KR0184021B1 - 디스크 캐리어를 감시하여 상황을 라벨링하는 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼나 메모리 디스크 집단의 진행을 공장 설비 내의 여러 위치의 처리작업을 통해 감시하여 각 집단의 진행에 관한 정보를 유지하는 방법 및 장치를 제공한다. 그 방법은 웨이퍼나 메모리 디스켓의 각각의 집단을 웨이퍼나 디스켓을 평행으로, 축방향으로 배열하여 사이 띄인 배열에 지지하게 구성되어 배열된 캐리어에 삽입하는 단계를 포함하고 있다. 트랜스폰더는 각 캐리어 내의 단벽에, 그 단벽의 아래 가장자리로부터 내향으로 연장하는 삽입홈에 끼워 넣어진다. 트랜스폰더는 캐리어와 그에 삽입된 디스켓을 확인하여 나아가 집단이 처한 각종의 처리작업을 또한 확인하는 부호를 가진다. 처리 설비 내의 여러 위치에의 각 캐리어의 접근은, 여러 위치 중의 일 위치에 배치되고 그의 검출 범위 내의 어떤 캐리의 유일의 확인을 산출하기 위해 구성 배열된 제한된 범위의 리드 장치에 의해 검출된다. 여러 위치에 있는 기록 장치는 트랜스폰더의 상황 부호를 변경하여 집단이 특정 처리 단계를 거쳐 왔다는 것을 표시하게 된다. 판독 장치로부터의 캐리어 확인 정보는 또한 원격으로 기억되고 갱신되어 처리 작업을 통해 집단의 진행을 감시하게 돼 있다.

Description

디스크 캐리어를 감시하여 상황을 라벨링하는 방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING AND STATUS LABELING DISK CARRIERS)

제1도는 원통형 트랜스폰더(transponder)와 마개를 가진 캐리어의 부분 분해 사시도이다.

제2도는 캐리어 단벽의 저면도이다.

제3도는 제2도의 3-3면에서 그린 부분 분해 단면도이다.

제4도는 캐리어의 교체 실시양태의 단벽의 저면도이다.

제5도는 제4도에 보인 실시양태의 벽부의 내측 사시도이다.

제6도는 장치 블록도이다.

제7도는 대표적 처리 설비의 개략 배치도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 캐리어 12 : 성형체

14 : 측벽 16 : 단벽(end wall)

18 : 채널 20 : 위 가장자리

22 : 아래 가장자리 24 : 하벽부(lower wall portion)

26 : 삽입홈(recess) 28 : 트랜스폰더(transponder)

30 : 돌기부(突起部) 32 : 마개

34 : 벽부(壁部) 36 : 트랜스폰더

38 : 돌기부 40 : 마개

42 : 안테나 44 : 판독/기록 장치

본 발명은 제조과정을 통한 대상물 집단의 확인과 추적에 관한 것이다. 더 상세하게는, 공정의 조작 및 원하는 공정위치에 상태를 부호화하여 공급하는 것을 통해 반도체웨이퍼 또는 메모리디스크 집단의 진행을 감시하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

반도체 산업에 있어서는 공장시설을 통해, 광식각법을 이용하여 반도체 웨이퍼를 식각, 세정, 치리하고, 시험하여 각종의 타의 제조시험과 처리작업을 하게 되는 일련의 상이한 장소로 반도체 웨이퍼를 이동시킨다.

마찬가지로, 메모리 디스크도 공장설비에 있어서의 제조작업의 순서를 통해 역시 이동시켜진다.

디스크나 웨이퍼를 그들이 캐리어에 담겨진 동안 처리하기도 하고, 그들을 제거하여 처리작업을 한 다음 그들을 캐리어에 복귀시키기도 하는 제조 및 처리 기계류에 대하여 웨이퍼나 메모리 디스크를 적당한 위치에 지지할 목적으로 특별히 고안된 캐리어 내에 담긴 집단으로, 웨이퍼나 메모리 디스크를 취급하는 것은 공업에 있어서의 상식이다. 이하에서는 집단(batch)을 반도체 웨이퍼나 메모리 디스크의 일 이상(캐리어야 용량까지)의 뜻으로 규정하여 사용한다.

공장설비에 있어서는 제조공정을 통해 웨이퍼나 메모리 디스크의 집단의 진행을 추적하는 것이 바람직하다. 게다가, 원격 위치, 집단의 처리나 진행에 관계가 있는 일정한 정보에 대비하여, 집단에 유지할 수 있을 것이 바람직하다.

로시 및 소서에게 부여되어 본 발명의 양수자에게 양도된 미국특허 제4,827,110호에는 디스크의 처리에 있어서의 트랜스폰더 태그(transponder tags)의 사용이 개시돼 있다. 로시 및 그 외에는 트랜스폰더 태그를 서로의 벽의 외측 면에 고정하는 방법과 장치를 개시하였다.

본 발명은 반도체 웨이퍼나 메모리 디스크의 집단의 복수의 진행을 공장 설비 내의 여러 위치의 처리작업을 통해 감시하여 각기의 집단에서의 각 집단의 진행에관한 정보를 유지하는 방법 및 장치를 제공한다. 그 방법은 웨이퍼나 메모리 디스켓의 각각의집단을 웨이퍼나 디스켓을 평행으로, 축방향으로 배열하여 사이띄인 배열에 지지하게 구성되어 배열된 캐리어에 삽입하는 단계를 포함하고 있다. 트랜스폰더는 각 캐리어 내의 평면벽부(planer wall portion)에, 그 벽부의 아래 가장자리로부터 내향으로 연장하는 삽입홈(recess)에 끼워 넣어진다. 트랜스폰더는 캐리어와 그에 내포된 집단이나 디스켓을 확인하며 나아가 집단이 처한 각종의 처리작업을 또한 확인하는 부호를 가진다. 처리 설비 내의 여러 위치에의 각 캐리어의 접근은, 여러 위치 중의 일 위치에 배치되고 그의 검출 범위 내의 어떤 캐리어의 유일의 확인을 산출하기 위해 구성 배열된 범위의 판독(read) 장치에 의해 검출된다. 여러 위치에 있는 기록(write)장치는 트랜스폰더의 상황 부호를 변경하여 집단이 특정 처리단계를 거쳐 왔다는 것을 표시하게 된다. 판독 장치로부터의 캐리어 확인 정보는 또한 원격으로 기록되고 갱신되어 처리 작업을 통해 집단의 진행을 감시하게 돼 있다.

본 발명의 목적 및 장점은 형식의 최소의 변경으로 현존하는 캐리어에 트랜스폰더를 통합할 수도 있어, 준비작업 비용(tooling costs)의 실질적 절약에 귀착하고 있다는 것이다.

본 발명의 목적 및 장점은 캐리어의, 트랜스폰더의 통합과 관련하는 상향으로나 하향으로 면하는 면이 최소한도 이거나 없다는 것이다. 이는 트랜스폰더 부착과 관련하는 균열(crevice)내로 이끌어들이는 처리 또는 세정 유체의 가능성을 최소화한다.

본 발명의 그 이상의 목적 및 장점은 기다란 삽입홈(recess)의 마개가 최소의 치수이며 따라서 마개와 캐리어의 용접이나 접합이 최소의 치수라는 것이다. 이는 처리 또는 세정의 유체에 의해 부식되어 누설되는 용접이나 접합의 기호를 또한 최소화한다. 이는 마개와 트랜스폰더를 캐리어로부터 분리하는 잠재력을 최소화한다.

본 발명의 그 이상의 목적 및 장점은 삽입홈의 마개와 트랜스폰더가 처리장비의 방해나 처리장비에 의한 접촉으로부터 최선으로 보호된다는 것이다.

본 발명의 그 이상의 목적 및 장점은 트랜스폰더의 캐리어에의 조립 통합이 매우간단하게 돼 있다는 것이다. 트랜스폰더를 삽입홈에 삽입할 수가 있으며 최소치수의 단일 마개가 적소에 용접되어 삽입홈을 에워싸 트랜스폰더를 보호하게 돼 있다.

제1,2 및 3도에는 다수의 반도체 웨이퍼나 메모리 디스크를, 축방향으로 배열되고 사이띄어 정렬된 상태로 이송하고 지지하는 데 적당한 전형적 캐리어가 참고문자(10)으로 일반적으로 확인돼 있다. 여기에 술어는 반도체 웨이퍼나 컴퓨터 메모리 디스크에 동등하게 적당하기 때문에, 용어 디스크는 사실상 폭보다 작은 두께를 가진 어떤 타의, 일반적으로 유사한 생산품 뿐 아니라 어느 한편의 형식의 생산물을 이하에서는 가리킨다.

캐리어는 디스크를 처리설비로부터 원격의 장소에 수송하는 하주의 부분이어도 좋고, 또는 기계의 접촉면(SMIF) 꼬투리(pods)로 알려져 있는 것의 부분이어도 또한 좋다. 그러한 캐리어는 미국 미네소타주, 차스카, 조나탄 불리바드 노스 102 의 플루오로웨어, 아이엔시.에 의해 여러해 동안 상업적으로 제공돼 오고 있으며 반도체 제조업에 광범위하게 사용되고 있다.

캐리어(10)은 성형체(12)로 이루어져 있고, 대향의 측벽(14)과 대향의 단벽(16)을 가지고 있다. 측벽(14)은 디스크를 받아 보유하는 크기의 채널(18)을 포함하고 있다. 단벽(16)은 위 가장자리(20)와 아래 가장자리(22)를 가지고 있다. 하벽부(24)에는, 가늘고 긴 삽입홈(26)이 아래 가장자리(22)로부터 상향으로 연장하고 있다. 이 가늘고 긴 삽입홈(26)은 트랜스폰더(28)를 끼울 수 있는 치수로 돼 있다. 돌기부(30)가 캐리어(10)의 내향으로 연장하고 있어 트랜스폰더(28)를 수용하게 돼 있다. 가늘고 긴 삽입홈(26)에 끼워서 밀폐할 수 있는 크기의 마개(32)를 트랜스폰더(28)를 그 자리에 끼워 설치한 후에 끼워서 밀폐한다. 트랜스폰더(28)를 단벽(16)의 아래 가장자리(22)에 배치함으로써 자동화 장비로 캐리어(10)를 간섭함이 없이 사용하게 하고 있다. 게다가, 이 형태는 세정 또는 처리 중 캐리어를 액체 속에 침수시킨 후 배수가 잘되게 하고 있다.

제4도와 제5도를 참조하면, 본 발명의 교체 실시양태의 단벽(16)의 벽부(34)의 저면도와 내측 사시도를 보이고 있다. 이 실시양태는 아래 가장자리(22)로부터 연장하는 직사각형 삽입홈(36)에 평면 형상의 트랜스폰더(36)를 활용하고 있다. 벽(16)의 두께와 평면 형상 트랜스폰더(36)의 두께에 따라서는, 트랜스폰더(36)를 수용하기 위해, 벽(16)을 약간 내향으로 튀어 나오게하는 돌기부(38)를 가지게 성형할 수도 있다. 가늘고 긴 마개(40)를, 초음파 따위의 종래의 수단에 의해, 삽입홈(37)의 구멍에 용접하여 트랜스폰더(36)를 직사각형의 삽입홈(37)에 보유하여 에워싸게 된다.

제6도, 장치의 블록도를 참조하면, 판독/기록 장치(read/write unit)의 작용과 트랜스폰더의 작용을 더 잘 이해할 수 있다. 설명을 목적으로 단일의 캐리어(10)를 보이고 있으나, 그것은, 동일할 수도 있고 동일하지 않을 수도 있는, 복수의 캐리어를 제조하는 설비에 있어 실현하게 되어 처리를 받는 디스크의 많은 집단을 수송하고 저장하는 데 활용되게 된다. 원격 인지 판독/기록 장치(44)는 관련 안테나(42)를 가동하여 참고번호(46)과 같은 무선 주파수 신호(radio frequency signal)를 전파하게 된다. 적당한 판독/ 기록 장치는 미국 텍사스주, 오스틴, 엠에스 2243, 리서치 불리바드 12501의 텍사스 인스트루먼츠 사에 의해 제조되어 그를 통해 구득할 수 있다. 적당한 트랜스폰더 모델은 RI-TRP-WB2B-03이며 또 적당한 판독/기록 장치는 모델 No. RI-STU-WO2G-01이다. 상기 장치들에 대한 완전 데이터 시트는 작동 사양서 및 변수와 함께 상기 부품번호를 일일이 거명하여 텍사스 인스트루먼츠 사에서 구득할 수가 있다. 일반적으로, 판독/ 기록 장치(44)와 트랜스폰더(28)은 안테나로부터 132.5킬로헤르츠 전력 펄스를 송출하는 판독/기록 장치(44)에 의해 작동한다. 발생된 필드(field)는 동조 트랜스폰더 안테나(도시치 않음)에 의해 흡수되며, 그것은 정류되어 컨덴서(도시치 않음)에 저장된다. 전력 펄스의 끝에서는 컨덴서가 전원을 제공하여 판독/기록 장치에 역송하게 된다. 데이터는 ID부호와 상황 부호를 포함하고 있다. 트랜스폰더들은 ID부호와 상황 부호 양자를 기억하는 충분한 기억용량 이상을 가지고 있다. 적당한 트랜스폰더는 타의 공급원에서 구득할 수 있으며 다른 방식으로 조작하여도 좋다.

제조설비에 있어서는, 복수의 판독/기록 장치(44)를 통상적으로 사용할 수 있으며, 전형적으로 특정한 처리나 제조 작업이 행해지는 곳에 인접한 장소에 그의 각각을 배치한다. 판독/기록 장치(44)는 종래의 방식에 있어서, 데이터를 감시하고 기억하는 주 컴퓨터(50)에 출력한다. 트랜스폰더(28)와 특정 리드/라이트 장치(44)로부터의 출력 신호와 관련하는 유일의 확인 넘버가 주 컴퓨터를 캐리어(10)가 처리 설비 내의 이해관계의 위치에 있는 때에 맞춰 어떤 점에 산출하게 허용한다. 주 컴퓨터(50)는 판독/기록 장치의 기록 기능을 그 이상 제어하여도, 즉 트랜스폰더(28)의 상황 부호를 변경하여도 좋다. 특정 처리장소의 트랜스폰더(28)에 들어간 상황 부호는 집단을 트랜스폰더의 부호에 쉽사리 확인된 그 집단의 처리 상황과 함께 처리로부터 이동시키게 하며 나중에 복귀하게 허용한다. 제7도는 다수의 원격 판독/기록 장치(44)가 처리 설비 내의, I 에서 VIII을 통해, 처리 장소(48)로 지정된 적당한 위치에 각각 배치돼 있는 전형적 공장적용을 나타내고 있다. 각 원격의 판독/기록 장치(44)는 상황 및 ID 부호를 판독(read)하여 상황 부호를 변경하는 역할을 하여도 좋다. 개별의 판독 장치나 기록 장치를 활용하여도 또한 좋다. 일 이상의 판독/기록 장치를 특정 장소(48)에 위치시켜 캐리어(10)의 상황 부호를, 그들이 장소(48)로부터 수령되거나 급송되는 때, 감시 또는 변화하게 돼 있어도 좋다. 판독/기록 장치(44)의 출력, A-H는, 제조 설비의 내측이나 외측의 어떤 편리한 장소에 배치시킬 수 있는 주 컴퓨터(50)와 그들을 접속하는 전송 라인(52)에 접속돼 있다. 유일의 부호를 지탱하는 캐리어(10)가 설비 내의 장소에서 타장소로 이동하는 때, 여러 장소의 캐리어들(10)의 존재를 개별 판독기 A-H를 폴링하는 주 컴퓨터에 의해 검사하여 기록할 수 있다.

캐리어들이 특정 공정에 들어가거나 완성하는 때 특정 집단의 상황 부호를 상기 공정을 반향하게 변경하여도 좋다.

본 발명은 그의 정신이나 필수의 속성을 일탈함이 없이 타의 특별한 형식으로 구체화되어도 좋으며; 따라서, 설명한 실시양태는 모든 면에서 예증적이고 한정하는 것은 아니며, 발명의 범위를 적시함에는 앞의 설명보다 첨부의 특허청구범위의 기재를 고려하여야 한다.

Claims (9)

1. 디스크 캐리어로서, (a) 캐리어는 디스크들을 평행의 축방향 배열 상태로 유지하는 치수로 된 내향으로 면하는 채널들을 가진 대향의 측벽과 가장자리가 있는 단벽을 가지며, 가늘고 긴 삽입홈이 가장자리로부터 단벽내에 내향으로 연장하고 있고; (b) 가늘고 긴 삽입홈에 트랜스폰더가 삽입되어 외부의 판독장치로 판독할 수 있는 유일의 ID 부호를 가지고 있으며; (c) 마개가 그 트랜스폰더를 상기 삽입홈 내에 밀폐할 수 있게 에워싸고 있는 구성의 디스크 캐리어.
2. 제1항에 있어서, 트랜스폰더가 프로그램할 수 있어 외부의 기록 장치에 의해 상황 부호를 받아들이게 되는 디스크 캐리어.
3. 제2항에 있어서, 캐리어가 아래 가장자리와 상기 아래 가장자리로부터 연장하는 가늘고 긴 삽입홈을 가지고 있는 디스크 캐리어.
4. 제1항에 있어서, 단벽이 가늘고 긴 삽입홈을 수용하는 돌기부를 가지고 있는 디스크 캐리어.
5. 제4항에 있어서, 가늘고 긴 삽입홈이 단벽에 평행인 디스크 캐리어.
6. 복수의 위치를 통해 디스크 집단을 감시하는 장치로, 그 장치가, (a) 각 캐리어가 디스크 집단을 평행의 축방향 배열에 보유하는 내향으로 면하는 채널을 지닌 대향의 측벽과 단벽을 가지고, 상기 단벽에 사실상 평행의 방향으로 연장하는 가늘고 긴 삽입홈을 가지고, 가늘고 긴 트랜스폰더가 그 가늘고 긴 삽입홈에 삽입되고, 또 상기 삽입홈에 트랜스폰더를 밀폐하는 마개를 지닌 복수의 디스크 캐리어와; (b) 각 트랜스폰더 태그에 무선 주파수 펄스를 전송하고 또 각 트랜스폰더로부터 각 트랜스폰더 및 상응하는 집단을 확인하는 유일 부호화 무선주파수 신호를 수령하는 구성의 원격의 판독 장치로 이루어지는 장치.
7. 제6항에 있어서, 각 트랜스폰더에 대한 유일의 ID부호가 프로그램가능하고, 또 장치가 트랜스폰더를 프로그래밍하기 위해 구성 배열된 기록 장치를 더 함유하는 장치.
8. 복수의 장소를 통해 디스크 집단의 진행을 감시하여 데이터를 갱신하는 방법이, (a) 평행의, 축방향으로 배열된 사이띄인 배열 상태에 지지하기 위해 구성되어 배열된 캐리어에 디스크들을 삽입하기; (b) 캐리어와 그에 삽입된 디스크를 유일하게 확인하기 위해 구성되어 배열되어 부호화한 프로그램가능 트랜스폰더를 캐리어에 끼워넣기; (c) 판독 장치가 그의 검파 범위 내의 트랜스폰더를 리딩하기 위해 구성되고 배열되어, 일 장소의 캐리어의 존재를 상기 장소에 인접하여 배치된 판독 장치를 작동함에 의하여 발견하기; (d) 판독 장치로부터 받은 위치와 처리정보를 갱신하여 기억함에 의해 처리 장소들을 통해 디스크 집단의 진행을 감시하기.의 단계들로 이루어지는 방법.
9. 제8항에 있어서, 프로그램가능 트랜스폰더를 재프로그래밍하기 위해 구성돼 배열된 기록 장치로 상황 부호를 입력함에 의하여 특정 장소의 디스크 집단을 라벨링하는 단계를 더 함유하는 방법.