JPH0565057B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置等の製造工場内等でウエ
ハの移送に利用されるウエハカセツト収納箱に関
する。

（従来の技術） 一般に半導体装置等の製造は、高度に清浄化さ
れた雰囲気内で行なわれ、このような工程におい
ては塵等の付着を避けるためウエハを収容するウ
エハカセツトは、ウエハカセツト収納箱内に収納
されて工程間を移送される。

第３図は、このような従来のウエハカセツト収
納箱の一例を示すもので、このウエハカセツト収
納箱１は内部にウエハカセツト（図示せず）を収
納する収納部２と、蓋３とからなる収納箱本体４
の上部等には、例えば文字、記号、バーコード、
磁気信号、電気信号等により収納物であるウエハ
のロツト番号、処理内容等の情報を書込まれたカ
ード５を着脱自在に保持するカード保持部６を備
えたものが多い。

上記構成のウエハカセツト収納箱１では、収納
箱本体４内にウエハが収納され、カード５の情報
にしたがつてこのウエハを処理する処理装置間を
移送され処理される。

このとき、ウエハカセツト収納箱１には工程内
の清浄化を保つため、ウエハの処理内容等により
使用される工程に制限が設けられており、１つの
ウエハカセツト収納箱１はこの制限のある工程内
でのみ使用され、ウエハおよびカード５のみが次
の工程へ送られ、次の工程内で使用されるウエハ
カセツト収納箱内へ収納される。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記説明の従来のウエハカセツト
収納箱では、ウエハおよびカード５が次の工程へ
送られ、空となつたウエハカセツト収納箱１に
は、その所属する工程等の情報を表示する機能を
備えていないため、特に無人搬送システム内等に
おいては、使用制限範囲外の他の工程へ移送され
る可能性がある。

また、ウエハカセツト収納箱１は一定の使用期
間ごとに洗浄を行なう必要があり、このような洗
浄期限についての情報を表示する機能も備えてい
ないため、無人搬送システム内では、洗浄期限を
判定することが困難であり、工程内の清浄化雰囲
気が汚染されたり、無人搬送システムによる自動
化が妨げられる等の問題があつた。

本発明は、係る従来の事情に対処してなされた
もので、無人搬送システム等においても空となつ
たウエハカセツト収納箱の所属、洗浄期限等を容
易に識別することができ、無人搬送システムによ
る自動化および工程内の清浄化を図ることのでき
るウエハカセツト収納箱を提供しようとするもの
である。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明のウエハカセツト収納箱は、内
部にウエハカセツトを収納する収納箱本体と、こ
の収納箱本体の外側に配置され前記ウエハカセツ
ト内のウエハについての情報を書込まれたカード
を着脱自在に保持するカード保持部と、このカー
ド保持部の前記カードによつて上面を覆われる位
置に配置され前記収納箱本体についての情報を表
示する収納箱情報表示部とを備えている。

（作用） 本発明のウエハカセツト収納箱では、ウエハカ
セツト内のウエハの情報を書込まれたカードを保
持するカード保持部に配置され、このカードによ
つて上面を覆われる位置に収納箱本体の情報を表
示する収納箱情報表示部を備えている。

したがつて、カードおよびウエハカセツト内の
ウエハを取出され空となつた収納箱本体のカード
保持部には、収納箱情報表示部が現われる。この
収納箱情報表示部に例えばバーコード、磁気信
号、電気信号、文字、記号等によつて収納箱本体
の所属および洗浄期限等の情報を書込んでおくこ
とによつて、これらの情報を作業員あるいは機械
が読取り、搬送、洗浄等を行なうことができる。
また、収納箱本体内のウエハの情報を書込まれた
カードと収納箱情報表示部とに同様なバーコード
等の表示を行なう場合は、機械によつて１か所の
バーコード等を読取ることにより、その収納箱本
体が空であるかウエハが収納されているかの判定
も行うことができる。

（実施例） 以下、本発明のウエハカセツト収納箱を図面を
参照して一実施例について説明する。

第１図および第２図は本発明の一実施例のウエ
ハカセツト収納箱を示すもので、この実施例のウ
エハカセツト収納箱１１では、例えばポリプロピ
レン、ポリエチレン、スチレン、テフロン等から
なり、内部にウエハカセツト（図示せず）を１ま
たは複数収納する収納部１２と、この収納部１２
の上部を覆う蓋１３とからなる収納箱本体１４の
上部には、例えば文字１５ａおよびバーコード１
５ｂによりロツト番号、処理内容等のウエハにつ
いての情報を書込まれたカード１５を着脱自在に
保持するため、カード１５の外周形状に沿つてコ
字状に形成された突起部１６と、この突起部１６
の側壁内側に形成された溝１７とから構成される
カード保持部が配置されている。

また、突起部１６の溝１７の下部には、文字１
８ａおよびバーコード１８ｂにより例えば所属工
程、洗浄期限等の収納箱本体１４についての情報
を書込まれた収納箱情報表示カード１８と、この
収納箱情報表示カード１８を着脱自在に保持する
ための溝１９とから構成される収納箱情報表示部
が配置されている。

上記構成のこの実施例のウエハカセツト収納箱
１１では、収納箱本体１４内にウエハを収容する
ウエハカセツトが収納され、ウエハを処理する処
理装置間等の工程間を移送される。

そして、処理装置は、この収納箱本体１４に保
持されたカード１５上のバーコード１５ｂを読取
ることにより、収納箱本体１４内のウエハのロツ
ト番号、処理内容等を認識し、処理を行なう。

この後、カード１５とともに収納箱本体１４内
のウエハは、他のウエハカセツト収納箱１１に移
され、他の工程へ移送され、一方空となつたウエ
ハカセツト収納箱１１は、収納箱情報表示カード
１８上のバーコード１８ｂによつて所属および洗
浄期限等を読取られ、その所属工程内へ戻され、
必要な場合は洗浄工程へ移送される。

すなわち、この実施例のウエハカセツト収納箱
１１では、ウエハについての情報を伝達するカー
ド１５を保持するカード保持部の下側に収納箱情
報表示カード１８によりこの収納箱本体１４につ
いての情報を表示する収納箱情報表示部を設けて
ある。したがつて無人搬送システムなどにおいて
もカード１５およびウエハが移送され、空となつ
た収納箱本体１４は、収納箱情報表示部に表示さ
れた情報にしたがつて、確実に移送、洗浄等を行
なわれる。また、カード１５のウエハについての
情報と、収納箱情報表示カード１８の収納箱本体
１４についての情報とを同様なバーコード１５
ｂ，１８ｂで表示してあるので、機械での読取り
は１か所の読取りを行なうことで、そのウエハカ
セツト収納箱１１が空であるか否かの判定も行な
うことができる。

なおこの実施例では、収納箱本体１４について
の情報を表示する収納箱情報表示部を収納箱情報
表示カード１８と、この収納箱情報表示カード１
８を着脱自在に保持する溝１９によつて構成した
が、本発明は係る実施例に限定されるものではな
く、例えばクリツプによつて収納箱情報表示カー
ド１８を保持するよう構成しても、あるいは収納
箱情報表示カード１８をシール等により構成し、
このシールを貼着させるよう構成する等どのよう
にしても良い。また、カードは、クリーン対応に
構成し、例えば用紙の場合は、複数回の使用で
も、表面が毛ば立たないように構成して発塵量を
減少させることが好ましい。さらに、各情報は、
文字およびバーコードによつて書込むよう構成し
たが、例えば磁気信号、電気信号、記号等どのよ
うにして情報を書込んでも良いことは勿論であ
る。

［発明の効果］ 上述のように発明のウエハカセツト収納箱で
は、無人搬送システム等においても、空となつた
ウエハカセツト収納箱の所属、洗浄期限等を容易
に識別することができ、確実に搬送および洗浄等
を行なうことができるので、無人搬送システムに
よる自動化および工程内の清浄化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のウエハカセツト収
納箱を示す斜視図、第２図は第１の要部を拡大し
て示す斜視図、第３図は従来のウエハカセツト収
納箱を示す斜視図である。 １１……ウエハカセツト収納箱、１４……収納
箱本体、１５……カード、１８……収納箱情報表
示カード。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 内部にウエハカセツトを収納する収納箱本体
   と、この収納箱本体の外側に配置され前記ウエハ
   カセツト内のウエハについての情報を書込まれた
   カードを着脱自在に保持するカード保持部と、こ
   のカード保持部の前記カードによつて上面を覆わ
   れる位置に配置され前記収納箱本体についての情
   報を表示する収納箱情報表示部とを備えたことを
   特徴とするウエハカセツト収納箱。 ２ カードは、クリーン対応に構成されたもので
   ある特許請求の範囲第１項記載のウエハカセツト
   収納箱。