JPH04179252A - ローダ・アンローダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 製造装置に対する平板状ワークの給付・排出用として、
複数の該ワークを前後方向から階層的に収容する直方体
状マガジンを載置するローダ・アンローダに関し、 マガジンの大きさを切り替える際のマガジンの位置決め
設定を、中心基準法によりながら正確に且つ短時間でな
し得るようにすることを目的とし、直立し横方向で対に
配置されてそれぞれが横方向に移動可能であり、前記マ
ガジンを横方向から挟んで上下方向に案内するマガジン
ガイドと、該マガジンカイトの前記対の中間に位置して
パルスモータにより回動するピニオンギヤ、及び、該ピ
ニオンギヤの対向箇所に係合する対を構成してそれぞれ
が該マガジンガイドの横方向対のそれぞれに接続された
ラックギヤとを有して、前記マガジンの横幅に対応させ
た前記パルスモータの制御により、前記マガジンガイド
相互間の横方向間隔が該マガジンの横幅に整合するよう
に構成し、また、前記マガジンガイドは、断面り字形の
棒状をなし前記マカジンの４隅部分に配置されて前後方
向にも対を構成し、該対の一方が前後方向に移動可能て
該マガジンを前後方向からも挟み得るものであり、該一
方のマガジンカイトを前後方向に移動させるための第２
パルスモータを有して、前記マカジンの前後幅に対応さ
せた前起第２パルスモータの制御により、前記マガジン
カイド相互間の前後方向間隔が該マカシンの前後幅に整
合するように構成し、更に、前記マカンンを載せて昇降
するエレベータを有するように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、製造装置に対する平板状ワークの給付・排出
用として、複数の該ワークを前後方向から階層的に収容
する直方体状マカジンを載置するローダ・アンローダに
関する。

上記ローダ・アンローダは、例えば、半導体装置の製造
工程において半導体ウェーハやリードフレームが上記ワ
ークとなって用いらるものであり、その組立工程では、
ワークがリードフレームであり、上記マガジンは２５〜
５０枚のリードフレームを収容する。

その場合、リードフレームに種々のサイズのものがある
ためにマカジンには大きさの異なるものがある。そこで
、上記ローダ・アンローダは、大きさの異なるマガジン
に対して共用可能であることが望まれている。

〔従来の技術〕

図２はローダ・アンローダの概念を説明するための側面
図であり、１はローダ・アンローダ、２はマガジン、３
はワークとなるリードフレーム、４はブツシャ、５は搬
送機、６は製造装置、である。

マカンン２は、直方体状をなし、その前後方向（図の左
右方向）から複数のリードフレーム３を階層的に収容し
てローダ・アンローダ１に載置される。ローダ・アンロ
ーダｌは、図示省略のエレベータを備えてマガジン２を
適宜な高さに昇降させることができ、先ず、最下段のリ
ードフレーム３をブツシャ４の高さに合わせる。そこで
そのリードフレーム３は、ブツシャ４によりマカンン２
から押し出され搬送機５によって製造装置６に給付され
る。その後、ローダ・アンローダ１は、下から２段目の
リードフレーム３をブツシャ４の高さに合わせる。そこ
でそのり−、ドフレーム３は、先と同様にして製造装置
６に給付される。以下これを繰り返す。マガジン２内の
リードフレーム３が空になったら次のマガジン２に交換
される。以上は、ローダ・アンローダ１をワーク給付用
のローダとして使用した場合である。

ローダ・アンローダ１をワーク排出用のアンローダとし
て使用する場合は、空のマガジン２を載置し、マガジン
２の最下段のリードフレーム３収容箇所を搬送機５の高
さに合わせる。そこへ製造装置６から排出されるリード
フレーム３が搬送機５の搬送によって収容される。その
後、マガジン２の下から２段目のリードフレーム３収容
箇所を搬送機５の高さに合わせる。そこへ次のリードフ
レーム３が収容される。以下されを繰り返し、マカンン
２にリードフレーム３が満杯になったら次の空のマカノ
ン２に交換される。

そして上述から判るように、ローダ・アンローダ１は、
マガジン２が横方向または前後方向に位置ずれを起こす
と不都合なので、マガジン２に対する横方向及び前後方
向の位置決め機構を備えている。

ところで、リードフレーム３に種々のザイズのものがあ
るために、マガジン２には横幅や前後幅を異ならせたも
のがある。そこて、ローダ・アンローダＩに備える上記
位置決め機構は、大きさの異なるマガジン２に対して共
用し得るものであることが望まれる。

図３　（ａ）、　（ｂ）のそれぞれは、」二連したロー
ダ・アンローダの従来例の上記位置決め機構に関する要
部を示す平面図である。

図３　（ａ、）、　（ｂ）の何れの場合も、断面り字形
の棒状をなして直立したマガジンガイド１１が、マガジ
ン２の４隅部分に配置されてマガジン２を位置決めして
いる。そして、マガジン２の大きさが異なった際には、
マガジンカイト１１の位置をマガジン２の４隅に合わせ
て移動している。

図３（ａ）のものでは、マガジン２の幅方向及び前後方
向それぞれの一方の側のマガジンカイト１１を移動して
おり（端面基準法と称す）、図３（ｂ）のものでは、幅
方向の両方の側及び前後方向の一方の側のマガジンガイ
ド１１を移動し、幅方向の移動を中心基準の対称にしで
ある（中心基準法と称す）。そしてその移動は、マガジ
ンガイド１１を支持した固定部材１２を固定する取付ネ
ジ１４用の孔１３を横方向の長孔にし、取付ネジ１４を
緩め固定部材１２を移動し取付ネジ１４を締め直すもの
である。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、図３（ａ）で述べた端面基準においては、場
合によってリードフレーム３の中心がブツシャ４や搬送
機５の中心から外れてしまい、そのためにブツシャ４に
よる押出や搬送機５による搬送が不安定になり、製造装
置６に対する給付・排出が不確実になる欠点がある。こ
の欠点は、図３（ｂ）で述べた中心基準法を採用するこ
とにより解消される。

しかしながら、図３（ｂ）のものは、マガジンガイド１
１の移動のやり方が上述のようであるために、基準が掴
み難くて正確な位置決めが困難であり設定に長時間を要
する問題がある。

そこで本発明は、製造装置に対する平板状ワークの給付
・排出用として、複数の該ワークを前後方向から階層的
に収容する直方体状マガジンを載置するローダ・アンロ
ーダに関して、マガジンの大きさを切り替える際のマガ
ジンの位置決め設定を、中心基準法によりながら正確に
且つ短時間でなし得るようにすることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

」１記目的を達成するために、本発明のローダ・アンロ
ーダは、直立し横方向で対に配置されてそれぞれが横方
向に移動可能であり、前記マガジンを横方向から挟んで
上下方向に案内するマガジンカイトと、該マガジンガイ
ドの前記対の中間に位置してパルスモータにより回動す
るピニオンギヤ、及び、該ピニオンギヤの対向箇所に係
合する対を構成してそれぞれが該マガジンカイトの横方
向対のそれぞれに接続されたラックキャとを有して、前
記マガジンの横幅に対応させた前記パルスモータの制御
により、前記マガジンガイド相互間の横方向間隔が該マ
ガジンの横幅に整合するを特徴としている。

また、前記マガジンカイトは、断面り字形の棒状をなし
前記マガジンの４隅部分に配置されて前後方向にも対を
構成し、該対の一方が前後方向に移動可能で該マガジン
を前後方向からも挟み得るものであり、該一方のマガジ
ンガイドを前後方向に移動させるための第２パルスモー
タを有して、前記マガジンの前後幅に対応させた前記第
２パルスモータの制御により、前記マガジンガイド相互
間の前後方向間隔が該マガジンの前後幅に整合すること
を特徴としており、更に、前記マガジンを載せて昇降す
るエレベータを有することを特徴としている。

〔作　用〕

上記ピニオンギヤ及び対をなすラックギヤの構成により
マガジンの位置決めが所望の中心基準となる。そしてピ
ニオンギヤがパルスモータにより回動するので、パルス
制御によりマガジンガイドの横方向位置決め精度をｌ／
１００ｍｍ程度に高めることが容易である。然も、マガ
ジンガイド相互間の横方向間隔がパルスモータの停止位
置によって定まるので、マガジンの横幅の種類に応じた
パルス制御条件を予め求めておき、位置決め設定の際に
当該マガジンに該当するパルス制御条件でパルスモータ
を制御すれば、マガジンガイド相互間の横方向間隔は自
動的に当該マガジンの横幅に整合したものとなり、位置
決め設定を極めて短時間で行うことができる。

また、マガジンガイドを上記のようにマガジンの４隅部
分に配置して上記第２パルスモータを設ければ、前後方
向についても上記横方向の場合と同様に位置決め設定を
高精度で短時間に行うことができる。

そして、上記エレベータを設ければ、製造装置に対して
図２で説明したワークの給付・排出が可能となる。

〔実施例〕

以下本発明によるローダ・アンローダの実施例について
図１（ａ）〜（Ｃ）を用いて説明する。図１（ａ）はマ
ガジンガイド部を示す斜視図、図１（ｂ）。

（Ｃ）は全体の要部を示す平面図と側面図、である。

この実施例は、図２で説明したローダ・アンローダ１に
該当するものであり、然も、マガジン２に対する位置決
め設定が中心基準となっている。

図１　　（ａ）〜（Ｃ）において、断面り字形の棒状な
しマガジン２の４隅部分に直立してマガジン２の位置決
めを行い且つ昇降時のガイドとなるマガジンカイト２１
は、前方〔図１（ａ）の右手前、図１（ｂｌ（ｃ）の右
側〕　２本の各々が、横方向ガイド２２−１−に設けら
れたステージ２３の上に固定されており、後方の２本の
各々が前後方向カイト２１１の」二に固定されている。

二つの横方向カイト２２はステージ２５の案内により横
方向に同一線」二を個別に移動可能であり、二つの前後
方向ガイド２４はそれぞれが別々のステージ２３の案内
により前後方向に移動可能である。

これによりマガジンガイド２１の前方の２本は、横方向
の同一線上を個別に移動可能である。また、マガジンガ
イド２１の後方の２本は、ベアリング２６を介在させた
シャフト２７により連結されて常に横方向の同一線上に
揃っており、その状態で前後方向の移動と前方の２本の
横方向移動に従った横方向の移動とが可能である。即ち
、４本のマガジンカイト２Ｉは、横方向にも前後方向に
も対を構成して、移動により相互間の間隔が変化しても
常に矩形の４隅に該当するところに位置している。

そして、二つのステージ１３の中間に、パルスモータ２
８により回動するピニオンギヤ２９が配置され、ピニオ
ンギヤ２９の対向箇所に係合する対のラックギヤ３０の
それぞれがステージ２３のそれぞれに接続されている。

従って、パルスモータ２８を駆動すると横方向に対を構
成するマガジンガイド２１が一定の中心を基準にして対
称に移動するので、マガジン２の位置決め設定をパルス
モータ２８のパルス制御で行えば、その設定が所望の中
心基準となるばかりではなく、横方向の位置決め精度を
１／１００　ｍｍ程度に高めることが容易である。

然も、マガジンガイド２１相互間の横方向間隔がパルス
モータ２８の停止位置によって定まるので、マガジン２
の横幅の種類に応じたパルス制御条件を予め求めておき
、位置決め設定の際に当該マガジン２に該当するパルス
制御条件でパルスモータ２８を制御すれば、マガジンガ
イド２１相互間の横方向間隔は自動的に当該マガジン２
の横幅に整合したものとなり、横方向の位置決め設定を
極めて短時間で行うことができる。

また、パルスモータ３１（先に述べた第２パルスモータ
）により回動する前後方向のボールネジ３２を設けて、
ホールネジ３２の回動により前後方向に移動するアーム
３３をシャフト２７に係合させである。

従って、パルスモータ３１を駆動すると前後方向に対を
構成するマガジンガイド２１の一方即ち後方の２本が前
後方向に移動するので、先の横方向の位置決め設定の場
合と同様に、パルスモータ３１のパルス制御により任意
の大きさのマカジン２に対する前後方向の位置決め設定
を精度良く短時間で行うことができる。

マガジン２の昇降は、モータ３４とホールネジ３５の動
作で上下に移動するエレベータ３６によって行う。これ
により、図２で説明したワークの給付・排出が可能であ
る。

なお、図１（ｃ）に示す３７は用済みのマガジン２を横
方向に排出するブツシャであり、その排出のためにマガ
ジンカイト２１の成るものは下方の一部を切り欠いであ
る。また、同図には図２で説明したブツシャ４と搬送機
５を示しである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、製造装置に対する
平板状ワークの給付・排出用として、複数の該「ノーク
を前後方向から階層的に収容する直方体状マガジンを載
置するローダ・アンローダに関して、マカシンの大きさ
を切り替える際のマガジンの位置決め設定を、中心基準
法によりながら正確に且つ短時間でなし得るようにする
ことができて、前記給付・排出の安定化及び前記位置決
め設定操作の簡便化を可能にさせる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図１．　　（ａ）〜（Ｃ）は実施例の説明図であって、
（ａ）はマカジンガイド部を示す斜視図、（ｂ）、（ｃ
）は全体の要部を示す平面図と側面図、図２はローダ・
アンローダの概念を説明するための側面図、 図３　（ａｌ　（ｂ）は従来例の要部を示す平面図、で
ある。 図において、 １はローダ・アンローダ、 ２はマカジン、 ３はリードフレーム（ワーク）、 ４はブツシャ、 ５は搬送機、 ６は製造装置、 Ｉｌ、、　２１はマガジンカイト、 ２８はパルスモータ、 ２９はピニオンギヤ、 ３０はラックキャ、 ３１は（第２）パルスモー外 ３６はエレベータ、 である。 口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）製造装置に対する平板状ワークの給付・排出用とし
   て、複数の該ワークを前後方向から階層的に収容する直
   方体状マガジンを載置するローダ・アンローダであって
   、 直立し横方向で対に配置されてそれぞれが横方向に移動
   可能であり、前記マガジンを横方向から挟んで上下方向
   に案内するマガジンガイドと、該マガジンガイドの前記
   対の中間に位置してパルスモータにより回動するピニオ
   ンギヤ、及び、該ピニオンギヤの対向箇所に係合する対
   を構成してそれぞれが該マガジンガイドの横方向対のそ
   れぞれに接続されたラックギヤとを有して、 前記マガジンの横幅に対応させた前記パルスモータの制
   御により、前記マガジンガイド相互間の横方向間隔が該
   マガジンの横幅に整合することを特徴とするローダ・ア
   ンローダ。２）前記マガジンガイドは、断面Ｌ字形の棒
   状をなし前記マガジンの４隅部分に配置されて前後方向
   にも対を構成し、該対の一方が前後方向に移動可能で該
   マガジンを前後方向からも挟み得るものであり、 該一方のマガジンガイドを前後方向に移動させるための
   第２パルスモータを有して、 前記マガジンの前後幅に対応させた前記第２パルスモー
   タの制御により、前記マガジンガイド相互間の前後方向
   間隔が該マガジンの前後幅に整合することを特徴とする
   請求項１に記載のローダ・アンローダ。 ３）前記マガジンを載せて昇降するエレベータを有する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のローダ・ア
   ンローダ。