위한 홀(Hole)을 형성하여 만든 기판을 의미하는 것으로, 물리적 특성으로 나누어 볼 때 일반적으로 사용되는 단단한 판 형태의 경성타입(Rigid Type), 카메라와 같이 외형이 직육면체가 아닌 전자제품에서 사각형의 경성타입 기판으로는 공간 제약 상의 문제로 휘거나 접힘이 가능한 설계에서 사용되는 연성타입(Flexible Type) 및 앞서 언급한 두 가지(경성타입, 연성타입)가 결합된 형태의 경연성타입(Rigid-Flexible Type)이 존재한다.
최근에는 반도체칩의 고밀도화 및 신호전달속도의 고속화에 대응하는 기술로서, 반도체칩을 인쇄회로 기판에 직접 실장하는 기술에 대한 요구가 증대되고 있으며, 이에 따라 반도체칩의 고밀도화에 대응할 수 있는 고밀도 및 고신뢰성의 인쇄회로기판에 대한 연구개발이 진행되고 있다.
이러한 고밀도 및 고신뢰성의 인쇄회로기판에 대한 요구사항은 반도체칩의 발전방향과도 밀접한 관련이 있으며, 회로의 미세화, 고도의 전기적 특성, 고속신호 전달 특성, 고신뢰성, 고기능성 등 많은 기술적 과제가 있으며, 이러한 과제에 대해 초미세회로 고속전공 FPCB 제조공정기술, 미세회로 패턴기술, SBL(Single Build-up Laser) 및 MBL(Multi Build-up laser) 등의 기술이 개발되고 있다.
통상적으로 인쇄회로기판을 형성하기 위해 다수의 층을 적층하고, CCL(Cooper Clad Laminate) 표면에 적층된 드라이필름(Dry Film) 위에 Artwork Film을 올려놓고 UV(자외선)을 조사하여 회로 이미지를 만드는 노광 공정을 수행한 후에 회로를 형성하기 위하여 D/F 현상 후 동박 위에 D/F가 남겨져 있지 않은 부분을 애칭액으로 제거하는 애칭 공정을 거치고 가공(Routing)하여, 검사(Inspection)의 단계를 거쳐 완성하게 된다.
이 때 노광 공정 수행 후, 애칭 공정을 수행하기 위해 기판상의 드라이 필름을 제거하는 과정을 수행하고, 애칭 공정에서 불량률을 줄이기 위해서는 보호필름의 박리의 정확성이 요구되는데, 보호필름의 두께가 매우 얇고 투명하기 때문에 박리되는 도중에 보호필름이 찢겨서 보호필름 전체가 박리되지 않고 보호필름이 기판에 잔존하여 불량기판이 발생하는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 한국등록특허 제10-1300230에서 개시하고 있는 '반복 이송식 인쇄회로기판 보호필름 필링장치'는 이송수단을 이용하여 보호필름이 부착된 인쇄회로기판을 공급하는 공급부와, 공급된 인쇄회로기판의 보호필름을 제거하는 필링부와, 상기 필링부에 의해 제거된 보호필름이 감지되지 않은 경우 이송수단을 제어하여 인쇄회로기판을 필링부로부터 공급부로 인출한 후 다시 필링부로 공급하여 보호필름을 필링하도록 상기 공급부와 상기 필링부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되어, 보호필름이 제거되지 않은 경우 보호필름이 제거될 때까지 반복하여 필링 작업을 자동으로 수행하도록 하는 것에 의해 보호필름의 필링 신뢰성을 향상시킨다.
하지만 필름센서에 의해 기판으로부터 보호필름이 제거되었는지 여부만을 확인할 수는 있고, 보호필름이 필링되는 과정에서 보호필름이 찢어져 박리되지 않는 지점을 확인할 수 없으므로 박리되는 도중에 보호필름이 찢어져 제거되지 않은 보호필름을 재필링을 하는데는 한계가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 기판의 상하부에 접착되어 있는 보호필름을 박리하는 과정 중에 보호필름의 박리 여부 및 박리되지 않은 보호필름의 위치를 확인할 수 있는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 광센서를 이용하여 기판으로부터 보호필름이 오류없이 박리되는지 여부를 작업자가 직접 확인할 필요가 없는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 상하면에 필름이 부착된 기판을 정렬 테이블에 로딩하는 이동수단과, 상기 정렬 테이블에 로딩된 상기 기판을 정렬하는 정렬수단과, 상기 기판의 상부면을 흡착하여 상기 정렬 테이블과 하부셔틀 사이를 왕복운동하며 상기 기판을 이동시키는 상부셔틀과, 상기 하부 필름의 가장자리에 제1테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 하부 필름을 박리하는 제1필름박리수단과, 상기 기판에서 상기 하부 필름이 상기 제1필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 상부셔틀에 형성되는 제1센서부와, 상기 제1필름박리수단에 의해 박리된 상기 하부 필름이 회수된 뒤 상기 기판을 이동시키는 하부셔틀과, 상기 상부 필름의 가장자리에 제2테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 상부 필름을 박리하는 제2필름박리수단과, 상기 기판에서 상기 상부 필름이 상기 제2필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 하부셔틀에 형성되는 제2센서부와, 상기 기판으로부터 박리되어 제1테이프와 제2테이프에 부착된 상기 상부 및 하부 필름을 회수하는 필름회수부를 포함할 수 있다.
본 발명에서, 상기 상부셔틀은 제1레일을 따라 좌우로 왕복운동하는 상부셔틀 프레임과, 상기 상부셔틀 프레임에 설치되는 제1구동부와, 상기 제1구동부에 의해 상하로 승강되는 상부셔틀 플레이트와, 상기 상부셔틀 플레이트 하부에 형성되어 상기 기판을 진공으로 흡착하는 흡착부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제1필름박리수단은 제3레일을 따라 좌우로 이동하며, 상기 하부 필름에 부착되도록 제1테이프가 수직으로 형성된 축을 따라 상하로 이동할 수 있다.
아울러, 상기 제1센서부는 상기 상부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1광센서와, 상기 상부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1광센서와 대응되도록 형성되는 제1반사부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제1광센서와 제1반사부는 상기 상부셔틀에 안착되는 기판의 크기에 따라 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 다르게 형성할 수 있다.
그리고, 상기 제1센서부는 상기 상부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1투광부와, 상기 상부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1투광부와 대응되도록 형성되는 제1수광부를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 제2센서부는 상기 하부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2광센서와, 상기 하부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제2센서와 대응되도록 형성되는 제2반사부를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 제2광센서와 제2반사부는 상기 하부셔틀에 안착되는 기판의 크기에 따라 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 다르게 형성할 수 있다.
또한, 상기 제2센서부는 상기 하부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2투광부와, 상기 하부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제2투광부와 대응되도록 형성되는 제2수광부를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에서, 상기 상부셔틀과 상기 하부셔틀에 안착되는 상기 기판의 보호필름이 상기 제1필름박리수단 및 상기 제2필름박리수단에 의해 박리되기 전에 상기 제1테이프와 제2테이프에 부착되어 쉽게 박리되도록 상기 기판의 가장자리 일측에 흠집을 생성하는 스크래치발생부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 필름회수부는 상기 제1필름박리수단과 상기 제2필름박리수단 사이를 왕복운동하면서 상기 기판으로부터 박리되어 제1테이프 또는 제2테이프에 부착된 필름을 집어서 폐기하는 클램프와, 폐기된 필름이 담기는 필름회수용기와, 상기 필름회수용기에 담긴 상기 필름을 흡입하는 덕트를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고, 상기 제1반사부와 제2반사부에 각각 레이저광을 발산하여 상기 제1반사부와 제2반사부에서 반사되는 레이저광을 수광하는 상기 제1광센서와 제2광센서에서 센싱된 값에 의해 필름 박리 여부를 확인할 수 있는 제어부를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 기판을 이동시키면서 기판의 상하부에 접착되어 있는 필름을 박리하는 과정 중에 필름의 박리 여부 및 박리되지 않은 필름의 위치를 확인할 수 있으므로 필름이 잔존하는 불량기판을 검출 및 기판에 잔존하는 필름을 다시 박리하는 작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판으로부터 필름이 오류없이 박리되는지 여부를 작업자가 일일이 감시하지 않아도 되므로 작업의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 센서부가 장착된 상부셔틀을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 센서부가 장착된 하부셔틀을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1필름박리수단을 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 센서부가 장착된 상부셔틀을 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 센서부가 장착된 상부셔틀을 나타내는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 센서부가 장착된 하부셔틀을 나타내는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제1필름박리수단을 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 센서부가 장착된 상부셔틀을 나타내는 평면도이다.
본 발명의 실시예에 따른 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치는 이동수단(도시되지 않음), 정렬수단(600), 상부셔틀(100), 제1필름박리수단(300), 제1센서부(120), 하부셔틀(200), 제2필름박리수단(400), 제2센서부(220), 필름회수부(500)를 포함한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 레일을 따라 좌우로 이동하고 수직으로 형성된 구동축을 따라 상하로 구동되는 상기 이동수단(도시되지 않음)이 기판(P)의 상부를 흡착하여 정렬수단(600)에 고정 설치된 정렬 테이블(620)로 상기 기판(P)을 로딩하고 정렬한다.
그리고, 상기 정렬 테이블(620)에 로딩된 상기 기판(P) 상부로 상기 상부셔틀(100)이 이동하여 상기 기판(P)을 흡착한 뒤 상기 기판(P) 가장자리가 상기 정렬 테이블(620)의 가장자리를 벗어나 위치하도록 이동시킨다.
또한, 상기 정렬수단(600) 하부에 설치되는 레일과 축을 따라 상하좌우로 움직이는 상기 제1필름박리수단(300)이 상기 기판(P) 하부로 이동하고, 상기 하부 필름을 박리하기 위해 상술한 바와 같이 이동된 상기 기판(P)의 하부 가장자리 일측에 제1테이프(320)가 부착된다.
본 발명에서, 상기 제1테이프(320)가 상기 하부 필름에 부착되기 전에 상기 기판(P)에서 상기 하부 필름이 쉽게 박리될 수 있도록 상기 제1테이프(320)가 부착될 위치의 가장자리에 흠집을 생성하는 스크래치발생부(도시되지 않음)가 설치된다.
이와 같이 상기 기판(P)에 형성된 흠집은 상기 상부 필름이 상기 기판(P)으로부터 박리될 때에도 초기에 박리를 쉽게 한다.
상기 제1테이프(320)가 상기 하부 필름의 가장자리 일측에 부착된 상태에서 상기 상부셔틀(100)이 상기 제1테이프(320)가 부착된 상기 하부 필름의 가장자리 방향으로 이동하고 상기 제1필름박리수단(300)은 상기 상부셔틀(100)과 반대방향으로 이동하면서 상기 하부 필름이 박리된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 상기 상부셔틀(100)에는 상기 상부셔틀(100)의 일측에 길이방향으로 가장자리에 상기 하부 필름이 찢어지지 않고 박리되는지 여부와 상기 하부 필름이 박리되는 도중에 상기 하부 필름이 찢어질 경우 상기 기판(P)에 상기 하부 필름이 잔존하는 지점을 검출할 수 있는 상기 제1센서부(120)가 형성된다.
또한, 상기 상부셔틀(100)은 제1레일(R1)을 따라 좌우로 왕복운동하는 상부셔틀 프레임(160)과, 상기 상부셔틀 프레임(160)에 설치되는 제1구동부(도시되지 않음)와, 상기 제1구동부(도시되지 않음)에 의해 상하로 승강되는 상부셔틀 플레이트(180)와, 상기 상부셔틀 플레이트(180) 하부에 형성되어 상기 기판(P)을 진공으로 흡착하는 흡착부(140)를 포함한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1필름박리수단(300)은 상기 기판(P) 하부 가장자리에 위치하도록 제3레일(R3)을 따라 좌우로 이동하며, 수직으로 형성된 축을 따라 상하로 이동하면서 상기 제1테이프(320)가 상기 하부 필름에 부착된다.
도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1센서부(120)는 상기 상부셔틀(100)의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1광센서(122)와, 상기 상부셔틀(100)의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1광센서(122)와 대응되도록 형성되는 제1반사부(124)로 구성된다.
여기서, 상기 제1광센서(122)와 제1반사부(124)는 상기 상부셔틀(100)에 안착되는 기판(P)의 크기에 따라 각각 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 조절하여 설치할 수 있다.
아울러, 상기 제1광센서(122)와 제1반사부(124)는 각각 균일한 간격으로 설치될 수도 있으나 상기 기판(P)에서 상기 하부 필름이 박리되는 도중에 상기 하부 필름이 잘 찢어져 상기 기판(P)에 필름이 잔존하는 영역을 잘 검출하기 위해 통계적으로 상기 하부 필름이 잘 찢어지는 영역에 상기 제1광센서(122)와 제1반사부(124)의 각각의 간격을 다른 영역보다 좁게하여 설치하여 경우에 따라서는 불균일한 간격으로 설치될 수도 있다.
상기 하부 필름이 박리되면서 상기 제1광센서(122)에서 발광한 빛이 제1반사부(124)에 의해 제1광센서(122)로 수광되는 빛의 세기가 커짐으로서 상기 하부 필름의 박리 여부를 확인할 수 있고, 상기 하부 필름이 박리되는 도중 상기 제1광센서(122)에서 발광한 빛이 제1반사부(124)에 의해 제1광센서(122)로 수광되는 빛의 세기가 같다면 상기 하부 필름이 찢어져 하부 필름이 상기 기판(P)에 잔존하고 있음을 확인할 수 있다.
그리고, 상기 제1센서부(120)는 상기 상부셔틀(100)의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1투광부와, 상기 상부셔틀(100)의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1투광부와 대응되도록 형성되는 제1수광부로 구성될 수 있다.
본 발명에서 상기 필름회수부(500)는 상기 제1필름박리수단과 상기 제2필름박리수단 사이를 왕복운동하면서 상기 기판(P)으로부터 박리되어 제1테이프(320) 또는 제2테이프(420)에 부착된 필름을 집어서 폐기하는 클램프(520)와, 폐기된 필름이 담기는 필름회수용기(540)와, 상기 필름회수용기에 담긴 상기 필름을 흡입하는 덕트(560)로 구성된다.
또한, 상기 클램프(520)는 상기 제1필름박리수단(300)이 좌우이동하도록 설치되는 레일을 따라 이동하면서 상기 제1테이프(320)와 제2테이프(420)에 부착되는 필름을 집어서 상기 필름회수용기(540)에 폐기하고, 상기 필름회수용기(540)에 담긴 필름은 진공흡입하는 덕트(560)에 의해 외부로 배출된다.
이후에, 상기 상부셔틀(100)은 상기 하부 필름이 박리된 기판(P)을 상기 하부셔틀(200)로 안착시키고 상기 정렬 테이블(620) 상부로 이동한다.
그리고, 상기 하부셔틀(200)에 안착된 기판(P) 상부에는 상기 제2필름박리수단(400)이 이동되고 상기 기판(P) 가장자리 일측에 상기 제2테이프(420)가 부착된다.
또한, 상기 제2테이프(420)가 부착된 기판(P)의 가장자리 방향으로 상기 하부셔틀(200)이 이동함과 동시에 상기 제2필름박리수단(400)이 상기 하부셔틀(200)과 반대방향으로 이동하면서 상기 상부 필름이 박리된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 상기 하부 필름이 박리될 때와 마찬가지로 상기 상부 필름이 박리될 때 상기 하부셔틀(200)의 길이방향으로 가장자리에 상기 상부 필름이 찢어지지 않고 박리되는 여부와 상기 상부 필름이 박리되는 도중에 상기 상부 필름이 찢어질 경우 상기 기판(P)에 상기 상부 필름이 잔존하는 지점을 검출할 수 있는 상기 제2센서부(220)가 형성된다.
여기서, 상기 제2센서부(220)는 상기 하부셔틀(200)의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2광센서(222)와, 상기 하부셔틀(200)의 타측 길이방향으로 상기 제2광센서(222)와 대응되도록 형성되는 제2반사부(224)로 구성된다.
여기서, 상기 제2광센서(222)와 제2반사부(224)는 상기 하부셔틀(200)에 안착되는 기판(P)의 크기에 따라 각각 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 조절하여 설치할 수 있다.
아울러, 상기 제1광센서(122)와 제1반사부(124)와 마찬가지로 상기 제2광센서(222)와 제2반사부(224)는 각각 균일한 간격으로 설치될 수도 있으나 상기 기판(P)에서 상기 상부 필름이 박리되는 도중에 상기 상부 필름이 잘 찢어져 상기 기판(P)에 필름이 잔존하는 영역을 잘 검출하기 위해 통계적으로 상기 상부 필름이 잘 찢어지는 영역에 상기 제2광센서(222)와 제2반사부(224)의 각각의 간격을 다른 영역보다 좁게 하여 설치하여 경우에 따라서는 불균일한 간격으로 설치될 수도 있다.
또한, 상기 상부 필름이 박리되면서 상기 제2광센서(222)에서 발광한 빛이 제2반사부(224)에 의해 제2광센서(222)로 수광되는 빛의 세기가 커짐으로서 상기 상부 필름의 박리 여부를 확인할 수 있고, 상기 상부 필름이 박리되는 도중 상기 제2광센서(222)에서 발광한 빛이 제2반사부(224)에 의해 제2광센서(222)로 수광되는 빛의 세기가 같다면 상기 상부 필름이 찢어져 상기 상부 필름이 상기 기판(P)에 잔존하고 있음을 확인할 수 있다.
그리고, 상기 제2센서부(220)는 상기 하부셔틀(200)의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2투광부와, 상기 하부셔(200)틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제2투광부와 대응되도록 형성되는 제2수광부로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이 박리된 상기 상부 필름은 상기 제2테이프(420)에 부착되어 있고, 상기 제2필름박리수단(400) 하부로 상기 클램프(520)가 이동하여 상기 제2테이프(420)에 부착된 상기 상부 필름을 떼어내어 상기 필름회수용기(540)에 폐기하고, 상기 필름회수용기(540)에 담긴 필름은 진공흡입하는 덕트(560)에 의해 외부로 배출된다.
본 발명에서 상기 상부 필름과 하부 필름이 박리될 때 상기 제1반사부(124)와 제2반사부(224)에 각각 레이저광을 발산하여 상기 제1반사부(124)와 제2반사부(224)에서 반사되는 레이저광을 수광하는 상기 제1광센서(122)와 제2광센서(222)에서 센싱된 값에 의해 필름 박리 여부를 확인할 수 있는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명에서 상기 상부 필름과 하부 필름이 박리될 때, 상기 제1반사부(124)와 제2반사부(224)에 각각 레이저광을 발산하여 상기 제1반사부(124)와 제2반사부(224)에서 반사되는 레이저광을 수광하는 상기 제1광센서(122)와 제2광센서(222)에서 센싱된 값을 입력 및 출력하는 제어부(도시되지 않음)가 필름 박리 여부 및 박리 도중에 상기 필름이 찢어진 위치를 확인할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 : 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치 P : 기판
100 : 상부셔틀 120 : 제1센서부
122 : 제1광센서 124 : 제1반사부
200 : 하부셔틀 220 : 제2센서부
222 : 제2광센서 224 : 제2반사부
300 : 제1필름박리수단 320 : 제1테이프
400 : 제2필름박리수단 420 : 제2테이프
500 : 필름회수부 520 : 클램프
540 : 필름회수용기 560 : 덕트
600 : 정렬수단 620 : 정렬 테이블

Claims (12)

  1. 상하면에 필름이 부착된 기판을 정렬 테이블에 로딩하는 이동수단;
    상기 정렬 테이블에 로딩된 상기 기판을 정렬하는 정렬수단;
    상기 기판의 상부면을 흡착하여 상기 정렬 테이블과 하부셔틀 사이를 왕복운동하며 상기 기판을 이동시키는 상부셔틀;
    상기 하부 필름의 가장자리에 제1테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 하부 필름을 박리하는 제1필름박리수단;
    상기 기판에서 상기 하부 필름이 상기 제1필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 상부셔틀에 형성되는 제1센서부;
    상기 제1필름박리수단에 의해 박리된 상기 하부 필름이 회수된 뒤 상기 기판을 이동시키는 하부셔틀;
    상기 상부 필름의 가장자리에 제2테이프를 부착시키고 일측으로 이동하여 상기 기판으로부터 상기 상부 필름을 박리하는 제2필름박리수단;
    상기 기판에서 상기 상부 필름이 상기 제2필름박리수단에 의해 균일하게 박리되는지 확인할 수 있도록 상기 하부셔틀에 형성되는 제2센서부; 및
    상기 기판으로부터 박리되어 제1테이프와 제2테이프에 부착된 상기 상부 및 하부 필름을 회수하는 필름회수부;를 포함하여 구성되되,
    상기 제1센서부는,
    상기 상부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1광센서와,
    상기 상부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1광센서와 대응되도록 형성되는 제1반사부를 포함하여 구성되고,
    상기 제2센서부는,
    상기 하부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2광센서와,
    상기 하부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제2광센서와 대응되도록 형성되는 제2반사부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부셔틀은
    제1레일을 따라 좌우로 왕복운동하는 상부셔틀 프레임과,
    상기 상부셔틀 프레임에 설치되는 제1구동부와,
    상기 제1구동부에 의해 상하로 승강되는 상부셔틀 플레이트와,
    상기 상부셔틀 플레이트 하부에 형성되어 상기 기판을 진공으로 흡착하는 흡착부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1필름박리수단은 제3레일을 따라 좌우로 이동하며, 상기 하부 필름에 부착되도록 제1테이프가 수직으로 형성된 축을 따라 상하로 이동하는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1광센서와 제1반사부는 상기 상부셔틀에 안착되는 기판의 크기에 따라 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 다르게 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1센서부는
    상기 상부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제1투광부와,
    상기 상부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제1투광부와 대응되도록 형성되는 제1수광부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 1 있어서,
    상기 제2광센서와 제2반사부는 상기 하부셔틀에 안착되는 기판의 크기에 따라 설치되는 간격을 조절하거나 설치되는 갯수를 다르게 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2센서부는
    상기 하부셔틀의 일측에 길이방향으로 일렬로 형성되는 다수 개의 제2투광부와,
    상기 하부셔틀의 타측 가장자리 길이방향으로 상기 제2투광부와 대응되도록 형성되는 제2수광부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부셔틀과 상기 하부셔틀에 안착되는 상기 기판의 보호필름이 상기 제1필름박리수단 및 상기 제2필름박리수단에 의해 박리되기 전에 상기 제1테이프와 제2테이프에 부착되어 쉽게 박리되도록 상기 기판의 가장자리 일측에 흠집을 생성하는 스크래치발생부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 필름회수부는 상기 제1필름박리수단과 상기 제2필름박리수단 사이를 왕복운동하면서 상기 기판으로부터 박리되어 제1테이프 또는 제2테이프에 부착된 필름을 집어서 폐기하는 클램프와,
    폐기된 필름이 담기는 필름회수용기와,
    상기 필름회수용기에 담긴 상기 필름을 흡입하는 덕트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1반사부와 제2반사부에 각각 레이저광을 발산하여 상기 제1반사부와 제2반사부에서 반사되는 레이저광을 수광하는 상기 제1광센서와 제2광센서에서 센싱된 값에 의해 필름 박리 여부를 확인할 수 있는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 박리유무 확인이 가능한 보호필름 박리장치.
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