JP3687013B2 - ウェハ搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハカセットからウェハを搬出入するウェハ搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のウェハ搬送装置は、図5に示すように構成されている。1は真空引きしたウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板2にウェハ搬送ロボット5が取付けてある。前記ウェハ搬送ロボット5は、モータ軸(図示せず)に一端を取付けた第1のアーム6の先端に第2のアーム7を旋回可能に取付けるとともに、この第2のアーム7の先端に第3のアーム8を旋回可能に取付け、かつ、この第3のアーム8の先端にウェハ搬送フォーク11を固定して構成している。
前記ウェハ搬送室1には、隣接してウェハカセットエレベータ14aを収納した真空引きしたウェハカセット室14が設けられ、ウェハカセットエレベータ16aのテーブル15にはウェハ17を収納したウェハカセット16が載置してある。
ウェハの搬送は、前記ウェハ搬送ロボットを始動して第1のアーム6、第2のアーム7および第3のアーム8を屈伸し、第3のアームに取付けた搬送フォーク11を前進、後退させてウェハカセット16内のウェハ17をウェハ搬送フォーク11の上に載置してウェハカセット16からウェハ17を搬出入することにより行う。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のウェハ搬送装置は、ウェハ搬送フォーク11にウェハ17を載置して搬送しており、ウェハを多数回搬送すると、ウェハ搬送フォーク11がウェハ17により汚損され、ウェハ搬送フォーク上に載置するウェハが滑ってウェハ搬送フォーク上のウェハの位置がずれて、ウェハカセットに収納するときウェハカセツトに当たって破損する問題があった。このため、ウェハ搬送フォーク11を頻繁に取替える必要があり、真空引きしてあるウェハ搬送室1のドアを開け、大気に開放してウェハ搬送ロボット5の第3のアーム8からウェハ搬送フォーク11を取り外して新しいウェハ搬送フォークを取付け、このウェハ搬送フォーク11を取付けた後再度ウェハ搬送室1を真空引きしなければならず、作業が煩雑となり、稼働率が低いという問題があった。
そこで、本発明は、真空引きしたウェハカセット室内に、交換用のウェハ搬送フォークを収納したフォークストッカを設け、ウェハ搬送ロボットの第3のアーム先端に交換用のウェハ搬送フォークを簡単に着脱できるようにすることを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、真空引きしたウェハカセット室内に設置されたウェハカセットエレベータのテーブルに載置したウェハカセットのウェハを、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬出入するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウェハカセットエレベータのテーブルに載置した、複数のフォークを収納するフォークストッカーとを設け、かつ、前記ウェハ搬送ロボットのアーム先端に垂直に突出させたピンおよび傾斜させて設けたフックピンと、
先端を二股に構成し基端部に前記アームに設けた前記ピンに係合するピン穴、および前記フックピンに係合するフックピン穴を有する交換用のウェハ搬送フォークとを設けるようにしている。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて詳細に説明する。
図1はウェハ搬送装置の要部側断面図、図2は図1のウェハ搬送フォークの要部を示す平面図、図3は図2のウェハ搬送フォークの側断面図である。図5と同一のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図において、1は真空引きしたウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板2に後記ウェハ搬送ロボット5が取付けられ、側壁3にはゲート開口部4が設けられている。前記ウェハ搬送ロボット5は、ロボット内のモータの軸(図示せず)に一端を取付けた第1のアーム6を有し、この第1のアーム6の先端に第2のアーム7を旋回可能に取付け、この第2のアーム7の先端に第3のアーム8を旋回可能に取付けて構成してある。9は第3のアーム先端に垂直に突出させたピン、10は第3のアーム先端に傾斜させて突出させたフックピンである。11は先端を二股に形成したウェハ搬送フォークで、基端部に前記ピン9に係合する長穴12およびフックピン10に係合する傾斜したフックピン穴13が設けられている。14は真空引きしたウェハ搬送室に隣接して設けた、真空引きしたウェハカセット室で、このウェハカセット室内にエレベータ14aのテーブル15が昇降しうるように設けられている。16はウェハ17を収納するウェハカセットで、前記テーブル15上に載置しうるようにしてある。18はウェハカセット室14に設けたゲート開口部で、前記ウェハ搬送室1の側壁3に設けたゲート開口部4に合致するように設け、前記ウェハ搬送フォークが出入りしうるようにしてある。19はゲートバルブで、ウェハ搬送室1とウェハカセット室14とを仕切るようにしてある。20は複数のフォークを収納するフォークストッカーで、前記ウェハ搬送ロボットの第3のアームに取付ける交換用のウェハ搬送フォーク11aが収納され、前記エレベータ14aのテーブル15に載置されている。
つぎに、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークの交換作業について説明する。まず、ウェハ搬送フォークをウェハ搬送ロボットの第3アームから取り外すときは、ウェハ搬送ロボット5を駆動してアームを屈伸し第3のアーム8の先端に取付けたウェハ搬送フォーク11をフォークストッカ20に挿入する。ウェハカセットエレベータ14aを下降させると、フォークストッカに設けた棚(図示せず)にウェハ搬送フォークの側部が係止する。さらにウェハカセットエレベータを下降させるとともに、ウェハ搬送ロボットの第3のアームを図3に示す矢印と逆方向に移動させると、ウェハ搬送フォーク11の長穴12およびフックピン穴13からウェハ搬送ロボツトの第3アームに設けたピン9およびフックピン10がはずれ、ウェハ搬送フォークはフォークストッカ20の棚に載置されてフォークストッカ20に収納されて、ウェハ搬送ロボットのアームからウェハ搬送フォークの取り外し作業が完了する。
つぎに、ウェハ搬送ロボットの第3アームにウェハ搬送フォークを装着するときは、ウェハ搬送ロボットの第3アーム8をフォークストッカー20に挿入し、交換用のウェハ搬送フォーク11aの長穴12の真下に第3のアーム8の先端のピン9が達すると、エレベータを下降させながらウェハ搬送ロボット5の第3のアーム8を図3に示す矢印方向に移動させると、第3のアーム8に設けたピン9およびフックピン10がウェハ搬送フォークの長穴12およびフックピン穴13に入り、第3のアーム8の先端に交換用のウェハ搬送フォーク11aが取付けられて、ウェハ搬送ロボットの第3アームにウェハ搬送フォークの装着作業が完了する。
図4は本発明の第2の実施例を示すウェハ搬送フォークの側断面図で、第3のアーム8の端部に突出片21を設け、この突出片21にウエハ搬送フォークを嵌め込む溝22を形成し、この溝22にウェハ搬送フォークの側部を嵌め込むようにしている。
【0006】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームにウェハ搬送フォークを簡単に着脱することができ、そのため真空引きしたウェハカセット室の中でウェハ搬送フォークを交換することができるので、交換のたびにウェハ搬送室のドアを開閉する必要がなく、稼働率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図2】 図1の要部を示す平面図である。
【図3】 図2の要部を断面した側断面図である。
【図4】 本発明の第2の実施例を示すウェハ搬送フォークの要部を断面した側断面図である。
【図5】 従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【符号の説明】
1 ウェハ搬送室、 2 床板、 3 側壁、 4 ゲート開口部、
5 ウェハ搬送ロボット、 6 第1のアーム、 7 第2のアーム、
8 第3のアーム、 9 ピン、 10 フックピン、
11 ウェハ搬送フォーク、 11a 交換用のウェハ搬送フォーク、
12 長穴、 13 フックピン穴、 14 ウェハカセット室、
14a ウェハカセットエレベータ、 15 テーブル、
16 ウェハカセット、 17 ウェハ、 18 ゲート開口部、
19 ゲートバルブ、 20 フォークストッカ、 21 突出片、
22 溝
Claims (1)
- 真空引きしたウェハカセット室内に設置されたウェハカセットエレベータのテーブルに載置したウェハカセットのウェハを、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬出入するウェハ搬送装置において、
前記ウェハ搬送ロボットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウェハカセットエレベータのテーブルに載置した、複数のフォークを収納するフォークストッカーとを設け、
かつ、前記ウェハ搬送ロボットのアーム先端に垂直に突出させたピンおよび傾斜させて設けたフックピンと、
先端を二股に構成し基端部に前記アームに設けた前記ピンに係合するピン穴、および前記フックピンに係合するフックピン穴を有する交換用のウェハ搬送フォークとを設けたことを特徴とするウェハ搬送装置。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5680796A JP3687013B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
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Family Applications (1)
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