JPS5968936A - ペレツトボンデイング方法 - Google Patents
ペレツトボンデイング方法Info
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は基板上に半導体ペレットを接着（以下マウント
という）するベレットボンディング方法に関する。
という）するベレットボンディング方法に関する。
一般に半４体部品の製造は、ペレットボンディング工程
によりリードフレーム等の基板上にペレットをマウント
し、その後ワイヤボンディング工程において、基板上の
リードポストとペレットに設けられたパッドとをワイヤ
によって接続することにより行なわれる。ここで、基板
上の各ボンディング点の相対的な位置関係、およびペレ
ット上の各ボンディング点の相対的な位置関係はそれぞ
れ一定であるので、ワイヤボンディング装置の工具と基
板との位置関係が一定である場合には、基板きペレット
と・の位置関係が一定であれば、ワイヤボンディング装
置の工具を順次各ボンディング点に案内することにより
、ワイヤボンディング作業を正確かつ迅速に行うことが
可能となる。
によりリードフレーム等の基板上にペレットをマウント
し、その後ワイヤボンディング工程において、基板上の
リードポストとペレットに設けられたパッドとをワイヤ
によって接続することにより行なわれる。ここで、基板
上の各ボンディング点の相対的な位置関係、およびペレ
ット上の各ボンディング点の相対的な位置関係はそれぞ
れ一定であるので、ワイヤボンディング装置の工具と基
板との位置関係が一定である場合には、基板きペレット
と・の位置関係が一定であれば、ワイヤボンディング装
置の工具を順次各ボンディング点に案内することにより
、ワイヤボンディング作業を正確かつ迅速に行うことが
可能となる。
ところで、従来のベレットボンディング方法は、基板支
持台側の位置決めピンを基板の位置決め孔に挿入した状
態下で、ペレットを吸着したコレットを基板上の所定マ
ウント点に移動し、ペレットを基板上の上記所定マウン
ト点にマウント可能としている。
持台側の位置決めピンを基板の位置決め孔に挿入した状
態下で、ペレットを吸着したコレットを基板上の所定マ
ウント点に移動し、ペレットを基板上の上記所定マウン
ト点にマウント可能としている。
しかしながら、実際には、特に基板が合成樹脂、セラミ
ックス等からなる場合に、基板の製造工程に起因して、
各基板の位置決め孔径がそれぞれ異なる傾向を有する。
ックス等からなる場合に、基板の製造工程に起因して、
各基板の位置決め孔径がそれぞれ異なる傾向を有する。
したがって、基板支持台側の位（曜決めピンは、すべて
の基板に設けられている位置決め孔に挿入可能とすべく
、位置決め孔の標準内径より小なる外径を与えられてい
る。すなわち、従来のペレットボンディング方法にあっ
ては、位置決めピンと位置決め孔との間に間隙があり、
基板を常に基板支持台に対する一定位置に位置決めする
ことができす、基板上の実際のマウント点にペレットを
マウントすることが困難となっている。
の基板に設けられている位置決め孔に挿入可能とすべく
、位置決め孔の標準内径より小なる外径を与えられてい
る。すなわち、従来のペレットボンディング方法にあっ
ては、位置決めピンと位置決め孔との間に間隙があり、
基板を常に基板支持台に対する一定位置に位置決めする
ことができす、基板上の実際のマウント点にペレットを
マウントすることが困難となっている。
本発明は基板上の実際のマウント点にペレットをマウン
トし、続（ワイヤボンディング作業を正確かつ迅速に行
なうことを可能とするペレットボンディング方法を提供
することを目的とする。
トし、続（ワイヤボンディング作業を正確かつ迅速に行
なうことを可能とするペレットボンディング方法を提供
することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るペレットボン
ディング方法は、基板上に予め定めた検出に点について
正規の位置からのずれ量を検出し、上記すれ量に基づい
て基板上におけるペレットの所定マウント点の実際の位
置を算出し、ペレットを吸着したコレットを上記実際の
マウント点に移動させるようにしたものである。
ディング方法は、基板上に予め定めた検出に点について
正規の位置からのずれ量を検出し、上記すれ量に基づい
て基板上におけるペレットの所定マウント点の実際の位
置を算出し、ペレットを吸着したコレットを上記実際の
マウント点に移動させるようにしたものである。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施に用いられるペレットボンディン
グ装置の一例を示す略平面図、第２図は第１図のマウン
トユニット部を示す側面図、第３図は本発明に係る基板
と基板支持台の一部を示す斜視図、第４図は本発明に係
る基板と基板支持台を示す断面図、第５図は本発明の一
実施例を示す制σｉｉｌ系統図、第６図は第５図のパタ
ーン認識回路における４識の状態を示す座標図である。
グ装置の一例を示す略平面図、第２図は第１図のマウン
トユニット部を示す側面図、第３図は本発明に係る基板
と基板支持台の一部を示す斜視図、第４図は本発明に係
る基板と基板支持台を示す断面図、第５図は本発明の一
実施例を示す制σｉｉｌ系統図、第６図は第５図のパタ
ーン認識回路における４識の状態を示す座標図である。
まず、本発明の実施に用いられるペレットボンディング
装置の一例を第１図および第２図において説明する。
装置の一例を第１図および第２図において説明する。
基鈑１１のｎ「定ベレットマウント部１２にマウントさ
れるペレット１３は、ペレット収納容器１４内に収納さ
れた状態で、ペレット受台１５上に位置されている。ペ
レット受台１５はペレット基台１６に対し、Ｘ方向およ
びＹ方向に移動可能とされ、所望のペレット１３を供給
位置へ移動可能としている。
れるペレット１３は、ペレット収納容器１４内に収納さ
れた状態で、ペレット受台１５上に位置されている。ペ
レット受台１５はペレット基台１６に対し、Ｘ方向およ
びＹ方向に移動可能とされ、所望のペレット１３を供給
位置へ移動可能としている。
上記ペレット受台１５と、後述する位置決め装Ｈｒ、Ｊ
：の間には、ペレット受台１５上のペレット１３を吸着
、解放可能とするコレット１８が配設されている。コレ
ット１８は、回動および昇降可能なアーム１９の先端に
支持されている。すなわち、コレット１８は、その下降
位置において所望のペレット１３を吸着した後、上昇、
旋回、下降し、ペレット１３を位置決め装置１７の位置
決め台２０にて解放することで移載可能としている。
：の間には、ペレット受台１５上のペレット１３を吸着
、解放可能とするコレット１８が配設されている。コレ
ット１８は、回動および昇降可能なアーム１９の先端に
支持されている。すなわち、コレット１８は、その下降
位置において所望のペレット１３を吸着した後、上昇、
旋回、下降し、ペレット１３を位置決め装置１７の位置
決め台２０にて解放することで移載可能としている。
なお、コレット１８は、位置決め台２０へのペレット１
３の移載完了後、再び上昇、旋回し、次のペレット１３
を吸着すべく待機位置に停留する。
３の移載完了後、再び上昇、旋回し、次のペレット１３
を吸着すべく待機位置に停留する。
位置決め装置１７は、ゲージング爪２１を有しており、
ペレット１３が位置決め台２０上に移載された後、各ゲ
ージング爪２１の前進移動により、位置決め台２０上の
所定位置にペレット１３を位置決め可能としている。
ペレット１３が位置決め台２０上に移載された後、各ゲ
ージング爪２１の前進移動により、位置決め台２０上の
所定位置にペレット１３を位置決め可能としている。
上記ペレット１３をマウントされるべき基板１１が支持
される、［ネ１示されない基板支持台に関して、上記位
置決め装置１７の反対側には、マウントユニット２２が
配置されている。マウントユニット２２は、ユニット基
台２３上に蟻結合２４を介してＸテーブル２５をＸ方向
へ移動可能に支持している。上記Ｘテーブル２５上には
蟻結合２６を介してＹテーブル２１がＹ方向へ移動可能
に支持されている。なお、上記Ｘテーブル２５およびＹ
テーブル２７は、それぞれＸテーブル駆動用モータおよ
びＹテーブル駆動用モータによって駆動可能とさＡ１て
いる。
される、［ネ１示されない基板支持台に関して、上記位
置決め装置１７の反対側には、マウントユニット２２が
配置されている。マウントユニット２２は、ユニット基
台２３上に蟻結合２４を介してＸテーブル２５をＸ方向
へ移動可能に支持している。上記Ｘテーブル２５上には
蟻結合２６を介してＹテーブル２１がＹ方向へ移動可能
に支持されている。なお、上記Ｘテーブル２５およびＹ
テーブル２７は、それぞれＸテーブル駆動用モータおよ
びＹテーブル駆動用モータによって駆動可能とさＡ１て
いる。
さらに、上記Ｙテーブル２７上には、昇降体２８を案内
するガイド部２９が設けられ、昇降体２８の上押にフォ
ーク状の支持部３０を備え、この支持部３０の先端にコ
レット３１を有する支持ロッド３２を摺動自在に支持し
ている。また、昇降体２８の下部にはカムフォロア３３
が軸支され、Ｙテーブル２７に回動自在に支持されてい
る昇降用カム３４吉カムフオロア３３との当接により、
昇降体２８を介して支持ロッド３２を昇降可能としてい
る。また、Ｙテーブル２７には回転盤３５が回動自在ｌ
ど支持され、この回転盤３５の一部ｌζは作動ピン３６
が突没され、Ｙテーブル２７に支持ピン３７を介して軸
支されている作動アーム３８のカイト長孔３９？こ作動
ピン３６を嵌入し、作動アーム３８の自由端を連接棒４
ｏを介して支持ロッド３２の反コレット３１側に連結し
ている。上記回転盤３５の回転によって作動ピン３６を
変位させ、作動アーム３８を支持ピン３７のまわりに揺
動させ、支持ロッド３２を前後進可能としてい、、る。
するガイド部２９が設けられ、昇降体２８の上押にフォ
ーク状の支持部３０を備え、この支持部３０の先端にコ
レット３１を有する支持ロッド３２を摺動自在に支持し
ている。また、昇降体２８の下部にはカムフォロア３３
が軸支され、Ｙテーブル２７に回動自在に支持されてい
る昇降用カム３４吉カムフオロア３３との当接により、
昇降体２８を介して支持ロッド３２を昇降可能としてい
る。また、Ｙテーブル２７には回転盤３５が回動自在ｌ
ど支持され、この回転盤３５の一部ｌζは作動ピン３６
が突没され、Ｙテーブル２７に支持ピン３７を介して軸
支されている作動アーム３８のカイト長孔３９？こ作動
ピン３６を嵌入し、作動アーム３８の自由端を連接棒４
ｏを介して支持ロッド３２の反コレット３１側に連結し
ている。上記回転盤３５の回転によって作動ピン３６を
変位させ、作動アーム３８を支持ピン３７のまわりに揺
動させ、支持ロッド３２を前後進可能としてい、、る。
すなわち、上記マウントユニット２２においては、支持
ロッド３２を前進させ、さらに下降させて、前記位置決
め装置１７Ｉζおいて位１１を決めされているペレット
１３をコレット３１によって吸着保持可能としている。
ロッド３２を前進させ、さらに下降させて、前記位置決
め装置１７Ｉζおいて位１１を決めされているペレット
１３をコレット３１によって吸着保持可能としている。
なお、位置決め装置ｔ＜ｊ ｉ ７の各ゲージング爪２
１はコレット３１がペレット１３を吸着する以前にはす
でに外′ｊｊ側へ移動してペレット１３を解放するよう
になっている。一方、支持ロッド３２は上昇した後、後
退してコレット３１を基板１１上に位置させる。さらに
、Ｘテーブル２５およＯ：Ｙテーブル２７を、Ｘテーブ
ル駆動用モータおよびＹテーブル駆動用モータの作動に
より、Ｘ方向およびＸ方向へ所定−瞼だけ移動させ、コ
レット３１を基板１１の所定位置上へ移動させる。その
後、支持ロッド３２を下降させ、コレット３１ζζ吸着
保持しているペレット１３を基板１１の所定マウント点
にマウント可能とする。
１はコレット３１がペレット１３を吸着する以前にはす
でに外′ｊｊ側へ移動してペレット１３を解放するよう
になっている。一方、支持ロッド３２は上昇した後、後
退してコレット３１を基板１１上に位置させる。さらに
、Ｘテーブル２５およＯ：Ｙテーブル２７を、Ｘテーブ
ル駆動用モータおよびＹテーブル駆動用モータの作動に
より、Ｘ方向およびＸ方向へ所定−瞼だけ移動させ、コ
レット３１を基板１１の所定位置上へ移動させる。その
後、支持ロッド３２を下降させ、コレット３１ζζ吸着
保持しているペレット１３を基板１１の所定マウント点
にマウント可能とする。
しかして−上記マウントユニット２２によ′りてペレッ
ト１３をマウントされるべき基板１１は、第３図および
第４図に示すように基鈑支持台上に支ｊ寺されているＪ すなわち、この実施例においては、基板１１を直接支持
するキャリア４１ （！：％キャリア４１を所定位置に
位置決め保持するガイドレール４２とによって基板支持
台を構成している。ここで、キャリア４１は、その送り
用孔４１Ａと図示されない送り用ピンとの係合下でガイ
ドレール４２上を移送されるとともに、その位置決め孔
４１Ｂと位置決めピン４３との保合下で、ガイドレール
４２上の所定位（Ｈｌｉ、に正しく位置決め可能とされ
ている。
ト１３をマウントされるべき基板１１は、第３図および
第４図に示すように基鈑支持台上に支ｊ寺されているＪ すなわち、この実施例においては、基板１１を直接支持
するキャリア４１ （！：％キャリア４１を所定位置に
位置決め保持するガイドレール４２とによって基板支持
台を構成している。ここで、キャリア４１は、その送り
用孔４１Ａと図示されない送り用ピンとの係合下でガイ
ドレール４２上を移送されるとともに、その位置決め孔
４１Ｂと位置決めピン４３との保合下で、ガイドレール
４２上の所定位（Ｈｌｉ、に正しく位置決め可能とされ
ている。
上記キャリア４１に（オ、位置決めピン４４が９．］定
さ才′１ている。このキャリア４１上に支持される基′
Ａν１１は、その位置決め孔４５をその位置決めピン４
４１こ１６１人した状朝で位↑ト１′決め可能とされて
いる。ここで、塞板１１の位置決め孔４５の内径はへイ
ル毎に多少異なるｆ川向にあることから、キャリア４１
の位ＩＵｔ決めピン４４は、すべての基板１１に設けら
れている位置決め孔４５に挿入可能とすべく、位置決め
孔４５の標準内径より小なる外径を与えられている。し
たがって、キャリア４１の位１１′″〔決めピン４４と
基板１１の位１４決め孔４５七の間には間隙があり、氷
板１１はキャリア４１上において必すしも正確に位置決
め可能とされていない。
さ才′１ている。このキャリア４１上に支持される基′
Ａν１１は、その位置決め孔４５をその位置決めピン４
４１こ１６１人した状朝で位↑ト１′決め可能とされて
いる。ここで、塞板１１の位置決め孔４５の内径はへイ
ル毎に多少異なるｆ川向にあることから、キャリア４１
の位ＩＵｔ決めピン４４は、すべての基板１１に設けら
れている位置決め孔４５に挿入可能とすべく、位置決め
孔４５の標準内径より小なる外径を与えられている。し
たがって、キャリア４１の位１１′″〔決めピン４４と
基板１１の位１４決め孔４５七の間には間隙があり、氷
板１１はキャリア４１上において必すしも正確に位置決
め可能とされていない。
そこで、」二ｎ６のように、キャリア４１およびブｊイ
ドレール４２からなる裁板支持台上に正確にＷ置決めさ
れていない基板１１上の正しいマウント点にペレット１
３をマウント可能とする方法を、第５図および第６図を
参照して説明する。
ドレール４２からなる裁板支持台上に正確にＷ置決めさ
れていない基板１１上の正しいマウント点にペレット１
３をマウント可能とする方法を、第５図および第６図を
参照して説明する。
まず、設定器４６には、予め、第６図に２点鎖線で示す
ような正規位置にある基板１１上における、検出定点Ｍ
の正規位置（ｘＭ、ＹＭ）、第１ペレツト１３のマウン
ト点Ａの上知、位置（ＸＡ、ＹＡ）、第２ペレツト１３
のマウント点Ｂの正規位置（Ｘ、。
ような正規位置にある基板１１上における、検出定点Ｍ
の正規位置（ｘＭ、ＹＭ）、第１ペレツト１３のマウン
ト点Ａの上知、位置（ＸＡ、ＹＡ）、第２ペレツト１３
のマウント点Ｂの正規位置（Ｘ、。
ＹＢ ）が記憶されている。゛
次に、第１図に示した基板１１がテレビカメラ４７で撮
像される。テレビカメラ４７の出力はデジタル処理回路
４８に供給され、ここで２値化されてさらに輪郭点抽出
が行なわれる。デジタル処理回路４８の出力はパターン
認識回路４９およびテレビモニター５０に供給される。
像される。テレビカメラ４７の出力はデジタル処理回路
４８に供給され、ここで２値化されてさらに輪郭点抽出
が行なわれる。デジタル処理回路４８の出力はパターン
認識回路４９およびテレビモニター５０に供給される。
テレビモニター ５０ ［ｊデジタル処理回路４８の出
力を両像としてモニター可能としている。パターン認識
回路４９は第６図に実線で示すように、基板１１の実際
の位ｆｆＮをＰ３！！標として認識し、実際の検出定点
ｍの位ｌｔ４（Ｘｍ、 Ｙｍ）を認識し、これを演立回
路５１およびマーク発生回路５２に伝達する。マーク発
生回路５２はパターン認識回路４９によって認識された
実際の検出定点ｍをテレビモニター５０上にマークとし
て表わし、この認識された実際の検出定点ｍが基板１１
上の真の点であるか否かをモニター可能としている。
力を両像としてモニター可能としている。パターン認識
回路４９は第６図に実線で示すように、基板１１の実際
の位ｆｆＮをＰ３！！標として認識し、実際の検出定点
ｍの位ｌｔ４（Ｘｍ、 Ｙｍ）を認識し、これを演立回
路５１およびマーク発生回路５２に伝達する。マーク発
生回路５２はパターン認識回路４９によって認識された
実際の検出定点ｍをテレビモニター５０上にマークとし
て表わし、この認識された実際の検出定点ｍが基板１１
上の真の点であるか否かをモニター可能としている。
上記演算回路５１は、パターン認識回路４９の認識結果
と設定器４６の記憶値を用いて、正規の検出定点Ｍと実
際の検出定点ｍとのずれ景ΔＸ。
と設定器４６の記憶値を用いて、正規の検出定点Ｍと実
際の検出定点ｍとのずれ景ΔＸ。
Δｙ５−下記ｆ下記式１１式（２）式によって算定する
。
。
Δｘ ＝ Ｘ、、 −ＸＭ ・・・〜・・−・・（
１）Δｙ＝Ｙｍ−ＹＭ ・・・・・・・ （２）また
、演算回路５１は、上記ずれ量（ΔＸ、Δｙ）１ に基
づいて、第１ベレツト１３の実際のマウント点ａの位置
（Ｘａ、 Ｙａ）を下記（３）式および（４）式によっ
て邊定する。
１）Δｙ＝Ｙｍ−ＹＭ ・・・・・・・ （２）また
、演算回路５１は、上記ずれ量（ΔＸ、Δｙ）１ に基
づいて、第１ベレツト１３の実際のマウント点ａの位置
（Ｘａ、 Ｙａ）を下記（３）式および（４）式によっ
て邊定する。
Ｘａ二ＸＡ＋ΔＸ ・・・−・・・・・（３）￥ａ＝
ＹＡ＋Δｙ ・・・・・・・・（４）また、演算回路
５１は、上記ずれ量（ΔＸ、Δｙ）にλ（づいて、第２
ペレツト１３の実際のマウント点すの位置（ＸＢ ｒ
Ｙｌ） ）を下記（５）式および（６）式によって算定
する。
ＹＡ＋Δｙ ・・・・・・・・（４）また、演算回路
５１は、上記ずれ量（ΔＸ、Δｙ）にλ（づいて、第２
ペレツト１３の実際のマウント点すの位置（ＸＢ ｒ
Ｙｌ） ）を下記（５）式および（６）式によって算定
する。
Ｘｂ−ＸＢ＋Δｘ ・−−−・（５）Ｙｈ＝： Ｙ
、＋Δｙ ・・・・・ （６）上記演算回路５１の
演算結果は制御回路５３に伝達される。制御回路５３は
駆動器５４としてのＸテーブル駆動用モータおよびＹテ
ーブル駆動用モータを駆動制御し、基板１１のペレット
マウント部１２Ａ、１２Ｂにマウントすべきペレット１
３を吸着しているコレット３１を、実際のマウント点ａ
（Ｘａ、 Ｙａ）もしくはｂ （Ｘ、 、 Ｙ、 ）
に移動させ、各ペレット１３をそれらのマウント点ａ。
、＋Δｙ ・・・・・ （６）上記演算回路５１の
演算結果は制御回路５３に伝達される。制御回路５３は
駆動器５４としてのＸテーブル駆動用モータおよびＹテ
ーブル駆動用モータを駆動制御し、基板１１のペレット
マウント部１２Ａ、１２Ｂにマウントすべきペレット１
３を吸着しているコレット３１を、実際のマウント点ａ
（Ｘａ、 Ｙａ）もしくはｂ （Ｘ、 、 Ｙ、 ）
に移動させ、各ペレット１３をそれらのマウント点ａ。
ｂ上にマウントする。
なお、上記実施例において基板１１上に予め定める検出
定点Ｍは、本発明の実施のために特に設けるものでなく
、すべての基板１１に対して一様に特定６丁能な目印と
なるものでよい。
定点Ｍは、本発明の実施のために特に設けるものでなく
、すべての基板１１に対して一様に特定６丁能な目印と
なるものでよい。
また、上記実施例においては、基板１１に２つの位置決
め孔４５を有する場合について説明したが、基板１１に
設けられる位置決め孔は単一であってもよい。
め孔４５を有する場合について説明したが、基板１１に
設けられる位置決め孔は単一であってもよい。
なお、上記実施例においては、基板１１を支持する基鈑
支持台を、キャリア４１とガイドレール４２とによって
！１１７成する場合について説明したが、基板をリード
フレーム古し、基板支持台をガイドレール４２のみによ
って構成する場合にも、本発明を】１４用することは可
能である。
支持台を、キャリア４１とガイドレール４２とによって
！１１７成する場合について説明したが、基板をリード
フレーム古し、基板支持台をガイドレール４２のみによ
って構成する場合にも、本発明を】１４用することは可
能である。
以上のように、本発明に係るペレットボンデイング力法
は、載板上に予め定めた検出定点について正規の位（伐
からのすれ量を検出し、上記ずれ量に塾づいて、実際の
ペレットマウント位置を算出し、ペレットを吸着したコ
レットを上記実際のマウント点に移動させるようにした
ので、ペレットをνｒＮｋ上の正確な位置にマウントす
ることが可能となり、後続するワイヤボンディング作業
を正確かつ迅速に行なうことが可能となる。
は、載板上に予め定めた検出定点について正規の位（伐
からのすれ量を検出し、上記ずれ量に塾づいて、実際の
ペレットマウント位置を算出し、ペレットを吸着したコ
レットを上記実際のマウント点に移動させるようにした
ので、ペレットをνｒＮｋ上の正確な位置にマウントす
ることが可能となり、後続するワイヤボンディング作業
を正確かつ迅速に行なうことが可能となる。
第１図は本発明の実施に用いられるペレットボンディン
グ装置の一例を示す略平面図、第２図は第１図のマウン
トユニット部を示す側面図、第３図は本発明に係る基板
と基板支持台の一部を示す斜視図、第４図は本発明に係
る基板と基板支持台を示す断面図、第５図は本発明の一
実施例を示す制御系統図、第６図は第５図のパターン認
識回路における認識の状態を示す座標図である。 １１・・基板、１３・・・ペレット、 ２２・・・マウントユニット、２５・・・Ｘテーブル、
２７・・・Ｙテーブル、３１・・・コレット、４１・・
・キャリア、４２・・・ガイドレール、４４・・位置決
めピン、４５・・・位置決め孔、４６・・設定器、４９
・・・パターン認識回路、５１・・・演算回路、５３・
・・制御回路、５４・・・駆動器。 代理人 弁理士 塩 川 修 治
グ装置の一例を示す略平面図、第２図は第１図のマウン
トユニット部を示す側面図、第３図は本発明に係る基板
と基板支持台の一部を示す斜視図、第４図は本発明に係
る基板と基板支持台を示す断面図、第５図は本発明の一
実施例を示す制御系統図、第６図は第５図のパターン認
識回路における認識の状態を示す座標図である。 １１・・基板、１３・・・ペレット、 ２２・・・マウントユニット、２５・・・Ｘテーブル、
２７・・・Ｙテーブル、３１・・・コレット、４１・・
・キャリア、４２・・・ガイドレール、４４・・位置決
めピン、４５・・・位置決め孔、４６・・設定器、４９
・・・パターン認識回路、５１・・・演算回路、５３・
・・制御回路、５４・・・駆動器。 代理人 弁理士 塩 川 修 治
Claims (1)
- （１）基板支持台側の位置決めピンを基板の位置決め孔
に挿入した状態下で、ペレットを吸着したコレットを基
板上の所定マウント点に移動し、ペレットを基板上の上
記所定マウント点にマウントするベレットボンディング
方法において、基板上に予め定めた検出定点について正
規の位置からのずれ量を検出し、上記ずれ量に基づいて
、前記所定マウント点の実際の位置を算出し、コレット
を上記実際のマウント点に移動させることを特徴とする
ベレットボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57179031A JPS5968936A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ペレツトボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57179031A JPS5968936A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ペレツトボンデイング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5968936A true JPS5968936A (ja) | 1984-04-19 |
Family
ID=16058895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57179031A Pending JPS5968936A (ja) | 1982-10-14 | 1982-10-14 | ペレツトボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5968936A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6169139A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-09 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング装置における認識装置 |
| JPS62222642A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JPH01183127A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-20 | Shinkawa Ltd | ダイボンデイング方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753950A (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 | Fujitsu Ltd | Peretsutobondeingusochi |
-
1982
- 1982-10-14 JP JP57179031A patent/JPS5968936A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753950A (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 | Fujitsu Ltd | Peretsutobondeingusochi |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6169139A (ja) * | 1984-09-13 | 1986-04-09 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング装置における認識装置 |
| JPH0584055B2 (ja) * | 1984-09-13 | 1993-11-30 | Toshiba Seiki Kk | |
| JPS62222642A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | ダイボンデイング装置 |
| JPH07105404B2 (ja) * | 1986-03-25 | 1995-11-13 | 株式会社東芝 | ダイボンディング装置 |
| JPH01183127A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-20 | Shinkawa Ltd | ダイボンデイング方法 |
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