JPH05235155A - 認識媒体を備えたキャリア - Google Patents
認識媒体を備えたキャリアInfo
- Publication number
- JPH05235155A JPH05235155A JP3116792A JP3116792A JPH05235155A JP H05235155 A JPH05235155 A JP H05235155A JP 3116792 A JP3116792 A JP 3116792A JP 3116792 A JP3116792 A JP 3116792A JP H05235155 A JPH05235155 A JP H05235155A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- recognition
- medium
- data
- radio wave
- Prior art date
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- Withdrawn
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体ウェーハを収納したキャリアを収納ロッ
ト別に識別媒体を用いて識別する際、媒体のキャリアか
ら取り外しを必要とせず、また読み取り時には非接触で
確認できるようにすることによって、媒体の劣化や塵埃
の発生を防ぐ。 【構成】保護カプセル１の中に送受信アンテナ３と、確
認データが書きこまれているマイクロチップ２があり、
これらをキャリア中に埋め込む事で電波によるキャリア
確認が可能になる。
ト別に識別媒体を用いて識別する際、媒体のキャリアか
ら取り外しを必要とせず、また読み取り時には非接触で
確認できるようにすることによって、媒体の劣化や塵埃
の発生を防ぐ。 【構成】保護カプセル１の中に送受信アンテナ３と、確
認データが書きこまれているマイクロチップ２があり、
これらをキャリア中に埋め込む事で電波によるキャリア
確認が可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造の際半導体
ウェーハを収納したキャリアを収納ロット別に識別する
ための認識媒体を備えたキャリアに関する。
ウェーハを収納したキャリアを収納ロット別に識別する
ための認識媒体を備えたキャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置にウェーハを搬入
する際、ウェーハを収納したキャリアを収納ロット別に
識別する必要があり、そのためバーコードや磁気カード
に個別のコードを割り当ててキャリアに付ける事によっ
て、個々のキャリアがいかなるロットを収納しているか
を識別している。また、キャリア自体に穴を開けキャリ
アを識別させる方法もある。
する際、ウェーハを収納したキャリアを収納ロット別に
識別する必要があり、そのためバーコードや磁気カード
に個別のコードを割り当ててキャリアに付ける事によっ
て、個々のキャリアがいかなるロットを収納しているか
を識別している。また、キャリア自体に穴を開けキャリ
アを識別させる方法もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のキャリアの
識別に用いる認識媒体は、バーコードや磁気カードを取
り付けて識別に用いる為に、外さずに半導体製造装置で
作業すると薬品と反応して半導体ウェーハを汚染してし
まう。よって半導体製造装置で作業する前にキャリアか
ら認識媒体であるバーコードや磁気カードを外す必要が
ある。その為、キャリアとキャリア認識媒体の対応間違
いが発生する。また、バーコードや磁気カードのデータ
を読み取る為には、バーコードリーダーや磁気ヘッドが
必要となり、読み取り装置が大きくなる欠点があり、認
識媒体であるバーコードや磁気カードをキャリアから外
して読み取り装置で読ませないと識別データが確認でき
ない場合も発生する。
識別に用いる認識媒体は、バーコードや磁気カードを取
り付けて識別に用いる為に、外さずに半導体製造装置で
作業すると薬品と反応して半導体ウェーハを汚染してし
まう。よって半導体製造装置で作業する前にキャリアか
ら認識媒体であるバーコードや磁気カードを外す必要が
ある。その為、キャリアとキャリア認識媒体の対応間違
いが発生する。また、バーコードや磁気カードのデータ
を読み取る為には、バーコードリーダーや磁気ヘッドが
必要となり、読み取り装置が大きくなる欠点があり、認
識媒体であるバーコードや磁気カードをキャリアから外
して読み取り装置で読ませないと識別データが確認でき
ない場合も発生する。
【０００４】加えて読み取り装置で読み取る時にバーコ
ードとバーコードリーダー、磁気カードと磁気ヘッドを
接触させないと認識データが確認できない為、摩擦によ
って塵芥が発生し半導体ウェーハに付着したり、摩擦に
よって認識媒体が劣化して認識し難くなる欠点がある。
また、キャリア自体に穴を開けてキャリアを識別させる
方法は、付加できる情報量が限られており、さらに情報
内容を変更したくても出来ないという欠点がある。
ードとバーコードリーダー、磁気カードと磁気ヘッドを
接触させないと認識データが確認できない為、摩擦によ
って塵芥が発生し半導体ウェーハに付着したり、摩擦に
よって認識媒体が劣化して認識し難くなる欠点がある。
また、キャリア自体に穴を開けてキャリアを識別させる
方法は、付加できる情報量が限られており、さらに情報
内容を変更したくても出来ないという欠点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のキャリアに埋設
された認識媒体は、個々のコードを持っているマイクロ
チップとデータを送受信するアンテナを有している。こ
の認識媒体をキャリア内部に埋め込む事によって半導体
製造装置での作業の前に認識媒体を取り外す必要が無く
なる。また、認識媒体のデータを読み取る為には、外部
の制御用コンピュータの指令により電波を送信するとキ
ャリアに埋め込んだマイクロチップのアンテナで受信さ
れ、マイクロチップに書かれたデータがアンテナから送
信され、それを受信する事で認識媒体のデータを確認す
る事ができる。また、認識媒体のデータを読み取る時、
読み取り装置と認識媒体とが接触することがないので摩
擦による塵芥の発生と認識媒体の劣化が無くなる。
された認識媒体は、個々のコードを持っているマイクロ
チップとデータを送受信するアンテナを有している。こ
の認識媒体をキャリア内部に埋め込む事によって半導体
製造装置での作業の前に認識媒体を取り外す必要が無く
なる。また、認識媒体のデータを読み取る為には、外部
の制御用コンピュータの指令により電波を送信するとキ
ャリアに埋め込んだマイクロチップのアンテナで受信さ
れ、マイクロチップに書かれたデータがアンテナから送
信され、それを受信する事で認識媒体のデータを確認す
る事ができる。また、認識媒体のデータを読み取る時、
読み取り装置と認識媒体とが接触することがないので摩
擦による塵芥の発生と認識媒体の劣化が無くなる。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は、本発明の第１の実施例に用いる認
識媒体の内部構造図であり、保護カプセル１の中に認識
コードが書き込まれたマイクロチップ２と送受信アンテ
ナ３を有している。これをキャリア７の内部に埋め込ん
だ形でキャリア２を成形してある。
識媒体の内部構造図であり、保護カプセル１の中に認識
コードが書き込まれたマイクロチップ２と送受信アンテ
ナ３を有している。これをキャリア７の内部に埋め込ん
だ形でキャリア２を成形してある。
【０００８】図２は、本発明の第１の実施例を説明する
ための製造装置の正面図である。半導体製造装置１０に
設置されている、キャリアストッカ４は、キャリア７の
ストック場所のそれぞれの天井部に認識電波送受信部５
と底部に在荷センサ６を有している。また、これらのセ
ンサは制御用コンピュータ９に接続している。このキャ
リアストッカ４に運ばれてきたキャリア７が入庫される
と、在荷センサ６が感知し制御用コンピュータ９に信号
を送る。信号を受け取った制御コンピュータ９は、制御
信号を認識電波送受信部５に送り、制御信号を受け取っ
た認識電波送受信部５は認識電波を送信する。送信され
た認識電波は、キャリア７に埋め込まれている認識媒体
１１の内部の送受信アンテナ３が受信しマイクロチップ
２へ送られる。電波が送られてきたマイクロチップ２
は、マイクロチップ２内部に書き込まれたデータを送受
信アンテナ３に送り外部に認識電波を送信する。外部に
送信された認識電波は認識電波送受信部５で受信された
後に制御用コンピュータ９に送られ、この認識データの
内容を確認し制御用コンピュータ９の持っているデータ
と比較する事で、キャリア７の中に収まっている半導体
ウェーハ８のロット内容が認識でき、これを基に制御コ
ンピュータ９が制御データを半導体製造装置１０に送り
半導体ウェーハ８に合った条件で作業を自動的に行う事
が可能になる。
ための製造装置の正面図である。半導体製造装置１０に
設置されている、キャリアストッカ４は、キャリア７の
ストック場所のそれぞれの天井部に認識電波送受信部５
と底部に在荷センサ６を有している。また、これらのセ
ンサは制御用コンピュータ９に接続している。このキャ
リアストッカ４に運ばれてきたキャリア７が入庫される
と、在荷センサ６が感知し制御用コンピュータ９に信号
を送る。信号を受け取った制御コンピュータ９は、制御
信号を認識電波送受信部５に送り、制御信号を受け取っ
た認識電波送受信部５は認識電波を送信する。送信され
た認識電波は、キャリア７に埋め込まれている認識媒体
１１の内部の送受信アンテナ３が受信しマイクロチップ
２へ送られる。電波が送られてきたマイクロチップ２
は、マイクロチップ２内部に書き込まれたデータを送受
信アンテナ３に送り外部に認識電波を送信する。外部に
送信された認識電波は認識電波送受信部５で受信された
後に制御用コンピュータ９に送られ、この認識データの
内容を確認し制御用コンピュータ９の持っているデータ
と比較する事で、キャリア７の中に収まっている半導体
ウェーハ８のロット内容が認識でき、これを基に制御コ
ンピュータ９が制御データを半導体製造装置１０に送り
半導体ウェーハ８に合った条件で作業を自動的に行う事
が可能になる。
【０００９】図３は、本発明の第２の実施例を説明する
ための認識データ読み取り機の正面図である。認識デー
タ読み取り機本体１２は、認識電波送信アンテナ１３と
認識データを表示するデータ表示部１４および操作キー
部１６から構成されている。加えて、認識コードと半導
体ウェーハデータの対応表を記録したメモリカード１５
を有している。この認識データ読み取り機本体１２を製
造作業者の手首に付ける事で作業者がキャリア７を手に
持って運ぶ時に認識電波送受信アンテナ１３から認識電
波が送信され、キャリア７内部に埋め込まれた認識媒体
１１の送受信アンテナ３で受信され、折り返しマイクロ
チップ２に書き込まれている認識データが送受信アンテ
ナ３から送信され、認識電波送受信アンテナ１３で受信
し、受信したデータをメモリカード１５のデータと比較
して対応するデータをデータ表示部１４に表示する。デ
ータ表示部１４を見ることで作業者はキャリア７に収納
されている半導体ウェーハ８のロット内容を確認する事
ができる。
ための認識データ読み取り機の正面図である。認識デー
タ読み取り機本体１２は、認識電波送信アンテナ１３と
認識データを表示するデータ表示部１４および操作キー
部１６から構成されている。加えて、認識コードと半導
体ウェーハデータの対応表を記録したメモリカード１５
を有している。この認識データ読み取り機本体１２を製
造作業者の手首に付ける事で作業者がキャリア７を手に
持って運ぶ時に認識電波送受信アンテナ１３から認識電
波が送信され、キャリア７内部に埋め込まれた認識媒体
１１の送受信アンテナ３で受信され、折り返しマイクロ
チップ２に書き込まれている認識データが送受信アンテ
ナ３から送信され、認識電波送受信アンテナ１３で受信
し、受信したデータをメモリカード１５のデータと比較
して対応するデータをデータ表示部１４に表示する。デ
ータ表示部１４を見ることで作業者はキャリア７に収納
されている半導体ウェーハ８のロット内容を確認する事
ができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明はキャリア認
識媒体をキャリアの内部に埋め込む事により、半導体製
造装置での作業前にキャリア認識媒体を取り外す必要が
無くなり、また作業者が認識媒体内のデータを読みとる
時に認識媒体を読み取り機に入れて確認する必要が無く
なる。さらに、認識データを非接触で確認できる為に摩
擦等で発生する塵芥が無くなり半導体の製造歩留りを向
上させ、加えて摩擦による磨耗が無くなるので認識媒体
の劣化が無くなる。
識媒体をキャリアの内部に埋め込む事により、半導体製
造装置での作業前にキャリア認識媒体を取り外す必要が
無くなり、また作業者が認識媒体内のデータを読みとる
時に認識媒体を読み取り機に入れて確認する必要が無く
なる。さらに、認識データを非接触で確認できる為に摩
擦等で発生する塵芥が無くなり半導体の製造歩留りを向
上させ、加えて摩擦による磨耗が無くなるので認識媒体
の劣化が無くなる。
【図１】本発明の第１の実施例に用いる認識媒体の内部
構造図である。
構造図である。
【図２】本発明の第１の実施例を説明するための製造装
置の正面図である。
置の正面図である。
【図３】本発明の第２の実施例を説明するための認識デ
ータ読み取り機の正面図である。
ータ読み取り機の正面図である。
１ 保護カプセル ２ マイクロカプセル ３ 送信アンテナ ４ キャリアストッカ ５ 認識電波送受信部 ６ 在荷センサ ７ キャリア ８ 半導体ウェーハ ９ 制御用コンピュータ １０ 半導体製造装置 １１ 認識媒体 １２ 認識データ読み取り機本体 １３ 認識電波送受信アンテナ １４ データ表示部 １５ メモリカード １６ 操作キー部
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウェーハを収納したキャリアを収
納ロット別に識別するための認識媒体を備えたキャリア
において、認識データの送受信を行うアンテナとキャリ
ア認識用情報を記憶したマイクロチップを収納した保護
カプセルをキャリアの中に認識媒体として埋め込んだこ
とを特徴とする認識媒体を備えたキャリア。 - 【請求項２】 前記マイクロチップに書き込まれた認識
データを、送受信アンテナ及び認識電波送受信部を介し
て制御用コンピュータのデータと比較し、収納したロッ
トを識別する請求項１記載の認識媒体を備えたキャリ
ア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3116792A JPH05235155A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 認識媒体を備えたキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3116792A JPH05235155A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 認識媒体を備えたキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05235155A true JPH05235155A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12323881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3116792A Withdrawn JPH05235155A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | 認識媒体を備えたキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05235155A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002270666A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置におけるカセット搬送システム |
| WO2004079818A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-16 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 精密基板収納容器 |
-
1992
- 1992-02-19 JP JP3116792A patent/JPH05235155A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002270666A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置におけるカセット搬送システム |
| WO2004079818A1 (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-16 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 精密基板収納容器 |
| US7523829B2 (en) | 2003-03-04 | 2009-04-28 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Precision substrate storage container |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |