JPH09232403A - ウェハ搬送装置 - Google Patents
ウェハ搬送装置Info
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- JPH09232403A JPH09232403A JP5680796A JP5680796A JPH09232403A JP H09232403 A JPH09232403 A JP H09232403A JP 5680796 A JP5680796 A JP 5680796A JP 5680796 A JP5680796 A JP 5680796A JP H09232403 A JPH09232403 A JP H09232403A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハカセット室の中でウェハ搬送フォーク
を交換できるようにする。 【解決手段】 ウェハカセットエレベータ１４ａのテー
ブル１５に載置したウェハカセット１６のウェハ１７
を、ウェハ搬送ロボツト５のアームに取付けたウェハ搬
送フォーク１１に載置して搬出入するウェハ搬送装置に
おいて、交換用のウェハ搬送フォーク１１を収納しウェ
ハカセットエレベータ１４ａのテーブル１５に載置した
フォークストッカー２０と、ウェハ搬送ロボット５のア
ームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォーク１
１とを設けるようにしている。
を交換できるようにする。 【解決手段】 ウェハカセットエレベータ１４ａのテー
ブル１５に載置したウェハカセット１６のウェハ１７
を、ウェハ搬送ロボツト５のアームに取付けたウェハ搬
送フォーク１１に載置して搬出入するウェハ搬送装置に
おいて、交換用のウェハ搬送フォーク１１を収納しウェ
ハカセットエレベータ１４ａのテーブル１５に載置した
フォークストッカー２０と、ウェハ搬送ロボット５のア
ームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォーク１
１とを設けるようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハカセットか
らウェハを搬出入するウェハ搬送装置に関するものであ
る。
らウェハを搬出入するウェハ搬送装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハ搬送装置は、図５に示すよ
うに構成されている。１はウェハ搬送室で、このウェハ
搬送室の底板２にウェハ搬送ロボット５が取付けてあ
る。前記ウェハ搬送ロボット５は、モータ軸（図示せ
ず）に一端を取付けた第１のアーム６の先端に第２のア
ーム７を旋回可能に取付けるとともに、この第２のアー
ム７の先端に第３のアーム８を旋回可能に取付け、か
つ、この第３のアーム８の先端にウェハ搬送フォーク１
１を固定して構成している。前記ウェハ搬送室１には、
隣接してウェハカセットエレベータ１４ａを収納したウ
ェハカセット室１４が設けられ、ウェハカセットエレベ
ータ１６ａのテーブル１５にはウェハ１７を収納したウ
ェハカセット１６が載置してある。ウェハの搬送は、前
記ウェハ搬送ロボットを始動して第１のアーム６、第２
のアーム７および第３のアーム８を屈伸し、第３のアー
ムに取付けた搬送フォーク１１を前進、後退させてウェ
ハカセット１６内のウェハ１７をウェハ搬送フォーク１
１の上に載置してウェハカセット１６からウェハ１７を
搬出入することにより行う。
うに構成されている。１はウェハ搬送室で、このウェハ
搬送室の底板２にウェハ搬送ロボット５が取付けてあ
る。前記ウェハ搬送ロボット５は、モータ軸（図示せ
ず）に一端を取付けた第１のアーム６の先端に第２のア
ーム７を旋回可能に取付けるとともに、この第２のアー
ム７の先端に第３のアーム８を旋回可能に取付け、か
つ、この第３のアーム８の先端にウェハ搬送フォーク１
１を固定して構成している。前記ウェハ搬送室１には、
隣接してウェハカセットエレベータ１４ａを収納したウ
ェハカセット室１４が設けられ、ウェハカセットエレベ
ータ１６ａのテーブル１５にはウェハ１７を収納したウ
ェハカセット１６が載置してある。ウェハの搬送は、前
記ウェハ搬送ロボットを始動して第１のアーム６、第２
のアーム７および第３のアーム８を屈伸し、第３のアー
ムに取付けた搬送フォーク１１を前進、後退させてウェ
ハカセット１６内のウェハ１７をウェハ搬送フォーク１
１の上に載置してウェハカセット１６からウェハ１７を
搬出入することにより行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のウェ
ハ搬送装置は、ウェハ搬送フォーク１１にウェハ１７を
載置して搬送しており、ウェハを多数回搬送すると、ウ
ェハ搬送フォーク１１がウェハ１７により汚損され、ウ
ェハ搬送フォーク上に載置するウェハが滑ってウェハ搬
送フォーク上のウェハの位置がずれて、ウェハカセット
に収納するときウェハカセツトに当たって破損する問題
があった。このため、ウェハ搬送フォーク１１を頻繁に
取替える必要があり、真空引きしてあるウェハ搬送室１
のドアを開け、大気に開放してウェハ搬送ロボット５の
第３のアーム８からウェハ搬送フォーク１１を取り外し
て新しいウェハ搬送フォークを取付け、このウェハ搬送
フォーク１１を取付けた後再度ウェハ搬送室１を真空引
きしなければならず、作業が煩雑となり、稼働率が低い
という問題があった。そこで、本発明は、交換用のウェ
ハ搬送フォークを収納したフォークストッカを設け、ウ
ェハ搬送ロボットの第３のアーム先端に交換用のウェハ
搬送フォークを簡単に着脱できるようにすることを目的
とする。
ハ搬送装置は、ウェハ搬送フォーク１１にウェハ１７を
載置して搬送しており、ウェハを多数回搬送すると、ウ
ェハ搬送フォーク１１がウェハ１７により汚損され、ウ
ェハ搬送フォーク上に載置するウェハが滑ってウェハ搬
送フォーク上のウェハの位置がずれて、ウェハカセット
に収納するときウェハカセツトに当たって破損する問題
があった。このため、ウェハ搬送フォーク１１を頻繁に
取替える必要があり、真空引きしてあるウェハ搬送室１
のドアを開け、大気に開放してウェハ搬送ロボット５の
第３のアーム８からウェハ搬送フォーク１１を取り外し
て新しいウェハ搬送フォークを取付け、このウェハ搬送
フォーク１１を取付けた後再度ウェハ搬送室１を真空引
きしなければならず、作業が煩雑となり、稼働率が低い
という問題があった。そこで、本発明は、交換用のウェ
ハ搬送フォークを収納したフォークストッカを設け、ウ
ェハ搬送ロボットの第３のアーム先端に交換用のウェハ
搬送フォークを簡単に着脱できるようにすることを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、ウェハカセットエレベータのテーブルに
載置したウェハカセットのウェハを、ウェハ搬送ロボッ
トのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬
出入するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボ
ットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フ
ォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウ
ェハカセットエレベータのテーブルに載置したフォーク
ストッカとを設けるようにしている。
め、本発明は、ウェハカセットエレベータのテーブルに
載置したウェハカセットのウェハを、ウェハ搬送ロボッ
トのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬
出入するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボ
ットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フ
ォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウ
ェハカセットエレベータのテーブルに載置したフォーク
ストッカとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を用い
て詳細に説明する。図１はウェハ搬送装置の要部側断面
図、図２は図１のウェハ搬送フォークの要部を示す平面
図、図３は図２のウェハ搬送フォークの側断面図であ
る。図５と同一のものには同一符号を付して詳細な説明
を省略する。図において、１はウェハ搬送室で、このウ
ェハ搬送室の底板２に後記ウェハ搬送ロボット５が取付
けられ、側壁３にはゲート開口部４が設けられている。
前記ウェハ搬送ロボット５は、ロボット内のモータの軸
（図示せず）に一端を取付けた第１のアーム６を有し、
この第１のアーム６の先端に第２のアーム７を旋回可能
に取付け、この第２のアーム７の先端に第３のアーム８
を旋回可能に取付けて構成してある。９は第３のアーム
先端に垂直に突出させたピン、１０は第３のアーム先端
に傾斜させて突出させたフックピンである。１１は先端
を二股に形成したウェハ搬送フォークで、基端部に前記
ピン９に係合する長穴１２およびフックピン１０に係合
する傾斜したフックピン穴１３が設けられている。１４
はウェハ搬送室に隣接して設けたウェハカセット室で、
このウェハカセット室内にエレベータ１４ａのテーブル
１５が昇降しうるように設けられている。１６はウェハ
１７を収納するウェハカセットで、前記テーブル１５上
に載置しうるようにしてある。１８はウェハカセット室
１４に設けたゲート開口部で、前記ウェハ搬送室１の側
壁３に設けたゲート開口部４に合致するように設け、前
記ウェハ搬送フォークが出入りしうるようにしてある。
１９はゲートバルブで、ウェハ搬送室１とウェハカセッ
ト室１４とを仕切るようにしてある。２０はフォークス
トッカーで、前記ウェハ搬送ロボットの第３のアームに
取付ける交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが収納さ
れ、前記エレベータ１４ａのテーブル１５に載置されて
いる。つぎに、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた
ウェハ搬送フォークの交換作業について説明する。ま
ず、ウェハ搬送フォークをウェハ搬送ロボットの第３ア
ームから取り外すときは、ウェハ搬送ロボット５を駆動
してアームを屈伸し第３のアーム８の先端に取付けたウ
ェハ搬送フォーク１１をフォークストッカ２０に挿入す
る。ウェハカセットエレベータ１４ａを下降させると、
フォークストッカに設けた棚（図示せず）にウェハ搬送
フォークの側部が係止する。さらにウェハカセットエレ
ベータを下降させるとともに、ウェハ搬送ロボットの第
３のアームを図３に示す矢印と逆方向に移動させると、
ウェハ搬送フォーク１１の長穴１２およびフックピン穴
１３からウェハ搬送ロボツトの第３アームに設けたピン
９およびフックピン１０がはずれ、ウェハ搬送フォーク
はフォークストッカ２０の棚に載置されてフォークスト
ッカ２０に収納されて、ウェハ搬送ロボットのアームか
らウェハ搬送フォークの取り外し作業が完了する。つぎ
に、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォ
ークを装着するときは、ウェハ搬送ロボットの第３アー
ム８をフォークストッカー２０に挿入し、交換用のウェ
ハ搬送フォーク１１ａの長穴１２の真下に第３のアーム
８の先端のピン９が達すると、エレベータを下降させな
がらウェハ搬送ロボット５の第３のアーム８を図３に示
す矢印方向に移動させると、第３のアーム８に設けたピ
ン９およびフックピン１０がウェハ搬送フォークの長穴
１２およびフックピン穴１３に入り、第３のアーム８の
先端に交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが取付けられ
て、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォ
ークの装着作業が完了する。図４は本発明の第２の実施
例を示すウェハ搬送フォークの側断面図で、第３のアー
ム８の端部に突出片２１を設け、この突出片２１にウエ
ハ搬送フォークを嵌め込む溝２２を形成し、この溝２２
にウェハ搬送フォークの側部を嵌め込むようにしてい
る。
て詳細に説明する。図１はウェハ搬送装置の要部側断面
図、図２は図１のウェハ搬送フォークの要部を示す平面
図、図３は図２のウェハ搬送フォークの側断面図であ
る。図５と同一のものには同一符号を付して詳細な説明
を省略する。図において、１はウェハ搬送室で、このウ
ェハ搬送室の底板２に後記ウェハ搬送ロボット５が取付
けられ、側壁３にはゲート開口部４が設けられている。
前記ウェハ搬送ロボット５は、ロボット内のモータの軸
（図示せず）に一端を取付けた第１のアーム６を有し、
この第１のアーム６の先端に第２のアーム７を旋回可能
に取付け、この第２のアーム７の先端に第３のアーム８
を旋回可能に取付けて構成してある。９は第３のアーム
先端に垂直に突出させたピン、１０は第３のアーム先端
に傾斜させて突出させたフックピンである。１１は先端
を二股に形成したウェハ搬送フォークで、基端部に前記
ピン９に係合する長穴１２およびフックピン１０に係合
する傾斜したフックピン穴１３が設けられている。１４
はウェハ搬送室に隣接して設けたウェハカセット室で、
このウェハカセット室内にエレベータ１４ａのテーブル
１５が昇降しうるように設けられている。１６はウェハ
１７を収納するウェハカセットで、前記テーブル１５上
に載置しうるようにしてある。１８はウェハカセット室
１４に設けたゲート開口部で、前記ウェハ搬送室１の側
壁３に設けたゲート開口部４に合致するように設け、前
記ウェハ搬送フォークが出入りしうるようにしてある。
１９はゲートバルブで、ウェハ搬送室１とウェハカセッ
ト室１４とを仕切るようにしてある。２０はフォークス
トッカーで、前記ウェハ搬送ロボットの第３のアームに
取付ける交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが収納さ
れ、前記エレベータ１４ａのテーブル１５に載置されて
いる。つぎに、ウェハ搬送ロボットのアームに取付けた
ウェハ搬送フォークの交換作業について説明する。ま
ず、ウェハ搬送フォークをウェハ搬送ロボットの第３ア
ームから取り外すときは、ウェハ搬送ロボット５を駆動
してアームを屈伸し第３のアーム８の先端に取付けたウ
ェハ搬送フォーク１１をフォークストッカ２０に挿入す
る。ウェハカセットエレベータ１４ａを下降させると、
フォークストッカに設けた棚（図示せず）にウェハ搬送
フォークの側部が係止する。さらにウェハカセットエレ
ベータを下降させるとともに、ウェハ搬送ロボットの第
３のアームを図３に示す矢印と逆方向に移動させると、
ウェハ搬送フォーク１１の長穴１２およびフックピン穴
１３からウェハ搬送ロボツトの第３アームに設けたピン
９およびフックピン１０がはずれ、ウェハ搬送フォーク
はフォークストッカ２０の棚に載置されてフォークスト
ッカ２０に収納されて、ウェハ搬送ロボットのアームか
らウェハ搬送フォークの取り外し作業が完了する。つぎ
に、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォ
ークを装着するときは、ウェハ搬送ロボットの第３アー
ム８をフォークストッカー２０に挿入し、交換用のウェ
ハ搬送フォーク１１ａの長穴１２の真下に第３のアーム
８の先端のピン９が達すると、エレベータを下降させな
がらウェハ搬送ロボット５の第３のアーム８を図３に示
す矢印方向に移動させると、第３のアーム８に設けたピ
ン９およびフックピン１０がウェハ搬送フォークの長穴
１２およびフックピン穴１３に入り、第３のアーム８の
先端に交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが取付けられ
て、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォ
ークの装着作業が完了する。図４は本発明の第２の実施
例を示すウェハ搬送フォークの側断面図で、第３のアー
ム８の端部に突出片２１を設け、この突出片２１にウエ
ハ搬送フォークを嵌め込む溝２２を形成し、この溝２２
にウェハ搬送フォークの側部を嵌め込むようにしてい
る。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ウェ
ハ搬送ロボットのアームにウェハ搬送フォークを簡単に
着脱することができ、そのためウェハカセット室の中で
ウェハ搬送フォークを交換することができるので、交換
のたびにウェハ搬送室のドアを開閉する必要がなく、稼
働率を向上させることができる。
ハ搬送ロボットのアームにウェハ搬送フォークを簡単に
着脱することができ、そのためウェハカセット室の中で
ウェハ搬送フォークを交換することができるので、交換
のたびにウェハ搬送室のドアを開閉する必要がなく、稼
働率を向上させることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の
要部側断面図である。
要部側断面図である。
【図２】図１の要部を示す平面図である。
【図３】図２の要部を断面した側断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送フォー
クの要部を断面した側断面図である。
クの要部を断面した側断面図である。
【図５】従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
１ ウェハ搬送室、 ２ 床板、 ３ 側壁、 ４ ゲ
ート開口部、５ ウェハ搬送ロボット、 ６ 第１のア
ーム、 ７ 第２のアーム、８ 第３のアーム、 ９
ピン、 １０ フックピン、１１ ウェハ搬送フォー
ク、 １１ａ 交換用のウェハ搬送フォーク、１２ 長
穴、 １３ フックピン穴、 １４ ウェハカセット
室、１４ａ ウェハカセットエレベータ、 １５ テー
ブル、１６ ウェハカセット、 １７ ウェハ、 １８
ゲート開口部、１９ ゲートバルブ、 ２０ フォー
クストッカ、 ２１ 突出片、２２ 溝
ート開口部、５ ウェハ搬送ロボット、 ６ 第１のア
ーム、 ７ 第２のアーム、８ 第３のアーム、 ９
ピン、 １０ フックピン、１１ ウェハ搬送フォー
ク、 １１ａ 交換用のウェハ搬送フォーク、１２ 長
穴、 １３ フックピン穴、 １４ ウェハカセット
室、１４ａ ウェハカセットエレベータ、 １５ テー
ブル、１６ ウェハカセット、 １７ ウェハ、 １８
ゲート開口部、１９ ゲートバルブ、 ２０ フォー
クストッカ、 ２１ 突出片、２２ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハカセットエレベータのテーブルに
載置したウェハカセットのウェハを、ウェハ搬送ロボッ
トのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬
出入するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボ
ットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フ
ォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウ
ェハカセットエレベータのテーブルに載置したフォーク
ストッカーとを設けたことを特徴とするウェハ搬送装
置。 - 【請求項２】 前記ウェハ搬送ロボットのアーム先端に
垂直に突出させたピンおよび傾斜させて設けたフックピ
ンと、先端を二股に構成し基端部に前記アームに設けた
前記ピンに係合するピン穴および前記フックピンに係合
するフックピン穴を有する交換用のウェハ搬送フォーク
とを設けた請求項１記載のウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5680796A JP3687013B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5680796A JP3687013B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09232403A true JPH09232403A (ja) | 1997-09-05 |
| JP3687013B2 JP3687013B2 (ja) | 2005-08-24 |
Family
ID=13037671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5680796A Expired - Fee Related JP3687013B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | ウェハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3687013B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100377219B1 (ko) * | 2000-07-14 | 2003-03-26 | 삼성전자주식회사 | 카세트용 웨이퍼 반송로봇 |
| KR100595135B1 (ko) * | 2004-12-29 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 두 개의 웨이퍼 이송용 모듈을 갖는 웨이퍼 이송장치 |
| CN110589447A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-20 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种显示面板输送线衔接机构 |
| CN110626766A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-31 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种显示面板暂存衔接方法 |
| WO2023155412A1 (zh) * | 2022-02-21 | 2023-08-24 | 上海世禹精密机械有限公司 | 半导体元件转运设备 |
-
1996
- 1996-02-19 JP JP5680796A patent/JP3687013B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100377219B1 (ko) * | 2000-07-14 | 2003-03-26 | 삼성전자주식회사 | 카세트용 웨이퍼 반송로봇 |
| KR100595135B1 (ko) * | 2004-12-29 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 두 개의 웨이퍼 이송용 모듈을 갖는 웨이퍼 이송장치 |
| CN110589447A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-20 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种显示面板输送线衔接机构 |
| CN110626766A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-31 | 昆山精讯电子技术有限公司 | 一种显示面板暂存衔接方法 |
| WO2023155412A1 (zh) * | 2022-02-21 | 2023-08-24 | 上海世禹精密机械有限公司 | 半导体元件转运设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3687013B2 (ja) | 2005-08-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040610 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
| A521 | Written amendment |
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|
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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