JPH02178948A - ウエーハ塔載フレームのプリアライメント方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野１ 本発明は半導体ウェー八を所定位置に載置したフレーム
をウェーハカセットから切削工程であるダイシング装置
に搬送供給する際、その搬送初期において適正な位置設
定をするだめのプリアライメント方法に関するものであ
る。

〔従来技術］ 一般にこの種のプリアライメントは、ダイシング装置の
チャックテーブルとウェーハカセットとのプリアライメ
ント領域が設けられ、該プリアライメント領域に、搬送
機構と、左右及び前後の位置合せ機構、回転機構、及び
ハンド機構とを有するプロアライメン１〜装置又はシス
テムが配設され、ウエーハカセッ１〜から取り出したウ
ェーハ搭載フレームをチャックテーブル側に移送しなが
ら、前記各機構を適宜駆動することによって位置合せし
てから、ハンド機構でピックアップしてチャックテーブ
ル」二に載置するようにしていた。

このプリアライメントは、第１０図に示したように、フ
レームａ上にフィルムｂを介して搭載されたウェーハＣ
に切断又は切削予定ラインｄが格子状にプリントされて
おり、該ラインに沿ってダイシング装置で切断又は切削
される。勿論ダイシング装置のチャックテーブルにはア
ライメント機構が装備されており、切断又は切削予定ラ
インに沿って正確にアライメン１〜されるが、チャック
テブルにウェーハ搭載フレームを載置する際、チャック
テーブルに装備されたアライメント機構のモニターど載
置されたウェーハの切断又は切削予定ラインとが著しく
ずれていると、アライメント機構作が困難で時間が掛か
り、作業性が著しく劣るのでアル。従って、ウェーハカ
セットからウェーハ搭載フレームを取り出してチャック
テーブルに載置する際、前記ずれが大きくならないよう
にプリアライメント装置又はシステムによって予め適正
な位置及び方向を設定して載置することが要求されてい
るのである。

【発明が解決しようとＪる課題１ 前記従来例のプリアライメント装置又はシステムは、ウ
エーハカセツ１〜からウェーハ搭載フレームを取り出し
て搬送機構に載せ、その搬送途上において、左右及び前
後の位置合せ機構、及び回転機構とを駆動してグリアラ
イメン１〜作業をし、その後にハンド機構によりウェー
ハ搭載フレームをピックアップしてチャックテーブルに
載置しなければならず、作業性が悪いばかりでなく、グ
リアライメンｌ−領域のスペースを広く取らなければな
らない。従って、従来技術においてはプリアライメント
の作業性の向上と、設置スペースに制限がある装置のコ
ンバク１〜化に課題を有している。

（課題を解決するための手段１ 前記従来例の課題を解決する具体的手段として本発明は
、ウェーハケースに収納したウェーハ搭載フレームをハ
ンド機構によって取り出しチャックテーブルに載置する
際に、ハンド機構に設けた調整機構によってウェーハケ
ース内で前記ウェハ搭載フレームを移動させて位置的及
び角度的な調整を行うことを特徴とするウェーハ搭載フ
レームのプリアライメント方法を提供するものであり、
ウェーハケース内からハンド機構によってフレームを取
り出す際にプリアライメントを行ってしまうので、従来
ウェーハケースのセット位置と切断又は切削のためのチ
ャックテーブルとの間に配設されていたプリアライメン
ト機構が全く不要になるばかりでなく、フレームの移送
距離も短くなって作業性が向上すると共に、装置自体が
小型コンパクト化されるのである。

［実施例］ 次に本発明の方法を実施する具体的構成について図示の
実施例により更に詳しく説明すると、１ばウエーハカセ
ッ１〜であり、該カセッ１〜は全体として箱形状を呈し
、内側両側面に多数条のガイド溝２が設けられている。

このウェーハカセット１は一般的に使用されている金属
製又は樹脂製のものがそのまま使用される。このウェー
へカセッ１へ１には前記ガイド溝２にスライド自在に挿
着支持させて、ウェーハ３を搭載した多数枚のフレーム
４が収納されている。この場合のウェーハ３の搭載は従
来例と同様にフィルム５を介して寸法精度良く適正位置
に搭載される。そして、このフレーム４には位置合せ用
、即ちアライメント用の切欠６．７が所定の間隔をもっ
て一つの側面４ａ側に設りられており、その側面４　ａ
は搭載されたウェーハ３の切落し端部、即ち切断又は切
削の基準となる端面３ａと略平行になるようにウェーハ
３が搭載されるのである。従って、側面４ａがブリアラ
イメン１〜において基準になるのである。

しかしながら、ウェーハカセット１に収納されたウェー
ハ搭載フレーム４は、ガイド溝２に対してスライド自在
に遊嵌した状態にあり、各ウェーハ搭載フレーム４が夫
々区々の状態、即ち所定のガタッキをもって方向的にも
角度的にも不揃いの状態で収納されており、そのまま機
械的に順次取り出してチャックテーブルに載置したとす
ると、前記区々の状態で載置されることになり、チャッ
クテーブル側におけるアライメント作業が著しく困難に
なるのである。従って、前記したように搬送途上におい
てプリアライメント作業が必要なのである。

本発明においては、ウェー八カセット１からつニーハ搭
載フレーム４を順次取り出す際にプリアライメントを行
うのであって、ウェーハ搭載フレーム４を取り出ずハン
ド機構８にグリアライメン１〜用の一対の調整部材９．
１０を突出して設ける。

この場合に、使用されるハンド機構８は従来例と同様に
、ウェーハ搭載フレーム４の端部を上下から挟持する上
部挟持部１１と下部挟持部１２とを有し、両挟持部が協
同して無理のない状態でウェーハ搭載フレーム４を挟持
し、ウエーハカセッ１へ１から引き出してチャックテー
ブル上の所定位置に適切にウェーハ搭載フレーム４を載
置するのである。

そして、前記調整部材９．１０は前記両挟持部１１．１
２の両側に適宜の間隔をもって、月つ両挟持部よりも突
出させて設け、その先端には例えば先端部材９ａ、１０
ａが取り付けられ、その先端部材９８．１０ａが前記ウ
ェーハ搭載フレーム４に設けられたアライラン１〜用の
切欠６．７に係合してフライメン１〜作用をするのであ
る。尚、ハンド機構８にお（プるその仙の構成部分につ
いては、従来例と略同様であるのでその詳細は省略する
。

このようなプリアライメント用の調整機構９．１０を持
ったハンド機構８によってブリアライメン１〜を行う方
法について、第３〜６図に基き説明すると、先ずウエー
ハカセッ１へ１に対して夫々区々に収納されたウェーハ
搭載フレーム４を下方に位置するものから順次に、ハン
ド機構８をウェーへカセツｈ　ｌ側に前進させ、上下の
挟持部材１１．１２を駆動し一枚のウェーハ搭載フレー
ム４を挟持して所定長さ引き出す。この時に一応調整部
材９．１０の先端の先端部材９ａ、１０ａがウェーハ搭
載フレーム４のアライメント用の切欠６．７に係合する
が、それだりでは夫々区々に収納されているつ“ニーハ
搭載フレーム４を、個々にその都度正確にアライメン１
〜することができない。つまり、収納されているウェー
ハ搭載フレーム４は収納の深さ及び角度が区々であり、
それによって調整部材９．１０の先端と切欠６．７どの
一応の係合がなされても、充分な係合に至らない不確実
な場合もあり、確実にブリアライメン１〜されたものと
、不確実なプリアライメン１〜されたものとを混在させ
た状態で次工程のチャックテーブルに載置することは、
従来例と同様に次工程における作業性を阻害するのであ
る。

そこで、前記工程でウェーハ搭載フレーム４を所定長さ
引き出した後に（第４図）、上下の挟持部材１１．１２
の挟持を開放し、その状態からハンド機構８を再度前進
させるとハンド機構８に設けられた調整部材９．１０の
先端が切欠６．７に当接してウェーハ搭載フレーム４を
押し込むことになるので（第５〜６図）、両者間の当接
が充分に行われ、それによって確実なブリアライメン１
〜がなされるのである。従って、最初の引き出し工程に
Ｊ：つてウェーハ搭載フレーム４の挟持の深さ又は角度
的に区々であっても、次工程の押し込み工程によってそ
れ等が全て修正され、全部のウェーハ搭載フレーム４に
おいて、同一の工程を経ることで、統一された正確なプ
リアライメン１〜がなされるのである。この場合に、押
し込み工程でウェーハ搭載フレーム４がウェーハケース
１の背面壁に当接しない程度に止どめることが重要であ
る。もし、ウェーハ搭載フレーム４が背面壁に当接する
と、ウェーハケースを構成する側面壁と背面壁との傾斜
にウェーハ搭載フレーム４が対応してしまい、調整部材
９．１０によるブリアライメン１〜が無駄になってしま
う。

第７図に示した他の実施例においては、前記ハンド機構
８の駆動をより一層簡単にしたものである。即ち、ウェ
ーハケース１に対して、その背面側路中心部に着脱自在
なアダプター１３を取り付（プ、該アダプター１３によ
って収納されているウェーハ搭載フレーム４を予め所定
のス［〜ローフ前進させておくのである。

このアダプター１３は略コ字状を呈する本体１４にパネ
イ」勢された幅の狭い板状又は丸棒状の当接部材１５が
縦方向に配設されたものである。このバネ付勢に適用さ
れるものとしては例えばコイルスプリング１６であり、
該コイルスプリングが当接部材１５の少なくとも上下端
に設けられ、当接部材１５を常にウェーハケース１の前
面側にバネ付勢しているのである。

このようなアダプター１３をプリアライメン１〜の工程
においてウェーハケース１に取り付Ｃプると、ウェーハ
ケース１内に収納された全てのウェーハ搭載フレーム４
は当接部材１５の存在により予め所定のス１〜ロークに
おいて前面側に移動した状態にある。この状態で収納さ
れている全てのウェーハ搭載フレーム４が夫々区々な状
態であっても良いのである。

そこで、第８図及び第９図に参照しながら、前記した調
整部材９．１０を備えたハンド［８でつニーハケース１
に収納されているウェーハ搭載フレーム４を順次取り出
す工程について説明すると、予め前面側に出ているウェ
ーハ搭載フレーム４を取り出すためにハンド機構８を接
近させると、先ず最初にハンド機構の調整部材９．１０
がウェーハ搭載フレーム４の切欠６．７に当接する。そ
の状態でそのまま更に所定のストロークに亘ってハンド
機構８を前進させると、整部材９．１０が当接部ヰ第１
５のバネ付勢に抗してウェーハ搭載フレーム４を押し込
むことになるので、第９図に示したように、ウェーハ搭
載フレーム４が両調整部材の先端にお（プる先端部材９
ａ、１０ａと当接部材１５との３点で支持され、それに
よって位置的にも角度的にも正確なプリアライメントが
なされるのである。

いずれの実施例に４５いても、ハンド機構８でつニーハ
ケース１からウェーハ搭載フレーム４を取り出す際に、
ウェーハ搭載フレーム４が区々に収納されていても、そ
れ等を個々に正確なプリアライメントをして取り出すと
云う技術的思想において一致づ゛るのである。尚、図示
の実施例では当接部材１５をアダプター１３に取り付ｃ
〕てウェーハケース１に対し着脱自在に配設する揚台に
ついて説明したが、このバネ付勢された当接部材１５は
ウェーハケース１に予め装備さゼたものであっても良い
。

要は、ウェーハケース１内に収納されているウェハ搭載
フレーム４をハンド機１ｆ４８で取り出す際に、押し込
む所定長さのストロークが確保されていれば良いのであ
る。

（発明の効果） 以上説明したように本発明に係るウェーハ搭載フレーム
のプリアライメント方法は、ウェーハケースに収納した
ウェーハ搭載フレームをハンド機構によって取り出しチ
ャックテーブルに載置する際に、ハンド機構に設けた調
整機構によってウェハケース内で前記ウェーハ搭載フレ
ームを移動させて位置的及び角度的な調整を行うように
したものであり、前記ウェーハケース内からハンド機構
によって一枚づつウェーハ搭載フレームを取り出す際に
ブリアライメン１〜を行ってしまうので、従来ウェーハ
ケースのセフ１ル位置と切断又は切削のためのチャック
テーブルとの間に配設されていたプリアライメント機構
が全く不要になり、しかもウェーハケースからウェーハ
搭載フレームを取り出して直ちにチャックテーブル上に
載置できるので、ウェーハ搭載フレームの移送距離も短
くなって作業性が向上すると共に、装置自体が小型コン
パクト化されと云う種々の優れた効果を奏する。

又、ウェーハケース内でのウェーハ搭載フレームのプリ
アライメント動作は、ウェーハ搭載フレームの引き出し
及び又は押し込み移動であって、簡単の動作でありなが
ら確実なブリアライメン１〜が行われ、それによって作
業性が著しく向上すると云う優れた効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施する一実施例の装置の要部
のみを略示的に示した斜視図、第２図は同装置のハンド
ｉ構の略示的側面図、第３〜５図は同方法の原理を夫々
示す説明図、第６図は同方法によってプリアライメント
された後のウェーハ搭載フレームとハンド機構とを示ず
一部拡大平面図、第７図は同方法の他の実施例を示す要
部の一部断面図、第８〜９図は同地の実施例による原理
を夫々示す説明図、第１０図は一般的に使用されている
ウェーハ搭載フレームの平面図である。 １・・・・・・ウェーハケース ２・・・・・・溝部　　　　　３・・・・・・つ■−ハ
４・・・・・・ウェーハ搭載フレーム ５・・・・・・フィルム　　　６．７・・・・・・切欠
８・・・・・ハンド機構　　９．１０・・・・・・調整
機構９ａ、１０ａ・・・調整機構の先端部拐１１・・・
・・・上部挟持部材　１２・・・・・・下部挟持部材１
３・・・・・・アダプター　　１４・・・・・・当接部
材１５・・・・・・コイルスプリング 特許出願人　　　　株式会社ディスコ 代 理 人 秋 几 輝 ・−一、７−− −：。 雄ゝ・４占 ０フ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェーハケースに収納したウェーハ搭載フレーム
   をハンド機構によって取り出しチャックテーブルに載置
   する際に、ハンド機構に設けた調整機構によってウェー
   ハケース内で前記ウェーハ搭載フレームを移動させて位
   置的及び角度的な調整を行うことを特徴とするウェーハ
   搭載フレームのプリアライメント方法。
2. （２）ウェーハケース内でのウェーハ搭載フレームの移
   動は引き出し及び又は押し込みである請求項（１）記載
   のプリアライメント方法。
3. （３）ウェーハケースにバネ付勢された当接部材を配設
   し、収納されたウェーハ搭載フレームを予め前進させて
   おくようにした請求項（１）記載のプリアライメント方
   法。