JP4872303B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
また、箱体の形状が点対称であっても、一定の向きで装置内に搬入する必要があるため、容器外壁に基板の向きを示す識別票を貼りつけ、これを別の読取装置で読み取ることにより、基板を識別している。
前記識別票はバーコードであってもよい。
また、さらに、前記箱体を搬入可能な検査室を備え、前記読取手段が、前記検査室側面の所定の位置に設けられ、前記検査室内に搬入された前記箱体の前記識別票を読み取るものでもよい。
検査システム1による検査の対象となるのは箱体7であり、箱体7はパレット9上に蓋11が被せられた構造を有している。
箱体7内には図示しない基板等の試料が所定の向きで載置されている。
ここで、図2に示すように、バーコード13a、13bは、箱体7の中心15に対して点対称ではない位置に設けられるが、理由については後述する。
図3は検査システム1による箱体7の検査の手順を示すフローチャートであって、図4〜図7は検査の手順を示す図である。
従って、箱体7が点対称の構造を有している場合であっても箱体7の向きを確実に検出することができる。
従って、検査システム1のコストが低減される。
3…………検査室
5…………バーコードリーダ
7…………箱体
9…………パレット
11………蓋
13a……バーコード
15………中心
17………搬入部
Claims (3)
- 識別票を所定の位置に有する箱体と、
所定の位置に載置され、前記識別票を読み取る読取手段と、
前記読取手段によって前記識別票が読み取れるか否かを判定する判定手段と、
を有し、
前記識別票は、前記箱体の隣接する側面に、高さを変えて複数設けられており、
前記箱体内には、基板が所定の向きで載置されていることを特徴とする検査システムであって、
前記読取手段が、前記読取手段正面の前記箱体の前記識別票を読み取り、
前記隣接する側面に高さを変えて配置された複数の識別票は、一方の側面における識別票が、前記読取手段と同じ高さに配置され、他方の側面における識別票が、前記読取手段と異なる高さに配置されることを特徴とする検査システム。 - 前記識別票はバーコードであることを特徴とする請求項1記載の検査システム。
- 前記検査システムが、さらに前記箱体を搬入可能な検査室を備え、
前記読取手段が、前記検査室側面の所定の位置に設けられ、前記検査室内に搬入された前記箱体の前記識別票を読み取ることを特徴とする請求項1または2に記載の検査システム。
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JP2005303774A JP4872303B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | 検査システム |
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