JPH0523944A - ワーク搬送装置 - Google Patents

ワーク搬送装置

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JPH0523944A
JPH0523944A JP17996191A JP17996191A JPH0523944A JP H0523944 A JPH0523944 A JP H0523944A JP 17996191 A JP17996191 A JP 17996191A JP 17996191 A JP17996191 A JP 17996191A JP H0523944 A JPH0523944 A JP H0523944A
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JP
Japan
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work
rack member
carry
rack
pallet
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Application number
JP17996191A
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English (en)
Inventor
Tomikazu Ishii
富美一 石井
Hiroyuki Nakasone
博幸 中曽根
Hideo Kurasawa
秀夫 倉沢
Toshiaki Hakoyama
敏明 箱山
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Ueda Japan Radio Co Ltd
Original Assignee
Ueda Japan Radio Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワークを加工機に対して自動的にかつ効率的に
搬送することができるとともに、装置全体を容易に小型
化することを可能にする。 【構成】ワークWを保持したパレット11を収容するラ
ック部材14と、このラック部材14をワーク搬出・搬
入位置Pに対応して位置決めする昇降機構16と、前記
ラック部材14に収容されたワークWを、前記ワーク搬
出・搬入位置Pで取り出す搬出機構18と、前記取り出
されたワークWをダイシング装置20に供給するととも
に、加工終了後のワークWを前記ダイシング装置20か
ら排出する移送機構22と、前記排出されたワークW
を、前記ワーク搬出・搬入位置Pで前記ラック部材14
の所望の収容部位12に送り込む搬入機構24とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ラック部材に収容され
たワークを、加工機に供給して所定の加工を行った後に
再度前記ラック部材に自動的に搬入するワーク搬送装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、例えばシリコンウエハやVT
Rヘッド等のワークを切断加工する装置としてダイシン
グ装置が使用されている。
【0003】この種のダイシング装置にワークを搬送す
る際には、通常、作業者が、ワークを作業台に位置決め
固定するとともに、加工終了後にこのワークを前記作業
台から取り外す作業を手作業で行っている。このため、
ワーク加工作業全体の自動化および効率化が遂行されな
いという問題が指摘されている。
【0004】そこで、ワークの搬送作業を自動的に行う
ため、未加工のワークを収容する供給用ラック部材が用
意され、このラック部材から順次取り出されたワーク
が、供給路を介して作業台に位置決めされて加工機で加
工された後に、この作業台から取り外されて排出路を介
して排出用ラック部材に収容されるよう構成されたワー
ク搬送装置が知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術では、供給用ラック部材から取り出された未加
工ワークを作業台に搬送する供給路と、加工後のワーク
を排出用ラック部材に搬送する排出路とが必要となるた
め、ワーク搬送装置が複雑でかつ大型化してしまい、設
置スペースの有効利用が図れないという問題がある。し
かも、供給用ラック部材と排出用ラック部材とを用意し
なければならず、ラック部材の個数が増大してワーク搬
送装置全体のコストアップの原因となってしまう。
【0006】本発明は、この種の問題を解決するもので
あり、ワークを加工機に対して自動的にかつ効率的に搬
送することができるとともに、装置全体を容易に小型化
並びに簡素化することが可能なワーク搬送装置を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、複数のワークを多段に整列して収容す
るラック部材と、前記ラック部材をワーク搬出・搬入位
置に対応して位置決めするための昇降機構と、前記ラッ
ク部材に収容されたワークを、前記ワーク搬出・搬入位
置で一つずつ取り出す搬出機構と、前記取り出されたワ
ークを加工機に供給するとともに、加工終了後のワーク
を前記加工機から排出する移送機構と、前記排出された
ワークを、前記ワーク搬出・搬入位置で前記ラック部材
の所望の収容部位に送り込む搬入機構とを備えることを
特徴とする。
【0008】
【作用】上記の本発明に係るワーク搬送装置では、ラッ
ク部材がワーク搬出・搬入位置に対応して位置決めされ
た後、搬出機構を介してこのラック部材から単一のワー
クが取り出されて移送機構に受け渡されると、この移送
機構によって加工機に供給されて加工作業が施される。
次に、加工終了後のワークは、移送機構を介して加工機
から搬出され、さらに搬入機構によってワーク搬出・搬
入位置に待機している前記ラック部材の所望の収容部位
に送り込まれる。このため、同一の搬送路でラック部材
からの未加工ワークの搬出作業と、このラック部材への
加工後のワークの搬入作業とを行うことができるととも
に、単一のラック部材を用いるだけでよく、装置全体の
小型化および簡素化が容易に遂行される。
【0009】
【実施例】本発明に係るワーク搬送装置について実施例
を挙げ、添付の図面を参照して以下に説明する。
【0010】図1において、参照符号10は、本実施例
に係るワーク搬送装置を示す。このワーク搬送装置10
は、ワークWを保持したパレット11を多段に整列して
収容する複数の収容部位12を有する所定数のラック部
材14と、このラック部材14をワーク搬出・搬入位置
Pに対応して位置決めするための昇降機構16と、前記
ラック部材14に収容されたワークWを、前記ワーク搬
出・搬入位置Pで一つずつ取り出す搬出機構18と、前
記取り出されたワークWをダイシング装置(加工機)2
0に供給するとともに、加工終了後のワークWを前記ダ
イシング装置20から排出する移送機構22と、前記排
出されたワークWを、前記ワーク搬出・搬入位置Pで前
記ラック部材14の所望の収容部位12に送り込む搬入
機構24とを備える。
【0011】このワーク搬送装置10を構成する本体2
6の一端側に未加工のワークWを収容したラック部材1
4を配置するための搬入部28と、加工後のワークWを
収容したラック部材14を配置するための搬出部30と
が鉛直方向に並設される。この搬入部28には、ラック
部材14を搬入部28から昇降機構16に移送するラッ
ク送出機構32が設けられ、この搬出部30には、ラッ
ク部材14を前記昇降機構16から搬出部30に移送す
るラック引込機構34とラック有無確認用センサ35と
が配置される。
【0012】ラック部材14は、パレット11が水平方
向に通過可能な箱状を有しており、底壁部36の側部に
位置決め用溝部38a、38bが形成されるとともに、
この底壁部36に矩形状開口部40が設けられる。
【0013】昇降機構16は、モータ42を備え、この
モータ42に係合するボールねじ44の上端に昇降テー
ブル46が固定され、この昇降テーブル46にはガイド
ロッド48a、48bが固定される。ガイドロッド48
aには、検出板50が固着され、昇降テーブル46が所
定の高さ位置に至る際にこの検出板50により駆動され
るセンサ(光センサ)52a乃至52cが、本体26内
に上下に配列される。昇降テーブル46には、エアシリ
ンダ54が固着され、このエアシリンダ54から延びる
ロッド56には、ラック部材14の溝部38a、38b
に対応した形状の固定板58が設けられる。
【0014】搬出機構18は、エアシリンダ60を備
え、このエアシリンダ60から延びるロッド62に押圧
部材64が固定される。このエアシリンダ60には、押
圧部材64の位置を検出するための近接センサ66a、
66bが所定間隔離間して配設される。
【0015】移送機構22は、昇降台68を備え、この
昇降台68に固定されたボールねじ70にモータ72が
係合するとともに、前記昇降台68にガイドロッド74
a、74bが固着される。このガイドロッド74aに
は、検出板76が固着され、昇降台68が所定の高さ位
置に至る際にこの検出板76により駆動されるセンサ
(光センサ)78a乃至78cが、本体26内に上下に
配列される。
【0016】昇降台68には、モータ80が固定され、
このモータ80から延びる回転軸82にベルト・プーリ
を介してボールねじ84が係合する。このボールねじ8
4に係合するナット部材86が、可動台88に固定され
ており、この可動台88の端部に設けられた検出板90
は、センサ(光センサ)92a、92bを駆動させて可
動台88の進退位置を検出する。
【0017】この可動台88には、パレット11を保持
してダイシング装置20の配置部位Hに配置されたテー
ブル93に搬送可能な保持手段94と、このテーブル9
3のストッパ93aにパレット11を押圧して位置決め
する押圧手段96とが配置される。図3に示すように、
この保持手段94は、エアシリンダ98を備え、このエ
アシリンダ98から延びるロッド100に板体102が
固定される。この板体102に、駆動アーム104a、
104bの一端が支持されるとともに、この駆動アーム
104a、104bの他端に固定アーム106a、10
6bが係合し、この固定アーム106a、106bの略
中央部に係合する支持ピン108a、108bが可動台
88に固着される。固定アーム106a、106bの下
方には、パレット11を保持可能なパレット供給アーム
110a、110bが平行に配置される。押圧手段96
は、エアシリンダ112を備え、このエアシリンダ11
2から延びるロッド114に押え部材116が固定され
る。
【0018】ワーク搬出・搬入位置Pと移送機構22と
の間に、パレット11を案内するためのガイドレール1
18a乃至118cが配置され、長尺なガイドレール1
18aに近接して搬入機構24が配置される。この搬入
機構24は、エアシリンダ120を備え、このエアシリ
ンダ120から延びるロッド122に略L字状の引込み
アーム124が固定される。エアシリンダ120には、
引込みアーム124の位置を検出するための近接センサ
126a、126bが所定間隔離間して配設される。
【0019】ラック送出機構32は、エアシリンダ12
8を備え、このエアシリンダ128から延びるロッド1
30に保持体131が固定され、この保持体131にラ
ック部材14の開口部40に挿入自在な爪部材132が
進退自在に装着される。エアシリンダ128の外方に
は、この爪部材132の位置を検出するための近接セン
サ134a、134bが配置される。
【0020】ラック引込機構34は、ラック送出機構3
2と同様に構成されており、同一の参照符号は同一の構
成要素を示し、その詳細な説明は省略する。このラック
引込機構34を構成する爪部材132には、ラック送出
機構32を構成する爪部材132と逆方向にテーパ部位
が設けられている。
【0021】図1および図2に示すように、ワーク搬送
装置10の搬送動作をダイシング装置20の動作と連動
して制御可能な制御回路140が設けられる。この制御
回路140は、本体26内に配設される順次動作制御部
142と、この本体26の外部に配置される主制御部1
44とを備える。主制御部144は、通信手段146を
備え、この通信手段146を介してダイシング装置20
と信号の授受およびこのダイシング装置20を通じてワ
ーク搬送装置10と信号の授受を行うとともに、このワ
ーク搬送装置10は、ダイシング装置20と信号の授受
を行う。
【0022】次に、このように構成されるワーク搬送装
置10の動作について、図5乃至図9に示す動作フロー
チャートを用いて説明する。
【0023】まず主制御部144に、加工されるワーク
Wの種類等に応じたカットデータとこのワークWの数が
入力される(ステップS1)。そこで、本体26の搬入
部28に所定数のパレット11を収容したラック部材1
4が配置されると、主制御部144は、通信手段146
を介してダイシング装置20と順次動作制御部142と
に信号を送る。この信号により、ラック送出機構32を
構成するエアシリンダ128が駆動され、このエアシリ
ンダ128のロッド130が昇降機構16側に延びる。
このため、爪部材132がラック部材14の開口部40
に係合し、このラック部材14を昇降機構16側に移送
する(ステップS2および図4中、二点鎖線参照)。
【0024】パレット11が昇降テーブル46上の所定
の位置に至り、近接センサ134aがONされると(ス
テップS3)、エアシリンダ128が逆方向に駆動され
て爪部材132は、ラック部材14の開口部40から離
脱して近接センサ134bが駆動されるまで退避する
(ステップS4およびステップS5)。
【0025】次に、昇降機構16を構成するエアシリン
ダ54が駆動され、ロッド56を介して固定板58がラ
ック部材14の底壁部36に形成された溝部38a、3
8bに係合し、このラック部材14が位置決め固定され
る(ステップS6)。そして、モータ42が駆動されて
ボールねじ44の回転作用下に昇降テーブル46が上昇
し(ステップS7)、この上昇は、ガイドロッド48a
に固定された検出板50によりセンサ52bが駆動され
るまで継続される(ステップS8)。これにより、ラッ
ク部材14は、所望の収容部位12に収容されたパレッ
ト11をワーク搬出・搬入位置Pに対応して配置され
る。
【0026】さらに、主制御部144からダイシング装
置20にカットデータの入力が行われた後(ステップS
9およびステップS10)、搬出機構18を構成するエ
アシリンダ60が駆動されてロッド62と押圧部材64
とが一体的にラック部材14側に移動する(ステップS
11)。従って、図4に示すように、押圧部材64が、
ラック部材14内のパレット11を押圧するため、この
パレット11は、ガイドレール118a乃至118cの
案内作用下に近接センサ66aが駆動されるまで移送機
構22側に送り出される(ステップS12)。その後、
エアシリンダ60が逆方向に駆動され、押圧部材64
は、近接センサ66bが駆動されるまで退避する(ステ
ップS13およびステップS14)。
【0027】次いで、モータ72が駆動されてボールね
じ70の回転作用下に昇降台68が上昇され(ステップ
S15)、ガイドロッド74aの検出板76がセンサ7
8aを駆動するまでこの昇降台68が上昇される(ステ
ップS16)。これにより、ガイドレール118a、1
18bに保持されていたパレット11は、昇降台68に
固定されたパレット供給アーム110a、110bによ
り保持される。この状態で、保持手段94を構成するエ
アシリンダ98が駆動されてロッド100が板体102
と一体的にパレット11側に移動し(ステップS1
7)、駆動アーム104a、104bを介して固定アー
ム106a、106bが支持ピン108a、108bを
支点にして揺動し、この固定アーム106a、106b
の先端部によりパレット11が把持される(図3参
照)。
【0028】さらに、モータ80が駆動されてボールね
じ84が回転され、ナット部材86を介して可動台88
がダイシング装置20側に移動する(ステップS1
8)。検出板90によりセンサ92bが駆動される際に
(ステップS19)、モータ80が停止されるととも
に、エアシリンダ98が前記とは逆方向に駆動されて固
定アーム106a、106bをパレット11から離間さ
せ、このパレット11の保持作用を解除する(ステップ
S20)。そして、モータ72が駆動され、検出板76
によりセンサ78bが駆動されるまで昇降台68が下降
される(ステップS21およびステップS22)。これ
により、パレット供給アーム110a、110bに保持
されていたパレット11は、ダイシング装置20のテー
ブル93上に配置され、その後押圧手段96を構成する
エアシリンダ112の駆動作用下に、押え部材116が
パレット11を押圧し、このパレット11がストッパ9
3aに位置決めされる(ステップS23)。
【0029】この状態で、順次動作制御部142からダ
イシング装置20にパレット11を固定すべく信号が送
られ(ステップS24)、このパレット11がテーブル
93に固定されたことが検出されると(ステップS2
5)、エアシリンダ112が前記とは逆方向に駆動され
る(ステップS26)。このため、押え部材116が退
避され、次にモータ80が駆動されて可動台88がダイ
シング装置20から離間する方向に移動し(ステップS
27)、検出板90によりセンサ92aが駆動される位
置でこのモータ80が停止される(ステップS28)。
そして、主制御部144からダイシング装置20に加工
開始信号が送られ、このダイシング装置20によりワー
クWに所定の加工作業が行われる(ステップS29)。
【0030】加工作業が終了した後(ステップS3
0)、ダイシング装置20から主制御部144に加工終
了信号が送られると、この主制御部144から順次動作
制御部142に信号が送られてモータ80が駆動され
(ステップS31)、センサ92bが駆動されるまで可
動台88がダイシング装置20側に移動する(ステップ
S32)。そこで、順次動作制御部142からダイシン
グ装置20に信号が送られて、パレット11がテーブル
93に対する固定から解除される(ステップS33)。
【0031】次に、モータ72が駆動され(ステップS
34)、検出板76によりセンサ78aが駆動されるま
で昇降台68が上昇し(ステップS35)、パレット1
1がパレット供給アーム110a、110bに保持され
る。さらに、エアシリンダ98が駆動されて固定アーム
106a、106bでパレット11の両側部を把持した
状態で(ステップS36)、モータ80の駆動作用下に
可動台88は、センサ92aがONされるまで退避する
(ステップS37およびステップS38)。そして、エ
アシリンダ98が、前記とは逆方向に駆動され(ステッ
プS39)、固定アーム106a、106bがパレット
11から離間された後、モータ72の作用下にセンサ7
8cが駆動されるまで昇降台68が下降される(ステッ
プS40およびステップS41)。これによって、パレ
ット11は、パレット供給アーム110a、110bか
らガイドレール118a、118b上に配置されるに至
る。
【0032】そこで、搬入機構24を構成するエアシリ
ンダ120が駆動され(ステップS42)、引込みアー
ム124がロッド122を介してラック部材14側に移
動し、ガイドレール118a、118b上のパレット1
1をワーク搬出・搬入位置Pに移送する。このパレット
11が、ラック部材14の同一の収容部位12に再度収
容されると、エアシリンダ120が近接センサ126b
を駆動するため(ステップS43)、この時点でエアシ
リンダ120が逆方向に駆動されて近接センサ126a
が駆動されるまで引込みアーム124が移送機構22側
に戻される(ステップS44およびステップS45)。
【0033】ここで、ラック部材14に他のパレット1
1が収容されていれば(ステップS46のYES)、モ
ータ42が駆動されてセンサ52bが検出板50により
駆動されるまで昇降テーブル46が上昇される(ステッ
プS47およびステップS48)。そして、ステップS
9に戻って次のパレット11のカットデータが主制御部
144からダイシング装置20に入力され、上述した工
程が遂行される。
【0034】一方、ラック部材14内に収容された全て
のパレット11のワークWに対する処理が終了した際に
は(ステップS46のNO)、モータ42が駆動されて
センサ52aが検出板50により駆動されるまで昇降テ
ーブル46が上昇される(ステップS49およびステッ
プS50)。さらに、搬出部30のセンサ35がON状
態であれば(ステップS51)、この搬出部30に既に
他のラック部材14が配置されており、昇降テーブル4
6上のラック部材14はその位置で停止される。
【0035】搬出部30のセンサ35がOFF状態であ
れば、エアシリンダ54が駆動されて固定板58が、ラ
ック部材14から離間され(ステップS52)、さらに
ラック引込機構34を構成するエアシリンダ128が駆
動されて爪部材132が、近接センサ134aを駆動さ
せる位置までラック部材14側に移動する(ステップS
53およびステップS54)。このため、爪部材132
がラック部材14の開口部40に係合し、次いでエアシ
リンダ128が前記とは逆方向に駆動され、近接センサ
134bが駆動される位置まで爪部材132とラック部
材14とが一体的に搬出部30側に搬送される(ステッ
プS55およびステップS56)。そして、モータ42
が駆動され、昇降テーブル46は、センサ52cが検出
板50により駆動される位置まで下降され(ステップS
57およびステップS58)、ステップS2に戻る。
【0036】この場合、本実施例では、複数のパレット
11を収容したラック部材14が、ワーク搬出・搬入位
置Pに配置された後、このラック部材14の所定の収容
部位12に収容されているパレット11は、搬出機構1
8を介して一枚ずつ移送機構22側に搬出される。次
に、このパレット11は、移送機構22を介してダイシ
ング装置20のテーブル93に位置決め固定されてワー
クWに所望の加工作業が施された後、この移送機構22
を介して同一のラック部材14の所定の収容部位12に
再度収容される。
【0037】このため、ラック部材14から未加工のワ
ークWを保持したパレット11を搬出する作業と、加工
後のワークWを保持したパレット11をこの同一のラッ
ク部材14に搬入する作業とを、単一の移送機構22で
行うことができるとともに、単一のラック部材14を用
いるだけでよい。従って、従来のように、搬出路と搬入
路とを設け、この搬出路および搬入路にそれぞれラック
部材を配置するものに比べ、ワーク搬送装置10全体の
構造が一挙に小型化かつ簡素化するとともに、経済的で
あるという効果が得られる。特に、本実施例では、搬出
用ラック部材と搬入用ラック部材との二種類のラック部
材を用意するものに比べ、ラック部材14の数を半減す
ることが可能になり、多数のワークWを加工する際に、
極めて経済的となるという利点がある。
【0038】しかも、ワークWの加工作業のフルオート
化が容易に遂行され、加工作業の効率化が達成されると
いう効果がある。
【0039】なお、本実施例では、搬入部28を下方
に、搬出部30を上方に配置しているが逆にして構成し
てもよい。また、移送機構22は、パレット11をラッ
ク部材14に対して直交する方向に進退させているが、
このラック部材14とダイシング装置20を直線上に配
設してこのパレット11を直線上に移送することもでき
る。さらに、駆動源としてエアシリンダ54等を用いて
いるが、これに代替してモータを使用してもよい。
【0040】
【発明の効果】本発明に係るワーク搬送装置によれば、
以下の効果が得られる。
【0041】ラック部材がワーク搬出・搬入位置に位置
決めされた状態で、このラック部材内のワークは、加工
機に搬送されて加工作業が施された後、このワーク搬出
・搬入位置に待機している前記ラック部材の所望の収容
部位に送り込まれるため、同一の搬送路でラック部材か
らの未加工のワークの搬出作業と、このラック部材への
加工後のワークの搬入作業とを行うことができる。この
ため、個別のワーク搬出路とワーク搬入路とに搬入用ラ
ック部材と搬出用ラック部材とを配設するものに比べ、
搬送路およびラック部材の数を半減することが可能にな
り、装置全体の小型化および簡素化が容易に遂行される
とともに、製造コストの高騰を有効に防止することがで
きる。しかも、加工作業全体の自動化が容易に遂行さ
れ、この加工作業の効率化が達成される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係るワーク搬送装置の概略斜視説明
図である。
【図2】前記ワーク搬送装置の制御回路説明図である。
【図3】前記ワーク搬送装置を構成する移送機構の概略
平面図である。
【図4】前記ワーク搬送装置の一部動作説明図である。
【図5】前記ワーク搬送装置の動作フローチャートであ
る。
【図6】前記ワーク搬送装置の動作フローチャートであ
る。
【図7】前記ワーク搬送装置の動作フローチャートであ
る。
【図8】前記ワーク搬送装置の動作フローチャートであ
る。
【図9】前記ワーク搬送装置の動作フローチャートであ
る。
【符号の説明】
10…ワーク搬送装置 11…パレット 14…ラック部材 16…昇降機構 18…搬出機構 20…ダイシング装置 22…移送機構 24…搬入機構 28…搬入部 30…搬出部 32…ラック送出機構 34…ラック引込機構 46…昇降テーブル 68…昇降台 88…可動台 94…保持手段 96…押圧手段 106a、106b…固定アーム 124…引込みアーム 142…順次動作制御部 144…主制御部 146…通信手段
フロントページの続き (72)発明者 箱山 敏明 長野県上田市大字諏訪形1717−9 上田日 本無線株式会社小牧工場内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のワークを多段に整列して収容するラ
    ック部材と、 前記ラック部材をワーク搬出・搬入位置に対応して位置
    決めするための昇降機構と、 前記ラック部材に収容されたワークを、前記ワーク搬出
    ・搬入位置で一つずつ取り出す搬出機構と、 前記取り出されたワークを加工機に供給するとともに、
    加工終了後のワークを前記加工機から排出する移送機構
    と、 前記排出されたワークを、前記ワーク搬出・搬入位置で
    前記ラック部材の所望の収容部位に送り込む搬入機構と
    を備えることを特徴とするワーク搬送装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の装置において、加工前のワ
    ークを収容するラック部材を、搬入部から昇降機構に移
    送するラック送出機構と、 加工後のワークを収容するラック部材を、前記昇降機構
    から搬出部に移送するラック引込機構とを備えることを
    特徴とするワーク搬送装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載の装置において、昇降機構
    は、ラック部材を配置させる昇降テーブルと、 前記昇降テーブル上に前記ラック部材を位置決め固定す
    るための可動固定部材とを備えることを特徴とするワー
    ク搬送装置。
  4. 【請求項4】請求項1記載の装置において、搬送機構
    は、ワークを保持して加工機の配置部位に搬送可能な保
    持手段と、 前記配置部位に配置されたワークを押圧して位置決めす
    る押圧手段とを備えることを特徴とするワーク搬送装
    置。
  5. 【請求項5】請求項1記載の装置において、ワークの搬
    送動作を加工機の動作と連動して制御可能な制御回路を
    備えることを特徴とするワーク搬送装置。
JP17996191A 1991-07-19 1991-07-19 ワーク搬送装置 Pending JPH0523944A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013027880A1 (ko) * 2011-08-24 2013-02-28 (주)대성하이텍 실리콘잉곳의 복합가공기
WO2020159018A1 (ko) * 2019-02-01 2020-08-06 주식회사 제이엠피 Pvc시트 재생장치

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013027880A1 (ko) * 2011-08-24 2013-02-28 (주)대성하이텍 실리콘잉곳의 복합가공기
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