JP2001047600A - マスク印刷方法およびマスク印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 不良品として排除される印刷対象材を減少さ
せ得るマスク印刷方法，装置を提供する。 【解決手段】 マスク印刷装置は、印刷装置，マスク位
置決め支持装置，配線板支持昇降装置，検査装置，マス
ク清掃装置，搬送装置等を含み、搬送装置により搬送さ
れたプリント配線板を配線板支持昇降装置により位置決
め支持し、マスクに接触させた状態で印刷装置によりク
リーム半田を印刷する。印刷後、検査装置により印刷状
態を検査し、印刷量が不足していればマスクをマスク清
掃装置により自動で清掃する。清掃後、再度、プリント
配線板にクリーム半田を印刷し、印刷後、検査を行い、
なお印刷不良があれば印刷を停止する。再印刷により印
刷量の不足によるプリント配線板の製造ラインからの排
除を回避することができる。検査は、マスク印刷が行わ
れる場所から離れた場所において行ってもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスク印刷方法お
よび装置に関するものであり、特に、印刷不良に対する
対処に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】マスク印刷は、例えば、プリント配線板
にクリーム半田を印刷する場合に行われている。透孔を
有するマスクをプリント配線板に重ね、クリーム半田を
マスクに沿って移動させつつ透孔に押し込んでプリント
配線板に付着させるのである。このようにプリント配線
板にクリーム半田を印刷する場合、印刷量の不足や印刷
位置のずれ等の印刷不良が生ずることがある。そのた
め、従来、例えば、特開平５−５０５７８号公報に記載
されているように、プリント配線板へのクリーム半田の
印刷状態を検査し、検査の結果、印刷不良があれば、不
良の原因を解消し、印刷不良が繰返し生じないようにさ
れている。しかしながら、従来、印刷不良の原因を解消
することは行われているが、印刷不良が生じたプリント
配線板は不良品とされ、製造ラインから排除されてい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果】本発明は、以上の事情を背景とし、印刷不良が生じ
た印刷対象材をできる限り不良品としなくて済むマスク
印刷方法および装置を提供することを課題としてなされ
たものであり、本発明によって、下記各態様のマスク印
刷方法およびマスク印刷装置が得られる。各態様は請求
項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応
じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、
あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明
細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下
の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきでは
ない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場
合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければなら
ないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用す
ることも可能である。 （１）印刷対象材に被印刷剤をマスクを通して印刷する
方法であって、印刷対象材に被印刷剤をマスク印刷する
印刷工程と、その印刷工程において印刷された被印刷剤
の検査を行う検査工程と、その検査工程において、被印
刷剤の量が不足であることが発見された場合に、少なく
とも不足が発見された部分に、その不足を補う修正印刷
を行う修正印刷工程とを含むマスク印刷方法（請求項
１）。被印刷剤には、例えば、クリーム半田，接着剤等
がある。また、印刷対象材には、例えば、プリント配線
板や、チップ部品が容器により保持されたパッケージ電
気部品であって、リード線を有さないリードレス電気部
品の外部に露出した基材等がある。マスクは、繊維によ
り作られたスクリーンマスクでもよく、スクリーンマス
クが金属により補強されたコンビネーションマスクでも
よく、金属により作られたステンシルマスクでもよい。
印刷量の不足は、次項に記載されているように、印刷対
象材全体に再度、マスク印刷を行うことにより補っても
よく、あるいは、マスクを用いることなく、印刷対象材
に部分的に被印刷剤を印刷することができる装置を使用
し、印刷量の不足が生じた印刷スポットのみについて被
印刷剤を印刷することにより補ってもよい。検査は印刷
対象材に印刷された全部の被印刷剤について行ってもよ
く、一部のみについて行ってもよい。後者の場合、例え
ば、被印刷剤の量の不足が生じ易い部分や、印刷対象材
毎に無作為に抽出した部分について検査を行うのであ
る。被印刷剤の不足を補う修正印刷を行えば、被印刷剤
の不足を解消することが可能であり、被印刷剤の不足が
生じた印刷対象材を不良品としなくて済む。それによ
り、例えば、印刷対象材がプリント配線板であり、被印
刷剤の印刷がプリント回路板製造の１工程として行われ
る場合、製造ラインから排除されるプリント配線板を低
減させることができる。 （２）前記修正印刷工程が、前記印刷対象材全体に再び
マスク印刷を行う再印刷工程である (1)項に記載のマス
ク印刷方法（請求項２）。マスク印刷と同じ印刷動作の
繰返しにより、容易に修正印刷を行うことができる。 （３）前記再印刷工程が前記印刷工程より被印刷剤のマ
スクの透孔への押込み条件を緩くして行うものである
(2)項に記載のマスク印刷方法（請求項３）。押込み条
件は、例えば、押込圧力，押込時間等である。被印刷剤
の量は不足しているが、既にある程度は印刷されてお
り、再印刷工程として通常通りの印刷工程を再び実施す
れば、印刷量が過剰になり易い。それに対し、本態様に
よれば、印刷量が過剰になることを良好に回避し得る。 （４）前記検査工程が、前記印刷工程後の印刷対象材の
表面を撮像装置により撮像し、取得された画像に基づい
て前記被印刷剤の量の不足を発見する工程である(1)項
ないし (3)項のいずれか１つに記載のマスク印刷方法。
被印刷剤の量の不足は、種々の態様で現れる。例えば、
高さが不足し、あるいは被印刷剤が印刷されるべき部分
の少なくとも一部に被印刷剤が印刷されていない欠けが
生ずる。撮像装置は、例えば、 (6)項の３次元データ取
得装置に関連して記載されているように、スリット光源
と組み合わせて用いられる２次元撮像装置とすることが
でき、その場合には、上記 (6)項に記載の作用および効
果を得ることができる。撮像装置は、例えば、前記特開
平５−５０５７８号公報に記載されているように、レー
ザ変位センサにより構成してもよい。レーザ変位センサ
は、レーザビーム発生器，光学系，反射光集光装置等を
含み、レーザビームを被印刷剤に照射し、その反射光に
基づいて被印刷剤の像を取得する。撮像時には、レーザ
変位センサと被印刷剤とが、相対移動装置により相対移
動させられる。撮像装置は、被印刷剤を平面視において
撮像する撮像装置でもよい。このような撮像装置でも、
被印刷剤の欠けを発見することは可能である。撮像装置
と被印刷剤とは、撮像時に必要であれば、相対移動装置
により相対移動させる。 （５）前記検査工程が、前記印刷対象材と前記マスクと
をそれらの板面に直角な方向に離間させるが、板面に平
行な方向には相対移動させないで、印刷対象材とマスク
との間に前記撮像装置を進入させて行われる (4)項に記
載のマスク印刷方法。本態様によれば、印刷対象材とマ
スクとのそれらの板面に平行な方向の位置を変えること
なく、迅速に検査を行うことができる。 （６）前記検査工程が、前記印刷対象材と前記マスクと
をそれらの板面に平行な方向に相対移動させ、印刷対象
材の上方にはマスクが存在しない状態で行われる(4)項
に記載のマスク印刷方法。本態様によれば、印刷対象材
の上方にマスクが存在しない状態で検査を行うことがで
きるため、検査装置の構成，配置等の自由度が高い。 （７）前記修正印刷工程が、前記印刷対象材全体に再び
マスク印刷を行う再印刷工程であり、その再印刷工程の
前に、印刷対象材と前記マスクとのそれらの板面に平行
な方向の相対位置を合わせる再位置合わせ工程が行われ
る (6)項に記載のマスク印刷方法。マスク印刷時には、
印刷対象材とマスクとはそれらの板面に平行な方向にお
いて位置が合わされるが、検査のために両者をそれらの
板面に平行な方向に相対移動させれば、再び、マスク印
刷を行うべく、印刷位置に戻しても相対位置がずれるこ
とがある。そのため、マスク印刷による再印刷に先立っ
て印刷対象材とマスクとの位置合わせを行い、被印刷剤
が印刷対象材の印刷スポットに精度良く再印刷されるよ
うにすることが望ましい。 （８）少なくとも前記検査工程で被印刷剤の量の不足が
発見された場合に、前記マスクの清掃を行う清掃工程を
含む (1)項ないし (7)項のいずれか１つに記載のマスク
印刷方法（請求項４）。被印刷剤の量の不足の原因の一
つは、マスクの透孔の孔面への被印刷剤の付着であると
考えられる。そのため、マスクの清掃を行えば、付着し
た被印刷剤を除去し、印刷量の不足の原因を解消するこ
とが可能である。マスクの清掃は被印刷剤の量の不足時
以外にも行われるようにしてもよい。 （９）前記検査工程が、前記被印刷剤の量の不足以外
に、少なくとも１つの別の印刷不良について検査し、印
刷不良の種類を特定する工程である (1)項ないし (8)項
のいずれか１つに記載のマスク印刷方法。印刷不良の種
類を特定すれば、種類に応じた対策を講ずることができ
る。 （１０）前記別の印刷不良が、被印刷剤の量の過剰と被
印刷剤の印刷位置ずれとの少なくとも１つを含む (9)項
に記載のマスク印刷方法。なお、付言すれば、いちいち
記載はしないが、方法発明についても、装置発明に関し
て以下に記載する各特徴を採用することが可能であり、
装置発明についても、方法発明に関して記載した上記各
特徴を採用することが可能である。 （１１）印刷対象材を支持する対象材支持装置と、その
対象材支持装置に支持された印刷対象材に被印刷剤をマ
スクを通して印刷する印刷装置と、その印刷装置によっ
て印刷された被印刷剤の検査を行う検査装置と、その検
査装置により、被印刷剤の量が不足であることが発見さ
れた場合に、少なくとも不足が発見された部分に、その
不足を補う修正印刷を行う修正印刷装置とを含むマスク
印刷装置（請求項５）。本態様によれば、例えば、 (1)
項に記載のマスク印刷方法を良好に実施することができ
る。 （１２）前記検査装置が、印刷装置によって印刷された
被印刷剤を撮像する撮像装置を備え、撮像により取得し
た画像の処理により検査を行うものである(11)項に記載
のマスク印刷装置。撮像装置は、例えば、 (6)項の３次
元データ取得装置に関連して記載されているように構成
される。 （１３）前記対象材支持装置と前記マスクとをそれらの
板面に平行な方向に相対移動させてそれらの相対位置合
わせを自動で行う相対位置合わせ装置を含む(11)項また
は(12)項に記載のマスク印刷装置。発明の実施の形態の
項において説明するように、検査をマスク印刷が行われ
る位置とは別の位置において行う場合に、再印刷に先立
って位置合わせを行ってもよく、検査をマスク印刷が行
われる位置において行う場合に、再印刷に先立って位置
合わせを行ってもよい。対象材支持装置とマスクとの位
置合わせを行うことにより、印刷対象材の印刷スポット
に被印刷剤が精度良く印刷される。 （１４）前記相対位置合わせ装置が、前記対象材支持装
置に支持された印刷対象材と前記マスクとにそれぞれ設
けられた基準マークを撮像する撮像装置と、その撮像装
置により取得された画像に基づいて印刷対象材とマスク
との相対位置ずれを取得する位置ずれ取得装置とを含む
(13)項に記載のマスク印刷装置。基準マークを撮像する
撮像装置は、被印刷剤を撮像する撮像装置と同じでもよ
く、それとは別の装置でもよい。また、印刷対象材の基
準マークとマスクの基準マークとは、それぞれ別々の撮
像装置により撮像してもよく、共通の撮像装置により撮
像してもよい。後者の場合には、例えば、共通の撮像装
置の向きを上下反転させたり、共通の撮像装置に対して
２つの光学系を設け、それら２つの光学系が選択的に使
用されるようにしたりするのである。 （１５）前記修正印刷装置が、前記印刷装置に、前記印
刷対象材の全体について再びマスク印刷を行わせる再印
刷指令装置を含む(11)項ないし(14)項のいずれか１つに
記載のマスク印刷装置。本態様によれば、例えば、 (2)
項に記載のマスク印刷方法を良好に実施することができ
る。 （１６）前記印刷装置が、前記再印刷指令装置により再
印刷を指令された場合には、前記マスクの透孔への被印
刷剤の押込み条件を緩くする印刷条件緩和装置を含む(1
5)項に記載のマスク印刷装置。本態様によれば、例え
ば、 (3)項に記載のマスク印刷方法を良好に実施するこ
とができる。 （１７）前記マスクの清掃を自動で行う清掃装置を含む
(11)項ないし(16)項のいずれか１つに記載のマスク印刷
装置。清掃装置には種々の態様がある。発明の実施の形
態の項において説明するように、印刷対象材とマスクと
をそれらの板面に平行な方向に相対移動させることな
く、マスクを印刷に用いられる位置に位置決めしたまま
の状態で清掃する装置としてもよく、あるいは、マスク
印刷が行われる位置から外れた位置に設けられ、マスク
を印刷位置から外れた位置において清掃する装置として
もよい。後者の場合、清掃の済んだマスクを再度印刷に
使用してもよく、別のマスクを印刷に使用し、印刷と並
行して清掃を行うようにしてもよい。本態様によれば、
例えば、 (8)項に記載のマスク印刷方法を良好に実施す
ることができる。 （１８）少なくとも前記検査装置により前記被印刷剤の
不足が発見された場合に、前記清掃装置を作動させる清
掃指令装置を含む(17)項に記載のマスク印刷装置。 （１９）前記検査装置が、前記印刷装置から前記マスク
の板面に平行な方向に隔たった位置に設けられており、
かつ、当該マスク印刷装置が、検査装置の検査により被
印刷剤の不足が発見された印刷対象材を前記印刷装置へ
戻す印刷対象材戻し装置を含む(11)項ないし(18)項のい
ずれか１つに記載のマスク印刷装置。印刷対象材戻し装
置は、発明の実施の形態の項において説明するように、
印刷対象材を印刷が行われる位置へ搬入し、搬出する搬
送装置により構成してもよく、あるいは、搬送装置とは
別に設けてもよい。本態様によれば、例えば、 (6)項に
記載のマスク印刷方法を良好に実施することができる。
相対位置合わせ装置を有していれば、再印刷が精度良く
行われる。

【０００４】上記マスク印刷方法および装置における被
印刷剤の検査に、下記３次元データ取得方法および装置
を使用できる。 （１）３次元形状を有する撮像対象物に向かって平板状
のスリット光を放射するスリット光源と、撮像対象物の
表面の前記スリット光により照らされた部分の２次元像
を撮像する２次元撮像装置とを、一定の相対位置関係に
保つとともに、それらスリット光源および２次元撮像装
置と、前記撮像対象物とを予め定められた相対移動経路
に沿って相対移動させ、その相対移動中に、前記スリッ
ト光により照らされた部分の２次元像の撮像を複数回行
い、それら複数回の撮像結果に基づいて前記撮像対象物
の３次元データを得る３次元データ取得方法。撮像対象
物には、例えば、プリント配線板等の印刷対象材の表面
にマスク印刷されたクリーム半田，接着剤等の被印刷
剤、ＢＧＡ（Ball Glid Array ）およびＣＳＰ（Chip S
ize Package ）等の半田ボールがある。被印刷剤は、マ
スク印刷の他、ディスペンサ装置等の塗布装置を用いて
被印刷材にスポット状に塗布されたものでもよい。撮像
対象物はまた、電気部品，プリント配線路板に関するも
のに限らず、他のものでもよい。撮像は、スリット光源
および２次元撮像装置と撮像対象物との相対移動を止め
た状態で行ってもよく、移動を止めることなく行っても
よい。相対移動経路は、例えば、撮像対象物の表面に沿
った経路でもよく、 (2)項に記載されているように、撮
像対象物が設けられた面に沿った経路でもよい。前者の
場合、撮像対象物の表面に予定された凹凸があれば、そ
の予定の凹凸に正確に沿って湾曲あるいは屈曲した経路
としてもよく、予定の凹凸の平均を取った直線状の経路
としてもよい。スリット光源と２次元撮像装置とを一定
の相対位置関係に保てば、それらの相対位置の変化によ
る撮像対象物の像形成位置の変化がなくなる。そして、
相対移動経路を、撮像対象物のスリット光により照らさ
れた部分のうちで目的とする部分の像が、複数回の撮像
において、２次元撮像装置の撮像面のほぼ同じ位置に形
成されるように決定すれば、撮像面のうちの限られた領
域について画像処理を行えばよく、処理時間の短縮効果
が得られる。 （２）前記撮像対象物が、一平面から盛り上がった凸部
と、一平面からくぼんだ凹部との少なくとも一方を有す
る撮像対象物であり、前記予め定められた相対移動経路
が前記一平面に平行な直線である (1)項に記載の３次元
データ取得方法。凸部の高さおよび凹部の深さは、ほぼ
全体にわたって等しくてもよく、相対移動方向において
変化していてもよい。凸部の高さおよび凹部の深さがそ
れぞれ、撮像対象物全体において等しいのであれば、凸
部の表面および凹部の底面の像は、複数回の撮像の各々
において撮像面のほぼ同じ位置に形成され、画像処理時
間の短縮効果が得られる。凸部の高さおよび凹部の深さ
が変化していても、複数回の撮像の各々において、一平
面の像は撮像面の同じ位置に形成されるため、その分、
撮像面のうち、画像処理を行うべき部分が限定され、処
理時間を短縮することが可能である。 （３）前記撮像対象物が、プリント基板の表面にマスク
印刷された被印刷剤である (1)項または (2)項に記載の
３次元データ取得方法。マスク印刷された被印刷剤は、
本来、ほぼ全体に渡って同じ高さであるため、スリット
光により照らされた部分の２次元像の高さがほぼ一定と
なり、本発明の効果を特に有効に享受し得る。 （４）前記被印刷剤が、本来矩形状に印刷されるべきも
のである (3)項に記載の３次元データ取得方法。 （５）前記相対移動経路が前記矩形状の被印刷剤の長手
方向に平行である (4)項に記載の３次元データ取得方
法。相対移動経路を矩形状の被印刷剤の長手方向に選定
すれば、得られる２次元像が幅の比較的小さいものとな
り、かつ、幅方向の位置がほぼ一定となるため、画像処
理時間を効果的に短縮し得る。また、長手形状の被印刷
剤は、特に幅および幅方向の位置に精度を要求されるの
が普通であるため、相対移動経路を矩形状の被印刷剤の
長手方向に選定することはこの点からも有利である。移
動経路を長手方向に直角な方向にとって、２次元像を得
た場合には、幅寸法および幅方向の位置を精度良く取得
することが困難であるからである。なお、付言すれば、
いちいち記載はしないが、方法発明についても、装置発
明に関して以下に記載する各特徴を採用することが可能
であり、装置発明についても、方法発明に関して以上に
記載した各特徴を採用することが可能である。 （６）３次元形状を有する撮像対象物に向かって平板状
のスリット光を放射するスリット光源と、撮像対象物の
表面の前記スリット光により照らされた部分の２次元像
を撮像する２次元撮像装置と、それらスリット光源と２
次元撮像装置とを一定の相対位置関係で保持する保持装
置と、その保持装置と前記撮像対象物とを予め定められ
た相対移動経路に沿って相対移動させる相対移動装置
と、その相対移動装置による移動中に前記２次元撮像装
置に複数回の撮像を行わせ、それら撮像結果に基づいて
前記撮像対象物の３次元データを取得する制御装置とを
含む３次元データ取得装置。本態様によれば、例えば、
(1)項に記載の３次元データ取得方法を良好に実施し得
る。 （７）一平面から盛り上がった凸部と、一平面からくぼ
んだ凹部との少なくとも一方を有する撮像対象物の３次
元データを取得する装置であって、前記撮像対象物に向
かって平板状のスリット光を放射するスリット光源と、
撮像対象物の表面の前記スリット光により照らされた部
分の２次元像を撮像する２次元撮像装置と、それらスリ
ット光源と２次元撮像装置とを一定の相対位置関係で保
持する保持装置と、その保持装置と前記撮像対象物とを
前記一平面に平行な方向に相対移動させる相対移動装置
と、その相対移動装置による移動中に前記２次元撮像装
置に複数回の撮像を行わせ、それら撮像結果に基づいて
前記撮像対象物の３次元データを取得する制御装置とを
含む３次元データ取得装置。本態様によれば、例えば、
(2)項に記載の３次元データ取得方法を良好に実施し得
る。 （８）前記保持装置が、前記スリット光源と前記２次元
撮像装置とを、それらの光軸が前記一平面への垂線に対
して互いに異なる角度をなし、かつ、互いに交差する相
対位置に保持するものである (7)項に記載の３次元デー
タ取得装置。本態様の特徴によれば、スリット光に照ら
される部分からの正反射光が２次元撮像装置に入射する
ことを回避し得るため、正反射光の入射により撮像が妨
げられることを回避することができる。なお、スリット
光源と前記２次元撮像装置との光軸が互いに直交するよ
うにすれば、スリット光に照らされる部分全体が２次元
撮像装置の光軸に直角な平面上に位置することとなるた
め、２次元撮像装置の焦点をその照らされる部分全体に
合わせることができ、好都合である。 （９）前記２次元撮像装置とスリット光源とのいずれか
一方が、それの光軸が前記一平面と直交する向きに配設
された (7)項または (8)項に記載の３次元データ取得装
置。２次元撮像装置の光軸が前記一平面と直交するよう
にすれば、比較的長くなることが多い２次元撮像装置が
垂直方向に延びることになり、２次元撮像装置の設置ス
ペースの確保が比較的容易となる。また、スリット光源
の光軸が前記一平面と直交するようにすれば、スリット
光が直角な方向から前記一平面および撮像対象物の表面
に入射するため、斜め方向から入射する場合に比較し
て、スリット光により照らされた部分の幅が狭くなり、
その分、シャープな画像を取得することが容易となる。 （１０）前記制御装置が、前記３次元データとして前記
撮像対象物の３次元像データを得るものである (6)項な
いし (9)項のいずれか１つに記載の３次元データ取得装
置。３次元像データがあれば、例えば、撮像対象物の体
積等の３次元データを得ることができ、幅や位置等の２
次元データも得られる。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１には、本発明の実施形態
であるマスク印刷装置としてのマスク印刷機が概略的に
示されており、符号１０はベースである。ベース１０上
には、印刷対象材としてのプリント基板たるプリント配
線板１２を搬送する搬送装置たる配線板コンベヤ１４，
配線板コンベヤ１４により搬送されて来たプリント配線
板１２を支持して昇降する対象材支持装置の一種である
対象材支持昇降装置たる配線板支持昇降装置１６，配線
板支持昇降装置１６による配線板支持時にプリント配線
板１２を押さえる配線板押さえ装置（図示省略），マス
ク版１８を支持するマスク位置決め支持装置２０（図３
参照），プリント配線板１２に被印刷剤の一種であるク
リーム半田を印刷する印刷装置２２，マスク版１８のマ
スクを清掃するマスク清掃装置２４，印刷装置２２によ
ってプリント配線板１２に印刷されたクリーム半田の検
査を行う検査装置２６（図８参照），プリント配線板１
２に設けられた基準マークを撮像する配線板用基準マー
ク撮像装置２８（図８参照），マスクに設けられた基準
マークを撮像するマスク用基準マーク撮像装置２９（図
８参照）が設けられている。

【０００６】配線板コンベヤ１４は、図３に示すよう
に、位置を固定して設けられた固定レール３０と、固定
レール３０と平行に、かつ接近，離間可能に設けられた
可動レール３２とを有する。これら固定レール３０およ
び可動レール３２にはそれぞれ、巻掛部材たる無端のベ
ルト（図示省略）が長手方向に沿って取り付けられてお
り、プリント配線板１２はこれらベルト上に載置され、
ベルトが図示しないベルト駆動装置によって周回させら
れることにより搬送される。固定レール３０と可動レー
ル３２との間の距離は、プリント配線板１２の寸法に合
わせて調節される。プリント配線板１２は、図示しない
ストッパ装置により、搬送方向においてクリーム半田の
印刷が行われる印刷位置に停止させられる。ストッパ装
置は、プリント配線板１２の移動を止める作用位置と、
プリント配線板１２の搬送を許容する非作用位置とに移
動させられるストッパ部材を備え、プリント配線板１２
は、後述する配線板支持台４０の真上の位置において停
止させられる。

【０００７】プリント配線板１２の搬送方向において配
線板コンベヤ１４の上流側には、プリント配線板１２を
配線板コンベヤ１４に搬入する搬入コンベヤ３４（図１
０参照）が設けられ、下流側にはプリント配線板１２を
配線板コンベヤ１４から搬出する搬出コンベヤ３６（図
１０参照）が設けられている。これらコンベヤ１４，３
４，３６は、プリント配線板１２を搬送する搬送装置を
構成しており、プリント配線板１２を水平方向に搬送す
る。

【０００８】配線板支持昇降装置１６は、図１および図
２に示すように、印刷装置２２の下方に設けられ、固定
レール３０と可動レール３２との間を通って昇降可能に
設けられた対象材支持台たる配線板支持台４０を有す
る。配線板支持台４０は、本実施形態においては、負圧
によりプリント配線板１２を吸着し、水平に支持するも
のであり、昇降装置４２により、配線板コンベヤ１４の
下方に位置する下降端位置と、プリント配線板１２を配
線板コンベヤ１４のベルトから持ち上げてマスク版１８
のマスクの下面に接触させる上昇端位置とに昇降させら
れる。

【０００９】昇降装置４２は、配線板支持台４０に固定
のねじ軸４４と、ベース１０に回転可能かつ軸方向に移
動不能に設けられたナット４６と、ナット４６を回転さ
せるサーボモータ（図示省略）とを含む。サーボモータ
は駆動源の一種である電動モータたる電動回転モータで
あって、回転角度および回転速度の精度の良い制御が可
能なモータである。サーボモータに代えてステップモー
タを用いてもよい。本マスク印刷機において用いられる
他のサーボモータについても、いちいち記載はしない
が、同じである。サーボモータの回転は図示しない回転
伝達装置によってナット４６に伝達され、ナット４６が
回転させられることにより、ねじ軸４４が上下方向に移
動させられ、配線板支持台４０が昇降させられる。配線
板支持台４０の水平面内において配線板搬送方向に直角
な方向の寸法は、プリント配線板１２の幅に合わせて調
節可能である。

【００１０】配線板コンベヤ１４の、ストッパ装置によ
ってプリント配線板１２の移動が停止させられる部分に
は、プリント配線板１２を位置決めする位置決め装置が
設けられており、前記ストッパ装置により停止させられ
たプリント配線板１２は、位置決め装置により正確に位
置決めされる。位置決め装置は、プリント配線板１２の
板面に平行な方向に隔たった２箇所にそれぞれ昇降可能
に設けられた位置決め部材たる位置決めピンを有し、プ
リント配線板１２に設けられた位置決め穴に嵌入するこ
とにより、プリント配線板１２を位置決めする。位置決
めピンは、常には下降端位置にあり、配線板支持台４０
の上昇に伴って付勢装置、例えばスプリングの付勢によ
り上昇し、プリント配線板１２の位置決め穴に嵌入して
位置決めする。配線板支持台４０が下降端位置に位置す
る状態では、位置決めピンも下降端位置にあり、配線板
コンベヤ１４によるプリント配線板１２の搬送を妨げな
い。

【００１１】なお、図示しない配線板押さえ装置は、配
線板コンベヤ１４とマスク位置決め支持装置２０との間
に設けられており、板状の配線板押さえ部材を有する。
配線板押さえ部材は、プリント配線板１２上に位置する
押さえ位置と、プリント配線板１２上から退避した退避
位置とに移動させられる。前記配線板支持台４０は、昇
降装置４２により、上昇端位置および下降端位置の他、
プリント配線板１２を配線板押さえ部材に押し付け、吸
着する吸着位置にも移動させられ、停止させられる。配
線板支持台４０が上昇し、プリント配線板１２を配線板
コンベヤ１４のベルトからすくい上げるとき、同時に位
置決めピンがプリント配線板１２の位置決め穴に嵌入し
て、プリント配線板１２を配線板支持台４０に対して正
確に位置決めする。この位置決め後、配線板支持台４０
は更に上昇して吸着位置に到達し、プリント配線板１２
を配線板押さえ部材に押し付けるとともに負圧により吸
着する。この際、位置決めピンはまだ、位置決め穴に嵌
入したままであり、プリント配線板１２は位置決めピン
により位置決めされた状態で配線板支持台４０により支
持される。配線板支持台４０が更に上昇させられれば、
位置決めピンは位置決め穴から離脱させられる。プリン
ト配線板１２がマスク版１８のマスクに接触させられて
クリーム半田が印刷されるときには、位置決めピンは位
置決め穴から離脱させられているのである。

【００１２】前記マスク版１８は、図３に示すように、
マスク４８の周縁部がマスク枠５０の下面に固定されて
成る。マスク４８は、本実施形態ではステンシルマスク
とされており、ニッケル合金，ステンレススチール等に
より作られている。このマスク４８には、厚さ方向に貫
通する透孔５１が複数、形成されている。本実施形態に
おいては、複数の透孔５１はいずれも、マスク４８の板
面に平行な断面形状が矩形（正方形を含む）をなす。プ
リント配線板１２の一平面状をなす表面４９（図５参
照）上には、クリーム半田が塗布される複数の印刷スポ
ットがあり、マスク４８のそれら印刷スポットに対応す
る位置にそれぞれ透孔５１が形成されている。透孔５１
は、本実施形態では、上記断面形状である矩形の一方の
辺がＸ軸方向に平行となり、他方がＹ軸方向に平行とな
るように形成されている。

【００１３】マスク位置決め支持装置２０は、図４およ
び図５に示すように、マスク枠５０を支持するマスク支
持台５２を備えている。マスク支持台５２は板状を成
し、前記ベース１０上に立設された４本の支柱５４上に
固定されている。マスク支持台５２には、図２に示すよ
うに厚さ方向に貫通する開口５６が形成され、マスク枠
５０はマスク支持台５２の開口５６の周縁部により支持
されている。

【００１４】マスク支持台５２のマスク枠５０の４隅に
対応する位置にはそれぞれ、図４に示すように、ボール
ユニット６０が設けられている。ボールユニット６０
は、まだ、未公開であるが、本出願人に係る特願平１０
−３５９０４４号の明細書に記載されたボールユニット
と同様に構成されており、簡単に図示および説明する。

【００１５】ボールユニット６０は、ユニットケース６
２（図５参照）内に回転可能に収容されたボール６４お
よび付勢手段の一種である弾性部材たるスプリング（図
示省略）を含む。マスク版１８がマスク支持台５２に固
定されていない状態では、ボール６４はユニットケース
６２から上方へ突出した突出位置に位置し、マスク版１
８が載せられるようにされ、マスク版１８のマスク支持
台５２への固定時には、スプリングの付勢力に抗してケ
ース内に引っ込んだ引込位置へ移動し、マスク枠５０が
マスク４８を介して間接にマスク支持台５２に接触する
ことを許容する。

【００１６】上記マスク支持台５２には、図４および図
５に示すように、押圧装置付位置調節装置７０および固
定装置７２が設けられている。これら押圧装置付位置調
節装置７０および固定装置７２は、上記特願平１０−３
５９０４４号の明細書に記載された押圧装置付位置調節
装置および固定装置と同様に構成されており、簡単に図
示および説明する。

【００１７】押圧装置付位置調節装置７０は、マスク版
１８のマスク支持台５２に対するＸ軸方向（プリント配
線板１２の搬送方向と平行な方向）の位置を調節するＸ
軸方向用押圧装置付位置調節装置７４と、水平面内にお
いてＸ軸方向と直角なＹ軸方向の位置を調節するＹ軸方
向用押圧装置付位置調節装置７６とを含む。Ｘ軸方向用
押圧装置付位置調節装置７４は、Ｘ軸方向位置調節装置
７８およびＸ軸方向押圧装置８０を含む。Ｘ軸方向位置
調節装置７８は、サーボモータを駆動源とする電動シリ
ンダにより構成された位置調節用シリンダ８２と、位置
決め部材たる頭部８６とを含み、マスク枠５０が頭部８
６に当接させられて位置決めされる。頭部８６が位置調
節用シリンダ８２によってＸ軸方向に移動させられるこ
とにより、マスク枠１８のマスク支持台５２に対するＸ
軸方向における位置が自動的に調節される。

【００１８】Ｘ軸方向押圧装置８０は、Ｘ軸方向におい
てＸ軸方向位置調節装置７８と対向して設けられ、エア
シリンダにより構成された押圧用シリンダ９０と、位置
決め部材たる頭部９４とを備えている。エアシリンダ
は、駆動源たる流体圧アクチュエータであって、流体圧
シリンダの一種である。本マスク印刷機に設けられた他
のエアシリンダについても、いちいち記載はしないが、
同じである。頭部９４が押圧用シリンダ９０によって移
動させられることにより、マスク枠１８が頭部８６に押
し付けられる。Ｙ軸方向用押圧装置付位置調節装置７６
は、Ｘ軸方向位置調節装置７８およびＸ軸方向押圧装置
８０と同様に構成されたＹ軸方向位置調節装置９６およ
びＹ軸方向押圧装置９８を２組ずつ備えている。なお、
図５においては、Ｙ軸方向押圧装置９８の図示が省略さ
れている。

【００１９】前記固定装置７２は、図５に示すように、
４組のクランプユニット１０２を備えている（図５にお
いては、クランプユニット１０２は２組、図示されてい
る）。これらクランプユニット１０２は、マスク支持台
５２のマスク枠５０の４隅にほぼ対応する位置に設けら
れており、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種であ
って、流体圧シリンダであるエアシリンダ１０４，図示
しないカム装置およびクランプアーム１０６を含む。ク
ランプアーム１０６は、エアシリンダ１０４およびカム
装置により、マスク支持台５２に対して直角な方向であ
る垂直方向に移動させられるとともに、アーム軸１０８
の軸線まわりに回転させられ、マスク枠５０上に位置す
るとともにマスク枠５０をマスク支持台５２に押し付け
て固定するクランプ位置と、マスク枠５０から離間させ
られるとともに、マスク枠５０上から退避した退避位置
とに移動させられる。これらマスク支持台５２，押圧装
置付位置調節装置７０および固定装置７２等がマスク４
８のプリント配線板１２に対する位置調節が可能なマス
ク位置決め支持装置２０を構成している。

【００２０】印刷装置２２を説明する。この印刷装置２
２は、特開平９−３９２１４号公報に記載のマスク印刷
装置と同様に構成されており、簡単に図示および説明す
る。マスク支持台５２上には、図２に示すように、一対
のガイドレール１２０が基板搬送方向たる配線板搬送方
向と直角に設けられ、スライド１２２が移動可能に嵌合
されている。スライド１２２は、マスク支持台５２によ
り回転可能かつ軸方向に移動不能に支持されたボールね
じ１２４，スライド１２２に固定されてボールねじ１２
４に螺合されたナット１２６，印刷ヘッド移動用サーボ
モータ（図示省略）を含む駆動装置１３０により、ガイ
ドレール１２０に案内されて配線板搬送方向と直角なＹ
軸方向である印刷方向に移動させられる。スライド１２
２，駆動装置１３０が印刷ヘッド移動装置１３２を構成
し、一対のガイドレール１２０が案内装置を構成してい
る。

【００２１】スライド１２２上には、印刷ヘッド１３４
が昇降可能に、かつ配線板搬送方向に平行な軸線まわり
に回動可能に取り付けられている。印刷ヘッド１３４
は、スライド１２２に設けられた印刷ヘッド昇降装置を
構成する印刷ヘッド昇降用エアシリンダ１３６により昇
降させられる。印刷ヘッド１３４は、図６に示すよう
に、接触荷重調節装置を構成する接触荷重調節用エアシ
リンダ１３８，回動板１４０，２個の荷重センサ１４４
および取付部材１４６を介して印刷ヘッド昇降用エアシ
リンダ１３６に取り付けられており、これら荷重センサ
１４４の検出値に基づいて接触荷重調節用エアシリンダ
１３８が制御され、印刷ヘッド１３４が予め設定された
荷重でマスク４８に接触させられる。

【００２２】印刷ヘッド１３４は、被印刷剤収容器たる
半田収容器１５０を含む。半田収容器１５０の収容器本
体１５２は、本実施形態においては、複数の部材が互い
に組み付けられて成り、組付け後は一体の収容器本体１
５２として機能する。収容器本体１５２は、第１板状部
材１５４，第２板状部材１５６，第１板状部材１５４の
長手方向における両端面にそれぞれ固定された閉塞板１
５８（図６には一方の端面に固定された閉塞板１５８の
みが図示されている）を有する。これら第１，第２板状
部材１５４，１５６は、水平面内において印刷方向に直
角な方向（マスク位置決め支持装置により位置決め支持
されたマスクの幅方向に平行な方向）に長く、これら第
１，第２板状部材１５４，１５６，閉塞板１５８により
構成されて、マスク幅方向に長い被印刷剤収容室たる半
田収容室１６０内にクリーム半田が収容されている。第
１，第２板状部材１５２，１５４にはそれぞれ、ゴム製
の吐出口形成部材１６２が着脱可能に固定されている。
これら吐出口形成部材１６２はそれぞれ板状を成し、マ
スク幅方向に長く、一対の吐出口形成部材１６２の下縁
が半田収容室１６０に連通する印刷剤吐出口たる半田吐
出口１６４を構成している。

【００２３】第１板状部材１５４と第２板状部材１５６
との間には、押出部材たる押出プレート１７０が上下方
向に、すなわち半田吐出口１６４に接近，離間可能に挟
まれている。押出プレート１７０は、取付部材１４６に
保持された駆動源たる流体圧アクチュエータの一種であ
って、押出部材駆動装置を構成する押出用エアシリンダ
１７２のピストンロッド１７４に着脱可能に保持されて
おり、ピストンロッド１７４の伸縮により昇降させられ
る。押出用エアシリンダ１７２は複動式のエアシリンダ
であり、図６に示すように、２個のエア室は電磁方向切
換弁１７６の切換えにより、一方がエア源１７８に連通
し、他方が大気に解放された状態と、一方が大気に開放
され、他方がエア源１７８に連通させられた状態と、２
個のエア室がエア源１７８と大気とのいずれにも連通さ
せられず、エア室内の圧力が保持される状態とに切り換
えられる。上側にあって押出プレート１７０を半田吐出
口１６４側へ移動させる側のエア室に供給されるエアの
圧力は押出圧力センサ１８０により検出され、押出圧力
センサ１８０の検出結果に基づいて制御装置１８２（図
１０参照）が電磁方向切換弁１７６の切換えを制御す
る。それにより、予め設定された押出圧力で押出プレー
ト１７０が半田収容室１６０内のクリーム半田を押し出
す高さに押出し側のエア室のエア圧力が制御され、前記
マスク４８の透孔５１にクリーム半田が所定の押込圧力
で押し込まれる。これら押出プレート１７０，押出用エ
アシリンダ１７２等が被印刷剤押出装置たる半田押出装
置１８４を構成している。押出プレート１７０，押出用
エアシリンダ１７２は、クリーム半田を透孔５１に押し
込む押込プレートであり、押込用エアシリンダでもあ
り、半田押込装置を構成している。

【００２４】マスク清掃装置２４を説明する。マスク清
掃装置２４は、特開平９−３９２１４号公報に記載のマ
スク清掃装置と同様に構成されており、簡単に図示およ
び説明する。マスク清掃装置２４は、図１および図７に
示すように、マスク４８の下面、すなわちプリント配線
板１２が接触させられる配線板接触面２００側に配設さ
れた洗浄ヘッド２０２を有する洗浄装置２０４と、マス
ク４８の上面、すなわちクリーム半田が透孔５１に押し
込まれる被印刷剤押込面たる半田押込面２０６側に配設
された拭取ヘッド２０８を有する拭取装置２１０とを含
む。

【００２５】洗浄装置２０４は、浅い容器状を成し、マ
スク幅方向に長いパレット２１２を有する。パレット２
１２の長手方向の両端部にはそれぞれ、図２に示すよう
に、２個ずつのガイドブロック２１４が設けられ、マス
ク支持台５２の下面に印刷方向に平行に設けられた一対
のガイドレール２１６に摺動可能に嵌合されている。洗
浄装置２０４はマスク支持台５２（マスク４８）の下側
に移動可能に設けられているのであり、ガイドレール２
１６は案内装置を構成している。前記マスク支持台５２
と配線板押さえ装置との間には、上下方向において、洗
浄ヘッド２０２の進入を許容する大きさの隙間が設けら
れており、洗浄ヘッド２０２はこの隙間を移動する。

【００２６】洗浄ヘッド２０２はパレット２１２上に昇
降可能に設けられており、昇降装置２１８により昇降さ
せられる。洗浄ヘッド２０２のヘッド本体２２２には、
図７に示すように、超音波振動器２２４，洗浄剤供給部
材２２６，２２８，清掃シート側面乾燥装置２３０のエ
ア噴射部材２３２が設けられている。洗浄剤供給部材２
２６，２２８は、長手形状を成し、マスク幅方向に平行
に配設されており、それぞれ図示しない洗浄剤供給源か
ら供給される洗浄剤を複数の供給口２３４，２３６から
噴出する。また、エア噴射部材２３２は円筒状を成し、
マスク幅方向と平行に配設されており、エア供給源（図
示省略）に接続され、図示しないスリットからエアを上
方へ、すなわちマスク４８に向かって噴射する。

【００２７】前記超音波振動器２２４および洗浄剤供給
部材２２８上には、清掃シート２４４が配設されてい
る。清掃シート２４４は、マスク４８の幅（正確には、
マスク枠５０の内周面の幅）とほぼ等しい幅の帯状を成
し、多孔性で吸湿性を有する紙により形成され、供給軸
２４６に巻き付けられている。清掃シート２４４は、供
給軸２４６から引き出され、洗浄剤供給部材２２６の下
側を通った後、超音波振動器２２４および洗浄剤供給部
材２２８の上に載せられ、洗浄剤供給部材２３２とエア
噴射部材２３２との間を通り、巻取軸２４８により巻き
取られる。清掃シート２４４の超音波振動器２２４，洗
浄剤供給部材２２８上の位置である清掃位置に位置する
部分が、配線板接触面２００を清掃する清掃面である。

【００２８】清掃シート２４４は、洗浄ヘッド２０２が
昇降装置２１８によって昇降させられることにより、マ
スク２８の配線板接触面２００に接触，離間させられ
る。昇降装置２１８は、接触・離間装置を構成している
のである。また、清掃シート２４４は、ヘッド本体２２
２に設けられた図示しない清掃シート送り装置により一
定ピッチずつ送られる。これら供給軸２４６，巻取軸２
４８，超音波振動器２２４，洗浄剤供給部材２２６，２
２８，エア噴射部材２３２および清掃シート送り装置等
が洗浄ヘッド２０２を構成している。

【００２９】拭取装置２１０を説明する。印刷装置２２
の前記スライド１２２には、昇降台２５０が昇降可能に
設けられており、図示しない昇降台昇降装置により昇降
させられる。昇降台２５０に供給軸２５２がマスク幅方
向に平行な軸線まわりに回転可能に設けられ、拭取シー
ト２５４が巻き付けられている。拭取シート２５４はマ
スク４８の幅（正確には、マスク枠５０の内周面の幅）
とほぼ等しい幅の帯状を成し、多孔性の吸湿性を有する
紙により形成されており、巻取軸２５６により巻き取ら
れる。拭取シート２５４は、図示しない拭取シート送り
装置により一定ピッチずつ送られる。拭取シート２５４
はまた、拭取シート押さえ部材２５８により押さえら
れ、拭取シート２５４の一部にマスク４８に平行な拭取
面が形成されている。

【００３０】昇降台２５０にはまた、ゴム製の掻取部材
２６０，拭取シート側面乾燥装置２６２のエア噴射部材
２６４が設けられている。掻取部材２６０，エア噴射部
材２６４は長手形状をなし、マスク幅方向に平行に配設
されており、エア噴射部材２６４は、図示しないエア供
給源から供給されるエアを下向きに噴射する。

【００３１】このように昇降台２５０には、供給軸２５
２，巻取軸２５６，拭取シート送り装置，拭取シート押
さえ部材２５８，掻取部材２６０，エア噴射部材２６４
等が設けられ、これらが拭取ヘッド２０８を構成してい
る。拭取ヘッド２０８は、スライド１２２に設けられ、
マスク４８の上側に配設されているのであり、スライド
１２２の移動により印刷方向と同じ方向に移動させられ
る。また、拭取ヘッド２０８は昇降台２５０の昇降によ
り昇降させられ、拭取シート２５４がマスク４８に接
触，離間させられる。昇降台２５０，昇降台昇降装置が
拭取ヘッド昇降装置であって、拭取シート等の接触・離
間装置を構成している。

【００３２】前記洗浄ヘッド２０２等と拭取ヘッド２０
８等とは、図２に概略的に示す連結装置２７０により、
前記スライド１２２を介して連結されて一体的に移動さ
せられる。連結装置２７０は、洗浄ヘッド２０２を、ス
ライド１２２に連結するとともにマスク支持台５２との
係合を解除し、スライド１２２との連結を解除するとと
もにマスク支持台５２に係合させるように構成されてい
る。これら連結，係合，解除は、マスク支持台５２のマ
スク４８から外れた位置である退避位置において行われ
る。

【００３３】検査装置２６を説明する。検査装置２６
は、図８に示すように、スリット光源２８０および２次
元撮像装置２８２を含み、それらをプリント配線板１２
の板面である表面４９に平行な方向であって、水平面に
平行な任意の位置へ移動させることにより、プリント配
線板１２に印刷されたクリーム半田を検査する。そのた
め、図８に示すように、前記マスク清掃装置２４の洗浄
ヘッド２０２の移動を案内する一対のガイドレール２１
６に、Ｙ軸スライド２８４が複数のガイドブロック２８
６において移動可能に嵌合されている。ガイドレール２
１６は、マスク清掃装置２４と検査装置２６とにより共
用されているのである。

【００３４】Ｙ軸スライド２８４にはナット２８８が固
定されるとともに、マスク支持台５２に回転可能かつ軸
方向に移動不能に設けられたボールねじ２９０に螺合さ
れており、ボールねじ２９０が駆動源たるＹ軸サーボモ
ータ２９２（図１０参照）によって回転させられること
により、Ｙ軸スライド２８４がガイドレール２１６に案
内されて移動させられる。ガイドレール２１６およびガ
イドブロック２８６が案内装置を構成し、ナット２８
８，ボールねじ２９０およびＹ軸サーボモータ２９２が
Ｙ軸スライド移動装置２９４を構成しているのである。

【００３５】Ｙ軸スライド２８４の垂直な側面には、一
対のガイドレール２９８がＸ軸方向に平行に設けられる
とともに、Ｘ軸スライド３００が移動可能に嵌合されて
いる。Ｘ軸スライド３００にはナット（図示省略）が固
定されるとともに、Ｙ軸スライド２８４にＸ軸方向に平
行な軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設け
られたボールねじ３０２に螺合されており、ボールねじ
３０２がＸ軸サーボモータ３０４によって回転させられ
ることにより、Ｘ軸スライド３００がガイドレール２９
８に案内されてＸ軸方向に移動させられる。ガイドレー
ル２９８が案内装置を構成し、図示しないナット，ボー
ルねじ３０２，Ｘ軸サーボモータ３０４等がＸ軸スライ
ド移動装置３０６を構成している。

【００３６】Ｘ軸スライド３００上には、回転装置たる
揺動エアシリンダ３１０が設けられている。揺動エアシ
リンダ３１０はプリント配線板１２の表面４９と直角な
方向である垂直方向に設けられており、揺動軸３１２は
図示しないストッパにより回転位置を規定され、垂直な
自身の軸線まわりに９０度の範囲で回転させられる。揺
動軸３１２はＸ軸スライド３００から下方へ延び出させ
られ、その延出端部に保持体３１４が設けられている。
保持体３１４は、Ｙ軸スライド移動装置２９４およびＸ
軸スライド移動装置３０６により、水平面内の任意の位
置へ移動させられるとともに、揺動エアシリンダ３１０
により垂直軸線まわりに９０度の範囲で回転させられ
る。

【００３７】保持体３１４に、図９に示すように、前記
スリット光源２８０および２次元撮像装置２８２が設け
られている。スリット光源２８０は、本実施形態では、
半導体レーザ装置３２２と、その半導体レーザ装置３２
２から放射される光線の口径を拡大し、かつ、断面が概
して円形の平行光束に変換するビームエクスパンダ３２
４と、ビームエクスパンダ３２４により変換された平行
光束を平板状のスリット光に変換するスリット板３２６
とを含み、平板状のスリット光を放射する。スリット板
３２６を交換することにより、スリット幅が異なる種々
のスリット光を放射することができる。スリット光を放
射し得る他の装置（シリンドリカルレンズ，非球面レン
ズ等の１個またはそれらの組み合わせで構成したものは
その一例である）を用いてもよい。

【００３８】２次元撮像装置２８２は、本実施形態で
は、面で像を撮像するＣＣＤカメラにより構成されてい
る。ＣＣＤカメラは、固体イメージセンサの一種である
ＣＣＤ（電荷結合素子）と結像レンズを含むレンズ系と
を備えている。ＣＣＤは、一平面上に多数の微小な受光
素子が配列されており、各受光素子の受光状態に応じた
電気信号を発生させる。多数の受光素子の配列により撮
像面３２８（図１４参照）が形成されている。撮像面３
２８は多数の受光素子に対応した画素に分解され、各画
素について画像データが作成されることになる。

【００３９】保持体３１４は、スリット光源２８０およ
び２次元撮像装置２８２を、スリット光源２８０の光軸
が、プリント配線板１２の水平な表面４９への垂線に対
して、例えば４５度の角度で傾斜し、２次元撮像装置２
８２の光軸が表面４９と直交する向きに、すなわち表面
４９への垂線に対して平行となる向きに保持するととも
に、それらの光軸が互いに交差する相対位置に保持して
いる。２次元撮像装置２８２の光軸は表面４９に対して
直角であって、表面４９への垂線に対してなす角度は０
度であり、スリット光源２８０と２次元撮像装置２８２
とは、それらの光軸が表面４９への垂線に対して互いに
異なる角度をなす状態で保持体３１４により保持されて
いる。また、本実施形態では、保持体３１４は、スリッ
ト光源２８０と２次元撮像装置２８２との各光軸が、前
記吸着位置に位置する配線板支持台４０に吸着されたプ
リント配線板１２の表面４９に印刷されたクリーム半田
を、表面４９に対して４５度傾斜した切断平面で切断し
た切断面の真中において交差するように設けられてい
る。マスク支持台５２と配線板押さえ装置との間に設け
られる高さ方向の隙間は、スリット光源２８０および２
次元撮像装置２８２の進入も許容する大きさを有し、ス
リット光源２８０および２次元撮像装置２８２は、撮像
のために吸着位置に位置する配線板支持台４０により吸
着されたプリント配線板１２とマスク支持台５２との間
へ進入し、吸着位置に位置する配線板支持台４０に吸着
されたプリント配線板１２の表面４９に印刷されたクリ
ーム半田を撮像する。

【００４０】スリット光源２８０および２次元撮像装置
２８２は、保持体３１４がＸ軸スライド移動装置３０
６，Ｙ軸スライド移動装置２９４によって移動させられ
ることにより、水平面内の任意の位置へ移動させられ、
保持体３１４が揺動エアシリンダ３１０によって垂直軸
線まわりに回転させられることにより、９０度の範囲で
旋回させられる。スリット光源２８０および２次元撮像
装置２８２は共に保持体３１４に保持されていて、保持
体３１４の移動，回転により、一体的に移動，旋回させ
られるため、それらの相対位置関係はいずれの移動位
置，旋回位置においても変わらない。また、スリット光
源２８０および２次元撮像装置２８２は、保持体３１４
の回転により、それらの光軸を含む面であって、プリン
ト配線板１２の表面４９に直角な垂直面がＸ軸方向とＹ
軸方向とにそれぞれ平行となる２つの位置に選択的に位
置させられる。保持体３１４が保持装置を構成し、Ｘ軸
スライド３００，Ｘ軸スライド移動装置３０６，Ｙ軸ス
ライド２８４，Ｙ軸スライド移動装置２９４が保持装置
移動装置たる保持体移動装置３３０を構成している。

【００４１】前述のように、Ｙ軸スライド２８４は、前
記洗浄ヘッド２０２の移動を案内するためのガイドレー
ル２１６により移動を案内され、上記スリット光源２８
０および２次元撮像装置２８２は、洗浄ヘッド２０２と
同様に、前記マスク支持台５２と配線板押さえ装置との
間の隙間を移動するが、それらの退避位置は、洗浄ヘッ
ド２０２の退避位置とは反対側とされており、洗浄ヘッ
ド２０２とスリット光源２８０および２次元撮像装置２
８２とが、互いに撮像と清掃とを妨げることはない。

【００４２】配線板用基準マーク撮像装置２８，マスク
用基準マーク撮像装置２９（図９参照）を説明する。こ
れら撮像装置２８，２９はそれぞれ、本実施形態におい
ては、面で像を得るＣＣＤカメラとされており、図示は
省略するが、撮像装置２８，２９の各々と共に照明装置
が設けられている。マスク用基準マーク撮像装置２９
は、Ｘ軸スライド３００上に、マスク４８に向かって上
向きに設けられ、配線板用基準マーク撮像装置２８はプ
リント配線板１２に向かって下向きに設けられている。
プリント配線板１２とマスク４８とにはそれぞれ、複数
個、本実施形態においては２個の基準マークが対角線上
に設けられており、撮像装置２８，２９は保持体移動装
置３３０により水平面内の任意の位置へ移動させられ、
それぞれプリント配線板１２，マスク４８に設けられた
基準マークを撮像する。保持体移動装置３３０が基準マ
ーク撮像装置移動装置を兼ねているのである。これら基
準マーク撮像装置２８，２９は、スリット光源２８０お
よび２次元撮像装置２８２と共に退避位置へ退避させら
れる。また、基準マーク撮像装置２８，２９の移動は、
スリット光源２８０および２次元撮像装置２８２と同様
に、前記マスク支持台５２と配線板押さえ装置との間の
隙間により許容される。なお、撮像装置２８，２９は、
一定距離移動する毎にライン状の像を得るラインセンサ
を有するものとしてもよい。

【００４３】本マスク印刷機は、前記制御装置１８２に
より制御される。制御装置１８２は、図１０に示すよう
に、ＰＵ（プロセッシングユニット）３４０，ＲＯＭ３
４２，ＲＡＭ３４４およびそれらを接続するバス３４６
を有するコンピュータ３４８を主体とするものである。
バス３４６には入力インタフェース３５０が接続され、
前記荷重センサ１４４等の各種センサ，２次元撮像装置
２８２等の各種撮像装置等が接続されている。バス３４
６にはまた、出力インタフェース３５６が接続され、駆
動回路３５８を介して、配線板コンベヤ１４等、各種装
置を構成するアクチュエータ等を制御する他、警報装置
３６０，表示装置３６２を制御する。また、ＲＯＭ３４
２には、図１１にフローチャートで表す検査ルーチン
等、各種ルーチンが記憶されている。さらに、ＲＡＭ３
４４には、図１２に示すように、２次元像データメモリ
３６６，３次元像データメモリ３６８および検査結果メ
モリ３７０がワーキングメモリと共に設けられている。

【００４４】次に作動を説明する。プリント配線板１２
へのクリーム半田の印刷の開始に先立って、マスク版１
８がマスク支持台５２に固定される。この際、マスク４
８のマスク支持台５２に対するそれらの板面に平行な方
向の相対位置が調節され、それによってマスク４８の配
線板支持昇降装置１６、ひいてはプリント配線板１２に
対する位置が調節される。この調節は、プリント配線板
１２およびマスク４８にそれぞれ設けられた基準マーク
を基準マーク撮像装置２８，２９により撮像し、マスク
４８とプリント配線板１２との相対位置ずれを取得し、
その位置ずれを解消すべく、マスク版１８をマスク支持
台５２に対してマスク４８の板面に平行な方向に移動さ
せることにより行われる。本実施形態においては、原則
として、マスク版１８の位置調節は、１つのマスク版１
８について１回行われ、１つのマスク版１８を用いて行
われる複数枚のプリント配線板１２へのクリーム半田の
塗布のうち、１枚目のプリント配線板１２に対して行わ
れることとする。プリント配線板１２に設けられた位置
決め穴およびその位置決め穴に嵌入される位置決めピン
は、プリント配線板１２の高い位置決め再現精度が得ら
れる精度で設けられているのである。なお、クリーム半
田が塗布される全部のプリント配線板１２の各々につい
て、プリント配線板１２およびマスク４８に設けられた
基準マークを撮像し、プリント配線板１２毎にマスク４
８のプリント配線板１２に対する位置を調節するように
してもよい。その場合には、位置決め穴および位置決め
ピンの形成精度は、複数枚のプリント配線板１２の１つ
についてマスク４８の位置を調節する場合に比較して低
くてよい。

【００４５】マスク支持台５２とマスク版１８との相対
位置合わせは、前記特願平１０−３５９０４４号の明細
書に記載のマスク印刷装置におけると同様に行われるた
め、簡単に説明する。位置合わせ時には、プリント配線
板１２が配線板支持昇降装置１６により支持されるとと
もに、マスク版１８から離れた位置に位置させられてい
る。プリント配線板１２は位置決めされて配線板支持台
４０により吸着され、配線板支持台４０は吸着位置にあ
って、プリント配線板１２が配線板コンベヤ１４から持
ち上げられるとともに、マスク版１８から離間させられ
ているのである。そして、作業者によりマスク支持台５
２上にボールユニット６０のボール６４を介して載せら
れたマスク版１８は、固定装置７２による固定は解除さ
れているが、Ｘ軸方向押圧装置８０およびＹ軸方向押圧
装置９８により押圧され、Ｘ軸方向位置調節装置７８お
よびＹ軸方向位置調節装置９６によって決められた位置
に位置させられている。

【００４６】この状態で基準マーク撮像装置２８，２９
が保持体移動装置３３０により移動させられ、プリント
配線板１２とマスク版１８との間へ進入させられて、そ
れぞれ、プリント配線板１２に設けられた基準マークと
マスク４８に設けられた基準マークとを撮像する。そし
て、撮像データに基づいてマスク版１８のプリント配線
板１２に対する位置ずれ量が算出されるとともに、マス
ク版１８をプリント配線板１２に対して位置ずれなく、
マスク支持台５２に固定するための位置、すなわちＸ軸
方向位置調節装置７８およびＹ軸方向位置調節装置９６
によるマスク版１８の位置決め位置が算出される。

【００４７】そして、Ｘ軸方向位置調節装置７８および
Ｙ軸方向位置調節装置９６において頭部８６がマスク版
１８を配線板支持昇降装置１６に対して、プリント配線
板１２に対してずれなく位置決めする位置へ移動させら
れる。Ｘ軸方向押圧装置８０およびＹ軸方向押圧装置９
８はマスク版１８を押圧したままであり、Ｘ軸方向位置
調節装置７８およびＹ軸方向位置調節装置９６による位
置調節により、マスク版１８が移動させられ、そのマス
ク支持台５２に対する相対位置が調節される。マスク版
１８の位置調節時には、固定装置によるマスク版１８の
固定は解除されていて、マスク版１８はボール６４上に
載っており、軽快に移動することができる。位置調節
後、固定装置によりマスク版１８がマスク支持台５２に
固定される。この際、ボール６４はユニットケース６０
内に引っ込んでマスク版１８がマスク支持台５２に固定
されることを許容する。

【００４８】マスク印刷時には、マスク清掃装置２４の
洗浄ヘッド２０２は拭取ヘッド２０８との連結を解か
れ、マスク支持台５２に係止されている。洗浄ヘッド２
０２は退避位置にあるのである。また、洗浄ヘッド２０
２は下降端位置にあり、拭取ヘッド２０８は上昇端位置
にあって、清掃シート２４４，拭取シート２５４はそれ
ぞれマスク４８から離れており、印刷を妨げない。さら
に、配線板用基準マーク撮像装置２８，マスク用基準マ
ーク撮像装置２９，スリット光源２８０および２次元撮
像装置２８２は退避位置に退避させられており、印刷を
妨げない。

【００４９】マスク印刷時には、配線板コンベヤ１４に
より搬送されて来たプリント配線板１２がストッパ装置
により配線板支持台４０上において停止させられる。次
いで、配線板押さえ装置の配線板押さえ部材がプリント
配線板１２上方へ移動させられた後、配線板支持台４０
が上昇させられ、プリント配線板１２が位置決め装置に
より位置されるとともに、固定レール３０，可動レール
３２，配線板コンベヤ１４のベルトから持ち上げられ
る。配線板支持台４０がプリント配線板１２を配線板押
さえ部材に押し付けたならば、配線板支持台４０に負圧
が供給され、プリント配線板１２を吸着する。

【００５０】配線板支持台４０がプリント配線板１２を
吸着した後、配線板支持台４０は小距離下降させられて
配線板押さえ部材から離間させられ、配線板押さえ部材
が退避させられた後、プリント配線板１２は更に配線板
支持台４０により上昇させられてマスク４８の配線板接
触面２００に接触させられる。次いで、印刷ヘッド１３
４が印刷ヘッド昇降用エアシリンダ１３６により下降さ
せられ、下降端位置への移動後、さらに接触荷重調節用
エアシリンダ１３８により下降させられて、吐出口形成
部材１６２がマスク４８の半田押込面２０６に接触させ
られる。

【００５１】吐出口形成部材１６２をマスク４８に接触
させるべく印刷ヘッド１３４を下降させるとき、制御装
置１８２は接触荷重調節用エアシリンダ１３８を吐出口
形成部材１６２のマスク４８への接触荷重に基づいて制
御し、吐出口形成部材１６２を設定荷重でマスク４８に
接触させる。接触後、押出プレート１７０が下降させら
れ、クリーム半田に押出圧力が加えられる。しかし、半
田収容器１５０の半田吐出口１６４はマスク４８により
閉塞されているため、クリーム半田は吐出されず、適度
に加圧される。この状態で印刷ヘッド１３４が印刷ヘッ
ド移動装置１３２によりマスク４８に沿って移動させら
れれば、半田収容室１６０内のクリーム半田は、印刷方
向において下流側に位置する吐出口形成部材１６２によ
り半田収容室１６０からの流出を防止され、上流側に位
置する吐出口形成部材１６２によりマスク４８上面から
掻き取られ、半田収容室１６０内に収容された状態を保
って半田収容器１５０の移動と共にマスク４８上を移動
する。そして、半田吐出口１６４がマスク４８の透孔５
１に対向する毎に、それに対応するクリーム半田が透孔
５１内に押し込まれ、余分のクリーム半田は上流側に位
置する吐出口形成部材１６２により掻き取られて透孔５
１いっぱいに充填される。印刷ヘッド１３４は、収容し
たクリーム半田を加圧して透孔５１に充填し、印刷対象
材に付着させ、塗布する加圧式印刷ヘッドないし加圧式
塗布ヘッドなのであり、このようにプリント配線板１２
にクリーム半田をマスク印刷する工程が印刷工程であ
る。

【００５２】押出プレート１７０は、クリーム半田を押
し出すに従って下降させられるが、押出用エアシリンダ
１７２の押出側のエア室の圧力は押出圧力センサ１８０
により検出され、クリーム半田が予め設定された圧力で
押し出されるようにエア圧力が制御されるため、クリー
ム半田が減少しても常に設定された押出圧力でクリーム
半田が押し出され、設定された押込圧力でクリーム半田
が透孔５１に押し込まれ、プリント配線板１２の表面４
９の印刷スポットに付着させられる。１枚のプリント配
線板１２の印刷終了後、印刷ヘッド１３４は、一旦、上
昇させられて吐出口形成部材１６２がマスク４８から離
間させられる。また、図１１にフローチャートで示す検
査ルーチンが実行され、検査装置２６により、プリント
配線板１２に印刷されたクリーム半田が検査される。

【００５３】検査ルーチンのステップ１（以下、Ｓ１と
略記する。他のステップについても同じ。）において
は、配線板支持台４０が下降させられ、プリント配線板
１２が下降させられてマスク４８から離間させられる。
配線板支持台４０は、プリント配線板１２を配線板押さ
え部材に押し付けて吸着する位置まで下降させられ、プ
リント配線板１２とマスク支持台５２との間に、スリッ
ト光源２８０および２次元撮像装置２８２が進入する隙
間が設けられる。配線板支持台４０はプリント配線板１
２を吸着したままである。なお、配線板支持台４０が吸
着位置まで下降させられるとき、位置決め装置の位置決
めピンがプリント配線板１２の位置決め穴に嵌入する。
あるいは嵌入しなければ、プリント配線板１２により付
勢装置の付勢力に抗して押し下げられる。

【００５４】プリント配線板１２がマスク４８から離間
させられた後、Ｓ２が実行され、検査装置２６により検
査が行われる。そのため、保持体３１４が保持体移動装
置３３０により移動させられ、スリット光源２８０およ
び２次元撮像装置２８２がプリント配線板１２とマスク
４８との間に進入させられて、プリント配線板１２の一
平面状の表面４９に印刷されたクリーム半田３８０（図
９参照）を撮像する。検査は、プリント配線板１２とマ
スク４８とをそれらの板面に直角な方向に離間させる
が、板面に平行な方向には相対移動させないで行われる
のである。この際、洗浄ヘッド２０２は退避位置にあっ
て検査を妨げない。

【００５５】前述のように、本実施形態においてマスク
４８に設けられた透孔５１は、マスク４８の板面に平行
な断面形状が矩形をなし、表面４９に印刷されたクリー
ム半田３８０は、図１３に示すように、表面４９から盛
り上がった凸部であって、直方体（立方体を含む）状を
なす３次元形状を有し、互いに直交する一方の辺がＸ軸
方向に平行となり、他方の辺がＹ軸方向に平行となる。

【００５６】表面４９には、複数の印刷スポットにクリ
ーム半田が印刷されるが、本実施形態においては、印刷
された全部のクリーム半田３８０のうちの一部について
検査が行われる。例えば、印刷不良が少しでも生じては
支障が生ずるクリーム半田３８０、例えば、フラットパ
ッケージ型電気部品のリード線が接合される箇所であっ
て、極めて小さいピッチで塗布されたクリーム半田３８
０はすべて検査される。それ以外の印刷スポットに印刷
されたクリーム半田３８０であって、印刷不良が多少生
じても支障がないクリーム半田３８０、例えばリード線
を有しないリードレス電気部品が接合されるパッド上に
塗布されたクリーム半田３８０については、プリント配
線板１２毎に、異なるクリーム半田３８０が抜取りで検
査される。このように一部のクリーム半田３８０を検査
するようにすれば、検査時間を短く抑えながら、印刷不
良に起因する不良プリント回路板の発生を効果的に防止
することができる。なお、検査時間を長く取ることがで
きるのであれば、印刷された全部のクリーム半田３８０
を検査してもよく、あるいは多少の印刷不良が生じても
支障のないクリーム半田３８０の全部についても検査を
行ってもよい。あるいは多少の印刷不良が生じても支障
のないクリーム半田３８０の全部について検査を行わな
くてもよい。

【００５７】これら一部のクリーム半田３８０にスリッ
ト光源２８０によりスリット光が照射され、２次元撮像
装置２８２によって撮像される。撮像時には、保持体３
１４が図８に示す保持体移動装置３３０によって移動さ
せられることにより、スリット光源２８０および２次元
撮像装置２８２は一定の相対位置関係を保った状態で、
撮像対象物である印刷されたクリーム半田３８０に対し
て、予め定められた移動経路に沿って移動させられる。
本実施形態において移動経路は、プリント配線板１２の
表面４９に平行であって、直方体状のクリーム半田３８
０の長手方向に平行な直線状の経路とされている。この
際、保持体３１４が揺動エアシリンダ３１０により旋回
させられ、スリット光源２８０と２次元撮像装置２８２
との各光軸を含む平面が、図１３に示すように、クリー
ム半田３８０の長手方向および移動経路に平行とされ
る。

【００５８】上記のようにスリット光源２８０および２
次元撮像装置２８２がクリーム半田３８０に対して移動
させられるとき、移動を停止することなく、２次元撮像
装置２８２が、クリーム半田３８０のスリット光により
照らされた部分を撮像する。撮像は一定時間間隔で複数
回行われ、複数の２次元像が得られる。撮像により、２
次元撮像装置２８２の撮像面３２８には、図１４に実線
で示すように、プリント配線板１２の表面４９およびク
リーム半田３８０のスリット光が照射された部分の各像
３８２，３８４が形成される。クリーム半田３８０の表
面４９からの盛上がりにより、表面４９のスリット光が
照射された部分の像３８２と、クリーム半田３８０の上
面のスリット光が照射された部分の像３８４とは、撮像
面３２８の異なる位置に形成され、また、スリット光源
２８０および２次元撮像装置２８２は、それらの光軸を
含む平面がクリーム半田３８０の長手方向に平行となる
状態でクリーム半田３８０にスリット光を照射し、撮像
するため、クリーム半田３８０をそれの長手方向に直角
でかつプリント配線板１２の表面４９に対して４５度傾
斜した切断平面で切断した切断面を、その切断面に対し
て４５度傾斜した方向から見たものに相当する２次元像
（厳密には、２次元像のうちクリーム半田３８０とプリ
ント配線板１２の上面の像のみ）が得られる。

【００５９】スリット光源２８０と２次元撮像装置２８
２との相対位置関係は一定であり、それらの移動経路は
プリント配線板１２の表面４９に平行であるため、複数
回の撮像の各々において、プリント配線板１２の像３８
２は撮像面３２８のほぼ同じ位置に形成される。また、
クリーム半田３８０は、本来直方体状に印刷されるはず
であり、正常に印刷されていれば高さが均一であり、ク
リーム半田３８０の像３８４も、撮像面３２８のほぼ同
じ位置であって、プリント配線板１２の像３８２に対し
てほぼ同じ相対位置に形成される。たとえクリーム半田
３８０の高さが不均一であっても、図１４に一点鎖線お
よび二点鎖線で示すように、正常に印刷された場合の像
形成位置近傍に像３８４が形成され、極端に離れること
はない。そのため、撮像面３２８のうち、処理を行う必
要のある部分が限定され、撮像面３２８全部についてデ
ータ転送および画像処理を行う必要がないため、データ
転送量および画像処理量が減少し、データ転送および画
像処理に要する時間を短縮することができる。

【００６０】複数回の撮像により得られた複数の２次元
像データは、２次元像データメモリ３６６に記憶され
る。そして、制御装置１８２において、複数の２次元像
データと、スリット光源２８０および２次元撮像装置２
８２の移動速度および撮像時間間隔に基づいて、クリー
ム半田３８０の３次元像データが演算され、３次元像デ
ータメモリ３６８に記憶される。この３次元像データに
基づいて３次元データ、例えばクリーム半田３８０の高
さの平均値，体積（印刷量）等が演算される。また、ク
リーム半田３８０の印刷位置，プリント配線板１２の板
面に直角な方向からの平面視における印刷形状が求めら
れ、正規のデータ、すなわち半田が過不足なく印刷され
た場合の量，ずれなく印刷された場合の印刷位置，ずれ
のない印刷位置に欠けることなく印刷された場合の印刷
形状との比較に基づいて印刷不良、例えば、クリーム半
田の量の不足，印刷位置ずれ，クリーム半田の量の過剰
が生じているか否か等が調べられる。クリーム半田の量
の不足は、クリーム半田３８０の平面視の印刷形状に不
良はないが、高さが少なくとも一部において足らないこ
とによる不足、あるいは平面視の印刷形状の少なくとも
一部が欠けていることによる不足を含む。検査の結果、
すなわち不良の有無および不良の種類は、検査結果メモ
リ３７０に記憶される。このようにプリント配線板１２
をマスク４８から離間させ、印刷工程において印刷され
たクリーム半田３８０の検査を行う工程が検査工程であ
る。

【００６１】検査が行われたならば、次にＳ３が実行さ
れ、印刷不良があるか否かの判定が行われる。印刷不良
がなければＳ３の判定結果はＮＯになってＳ１１が実行
され、印刷正常指令が出力される。この出力に基づい
て、クリーム半田の印刷が済んだプリント配線板１２の
搬出，次にクリーム半田が印刷されるプリント配線板１
２の搬入，印刷等が行われる。プリント配線板１２の搬
出時には、プリント配線板１２は、配線板支持台４０が
吸着位置に位置する状態で配線板支持台４０による吸着
を解除され、その後、配線板支持台４０が下降端位置へ
下降させられてプリント配線板１２が配線板コンベヤ１
４により支持され、配線板コンベヤ１４により搬出され
る。

【００６２】それに対し、印刷不良があればＳ３の判定
結果がＹＥＳになってＳ４が実行され、不良の種類が量
の不足であるか否かの判定が行われる。不良の種類が位
置ずれあるいは量の過剰であれば、Ｓ４の判定結果はＮ
ＯになってＳ１０が実行され、当該マスク印刷機の作動
が停止させられるとともに、警報装置３６０および表示
装置３６２により作業者に印刷不良の発生が報知され
る。作業者は、この報知に基づいて不良原因を調べ、解
消する。

【００６３】不良の種類が量の不足であれば、Ｓ４の判
定結果はＹＥＳになってＳ５が実行され、マスク４８が
マスク清掃装置２４により自動で清掃される。量の不足
の原因の一つは、透孔５１の目詰まりであると考えられ
るため、透孔５１に付着したクリーム半田を除去すべ
く、マスク４８を清掃するのであり、この工程が清掃工
程である。

【００６４】マスク４８の清掃時には、洗浄ヘッド２０
２が退避する退避位置において、洗浄ヘッド２０２がマ
スク支持台５２との連結を解かれるとともにスライド１
２２に連結され、マスク清掃方向において拭取ヘッド２
０８と一体的に移動する状態とされる。基準マーク撮像
装置２８，２９，スリット光源２８０および２次元撮像
装置２８２は退避位置にあって、清掃を妨げない。ま
た、プリント配線板１２はマスク４８から離間させられ
ていて、マスク４８との間に洗浄ヘッド２０２が進入す
ることを許容し、清掃を妨げない。次いで、清掃シート
２４４および拭取シート２５４が送られ、前回の清掃に
より汚れた面が巻き取られ、きれいな面が清掃位置およ
び拭取位置に位置させられる。なお、洗浄ヘッド２０２
においては、送り時に洗浄剤供給部材２２６に洗浄剤が
供給され、清掃シート２４４にしみ込まされる。

【００６５】送り後、洗浄ヘッド２０２が上昇させられ
るとともに拭取ヘッド２０８が下降させられ、清掃シー
ト２４４，拭取シート２５４がそれぞれ、スク４８の配
線板接触面２００，半田押込面２０６に接触させられ、
マスク４８を挟む。接触後、洗浄剤供給部材２２６，２
２８に洗浄剤が供給され、清掃シート２４４全体が十分
な洗浄剤を保持した状態を保つようにされるとともに、
エア噴射部材２６４にエアが供給され、超音波振動器２
２４が振動させられた状態でスライド１２２が駆動装置
１３０により移動させられ、洗浄ヘッド２０２，拭取ヘ
ッド２０８がマスク４８に沿って一体的に移動させられ
る。印刷ヘッド移動装置１３２が洗浄ヘッド・拭取ヘッ
ド移動装置を兼ねているのである。なお、清掃シート２
４４に吸収され損なって滴り落ちた洗浄剤はパレット２
１２により受けられる。

【００６６】清掃シート２４４は配線板接触面２００に
接触させられ、超音波振動器２２４によって振動させら
れつつ移動させられ、配線板接触面２００や透孔内周面
に付着したクリーム半田が、それら配線板接触面２００
や透孔内周面から離れて洗浄剤中に拡散するとともに清
掃シート２４４内の気泡や繊維内部に吸収され、除去さ
れる。

【００６７】清掃シート２４４に保持された洗浄剤は、
振動により運動エネルギを与えられてマスク４８の透孔
内や、マスク４８の清掃シート２４４が接触させられた
側とは反対側へ移動させられる。そのため、半田押込面
２０６に付着したクリーム半田は、拭取シート２５４に
よって拭き取られるのに先立って掻取部材２６０により
掻き取られるとともに、マスク４８が超音波振動器２２
４によって振動させられることにより、半田押込面２０
６から離れて洗浄剤中に拡散するとともに拭取シート２
５４により拭き取られる。拭取シート２５４内の気泡や
繊維内部に吸収されるのである。また、マスク４８の透
孔５１の内周面に付着したクリーム半田も洗浄剤中に拡
散し、拭取シート２５４によっても拭き取られる。半田
押込面２０６は洗浄剤により濡らされるが、拭取ヘッド
２０８のエア噴射部材２６４から噴射されるエアにより
乾燥させられる。

【００６８】洗浄ヘッド２０２および拭取ヘッド２０８
がマスク４８の他方の端まで移動させられたならば、洗
浄剤供給部材２２６，２２８への洗浄剤の供給が停止さ
れ、超音波振動器２２４の振動が停止させられ、エア噴
射部材２６４へのエアの供給が遮断されるとともに、清
掃シート２４４，拭取シート２５４がマスク４８から離
間させられた後、洗浄ヘッド２０２，拭取ヘッド２０８
が清掃開始位置へ、すなわち清掃前に退避していた退避
位置へ戻される。この間、洗浄ヘッド２０２のエア噴射
部材２３２からエアが噴射され、配線板接触面２００が
乾燥させられる。清掃開始位置へ戻された後、洗浄ヘッ
ド２０２と拭取ヘッド２０８との連結が解除されるとと
もに、洗浄ヘッド２０２がマスク支持台５２に係止さ
れ、マスク印刷時には退避位置に位置するようにされ
る。

【００６９】マスク４８の清掃終了後、Ｓ６が実行さ
れ、印刷不良が検出されたプリント配線板１２に再度、
クリーム半田が印刷される。そのため、配線板支持台４
０が上昇させられ、プリント配線板１２がマスク４８に
接触させられた後、印刷ヘッド１３４がマスク４８に沿
って移動させられてクリーム半田をプリント配線板１２
に印刷する。マスク４８はマスク位置決め支持装置２０
によってマスク支持台５２に位置決めされて固定されて
おり、プリント配線板１２は印刷後、検査のために下降
させられてマスク４８から離間させられるが、配線板支
持台４０により吸着されたままであり、プリント配線板
１２とマスク４８とのそれらの板面に平行な方向の位置
はずれておらず、検査後、上昇させられて再度マスク４
８の配線板接触面２００に接触させられるとき、表面４
９に印刷されたクリーム半田３８０はマスク４８の透孔
５１にずれなく入る。

【００７０】再印刷は、１回目の印刷と同様に行われ、
プリント配線板１８全体にマスク印刷が行われるが、押
出プレート１７０によるクリーム半田の押出圧力は、１
回目の印刷時より小さくされ、押込圧力が１回目の印刷
時より小さくされる。プリント配線板１２には既にクリ
ーム半田３８０が印刷されているため、押出圧力を小さ
くしなければ、透孔５１へのクリーム半田の押込量が過
剰となり易く、プリント配線板１２に印刷されたクリー
ム半田３８０の量が過剰になり易いからである。このよ
うにクリーム半田のマスク４８の透孔５１への押込み条
件を緩くして、プリント配線板１８全体に再度マスク印
刷を行う工程が修正印刷工程たる再印刷工程である。印
刷終了後、Ｓ７が実行され、プリント配線板１２が下降
させられてマスク４８から離間させられる。プリント配
線板１２は、Ｓ１におけると同様に、配線板支持台４０
がプリント配線板１２を吸着する位置まで下降させられ
る。プリント配線板１２は配線板支持台４０に吸着され
たままである。離間後、Ｓ８が実行され、プリント配線
板１２に再印刷されたクリーム半田の検査が行われる。
この検査は、Ｓ２におけると同様に行われる。

【００７１】検査の終了後、Ｓ９が実行され、印刷不良
があるか否かの判定が行われる。印刷不良があれば、Ｓ
９の判定結果はＹＥＳになってＳ１０が実行され、マス
ク印刷機が作動を停止させられるとともに、作業者に印
刷不良の発生が報知される。印刷不良がなければ、Ｓ９
の判定結果はＮＯになってＳ１１が実行される。

【００７２】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、制御装置１８２の配線板用基準マーク撮
像装置２８およびマスク用基準マーク撮像装置２９の撮
像データに基づいて、プリント配線板１２とマスク４８
との相対位置ずれを算出する部分が位置ずれ取得装置を
構成し、それら撮像装置２８，２９が押圧装置付位置調
節装置７０と共に相対位置合わせ装置を構成している。
また、制御装置１８２のＳ６を実行する部分が再印刷指
令装置を構成し、印刷装置２２と共に修正印刷装置を構
成している。さらに、制御装置１８２のＳ５を実行する
部分が清掃指令装置を構成し、制御装置１８２の再印刷
時に押出プレート１７０によるクリーム半田の押出圧力
を１回目の印刷時より小さくする部分および半田押出装
置１８４が印刷条件緩和装置を構成している。

【００７３】上記実施形態において、検査装置２６は、
マスク４８の板面に平行な方向において印刷装置２２と
同じ場所に設けられていたが、異なる場所に設けてもよ
い。その例を図１５に基づいて説明する。本実施形態に
おいて検査装置は、配線板搬送方向において印刷装置の
下流側であって、搬出コンベヤの上方に設けられてい
る。検査装置が、印刷装置からマスクの板面に平行な方
向に隔たった位置に設けられているのであり、図示は省
略するが、搬出コンベヤによるプリント配線板の移動
を、検査装置による検査が行われる検査位置に停止させ
るストッパ装置が設けられている。ストッパ装置は、プ
リント配線板の移動を止める作用位置と、移動を許容す
る非作用位置とに移動するストッパ部材を有する。検査
装置は、図示は省略するが、前記検査装置２６と同様に
構成されており、保持体が保持体移動装置によって移動
させられることにより、スリット光源および２次元撮像
装置がプリント配線板の表面に平行な面である水平面内
の任意の位置へ移動させられる。スリット光源および２
次元撮像装置は、前記スリット光源２８０および２次元
撮像装置２８２と同様に保持体に保持されており、本実
施形態では、各光軸が、配線板コンベヤにより支持され
たプリント配線板の表面に印刷されたクリーム半田を表
面に対して４５度傾斜した切断平面で切断した切断面の
真中において交差するように保持されている。配線板用
基準マーク撮像装置およびマスク用基準マーク撮像装置
は、上記実施形態におけると同様に印刷装置と同じ場所
に設けられている。検査装置とは別に設けられているの
であり、保持体移動装置とは別の基準マーク撮像装置移
動装置により、プリント配線板とマスクとの間の隙間に
おいて水平面内の任意の位置へ移動させられて、基準マ
ークを撮像する。基準マーク撮像装置移動装置は、構成
は前記保持体移動装置３３０と同様である。

【００７４】搬送装置は前記配線板コンベヤ１４，搬入
コンベヤ３４および搬出コンベヤ３６と同様の配線板コ
ンベヤ，搬入コンベヤおよび搬出コンベヤを含み、ベル
トコンベヤとされており、プリント配線板はベルト上に
載置され、ベルトの周回により搬送される。そのため、
ベルト駆動装置が各ベルトを正逆両方向に移動させるこ
とにより、各配線板コンベヤ，搬入コンベヤおよび搬出
コンベヤに、プリント配線板を本来の搬送方向、すなわ
ち搬入コンベヤから搬出コンベヤに向かう方向とは逆方
向に搬送させることができる。なお、搬送板コンベヤに
は、本来の搬送方向に搬送されて来たプリント配線板を
停止させるストッパ装置が設けられるとともに、逆方向
に搬送されて来たプリント配線板を、配線板支持台の真
上において停止させるストッパ装置が設けられている。
ストッパ装置は、プリント配線板１２の移動を止める作
用位置と、移動を許容する非作用位置とに移動するスト
ッパ部材を有する。

【００７５】プリント配線板に印刷されたクリーム半田
の検査を図１５にフローチャートで表す検査ルーチンに
基づいて説明する。検査ルーチンは、印刷終了後、実行
され、まず、Ｓ２１の実行によりプリント配線板が下降
させられてマスクから離間させられる。プリント配線板
は、配線板支持昇降装置により下降させられ、マスクか
ら離間させられるとともに、吸着位置において配線板支
持台による吸着を解除された後、配線板支持台が下降端
位置へ下降させられるのに伴って配線板コンベヤのベル
ト上に載せられる。次いでＳ２２が実行され、配線板コ
ンベヤおよび搬出コンベヤが作動させられて、プリント
配線板が検査位置へ搬送される。

【００７６】プリント配線板が検査位置へ搬送され、ス
トッパにより停止させられたならば、Ｓ２３ないしＳ２
６が前記Ｓ２〜Ｓ５と同様に実行される。検査は、プリ
ント配線板と２次元撮像装置およびスリット光源とを、
プリント配線板の板面である表面に平行な方向に相対移
動させ、プリント配線板の上方にはマスクが存在しない
状態で行われるのであり、この工程が検査工程である。
プリント配線板はストッパにより検査位置に停止させら
れるが、停止後、検査に先立ってプリント配線板に設け
られた基準マークが撮像される。この撮像は、クリーム
半田を撮像する２次元撮像装置により行われる。スリッ
ト光源から放射されたスリット光により基準マークが照
らされ、スリット光源および２次元撮像装置が基準マー
クに対して移動させられ、２個の基準マークをそれぞれ
撮像する。撮像データに基づいてプリント配線板の位置
ずれが算出され、それに基づいてクリーム半田を撮像す
るためのスリット光源および２次元撮像装置のＸ軸方向
およびＹ軸方向の移動距離が、クリーム半田を予め設定
された移動経路に沿って撮像し得るように修正される。

【００７７】検査の結果、印刷不良がなければ、Ｓ３６
が実行され、印刷正常が出力され、それによりプリント
配線板は検査位置から搬出される。それに対し、印刷不
良があり、印刷されたクリーム半田の量が不足していれ
ばマスクの清掃が行われ（Ｓ２６）、清掃終了後、Ｓ２
７が実行され、プリント配線板が印刷装置へ戻される。
搬出コンベヤおよび配線板コンベヤの各ベルトが、プリ
ント配線板の搬出時とは逆向きに周回させられ、プリン
ト配線板が印刷装置によってクリーム半田が印刷される
印刷位置へ戻されるのである。プリント配線板はストッ
パ装置により印刷位置、すなわち配線板支持台の真上に
位置に停止させられる。戻し後、Ｓ２８が実行され、プ
リント配線板が位置決め装置により位置決めされるとと
もに、配線板支持台により配線板コンベヤから持ち上げ
られ、吸着される。

【００７８】そして、Ｓ２９が実行され、マスクとプリ
ント配線板との再位置合わせが行われる。この再位置合
わせ時には、配線板支持台は吸着位置にあり、前記実施
形態において説明したのと同様に、まず、配線板用基準
マーク撮像装置およびマスク用基準マーク撮像装置によ
り、プリント配線板およびマスクにそれぞれ設けられた
基準マークが撮像され、両者の位置ずれが取得される。
そして、固定装置によるマスクの固定が解除されるとと
もに、押圧装置付位置調節装置により、マスクのＸ軸方
向およびＹ軸方向における各位置が調節され、調節後、
マスクが固定装置によりマスク支持台に固定される。

【００７９】再位置合わせ後、Ｓ３０，Ｓ３１が前記Ｓ
６，Ｓ７と同様に実行され、プリント配線板全体に再
度、クリーム半田が印刷される。この工程が再印刷工程
であり、再印刷工程の前に、プリント配線板とマスクと
のそれらの板面に平行な方向の相対位置を合わせる工程
が再位置合わせ工程である。プリント配線板にクリーム
半田が再印刷された後、配線板支持台が吸着位置へ下降
させられ、プリント配線板がマスクから離間させられた
ならば、Ｓ３２がＳ２２と同様に実行されてプリント配
線板が検査位置へ搬送され、Ｓ３３において再度、検査
が行われる。そして、印刷不良があれば、作業者に報知
され（Ｓ３５）、なければ印刷正常指令が出力される
（Ｓ３６）。

【００８０】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、配線板コンベヤ，搬出コンベヤおよび制
御装置の、検査により印刷不良が発見されたとき、配線
板コンベヤ，搬出コンベヤを本来の配線板搬送方向とは
逆向きに作動させてプリント配線板を検査装置から印刷
装置へ戻す部分がプリント配線板戻し装置を構成してい
る。

【００８１】なお、検査位置へ搬送されたプリント配線
板の基準マークを撮像する際、スリット光源に、スリッ
ト光ではなく、基準マーク全体を同時に照らす光を放射
させ、２次元撮像装置に基準マークを一度に撮像させる
ようにしてもよい。例えば、スリット光源においてスリ
ット板を、平行光束をスリット光に変換する作用位置
と、変換しない非作用位置とに移動可能に設け、基準マ
ークの撮像時には非作用位置へ退避させ、ビームエクス
パンダにより変換された平行光束を放射するようにする
のである。このようにすれば、スリット光源および２次
元撮像装置と基準マークとを相対移動させることなく、
基準マークを撮像することができる。また、スリット光
源および２次元撮像装置とは別に、基準マークを撮像す
るための専用の撮像装置を設けてもよい。さらに、プリ
ント配線板をストッパ装置により検査位置に停止させる
のに代えて、あるいはそれと共に、例えば、複数の位置
決めピンを有する位置決め装置および負圧によりプリン
ト配線板を吸着して昇降する配線板支持台を含む配線板
支持昇降装置を設け、プリント配線板を位置決めし、吸
着した状態で撮像が行われるようにしてもよい。あるい
はストッパ装置により停止させられたプリント配線板を
位置決め装置により位置決めするのみでもよい。これら
の場合にも、プリント配線板の基準マークを撮像し、位
置ずれを算出する。

【００８２】また、上記各実施形態においてマスク清掃
装置２４はマスク位置決め支持装置２０および印刷装置
２２と同じ場所に設けられ、マスク４８はマスク位置決
め支持装置により支持されたままの状態で清掃されるよ
うになっていたが、マスク清掃装置をマスク位置決め支
持装置等とは別の場所に設けてもよい。この場合、マス
クをマスク清掃装置とマスク位置決め支持装置との間で
搬送するマスク搬送装置が設けられ、マスクの清掃が必
要であれば、マスクはマスク位置決め支持装置により位
置決め支持を解除されてマスク清掃装置へ搬送され、清
掃される。清掃後、マスクはマスク位置決め支持装置へ
戻されて位置決めされ、マスク支持台に固定される。こ
の際、プリント配線板およびマスクにそれぞれ設けられ
た基準マークが撮像され、再度、プリント配線板とマス
クとの位置合わせが行われる。

【００８３】さらに、透孔５１は、矩形に限らず、他の
形状、例えば、円形，楕円形等でもよい。検査は、矩形
以外の透孔に充填されて印刷されたクリーム半田の全部
について行ってもよく、一部について行ってもよい。

【００８４】また、図１ないし図１４に示す実施形態に
おいて、検査装置２６の保持体移動装置３３０はマスク
清掃装置２４の洗浄ヘッド２０２とガイドレール２１６
を共用していたが、それぞれ専用のガイドレールを設け
てもよい。保持体３１４および洗浄ヘッド２０２の移動
をそれぞれ専用の案内装置により案内するのである。

【００８５】さらに、図１ないし図１４に示す実施形態
において、検査装置２６の保持体３１４を、印刷ヘッド
移動装置１３２により移動させてもよい。印刷ヘッド移
動装置１３２に保持体移動装置を兼ねさせるのである。

【００８６】また、１つの撮像装置により、マスクとプ
リント配線板とにそれぞれ設けられた基準マークを撮像
するようにしてもよい。例えば、撮像装置を、マスクお
よびプリント配線板の板面に平行な軸線まわりに回転可
能に設け、マスクに対向する位置とプリント配線板に対
向する位置とに回転させ、各基準マークを撮像するので
ある。

【００８７】さらに、配線板用基準マーク撮像装置およ
びマスク用基準マーク撮像装置は、スリット光源および
２次元撮像装置とは別に設け、専用の移動装置によって
移動させてもよい。これら２つの基準マーク撮像装置を
それぞれ専用の移動装置により移動させてもよい。

【００８８】また、洗浄ヘッド２０２と拭取ヘッド２０
８とをそれぞれ、印刷ヘッド移動装置１３２とは別の専
用の移動装置により移動させてもよく、あるいは洗浄ヘ
ッド２０２および拭取ヘッド２０８を印刷ヘッド移動装
置１３２とは別の共通の移動装置により移動させてもよ
い。

【００８９】さらに、以上、詳記したクリーム半田の３
次元形状の取得方法および装置は、接着剤等、クリーム
半田以外の被印刷剤を印刷するマスク印刷装置およびマ
スク印刷方法における被印刷剤の検査や、被印刷剤以外
の３次元形状の撮像対象物の３次元データを得る装置お
よび方法に適用することができる。その一例を図１６に
示す。図１６に示す撮像対象物は、水平な平面３９０か
ら上方に突出した突起３９２である。この突起３９２
は、上方から垂直下向きに（平面３９０に直角な方向か
ら）見た形状は矩形であるが（図１６（ａ）参照）、表
面３９４に所定の凹凸を有している。この場合、突起３
９２の検査時には、スリット光源および２次元撮像装置
の平面３９０に対する相対移動経路は、図１６（ｂ）に
二点鎖線で示すように、突起３９２の表面３９４の形状
にほぼ沿うように予め定められた経路とされる。

【００９０】本突起検査方法（または装置）において
は、３次元像データは、突起３９２の表面３９４の像の
みを処理することにより得られる。相対移動時における
スリット光源および２次元撮像装置と平面３９０との距
離は予めわかっており、平面３９０の像を処理しなくて
も、演算により３次元像データを得ることができるから
である。表面３９４のスリット光により照らされた部分
の複数の像は、撮像面のほぼ同じ位置に形成され、突起
３９２の高さに過不足があっても、撮像面の画像処理さ
れるべき範囲は限られ、処理時間が短くて済む。撮像面
のうち、突起３９２の高さが許容範囲内であれば、必ず
表面３９４の像が形成される範囲内に、実際に表面３９
４の像が形成されているか否かにより、突起３９２の高
さに許されない高さの過不足が生じているか否かを検出
するようにしてもよい。

【００９１】上記各実施形態においてクリーム半田３８
０，突起３９２は、２次元撮像装置を停止させることな
く、移動している間に撮像されていたが、２次元撮像装
置を停止させて撮像させてもよい。

【００９２】以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細
に説明したが、これは例示に過ぎず、本発明は、前記
〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効
果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識
に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態であるマスク印刷機を示す側
面図である。

【図２】上記マスク印刷機を示す正面図である。

【図３】上記マスク印刷機を示す平面図である。

【図４】上記マスク印刷機を構成するマスク位置決め支
持装置を示す平面図である。

【図５】上記マスク位置決め支持装置を示す側面図であ
る。

【図６】上記マスク印刷機を構成する印刷装置の要部を
示す側面図である。

【図７】上記マスク印刷機に設けられたマスク清掃装置
を概略的に示す側面図である。

【図８】上記マスク印刷機に設けられた検査装置を示す
正面図である。

【図９】上記検査装置のスリット光源および２次元撮像
装置を示す正面図である。

【図１０】上記マスク印刷機を制御する制御装置の構成
を概略的に示すブロック図である。

【図１１】上記制御装置を構成するコンピュータのＲＯ
Ｍに記憶された検査ルーチンを表すフローチャートであ
る。

【図１２】上記コンピュータのＲＡＭのうち、本発明に
関連の深い部分を示す図である。

【図１３】上記検査装置によるクリーム半田の検査を説
明する図である。

【図１４】上記検査装置の２次元撮像装置の撮像面に形
成された像を示す図である。

【図１５】本発明の別の実施形態であるマスク印刷機の
制御装置を構成するコンピュータのＲＯＭに記憶された
検査ルーチンを表すフローチャートである。

【図１６】撮像対象物の３次元データ取得の別の実施形
態である突起検査方法における突起高さの検査を説明す
る図である。

【符号の説明】

１２：プリント配線板 １８：マスク版 ２０：マ
スク位置決め支持装置 ２２：印刷装置 ２４：マスク清掃装置 ２６：検
査装置 ７０：押圧装置付位置調節装置 ７２：固
定装置 １３４：印刷ヘッド １５０：半田収容器
１８２：制御装置 １８４：半田押出装置 ２
０４：洗浄装置 ２１０：拭取装置 ２８０：スリ
ット光源 ２８２：２次元撮像装置 ３１４：保持体 ３２８：撮像面 ３３０：保持体
移動装置 ３８０：クリーム半田 ３９０：平面
３９２：突起 ３９４：表面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野 学 愛知県知立市山町茶碓山19番地 富士機械 製造株式会社内 Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA30 FB30 FB33 FB39 FC08 FD05 FD17 FD29 FE01 FF26 2C250 EA02 EA12 EA22 EA47 EB18 EB25 EB26 EB28 EB29 EB39 EB43 FA06 FB02 FB14 FB23 5E319 BB05 CD29 CD35 CD51

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 印刷対象材に被印刷剤をマスクを通して
   印刷する方法であって、 印刷対象材に被印刷剤をマスク印刷する印刷工程と、 その印刷工程において印刷された被印刷剤の検査を行う
   検査工程と、 その検査工程において、被印刷剤の量が不足であること
   が発見された場合に、少なくとも不足が発見された部分
   に、その不足を補う修正印刷を行う修正印刷工程とを含
   むことを特徴とするマスク印刷方法。
2. 【請求項２】 前記修正印刷工程が、前記印刷対象材全
   体に再びマスク印刷を行う再印刷工程であることを特徴
   とする請求項１に記載のマスク印刷方法。
3. 【請求項３】 前記再印刷工程が前記印刷工程より被印
   刷剤のマスクの透孔への押込み条件を緩くして行うもの
   であることを特徴とする請求項２に記載のマスク印刷方
   法。
4. 【請求項４】 少なくとも前記検査工程で被印刷剤の量
   の不足が発見された場合に、前記マスクの清掃を行う清
   掃工程を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいず
   れか１つに記載のマスク印刷方法。
5. 【請求項５】 印刷対象材を支持する対象材支持装置
   と、 その対象材支持装置に支持された印刷対象材に被印刷剤
   をマスクを通して印刷する印刷装置と、 その印刷装置によって印刷された被印刷剤の検査を行う
   検査装置と、 その検査装置により、被印刷剤の量が不足であることが
   発見された場合に、少なくとも不足が発見された部分
   に、その不足を補う修正印刷を行う修正印刷装置とを含
   むことを特徴とするマスク印刷装置。