JP2000062942A - 半導体パッケージの搬送方法、レーザ捺印方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 トレイ内での半導体パッケージの位置ずれを
防止した状態で搬送できる技術、及びパッケージ表面に
対して精度よく捺印できるようにしたレーザ捺印方法及
びその装置の技術を提供することを課題とする。 【解決手段】 半導体パッケージＰをそれぞれ収納する
複数の収納凹部ｔ１内でパッケージＰが移動可能なトレ
イＴを用い、そのトレイＴを移動させつつ、各パッケー
ジＰの表面に対して順次レーザ光を照射して捺印する装
置であって、トレイ搬送装置ＴＨと、レーザ照射装置Ｌ
Ｚと、それらを載せて傾斜状態に支持する傾斜台ＫＤと
を備え、トレイ搬送装置ＴＨは、トレイＴを載せる搬送
ステージ１６と、その搬送ステージ１６の傾きを調整す
るための傾斜機構ＫＳと、搬送ステージ１６をトレイＴ
の表面に沿う方向へ移動させる移動機構ＲＢとを含み、
傾斜台ＫＤは、レーザ照射装置ＬＺによるレーザ光軸が
パッケージＰの表面に対して直交するような傾斜角度に
設定する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体パッケージ
をそれぞれ収納する複数の収納凹部内でパッケージが移
動可能なトレイを用いて搬送する半導体パッケージの搬
送方法、パッケージ表面へのレーザ捺印方法及びその装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体パッケージを収納できる平面矩形
の凹部を多数備えたトレイに、凹部の内寸法とパッケー
ジ外形との寸法差が０．１〜０．２ｍｍ程度で、がたが
ほとんどない状態で整列収納されているパッケージ表面
にレーザ光にて捺印する方法として、図９に示すような
トレイ搬送装置を有するレーザ捺印装置により行われて
いる。

【０００３】この図９及び図１０を参照して説明する
と、パッケージＰが整列収納されているトレイＴを段積
みで、随時供給可能な、かつ段積みトレイを下側部分に
設けたトレイを一枚ずつ切り出すトレイ切り出し機構を
具備したトレイ供給部であるＡ部にセットする。

【０００４】次に、前記下部の切り出し機構より一枚ず
つ切り出されたトレイは、搬送機構Ｂにより待機位置Ｃ
まで水平搬送される。

【０００５】次に、Ｘ軸移動部、Ｙ軸移動部を組み合わ
せたＸＹロボットＲＢに取り付けられ、チャック機構を
具備したトレイ搬送アームＤによりトレイをＣ部よりチ
ャックし、ＸＹ動作しながら水平搬送を行う。このと
き、上部に設置してあるレーザ本体Ｅのヘッド部ＥＬか
らのレーザ光によりトレイ内のパッケージ表面にレーザ
捺印を行う。

【０００６】次に、トレイ搬送機構Ｇにより置き台Ｆか
らトレイ収納部Ｈに搬送される。収納部Ｈは下部にトレ
イの押し上げ用の上下機構と、押し上げられたトレイを
保持するチャック機構からなり、トレイが搬送されてく
ると一枚ごとに押し上げチャックし、トレイの段積み収
納を行う。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の装置では、パッケージＰが収納されているトレイＴ
の収納凹部ｔ１の内寸法とパッケージＰの外形寸法の差
が０．３〜１．０ｍｍ程度でがたが大きい場合に、トレ
イＴを水平に保持し、ＸＹ方向に搬送、又はピッチ送り
のスピードを早めた時、パッケージＰが軽量のために収
納凹部ｔ１内でＸ、Ｙ方向及び、回転（θ）方向にずれ
を生じ、トレイＴの搬送上部に設置したレーザ照射装置
でレーザ捺印を行った時に捺印文字がＸ、Ｙ方向にずれ
るという問題があった。

【０００８】よって、本発明は、トレイ内での半導体パ
ッケージの位置ずれを防止した状態で搬送できる技術、
及びパッケージ表面に対して精度よく捺印できるように
したレーザ捺印方法及びその装置の技術を提供すること
を課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、半導体パッケージＰをそれぞれ収納す
る複数の収納凹部ｔ１内でパッケージＰが移動可能なト
レイＴを用いて搬送する際に、パッケージＰが収納凹部
ｔ１内の隅部分に偏って位置するようにトレイＴを傾け
た状態に保持して搬送する方法を採用した。その場合、
トレイＴの搬送途中又は搬送後におけるトレイＴが傾い
た状態にあるとき、トレイＴに振動を与えるのも大変好
適である。

【００１０】また、本発明では、半導体パッケージＰを
それぞれ収納する複数の収納凹部ｒｔ１を有し、各収納
凹部ｔ１は内部でパッケージＰが移動できる程度の大き
さに形成されているトレイＴを用い、そのトレイＴを移
動させつつ、各パッケージＰの表面に対して順次レーザ
光を照射して捺印する方法であって、各パッケージＰが
各収納凹部ｔ１内の隅部分に偏って位置するようにトレ
イＴを傾けた状態で移動させる工程と、パッケージ表面
に対して直交する方向からレーザ光を照射して捺印する
工程とを含む方法とした。その場合、トレイＴの各収納
凹部ｔ１は平面ほぼ矩形であって四隅を有し、その四隅
のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなるようにトレ
イＴを傾ける方法とすることもできる。

【００１１】また、本発明では、半導体パッケージＰを
それぞれ収納する複数の収納凹部ｔ１内でパッケージＰ
が移動可能なトレイＴを用い、そのトレイＴを移動させ
つつ、各パッケージＰの表面に対して順次レーザ光を照
射して捺印する装置であって、トレイ搬送装置ＴＨと、
レーザ照射装置ＬＺと、それらを載せて傾斜状態に支持
する傾斜台ＫＤとを備え、トレイ搬送装置ＴＨは、トレ
イＴを載せる搬送ステージ１６と、その搬送ステージ１
６の傾きを調整するための傾斜機構ＫＳと、搬送ステー
ジ１６をトレイＴの表面に沿う方向へ移動させる移動機
構ＲＢとを含み、傾斜台ＫＤは、レーザ照射装置ＬＺに
よるレーザ光軸がパッケージＰの表面に対して直交する
ような傾斜角度に設定する構成とした。

【００１２】ここで、搬送ステージ１６は、その搬送ス
テージ上の所定位置にトレイＴを位置決めするためのア
ライメント機構ＰＳを備える構成とすることもできる。
また、搬送ステージ１６は、その搬送ステージ上に位置
決めされたトレイＴを搬送ステージに対して押さえ付け
る押さえ機構ＯＳを備えた構成とすることもできる。ま
た、搬送ステージ１６は、トレイＴに振動を与えるバイ
ブレータ３０を備えた構成とすることもできる。また、
バイブレータ３０は、トレイＴの長手方向に振動が伝達
されるように設定した構成とすることもできる。また、
傾斜台ＫＤの表面は、平面矩形であってその四隅のうち
の一隅側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形
成され、その傾斜面上にトレイ搬送装置ＴＨ及びレーザ
照射装置ＬＺが搭載されている構成とすることもでき
る。さらに、傾斜台は、トレイ搬送装置ＴＨを載せる第
１の傾斜台ＫＤと、レーザ照射装置ＬＺを載せる第２の
傾斜台３４とを有し、共に同一傾斜角に設定してある構
成とすることもできる。

【００１３】一方、本発明のレーザ捺印装置は、パッケ
ージＰを収納したトレイＴを１枚ずつ切り出す機構を備
えたトレイ供給部４１と、トレイＴを１枚ずつ搬送する
トレイ搬送部４２と、搬送されたトレイＴを一時保管す
るバッファーレール４３と、バッファーレール４３から
捺印部の搬送ステージ１６にトレイＴを押込むための押
込みアーム４４と、傾斜したベース４５上に配置され、
前記搬送ステージ及び搬送ステージの傾斜機構を有する
トレイ搬送装置ＴＨと、搬送ステージ１６の上部にレー
ザ照射光が直交するように配置したレーザ照射装置ＬＺ
と、搬送ステージ１６からトレイＴを引き出すためのチ
ャック機構を具備した引き出しアーム４６と、複数のト
レイ置台間を往復動作をするシフト機構４９と、ブラシ
を保持し左右動作するブラシ機構５０と、トレイＴを置
台４８から置台５２まで搬送する搬送台を具備したピッ
チ送り可能な搬送機構部５１と、搬送機構部５１の搬送
途中の上部で直角に交わる位置に配置され、カメラを保
持してピッチ送り可能なカメラ搬送機構部５３と、パッ
ケージＰの吸着アームを有し、パッケージＰの不良排出
及び歯抜け供給を行う排出供給機構５４と、トレイ収納
部５７までトレイを搬送するトレイシフト搬送機構５８
とを備えた構成とした。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照し、本発明の好
適な実施の形態について説明する。図１〜４図は、本発
明の実施の形態に係るレーザ捺印装置のトレイ搬送装置
を示す図で、図１は搬送ステージの傾斜機構を示す平面
図、図２はトレイ搬送装置の側面図、図３はその平面
図、図４は図２同様の側面図である。

【００１５】図１及び図２において、１６はトレイの搬
送ステージであり、傾斜機構ＫＳを介してユニットベー
ス１に支持されている。この傾斜機構ＫＳについては、
次のような構成である。

【００１６】ユニットベース１に支持板２を両サイドに
設置し、この支持板２に軸芯が同一になるように四角に
囲った回転ユニット９を介して第１の回転軸３、４を設
けている。回転軸３の軸端には回転伝達用のプーリー５
を取り付け、このプーリー５には、モーター８の出力軸
に固定してあるプーリー６との間に掛け渡したベルト７
を介してモーター８の回転を伝えている。モーター８
は、例えば回転角度制御可能なステップモータ等からな
る。

【００１７】回転軸３の他端は回転ユニット９の一端部
に固定してある。又、回転軸４の一端を回転ユニット９
の他端に固定している。これにより、回転ユニット９は
モータ８を動力とし、回転軸３、４の軸回りに所定角度
回転することができる。回転軸３、４は同一軸線上に位
置し、第１の回転軸を構成している。

【００１８】回転ユニット９上には、回転ユニット９の
長手方向中間部であって、第１の回転軸３、４の軸線に
対し直角となる位置に、第２の回転軸１０を軸支してい
る。この第２の回転軸１０の一端部に回転伝達用プーリ
ー１１を取付けている。このプーリー１１には、モータ
ー１２の出力軸に設けたプーリー１３との間に掛け渡し
たベルト１４を介してモータ１２の回転を伝達する。

【００１９】第２の回転軸１０には、駒１５を間隔をお
いて２個個着し、この駒１５を利用してトレイＴを保持
する搬送ステージ１６を水平に架設してある。

【００２０】この傾斜機構ＫＳの動作や機能について
は、第１の回転軸３、４をプーリー５、６とベルト７を
介してモーター８により回転ユニット９をＹ方向（第１
の回転軸回りの方向）にある一定角度（１５〜３０度）
回転させた状態でこれを保持する。次に第２の回転軸１
０をプーリー１１、１３とベルト１４を介してモーター
１２により搬送ステージ１６をＸ方向（第２の回転軸回
りの方向）にある一定角度（１５〜３０度）回転させた
状態でこれを保持する。

【００２１】このように構成すれば、第１の回転軸３、
４と第２の回転軸１０を用いて、それぞれの回転軸を同
持動作させることにより、トレイＴをＸ、Ｙ方向にそれ
ぞれ同時に傾けることができる。これにより、トレイＴ
内に収納されている半導体パッケージＰのアライメント
が可能となる。

【００２２】次に、トレイＴの押さえ機構ＯＳについて
説明する。図３及び図４において、トレイ搬送搬送ステ
ージ１６は平面長方形であり、その四隅近くに軸支用の
駒２１を固定してある。これらの駒２１は、図示例では
搬送ステージ１６の幅方向両サイドに配置している。そ
して、これらの駒２１に軸支される回転軸２２を設けて
いる。回転軸２２は平行に２本配置している。

【００２３】この回転軸２２にはトレイＴの押さえツメ
２３をあるピッチ間隔をおき複数取り付ている。図３に
示す例では片側に６個、合計１２個取り付けている。又
搬送ステージ１６の下部にシリンダー２４が配置され、
そのロッド２４ａの端部は、図示しない回転機構を介し
て回転軸２２と連結されている。この回転機構は搬送ス
テージ１６の両サイドに対象位置に設けてある。これに
よりトレイＴの押さえ機構ＯＳを構成している。

【００２４】搬送ステージ１６の一端側（矢印で示すト
レイ供給側）には、トレイＴのアライメント機構ＰＳを
配置している。このアライメント機構ＰＳは、搬送ステ
ージ１６の下面側に配置したシリンダー２６と、そのロ
ッド２６ａの先端に設けたアライメントツメ２５とを有
する。シリンダー２６は、搬送ステージ１６のほぼ対角
線方向になるように斜めに配置してあり、したがって、
アライメントツメ２５も斜めに移動する。

【００２５】アライメントツメ２５は、図４に示すよう
に搬送ステージ１６の表面側へ立ち上がっており、図８
に示すようにトレイＴのコーナーの一端部を平坦にした
部分ｔ２に押し当ててトレイＴを押し込むことができる
ように設計している。

【００２６】搬送ステージ１６上の幅方向両サイド近く
には、トレイ押し込み時に搬送ステージ１６上でトレイ
Ｔをスライドさせつつ案内するためのレール状のガイド
駒２７が配置されている。ガイド駒２７、２７の間隔
は、トレイＴの幅よりも僅かに大きく設定されている。
さらに、搬送ステージ１６上の他端側にも、同じくレー
ル状のガイド駒２８が配置され、トレイＴの押し込み位
置を規制するように設計されている。

【００２７】このような構成において、トレイＴの押さ
えツメ２３とアライメントツメ２５共に開いた状態の搬
送ステージ１６上に、トレイＴのコーナーの一端部を平
坦にした部分ｔ２を後方にした状態で矢印の方向から図
示しないトレイ押込み機構にてトレイＴが搬送ステージ
上面をスライドしてくると、トレイＴの幅よりも例えば
０．５〜０．８ｍｍ程度広くして配置してあるトレイガ
イド駒２７の間を、突き当たりのガイド駒２８の位置ま
で押込まれセットされる。

【００２８】次に、シリンダー２６と連動しているアラ
イメントツメ２５が動作しトレイＴの平坦部を押さえ込
み、トレイＴのアライメントツメ２５と反対側のガイド
駒２７とガイド駒２８に押し付けてトレイＴをアライメ
ントする。

【００２９】次に、搬送ステージ１６の下部に付設して
あるシリンダー２４の駆動によって、搬送ステージ１６
の押さえツメ２３が閉じ、アライメントされたトレイＴ
の両サイド部分を押さえ込み、その位置に位置決めす
る。

【００３０】このようにトレイサイドを押さえ込むこと
により、トレイＴの搬送時において位置ずれを起こさな
い、又トレイサイドを押さえることにより、トレイＴに
生じているそりもなくなりトレイ上面が常に平坦な状態
で搬送されることになる。

【００３１】ところで、このトレイ搬送装置ＴＨの搬送
ステージ１６には、次のような配慮もさらに加えられて
いる。即ち、搬送ステージ１６の底部に振動発信器であ
るバイブレーター３０を振動がトレイＴの長手方向に伝
わるように、トレイＴの長手方向に向けて付設してい
る。

【００３２】このようにバイブレータ３０を設けておく
ことで、例えばトレイＴの収納凹部ｔ１内寸法とパッケ
ージＰの外形寸法差が０．３〜１．０ｍｍとがたの大き
いパッケージＰが収納されているトレイＴをＸ方向、Ｙ
方向にそれぞれ１５〜３０度傾けた状態で、搬送ステー
ジ１６の下部に付設した振動源であるバイブレーター３
０からトレイＴの長手方向に向けてパッケージＰが動く
程度の弱い振動を発信する。

【００３３】すると、振動はバイブレーター３０から搬
送ステージ１６、搬送ステージ１６からトレイＴへと伝
わり、トレイＴ内のパッケージＰは図８のように、傾け
られているトレイＴ内収納凹部ｔ１の一番低いコーナー
（四隅のうちの一番低い一隅側）に移動する。

【００３４】このようにトレイＴを傾けた状態でトレイ
Ｔに外部より振動を与えることにより、トレイＴの各収
納凹部ｔ１内に収納されているパッケージＰは、収納凹
部ｔ１内の―辺のコーナーに整列されるため、自動搬送
時におけるトレイＴ内のパッケージＰの自動整列が可能
となる。

【００３５】この場合、トレイサイドの押さえ機構ＯＳ
によってトレイサイドをクランプすることにより、搬送
ステージ１６とトレイＴの接触がよく、振動もトレイＴ
全面に均一に伝わり、トレイＴ内の全てのパッケージＰ
を同時にしかも効率よく整列させることができる。

【００３６】図５は、第１の傾斜台ＫＤの構成を示す斜
視図である。この図５から明確に理解できるように、第
１の傾斜台ＫＤは、上部を平面状態から左側端面を基準
に他端を１５度傾けてＸ方向の傾きとし、次に前面を基
準に他端を１５度後方に傾けてＹ方向の傾きとして形成
したものである。換言すれば、第１の傾斜台ＫＤの表面
は、平面矩形であってその四隅のうちの一隅ｋｃ側が残
りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成している。
この第１の傾斜台ＫＤは軽量化を考慮して、骨組み構造
としている。

【００３７】そして、この第１の傾斜台ＫＤの上に、図
６及び図７のようにベース４５を固定し、そのベース４
５の上に、Ｘ軸移動部３１を下側にＹ軸移動部３２を上
側に配置して組み合わせたＸＹロボットＲＢを設置し、
Ｙ軸移動部３２に対して、搬送ステージ１６を具備した
トレイ搬送装置のユニットベース１を取付けている。

【００３８】レーザ照射装置ＬＺは、先端部にレンズを
具備した円筒形のレーザ発射部３６を有する本体部３５
と、本体部３５を傾斜状態で搭載する第２の傾斜台３４
とを含む構成である。レーザ発射部３６は、ＸＹロボッ
トＲＢにより移動する搬送ステージ１６の動作範囲内の
上部に位置するように設定してある。さらに、このレー
ザ発信部３６からのレーザ光軸が、搬送ステージ１６に
て搬送されるトレイＴ内に収納してあるパッケージＰの
表面に対して直交するように設定してある。

【００３９】この設定は、第２の傾斜台３４の傾斜角度
により決定してある。即ち、第２の傾斜台３４も、第１
の傾斜台と同様に、平面矩形であってその四隅のうちの
一隅側が残りの三隅よりも低くなるような傾斜面に形成
している。基本的には第１の傾斜台ＫＤと第２の傾斜台
３４の表面は互いに平行となるように設定してある。し
たがって、両者の表面は同じ角度をもつように傾斜して
いる。これにより、レーザ照射装置ＬＺ及びトレイ搬送
装置ＴＨは共に同一角度で傾斜している。

【００４０】このような構成において、図示しないトレ
イ搬送部よりトレイＴを受け取る時には、回搬送ステー
ジ１６を図６の（ａ）の位置に移動させ、搬送ステージ
１６の上面を水平状態にしてトレイＴを受け取る。

【００４１】次に、図１〜図４で説明したように、トレ
イＴのクランプとトレイＴ内のパッケージＰの整列をし
た後に、搬送ステージ１６をＸ方向及びＹ方向への傾け
（１５度）動作を行う。この時、搬送ステージ１６の上
面とＸＹロボットを固定してあるベース３１とは平行状
態となる。またこの時、トレイＴの収納凹部内に収納さ
れているパッケージＰはＸ方向及びＹ方向にそれぞれ傾
けられた収納凹部内で一番低いところのコーナーに整列
された状態となる。

【００４２】次に、搬送ステージ１６を図６の（ｂ）の
捺印位置に移動させる。その位置で、搬送ステージ１６
をＸＹロボットＲＢによりピッチ送りをし、トレイＴの
収納凹部内に整列収納されているパッケージＰ表面に、
搬送経路の上部に設置してあるレーザ照射装置のレーザ
発射部３６から発射されるレーザにより順次捺印する。
捺印完了後は再び前記（ａ）のようにトレイＴ受け渡し
位置に移動し搬送ステージ１６を水平状態に戻し図示し
ない搬送部へのトレイＴの受け渡しを行う。

【００４３】このように、トレイＴの収納凹部とパッケ
ージＰの外形寸法の差（０、３〜１、０ｍｍ）が大き
く、パッケージＰがたついていても、搬送ステージをＸ
方向及びＹ方向へそれぞれある―定角度傾けて搬送する
ことにより、トレイＴ内のパッケージＰを収納凹部内の
一番低いところのコーナーに整列した状態を保ちながら
搬送することができる。

【００４４】そして、この傾斜状態を維持したまま、Ｘ
ＹロボットＲＢからなる移動機構により所定の捺印位置
でパッケージＰ相互の間隔でピッチ送りするだけで、搬
送ステージ１６と同等の傾きをもって設置したレーザ照
射機からのレーザ光によりパッケージＰの表面に効率よ
く捺印することができる。また、捺印中にパッケージＰ
が位置ずれしたりすることもないので、パッケージＰ表
面に文字の位置を精度よく捺印することができ、これら
の結果、生産効率も向上する。

【００４５】図７は、本発明の他の実施の形態に係るト
レイ自動搬送システムを含むレーザ捺印装置全体の構成
を示す概略平面図である。以下、この図７に示すシステ
ム構成及び動作等について説明する。なお、先の説明と
重複する部分についてはここでは概略的に説明する。

【００４６】この図７に示す例では、パッケージＰを収
納したトレイＴを段積み供給可能で、且つ下部よりトレ
イＴを１枚ずつ切り出す機構を備えたトレイ供給部４１
と、トレイＴを１枚ずつ搬送するトレイ搬送部４２と、
搬送されたトレイＴを一時保管するバッファーレール４
３と、バッファーレール４３から捺印部の搬送ステージ
１６にトレイＴを押込むための、上下機構を具備した押
込みアーム４４と、トレイＴの受け取り側を基準に他端
をＸ方向に傾け、またその位置からＹ方向にそれぞれ１
５度ずつ傾けたベース４５とを備える。

【００４７】さらに、ベース４５の上部にＸ軸移動部３
１を下側にＹ軸移動部３２を上側に組み合わせたＸＹロ
ボットＲＢと、このＹ軸移動部に傾斜機構ＫＳを具備す
る搬送ステージ１６を取付けてなるトレイ搬送装置ＴＨ
と、搬送ステージ１６の上部にレーザ照射光が直交する
ように配置した本体部３５とを備える。

【００４８】また、搬送ステージ１６からトレイＴを引
き出すためのチャック機構を具備した引き出しアーム４
６と、置台４７、４８を固定し、その間を上下機構を具
備し往復動作をするシフト機構４９と、ブラシを保持し
左右動作するブラシ機構５０と、トレイＴを置台４８か
ら置台５２まで搬送する搬送台を具備したピッチ送り可
能な搬送機構部５１と、搬送機構部５１の搬送途中の上
部で直角に交わる位置に配置され、カメラを保持してピ
ッチ送り可能なカメラ搬送機構部５３とを備える。

【００４９】また、前記同様設置したカメラ搬送機構部
５３の後部に、上下機構を具備したパッケージＰの吸着
アームを有し、置台５２から５６までをピッチ送りしつ
つパッケージＰの不良排出および歯抜け供給を行う排出
供給機構５４と、置台５５からトレイ収納部５７までト
レイを搬送する上下機構を具備したトレイシフト搬送機
構５８と、トレイＴを上昇するための上下機構を具備し
たアーム及び、トレイＴのチャック機構を具備したトレ
イ収納機構とを備える。

【００５０】このようなシステム構成においては、パッ
ケージＰ外形とほぼ同形に形成された溝部を多数個備え
た樹脂製のトレイＴの収納凹部ｔ１内にパッケージＰが
収納されているトレイＴを、下部よりトレイＴを１枚ず
つ切り出す機構を備えたトレイ供給部４１に段積みにセ
ットする。

【００５１】供給部４１の下部より切だされたトレイＴ
は搬送ステージを保持した搬送機構部４２によりバッフ
ァーレール４３に水平搬送され待機する。次にバソファ
ーレール端部より、第１の傾斜台ＫＳのベース４５上に
搭載してあるＸＹロボットＲＢに取付けた傾斜機構、ト
レイＴのアライメント機構、トレイＴのチャック機構、
バイブレータ等を備え、水平状態で待機している搬送ス
テージ１６内に、トレイ押込みアーム４４により前記待
機しているトレイＴを押込む。

【００５２】搬送ステージ１６に押込まれたトレイＴは
アライメントされその状態でチャックされその後、トレ
イＴチャックしたまま水平状態からＸ方向に１５度、Ｙ
方向に１５度とそれぞれ傾けられる。この傾けた位置に
おいてトレイＴ全体に振動を与え、トレイＴの各収納凹
部内に収納されているパッケージＰを全て一度に整列さ
せる。

【００５３】整列した状態において、ＸＹロボットＲＢ
の搬送範囲内の上部に設置してあるレーザ照射装置ＬＺ
のレーザ発射部３６より発射するレーザ光によりパッケ
ージ表面にレーザ捺印をする。

【００５４】捺印終了後、搬送ステージ１６はトレイＴ
の取り出し位置（置台４７の手前）に搬送され、この位
置において、搬送ステージ１６を水平状態にもどしチャ
ックを解く。

【００５５】次に、チャック引き出し機構４６により置
台４７にトレイＴを引き出す。引き出されたトレイＴは
シフト機構４９により置台４８にシフト搬送される。置
台４８に置かれたトレイＴはブラシ機構に固着してある
ブラシによりその上面を左右にブラッシングされる。こ
れにより、トレイＴ内に収納されているパッケージＰ上
面が清掃される。

【００５６】次に、トレイ搬送機構５１の搬送台により
置台４８から置台５２に向けてトレイＴをビッチ送り
（Ｘ動作）搬送を行う。この時、搬送上部に設置してあ
るカメラ搬送機構部５３のカメラにおいてカメラをトレ
イ搬送機構５１と直角方向にピッチ移動（Ｙ動作）さ
せ、トレイＴ内に捺印収納されているパッケージＰ上面
の印字状態を検査する。

【００５７】検査終了後のトレイＴは置台５２まで搬送
される。前記捺印検査において、捺印不良があった場合
には、カメラ搬送機構５３の後部に位置し、置台５２か
ら置台５６の上部に架設してあるパッケージＰの不良排
出及び歯抜け供給を行う排出供給機構５４の吸着アーム
により不良パッケージＰを、予めセットしてある置台５
６の空トレイＴ内に吸着搬送し、前記不良パッケージＰ
を取り出した歯抜け部分には、予めセットしてある置台
５５の良品トレイＴ内より良品パッケージＰを供給して
やる。

【００５８】上記動作を終了したトレイＴは、シフト機
構５８の搬送アームによりトレイ収納部５７にシフト搬
送され、その位置において収納部下部のトレイＴ押し上
げ用アームによりトレイＴを押し上げ、チックし段積み
収納する。

【００５９】このように、トレイＴの供給部においてト
レイＴの自動切り出し及トレイＴの自動搬送と、レーザ
捺印部において、トレイＴの傾き搬送をしながらレーザ
捺印をすること、収納搬送時においてトレイ内パッケー
ジＰの捺印検査と、パッケージＰの不良排出及び歯抜け
供給を行う排出供給機構と、トレイＴの段積み収納をし
たことにより、パッケージＰの外形とほぼ同形に形成さ
れた収納凹部を多数備えた樹脂製のトレイＴに、収納凹
部内寸法とパッケージＰの外枠寸法の差が０、３〜１、
０ｍｍとがたが大きいパッケージＰが収納されているト
レイＴの全自動の搬送及びレーザ捺印技術を実現するこ
とができる。

【００６０】なお、以上の実施形態では、レーザ捺印技
術を主体に説明したが、トレイＴ内にパッケージＰを収
納したままで、パッケージＰのフレーム等の測定または
外観検査等をしたい場合の装置にも適用可能である。

【００６１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、半導体
パッケージＰをそれぞれ収納する複数の収納凹部内でパ
ッケージが移動可能なトレイを用いて搬送する際に、パ
ッケージが収納凹部内の隅部分に偏って位置するように
トレイを傾けた状態に保持して搬送する方法を採用した
ので、トレイ内でのパッケージの位置ずれを確実に防止
した状態で搬送することができる。

【００６２】また、各パッケージが各収納凹部内の隅部
分に偏って位置するようにトレイを傾けた状態で移動さ
せる工程と、パッケージ表面に対して直交する方向から
レーザ光を照射して捺印する工程とを行うようにしたの
で、パッケージの位置ずれを防止した状態でパッケージ
表面に対して精度よく捺印することができる。これによ
り、レーザ捺印工程での不良品の発生を防止し、生産性
の向上を図ることができる。

【００６３】また、トレイの搬送途中又は搬送後におけ
るトレイが傾いた状態にあるとき、トレイに振動を与え
るようにすることによって、トレイ内のパッケージの全
てを収納凹部内の隅部分に瞬時に整列させることができ
る。そして、このようにトレイに振動を与えることで、
トレイを必要以上に傾けることなく、パッケージを整列
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の傾
斜機構を示す平面図である。

【図２】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の側
面図である。

【図３】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の搬
送ステージを示す平面図である。

【図４】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置を示
す側面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係るトレイ搬送装置の傾
斜台を示す斜視図である。

【図６】本発明の実施の形態に係るレーザ捺印装置要部
の構成を示す斜視図である。

【図７】本発明の実施の形態に係るレーザ捺印装置の全
体構成を示す概略平面図である。

【図８】本発明の実施の形態に係るトレイとパッケージ
の関係を示す平面図である。

【図９】従来例に係るレーザ捺印装置の全体構成を示す
概略平面図である。

【図１０】トレイの構成を示す概略平面図である。

【符号の説明】

Ｔ トレイ Ｐ パッケージ ＴＨ トレイ搬送装置 ＲＢ ＸＹロボット（移動機構） ＫＳ 傾斜機構 ＯＳ 押さえ機構 ＰＳ アライメント機構 ＬＺ レーザ照射装置 ＫＤ 傾斜台（第１の傾斜台） １ ベースユニット ２ 支持板 ３、４ 回転軸（第１の回転軸） ５、６ プーリー ７ ベルト ８、１２ モーター ９ 回転ユニット １０ 第２の回転軸 １６ 搬送ステージ ２３ 押さえツメ ２５ アライメントツメ ２７、２８ ガイド駒 ３０ バイブレータ ３１ Ｘ軸駆動部 ３２ Ｙ軸駆動部 ３４ 第２の傾斜台 ３５ 本体部 ３６ レーザ発射部

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体パッケージをそれぞれ収納する複
   数の収納凹部内でパッケージが移動可能なトレイを用い
   て搬送する際に、パッケージが収納凹部内の隅部分に偏
   って位置するようにトレイを傾けた状態に保持して搬送
   することを特徴とする、半導体パッケージの搬送方法。
2. 【請求項２】 前記トレイの搬送途中又は搬送後におけ
   るトレイが傾いた状態にあるとき、トレイに振動を与え
   ることを特徴とする、請求項１記載の半導体パッケージ
   の搬送方法。
3. 【請求項３】 半導体パッケージをそれぞれ収納する複
   数の収納凹部を有し、各収納凹部は内部でパッケージが
   移動できる程度の大きさに形成されているトレイを用
   い、そのトレイを移動させつつ、各パッケージの表面に
   対して順次レーザ光を照射して捺印する方法であって、
   各パッケージが各収納凹部内の隅部分に偏って位置する
   ようにトレイを傾けた状態で移動させる工程と、パッケ
   ージ表面に対して直交する方向からレーザ光を照射して
   捺印する工程とを含む、パッケージ表面へのレーザ捺印
   方法。
4. 【請求項４】 前記トレイの各収納凹部は平面ほぼ矩形
   であって四隅を有し、その四隅のうちの一隅側が残りの
   三隅よりも低くなるようにトレイを傾けることを特徴と
   する請求項３記載のパッケージ表面へのレーザ捺印方
   法。
5. 【請求項５】 半導体パッケージをそれぞれ収納する複
   数の収納凹部内でパッケージが移動可能なトレイを用
   い、そのトレイを移動させつつ、各パッケージの表面に
   対して順次レーザ光を照射して捺印する装置であって、
   トレイ搬送装置と、レーザ照射装置と、それらを載せて
   傾斜状態に支持する傾斜台とを備え、前記トレイ搬送装
   置は、トレイを載せる搬送ステージと、その搬送ステー
   ジの傾きを調整するための傾斜機構と、搬送ステージを
   トレイの表面に沿う方向へ移動させる移動機構とを含
   み、前記傾斜台は、前記レーザ照射装置によるレーザ光
   軸が前記パッケージの表面に対して直交するような傾斜
   角度に設定してあることを特徴とする、レーザ捺印装
   置。
6. 【請求項６】 前記搬送ステージは、その搬送ステージ
   上の所定位置にトレイを位置決めするためのアライメン
   ト機構を備えていることを特徴とする、請求項５記載の
   レーザ捺印装置。
7. 【請求項７】 前記搬送ステージは、その搬送ステージ
   上に位置決めされたトレイを搬送ステージに対して押さ
   え付ける押さえ機構を備えていることを特徴とする、請
   求項５又は６に記載のレーザ捺印装置。
8. 【請求項８】 前記搬送ステージは、トレイに振動を与
   えるバイブレータを備えていることを特徴とする、請求
   項５〜７の何れかに記載のレーザ捺印装置。
9. 【請求項９】 前記バイブレータは、トレイの長手方向
   に振動が伝達されるように設定してあることを特徴とす
   る、請求項８記載のレーザ捺印装置。
10. 【請求項１０】 前記傾斜台の表面は、平面矩形であっ
    てその四隅のうちの一隅側が残りの三隅よりも低くなる
    ような傾斜面に形成され、その傾斜面上に前記トレイ搬
    送装置及びレーザ照射装置が搭載されていることを特徴
    とする、請求項５記載のレーザ捺印装置。
11. 【請求項１１】 前記傾斜台は、前記搬送装置を載せる
    第１の傾斜台と、前記レーザ照射装置を載せる第２の傾
    斜台とを有し、共に同一傾斜角に設定してあることを特
    徴とする、請求項１０記載のレーザ捺印装置。
12. 【請求項１２】 パッケージを収納したトレイを１枚ず
    つ切り出す機構を備えたトレイ供給部と、トレイを１枚
    ずつ搬送するトレイ搬送部と、搬送されたトレイを一時
    保管するバッファーレールと、バッファーレールから捺
    印部の搬送ステージにトレイを押込むための押込みアー
    ムと、傾斜したベース上に配置され、前記搬送ステージ
    及び搬送ステージの傾斜機構を有するトレイ搬送装置
    と、搬送ステージの上部にレーザ照射光が直交するよう
    に配置したレーザ照射装置と、搬送ステージからトレイ
    を引き出すためのチャック機構を具備した引き出しアー
    ムと、複数のトレイ置台間を往復動作をするシフト機構
    と、ブラシを保持し左右動作するブラシ機構と、トレイ
    を置台から置台まで搬送する搬送台を具備したピッチ送
    り可能な搬送機構部と、搬送機構部の搬送途中の上部で
    直角に交わる位置に配置され、カメラを保持してピッチ
    送り可能なカメラ搬送機構部と、パッケージの吸着アー
    ムを有し、パッケージの不良排出及び歯抜け供給を行う
    排出供給機構と、トレイ収納部までトレイを搬送するト
    レイシフト搬送機構とを備えたことを特徴とする、レー
    ザ捺印装置。