JPH07283299A - ディスクキャリヤとディスクキャリヤを利用したディスクのモニタシステム及び方法 - Google Patents
ディスクキャリヤとディスクキャリヤを利用したディスクのモニタシステム及び方法Info
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- JPH07283299A JPH07283299A JP22981994A JP22981994A JPH07283299A JP H07283299 A JPH07283299 A JP H07283299A JP 22981994 A JP22981994 A JP 22981994A JP 22981994 A JP22981994 A JP 22981994A JP H07283299 A JPH07283299 A JP H07283299A
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C9/00—Details of labelling machines or apparatus
- B65C9/40—Controls; Safety devices
Abstract
(57)【要約】
【目的】プラント施設の中における様々な場所に設けら
れた多数の処理作業の中における半導体ウェハーやメモ
リーディスクの多数のバッチの経過をモニタするに適し
たディスクキャリヤとモニタシステム及び方法の提供。 【構成】ディスクキャリヤ１０の本体１２の端部２２を
有する壁部２４には、端部２４から壁部２４の内部に延
びる長溝２６が設けられている。長溝２６内には外部の
読み取りユニット４４によって読み取り可能な固有の識
別コードを有する無線周波数のトランスポンダ２８が収
容され、カバー３２により長溝２６内にシール状態で閉
じ込められる。
れた多数の処理作業の中における半導体ウェハーやメモ
リーディスクの多数のバッチの経過をモニタするに適し
たディスクキャリヤとモニタシステム及び方法の提供。 【構成】ディスクキャリヤ１０の本体１２の端部２２を
有する壁部２４には、端部２４から壁部２４の内部に延
びる長溝２６が設けられている。長溝２６内には外部の
読み取りユニット４４によって読み取り可能な固有の識
別コードを有する無線周波数のトランスポンダ２８が収
容され、カバー３２により長溝２６内にシール状態で閉
じ込められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体ウェハーやメモ
リーディスクのためのディスクキャリヤと、このデスク
キャリヤのバッチをその製造もしくは処理ステーション
においてモニタするためのシステム及びそのための方法
に関する。詳しくは、本発明は半導体ウェハーやメモリ
ーディスクの製造もしくは処理プロセスにおけるディス
クのバッチを識別し、追跡し、所望の処理ステーション
におけるステータスコード（status code)を提供するに
適したディスクキャリヤとそのためのシステム及び方法
を提供するものである。
リーディスクのためのディスクキャリヤと、このデスク
キャリヤのバッチをその製造もしくは処理ステーション
においてモニタするためのシステム及びそのための方法
に関する。詳しくは、本発明は半導体ウェハーやメモリ
ーディスクの製造もしくは処理プロセスにおけるディス
クのバッチを識別し、追跡し、所望の処理ステーション
におけるステータスコード（status code)を提供するに
適したディスクキャリヤとそのためのシステム及び方法
を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造産業においては、半導体ウェ
ハーは製造プラントの中を移動されて、多数の異なる場
所まで運ばれる。半導体ウェハーはそれらの場所でエッ
チングされたり、洗浄されたり、フォトリソグラフィ技
術を用いた処理が行われたり、試験されたり、他の様々
な試験や処理作業が行われたりする。同じように、メモ
リーディスクも製造施設において一連の製造作業を受け
て移動される。
ハーは製造プラントの中を移動されて、多数の異なる場
所まで運ばれる。半導体ウェハーはそれらの場所でエッ
チングされたり、洗浄されたり、フォトリソグラフィ技
術を用いた処理が行われたり、試験されたり、他の様々
な試験や処理作業が行われたりする。同じように、メモ
リーディスクも製造施設において一連の製造作業を受け
て移動される。
【０００３】半導体製造産業においては、ウェハーやメ
モリーディスクをキャリヤの中に収容されたバッチとし
て処理するのが一般的である。この場合のキャリヤは、
製造装置や処理装置に対してウェハーやメモリーディス
クを適切な位置に支持するように特別に設計されてい
る。製造装置や処理装置は、ディスクあるいはウェハー
をキャリヤの中に収容したままで処理するか、あるいは
ディスクやウェハーをキャリヤから取り出して処理を行
い、そのあとにそれらをキャリヤの中に戻す。ここで用
いるいるバッチという用語は、（キャリヤの能力に応じ
た）１つもしくは複数の半導体ウェハー或いはメモリー
ディスクを意味するものとする。
モリーディスクをキャリヤの中に収容されたバッチとし
て処理するのが一般的である。この場合のキャリヤは、
製造装置や処理装置に対してウェハーやメモリーディス
クを適切な位置に支持するように特別に設計されてい
る。製造装置や処理装置は、ディスクあるいはウェハー
をキャリヤの中に収容したままで処理するか、あるいは
ディスクやウェハーをキャリヤから取り出して処理を行
い、そのあとにそれらをキャリヤの中に戻す。ここで用
いるいるバッチという用語は、（キャリヤの能力に応じ
た）１つもしくは複数の半導体ウェハー或いはメモリー
ディスクを意味するものとする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】製造プラントにおいて
は、製造プロセス中におけるウェハーやメモリーディス
クのバッチの経過を追跡することが望ましい。さらに、
離れた場所においてもバッチの処理や経過に関する情報
をバッチのところで保持していることが望ましい。
は、製造プロセス中におけるウェハーやメモリーディス
クのバッチの経過を追跡することが望ましい。さらに、
離れた場所においてもバッチの処理や経過に関する情報
をバッチのところで保持していることが望ましい。
【０００５】ディスクの処理を行うときにトランスポン
ダのタグを利用することが、この発明の譲受人に譲渡さ
れたロッシ(Rossi) とソーサ(Saucer)の米国特許第 4,8
27,110号に開示されている。ロッシらは、垂直壁の外側
表面上にトランスポンダのタグを固定する方法及び装置
について述べている。
ダのタグを利用することが、この発明の譲受人に譲渡さ
れたロッシ(Rossi) とソーサ(Saucer)の米国特許第 4,8
27,110号に開示されている。ロッシらは、垂直壁の外側
表面上にトランスポンダのタグを固定する方法及び装置
について述べている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、プラント施
設の中における様々な場所に設けられた多数の処理作業
の間における半導体ウェハーやメモリーディスクの多数
のバッチの経過をモニタし、各バッチの経過に関する情
報を各バッチのところに保持するに適したディクキャリ
ヤとそのためのシステム及び方法を提供している。この
発明の方法は、ウェハーまたはメモリーディスクの各バ
ッチをキャリヤのに挿入する段階を有する。キャリヤは
ウェハーまたはメモリーディスクを互いに平行で軸方向
に互いに離間した状態に支持するような構造になってい
る。各キャリヤの中には、平面状の壁部に壁部の内側を
下端から延びる溝を用いてトランスポンダが埋め込まれ
ている。トランスポンダは、キャリヤやキャリヤの中に
収容されているディスクのバッチを識別したり、またバ
ッチがそれまでに受けた様々な処理作業を識別するため
のコードを有している。各キャリヤと、処理施設内にお
ける様々な場所との間の近接度は、検出範囲が限定され
た読み取りユニットによって検出される。読み取りユニ
ットの各々は、前述した様々な場所の一つに配置されて
おり、その検出範囲内において、任意のキャリヤの固有
の識別コードを決定できるような構造になっている。様
々な場所に設けられた書き込みユニットは、トランスポ
ンダ内のステータスコードを書換え、バッチが特定の処
理ステージを通過したことを示す。また、読み取り装置
からのキャリヤ識別情報は、処理作業中のバッチの経過
をモニタするために、遠隔的に蓄積されたり更新された
りする。
設の中における様々な場所に設けられた多数の処理作業
の間における半導体ウェハーやメモリーディスクの多数
のバッチの経過をモニタし、各バッチの経過に関する情
報を各バッチのところに保持するに適したディクキャリ
ヤとそのためのシステム及び方法を提供している。この
発明の方法は、ウェハーまたはメモリーディスクの各バ
ッチをキャリヤのに挿入する段階を有する。キャリヤは
ウェハーまたはメモリーディスクを互いに平行で軸方向
に互いに離間した状態に支持するような構造になってい
る。各キャリヤの中には、平面状の壁部に壁部の内側を
下端から延びる溝を用いてトランスポンダが埋め込まれ
ている。トランスポンダは、キャリヤやキャリヤの中に
収容されているディスクのバッチを識別したり、またバ
ッチがそれまでに受けた様々な処理作業を識別するため
のコードを有している。各キャリヤと、処理施設内にお
ける様々な場所との間の近接度は、検出範囲が限定され
た読み取りユニットによって検出される。読み取りユニ
ットの各々は、前述した様々な場所の一つに配置されて
おり、その検出範囲内において、任意のキャリヤの固有
の識別コードを決定できるような構造になっている。様
々な場所に設けられた書き込みユニットは、トランスポ
ンダ内のステータスコードを書換え、バッチが特定の処
理ステージを通過したことを示す。また、読み取り装置
からのキャリヤ識別情報は、処理作業中のバッチの経過
をモニタするために、遠隔的に蓄積されたり更新された
りする。
【０００７】
【発明の目的及び利点】この発明の目的及び利点は、で
きる限り型に変更を加えずに、既存のキャリヤ構造へト
ランスポンダを組み込むようにすることによって、設備
コストを大幅に削減することである。この発明のもう一
つの目的及び利点は、キャリヤの中へのトランスポンダ
の組み込みに関係する上面や側面ができる限り少なくな
っているか、あるいは全くないことである。このこと
で、トランスポンダの取り付けに関係する割れ目(crevi
ce) の中に処理用の流体や洗浄用の流体が入り込む可能
性を極力小さくできるものである。この発明の別の目的
及び利点は、トランスポンダを収容する長溝のカバーの
寸法が非常に小さくなっており、従ってカバーとキャリ
ヤの溶接部あるいは接合部の寸法が極力小さくなってい
ることである。このことはさらに、溶接部や接合部が処
理液や洗浄液によって侵されたり、汚染されたりする事
態をできる限り少なくする。このため、カバーやトラン
スポンダがキャリヤから外れる可能性が非常に小さくな
る。この発明のまた別の目的及び利点は、長溝及びトラ
ンスポンダのカバーが処理装置によって邪魔されたり、
処理装置が接触することがないように最適に保護されて
いることである。この発明の別の目的及び利点は、キャ
リヤの中へのトランスポンダの組み付けが非常に簡単に
なっていることである。トランスポンダを溝の中に挿入
して、非常に小さい一つのカバーを所定の位置に溶接し
て長溝を被い、トランスポンダを保持すればよいからで
ある。
きる限り型に変更を加えずに、既存のキャリヤ構造へト
ランスポンダを組み込むようにすることによって、設備
コストを大幅に削減することである。この発明のもう一
つの目的及び利点は、キャリヤの中へのトランスポンダ
の組み込みに関係する上面や側面ができる限り少なくな
っているか、あるいは全くないことである。このこと
で、トランスポンダの取り付けに関係する割れ目(crevi
ce) の中に処理用の流体や洗浄用の流体が入り込む可能
性を極力小さくできるものである。この発明の別の目的
及び利点は、トランスポンダを収容する長溝のカバーの
寸法が非常に小さくなっており、従ってカバーとキャリ
ヤの溶接部あるいは接合部の寸法が極力小さくなってい
ることである。このことはさらに、溶接部や接合部が処
理液や洗浄液によって侵されたり、汚染されたりする事
態をできる限り少なくする。このため、カバーやトラン
スポンダがキャリヤから外れる可能性が非常に小さくな
る。この発明のまた別の目的及び利点は、長溝及びトラ
ンスポンダのカバーが処理装置によって邪魔されたり、
処理装置が接触することがないように最適に保護されて
いることである。この発明の別の目的及び利点は、キャ
リヤの中へのトランスポンダの組み付けが非常に簡単に
なっていることである。トランスポンダを溝の中に挿入
して、非常に小さい一つのカバーを所定の位置に溶接し
て長溝を被い、トランスポンダを保持すればよいからで
ある。
【０００８】
【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。多数の半導体ウェハーあるいはメモリーデ
ィスクを互いに平行で軸方向に配置されかつ互いに離間
状態で配列された状態で運搬し支持するのに適した代表
的なウェハーのキャリヤあるいはディスクのキャリヤ
が、図１、図２、図３において参照番号１０によって示
してある。ここに開示されている技術は半導体ウェハー
とコンピュータのメモリーディスクの両方に対して同じ
ように有用であることから、”ディスク”という用語
は、以下ではそうした製品だけでなく、その厚みが幅よ
りもずっと薄いような同様の製品をも表しているものと
する。キャリヤは、処理施設から離れた場所へディスク
を運搬するためのシッパ（荷送手段）の一部であった
り、標準化されたメカニカルインターフェース（ＳＭＩ
Ｆ）のポッド（鞘）として知られているものの一部であ
ってもよい。こうしたキャリヤは、55318 ミネソタ州チ
ャスカ，ジョナサン・ブルバード・ノース 102 (102 Jo
nathan Boulevard North, chaska, Minnesota 55318)の
フルオロウェア・インコーポレーテッド(Fluoroware, I
nc. ）によって、長年にわたって販売されており、半導
体製造産業において広く用いられているものである。
を説明する。多数の半導体ウェハーあるいはメモリーデ
ィスクを互いに平行で軸方向に配置されかつ互いに離間
状態で配列された状態で運搬し支持するのに適した代表
的なウェハーのキャリヤあるいはディスクのキャリヤ
が、図１、図２、図３において参照番号１０によって示
してある。ここに開示されている技術は半導体ウェハー
とコンピュータのメモリーディスクの両方に対して同じ
ように有用であることから、”ディスク”という用語
は、以下ではそうした製品だけでなく、その厚みが幅よ
りもずっと薄いような同様の製品をも表しているものと
する。キャリヤは、処理施設から離れた場所へディスク
を運搬するためのシッパ（荷送手段）の一部であった
り、標準化されたメカニカルインターフェース（ＳＭＩ
Ｆ）のポッド（鞘）として知られているものの一部であ
ってもよい。こうしたキャリヤは、55318 ミネソタ州チ
ャスカ，ジョナサン・ブルバード・ノース 102 (102 Jo
nathan Boulevard North, chaska, Minnesota 55318)の
フルオロウェア・インコーポレーテッド(Fluoroware, I
nc. ）によって、長年にわたって販売されており、半導
体製造産業において広く用いられているものである。
【０００９】キャリヤ１０は成形された本体１２からな
っている。本体１２は対向する側壁１４と、対向する端
壁１６を有する。側壁１４はチャンネル１８を有する。
チャンネル１８は、ディスクを受容し、保持できるよう
な寸法に設計されている。端壁１６は上端２０と下端２
２を有する。下側の壁部２４において、長溝２６が下端
２２から上方へ延びている。長溝２６はトランスポンダ
２８を保持できるような寸法に設計されている。突起部
３０がキャリヤ１０の内側を延びており、トランスポン
ダ２８を収容するようになっている。トランスポンダ２
８を所定の位置に設置したあとに長溝２６に装着されて
該溝２６を閉じるような寸法に設計されたカバー３２
が、キャリヤ１０へシールされる。トランスポンダ２８
を端壁１６の下端２２へ設置すると、キャリヤ１０は干
渉なく、自動化装置を用いて扱うことが可能となる。さ
らに、この構造は、洗浄や処理のときにキャリヤを液体
の中に浸したあとの液の排出性能に優れている。
っている。本体１２は対向する側壁１４と、対向する端
壁１６を有する。側壁１４はチャンネル１８を有する。
チャンネル１８は、ディスクを受容し、保持できるよう
な寸法に設計されている。端壁１６は上端２０と下端２
２を有する。下側の壁部２４において、長溝２６が下端
２２から上方へ延びている。長溝２６はトランスポンダ
２８を保持できるような寸法に設計されている。突起部
３０がキャリヤ１０の内側を延びており、トランスポン
ダ２８を収容するようになっている。トランスポンダ２
８を所定の位置に設置したあとに長溝２６に装着されて
該溝２６を閉じるような寸法に設計されたカバー３２
が、キャリヤ１０へシールされる。トランスポンダ２８
を端壁１６の下端２２へ設置すると、キャリヤ１０は干
渉なく、自動化装置を用いて扱うことが可能となる。さ
らに、この構造は、洗浄や処理のときにキャリヤを液体
の中に浸したあとの液の排出性能に優れている。
【００１０】ここで図４及び図５を参照する。図にはこ
の発明の別の実施例の端壁１６の壁部３４の底面図と内
側の斜視図が示されている。この実施例は、下端２２か
ら延びる矩形の溝３７の中に収容される平面状のトラン
スポンダ３６を利用している。端壁１６の厚みと平面状
のトランスポンダ３６の厚みに応じて、端壁１６は若干
内側を延びる突起部３８を有するように成形され、トラ
ンスポンダ３６を収容できるようになっている。溝３６
（原文２６）の開口部の中には、例えば超音波を用いた
従来の方法によって、細長いカバー４０が溶接されてお
り、トランスポンダ３６を矩形の溝３７の中で保持し、
閉じ込めるようになっている。
の発明の別の実施例の端壁１６の壁部３４の底面図と内
側の斜視図が示されている。この実施例は、下端２２か
ら延びる矩形の溝３７の中に収容される平面状のトラン
スポンダ３６を利用している。端壁１６の厚みと平面状
のトランスポンダ３６の厚みに応じて、端壁１６は若干
内側を延びる突起部３８を有するように成形され、トラ
ンスポンダ３６を収容できるようになっている。溝３６
（原文２６）の開口部の中には、例えば超音波を用いた
従来の方法によって、細長いカバー４０が溶接されてお
り、トランスポンダ３６を矩形の溝３７の中で保持し、
閉じ込めるようになっている。
【００１１】図６のシステムブロック図を参照すると、
読み取り／書き込ユニットの動作と、トランスポンダの
動作がよりよく理解できよう。図面には説明のために一
つのキャリヤ１０のみが示されている。しかし、製造施
設においては同じ構造の、あるいは構造の異なった多数
のキャリヤが、処理の行われるディスクの多数のバッチ
を運搬したり貯蔵したりするために利用されるであろ
う。遠隔的に認識を行う読み取り／書き込みユニット４
４は協働するアンテナ４２を駆動して、参照番号４６に
よって表されているＲＦ信号すなわち無線周波数信号を
伝搬させる。使用に適した読み取り／書き込み装置は、
78759 テキサス州オースティン，エム・エス 2243 リ
サーチ・ブールバード 12501 (12501 Research Bouleva
rd, MS 2243, Austin, Texas 78759) のテキサス・イン
スツルメンツ（Texas Instruments)によって製造され、
入手可能である。使用に適したトランスポンダのモデル
は、RI-TRP-WB2B-03であり、読み取り／書き込みユニッ
トは、モデルNo. RI-STU-WO2G-01である。前述したユニ
ットの動作仕様やパラメータが載っている完全なデータ
シートは、前述したパーツ番号を指定すればテキサス・
インスツルメンツから入手可能である。一般に、読み取
り／書き込みユニット４４とトランスポンダ２８とは、
該読み取り／書き込みユニット４４によってアンテナ４
２から132.5KHzの電力パルスが送出されるように作動す
る。発生される電界は同調がとられたトランスポンダの
アンテナ（図示しない）によって受信される。受信され
た電界は整流され、コンデンサ（図示しない）の中に蓄
えられる。電力パルスが終了すると、コンデンサが電源
となり、読み取り／書き込みユニットへ送り返す。デー
タには、識別コードやステータスコードが含まれてい
る。トランスポンダは識別コードとステータスコードの
両方を蓄積するだけの十分な蓄積容量を有している。動
作は異なるであろうが、使用可能なトランスポンダは他
のメーカからも供給されている。
読み取り／書き込ユニットの動作と、トランスポンダの
動作がよりよく理解できよう。図面には説明のために一
つのキャリヤ１０のみが示されている。しかし、製造施
設においては同じ構造の、あるいは構造の異なった多数
のキャリヤが、処理の行われるディスクの多数のバッチ
を運搬したり貯蔵したりするために利用されるであろ
う。遠隔的に認識を行う読み取り／書き込みユニット４
４は協働するアンテナ４２を駆動して、参照番号４６に
よって表されているＲＦ信号すなわち無線周波数信号を
伝搬させる。使用に適した読み取り／書き込み装置は、
78759 テキサス州オースティン，エム・エス 2243 リ
サーチ・ブールバード 12501 (12501 Research Bouleva
rd, MS 2243, Austin, Texas 78759) のテキサス・イン
スツルメンツ（Texas Instruments)によって製造され、
入手可能である。使用に適したトランスポンダのモデル
は、RI-TRP-WB2B-03であり、読み取り／書き込みユニッ
トは、モデルNo. RI-STU-WO2G-01である。前述したユニ
ットの動作仕様やパラメータが載っている完全なデータ
シートは、前述したパーツ番号を指定すればテキサス・
インスツルメンツから入手可能である。一般に、読み取
り／書き込みユニット４４とトランスポンダ２８とは、
該読み取り／書き込みユニット４４によってアンテナ４
２から132.5KHzの電力パルスが送出されるように作動す
る。発生される電界は同調がとられたトランスポンダの
アンテナ（図示しない）によって受信される。受信され
た電界は整流され、コンデンサ（図示しない）の中に蓄
えられる。電力パルスが終了すると、コンデンサが電源
となり、読み取り／書き込みユニットへ送り返す。デー
タには、識別コードやステータスコードが含まれてい
る。トランスポンダは識別コードとステータスコードの
両方を蓄積するだけの十分な蓄積容量を有している。動
作は異なるであろうが、使用可能なトランスポンダは他
のメーカからも供給されている。
【００１２】製造施設においては、通常、多数の読み取
り／書き込みユニット４４が使用されるであろう。読み
取り／書き込みユニット４４の各々は、一般に特定の処
理や製造作業の行われる場所に隣接した箇所に設けられ
る。読み取り／書き込みユニット４４は従来の方法でマ
スターコンピュータ５０へ出力を行う。マスターコンピ
ュータ５０はデータのモニタと蓄積を行う。トランスポ
ンダ２８に関する固有の識別番号と、特定の読み取り／
書き込みユニット４４からの出力信号によって、マスタ
ーコンピュータ５０は任意の時点において、処理施設内
の問題としている場所にどのキャリヤ１０がいるのかを
決めることが可能となる。マスターコンピュータ５０は
さらに、読み取り／書き込みユニット４４の書き込み機
能を制御して、トランスポンダ２８のステータスコード
のラベル付け、すなわち変更を行う。特定の処理ステー
ションにおいてトランスポンダ２８の中へ入力されるス
テータスコードを用いれば、処理から外されて後にその
ための処理状態に戻される或るバッチをトランスポンダ
のコードに基づいて即座に識別できる。
り／書き込みユニット４４が使用されるであろう。読み
取り／書き込みユニット４４の各々は、一般に特定の処
理や製造作業の行われる場所に隣接した箇所に設けられ
る。読み取り／書き込みユニット４４は従来の方法でマ
スターコンピュータ５０へ出力を行う。マスターコンピ
ュータ５０はデータのモニタと蓄積を行う。トランスポ
ンダ２８に関する固有の識別番号と、特定の読み取り／
書き込みユニット４４からの出力信号によって、マスタ
ーコンピュータ５０は任意の時点において、処理施設内
の問題としている場所にどのキャリヤ１０がいるのかを
決めることが可能となる。マスターコンピュータ５０は
さらに、読み取り／書き込みユニット４４の書き込み機
能を制御して、トランスポンダ２８のステータスコード
のラベル付け、すなわち変更を行う。特定の処理ステー
ションにおいてトランスポンダ２８の中へ入力されるス
テータスコードを用いれば、処理から外されて後にその
ための処理状態に戻される或るバッチをトランスポンダ
のコードに基づいて即座に識別できる。
【００１３】図７は工場での代表的な応用を示してい
る。ここでは、遠隔的な多数の読み取り／書き込みユニ
ット４４が、処理施設内の処理用のステーション４８の
ＩからVIIIで表された適当な場所にそれぞれ設けられて
いる。各遠隔式読み取り／書き込みユニット装置４４
は、ステータスコードあるいは識別コードの読み取りを
行ったり、ステータスコードの変更を行う。読み取り装
置あるいは書き込みユニットを別個に用いることもでき
る。一つあるいは複数の読み取り／書き込みユニットが
特定のステーション４８に隣接して配置されており、キ
ャリヤ１０がステーション４８に受け入れられたり、ス
テーション４８から送り出されたりするときに、キャリ
ヤ１０のステータスコードをモニタしたり変更したりす
る。読み取り／書き込みユニット４４の出力Ａ〜Ｈは伝
送ライン５２へ接続されている。伝送ライン５２はこれ
らの出力をマスターコンピュータ５０へ接続している。
マスターコンピュータ５０は製造施設の内側あるいは外
側の都合のよい場所に設置することができる。固有のコ
ードを有しているキャリヤ１０が施設内のステーション
からステーションへ移動するとき、種々のステーション
でのキャリヤ１０の存在はマスターコンピュータ５０に
よって照合され、記録(log) される。マスターコンピュ
ータ５０は個々のリーダＡ〜Ｈをポーリング(poll)す
る。キャリヤが特定の処理に入るか、または特定のプロ
セスを完了すると、その特定のバッチのステータスコー
ドはこのプロセスを反映するように変更される。
る。ここでは、遠隔的な多数の読み取り／書き込みユニ
ット４４が、処理施設内の処理用のステーション４８の
ＩからVIIIで表された適当な場所にそれぞれ設けられて
いる。各遠隔式読み取り／書き込みユニット装置４４
は、ステータスコードあるいは識別コードの読み取りを
行ったり、ステータスコードの変更を行う。読み取り装
置あるいは書き込みユニットを別個に用いることもでき
る。一つあるいは複数の読み取り／書き込みユニットが
特定のステーション４８に隣接して配置されており、キ
ャリヤ１０がステーション４８に受け入れられたり、ス
テーション４８から送り出されたりするときに、キャリ
ヤ１０のステータスコードをモニタしたり変更したりす
る。読み取り／書き込みユニット４４の出力Ａ〜Ｈは伝
送ライン５２へ接続されている。伝送ライン５２はこれ
らの出力をマスターコンピュータ５０へ接続している。
マスターコンピュータ５０は製造施設の内側あるいは外
側の都合のよい場所に設置することができる。固有のコ
ードを有しているキャリヤ１０が施設内のステーション
からステーションへ移動するとき、種々のステーション
でのキャリヤ１０の存在はマスターコンピュータ５０に
よって照合され、記録(log) される。マスターコンピュ
ータ５０は個々のリーダＡ〜Ｈをポーリング(poll)す
る。キャリヤが特定の処理に入るか、または特定のプロ
セスを完了すると、その特定のバッチのステータスコー
ドはこのプロセスを反映するように変更される。
【００１４】この発明は、その精神または本質から逸脱
することなく、他の形態によって実現が可能である。従
って、上述した実施例は単に説明のためのものであり、
発明を限定するものはない。この発明の範囲に関して
は、上述した実施例よりも添付されている特許請求の範
囲を参照すべきである。
することなく、他の形態によって実現が可能である。従
って、上述した実施例は単に説明のためのものであり、
発明を限定するものはない。この発明の範囲に関して
は、上述した実施例よりも添付されている特許請求の範
囲を参照すべきである。
【図１】円筒形状のトランスポンダ及びカバーを有する
キャリヤの部分分解図である。
キャリヤの部分分解図である。
【図２】キャリヤの端壁の底面図である。
【図３】図２の３−３線部分断面図である。
【図４】別の実施例のキャリヤの端壁の底面図である。
【図５】図４に示されている実施例の壁部の内側斜視図
である。
である。
【図６】システムブロック図である。
【図７】代表的な処理施設のレイアウトを示す図であ
る。 １０ キャリヤ １２ 本体 １４ 側壁 １６ 端壁 １８ チャンネル ２０ 上端 ２２ 下端 ２４ 壁部 ２６ 長溝 ２８ トランスポンダ ３０ 突起部 ３２ カバー ３４ 壁部 ３６ トランスポンダ ３７ 長溝 ３８ 突起部 ４０ カバー ４４ 読み取り／書き込みユニット ４８ ステーション
る。 １０ キャリヤ １２ 本体 １４ 側壁 １６ 端壁 １８ チャンネル ２０ 上端 ２２ 下端 ２４ 壁部 ２６ 長溝 ２８ トランスポンダ ３０ 突起部 ３２ カバー ３４ 壁部 ３６ トランスポンダ ３７ 長溝 ３８ 突起部 ４０ カバー ４４ 読み取り／書き込みユニット ４８ ステーション
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年９月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 7/26 7215−5Ｄ (72)発明者 ショーン・ディー・エガム アメリカ合衆国 55386 ミネソタ，ヴィ クトリア，エイティーセカンド・ストリー ト 1458 (72)発明者 ロバート・ディー・コス アメリカ合衆国 55386 ミネソタ，ヴィ クトリア，トリリアム・サークル 8140 (72)発明者 ランディー・エス・ウィリアムズ アメリカ合衆国 55318 ミネソタ，チャ スカ，ドレスデン・サークル 618
Claims (9)
- 【請求項１】 （ａ）対向する壁を有し、該壁が内側へ
向いた対向するチャンネルを有し、このチャンネルがデ
ィスクを互いに平行で軸方向に配置した状態で保持する
ような寸法に設計された本体であって、端部を有する壁
部を有し、前記端部から前記壁部の内部に延びる長溝を
有する本体と、 （ｂ）前記長溝内に挿入され、外部の読み取りユニット
によって読み取り可能な固有の識別コードを有する無線
周波数のトランスポンダと、 （ｃ）前記トランスポンダを前記長溝内にシール状態で
閉じ込めるためのカバーと、 からなるディスクキャリヤ。 - 【請求項２】 前記トランスポンダが、外部の書き込み
ユニットからのステータスコードを受け取れるようにプ
ログラミングできる請求項１記載のディスクキャリヤ。 - 【請求項３】 当該ディスクキャリヤが下端を有し、前
記長溝がこの下端から延びている請求項２記載のディス
クキャリヤ。 - 【請求項４】 前記壁部が、この壁部内に前記長溝を形
成するための突起部を有する請求項１記載のディスクキ
ャリヤ。 - 【請求項５】 前記長溝が端壁と平行に設けられている
請求項４記載のディスクキャリヤ。 - 【請求項６】 多数のステーションの中におけるディス
クのバッチをモニタするためのシステムであって、 （ａ）内側に向いたチャンネルを備えた対向する壁を有
してディスクのバッチを互いに平行で軸方向に配置され
た状態で保持するための本体であって、平面状の壁部を
有し、該壁部とほぼ平行に延びる長溝を有する本体と、
前記長溝に挿入される細長いトランスポンダと、該トラ
ンスポンダを前記長溝内にシールするためのカバーとを
各々備えた複数のディスクキャリヤと、 （ｂ）無線周波数パルスを前記トランスポンダの各々の
タグへ送り、前記トランスポンダの各々から固有のコー
ドが付けられた無線周波数信号を受け取って、前記トラ
ンスポンダの各々とそれに対応する前記バッチとを識別
する遠隔認識式読み取り装置と、 からなるシステム。 - 【請求項７】 前記トランスポンダの各々に対する前記
固有の識別コードがプログラミング可能であり、さら
に、前記トランスポンダをプログラミングするための構
造を有する書き込みユニットが設けられた請求項６記載
のシステム。 - 【請求項８】 複数のステーションにおけるディスクの
バッチの経過をモニタしたり更新したりするための方法
であって、 （ａ）ディスクのバッチを、該ディスクを互いに平行で
軸方向に互いに離間した列状で支持するべく構成された
キャリヤの中へ挿入する段階と、 （ｂ）前記キャリヤとその中に挿入された前記ディスク
のバッチとを識別するべく構成されかつ、そのようにコ
ード付けされたプログラミング可能なトランスポンダ
を、前記キャリヤの中に埋め込む段階と、 （ｃ）あるステーションにおける前記キャリヤの存在
を、検出範囲内において前記トランスポンダのタグを読
み取れるように構成されかつそのステーションに隣接し
て配置されている読み取りユニットを作動させることに
よって、検出する段階と、 （ｄ）前記読み取りユニットから受け取った位置の情報
と経過の情報を更新し蓄積することによって、処理ステ
ーションの中におけるディスクのバッチの経過をモニタ
する段階と、 を有する方法。 - 【請求項９】 前記トランスポンダを再プログラミング
できるような構造を有する書き込みユニットを用いて、
プログラミング可能な前記トランスポンダにステータス
コードを挿入することによって、特定のステーションに
おいてバッチにラベル付けを行う段階を有している請求
項８記載の方法。
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| US225228 | 1994-04-08 | ||
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