KR100377219B1 - 카세트용 웨이퍼 반송로봇 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 카세트에 삽입된 웨이퍼를 픽업하는 핑거와, 상기 핑거에 결합되어 수평방향으로 선형이동가능한 수평아암과, 상기 수평아암에 결합되어 상기 수평아암을 수직축선에 대해 소정의 각도로 회전시키는 회전아암을 갖는 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 있어서, 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트와 상기 회전아암 사이에 개재되어 상기 회전아암을 상기 베이스플레이트에 대해 수직축선방향으로 승강이동시키도록 텔레스코픽 형상으로 접철가능하게 마련되며, 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동가능한 제1프레임과, 상기 제1프레임에 수용가능하며 상기 제1프레임에 대해 승강이동가능한 제2프레임과, 상기 제2프레임에 수용가능하며 상기 제2프레임에 대해 승강이동가능한 제3프레임을 갖는 수직아암과; 상기 베이스플레이트와 상기 제1프레임 사이에 개재되어 상기 제1프레임을 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동시키는 제1승강이동수단과; 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 개재되어 상기 제2프레임을 상기 제1프레임에 대해 승강이동시키는 제2승강이동수단과; 상기 제2프레임과 상기 제3프레임 사이에 개재되어 상기 제3프레임을 상기 제2프레임에 대해 승강이동시키는 제3승강이동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 설치공간을 감소시키면서도 수직축선방향으로의 작업영역을 넓힐 수 있도록 한 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 제공된다.

Description

카세트용 웨이퍼 반송로봇{Robot for transmitting wafer in cassette}

본 발명은, 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 관한 것으로서, 보다 상세하게는,설치공간을 감소시키면서도 수직축선방향으로의 작업영역을 넓힐 수 있도록 한 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 관한 것이다.

고순도의 실리콘으로 제조되는 웨이퍼는, 산화, 도핑, 포토마스킹, 에칭 등의 공정과정을 통해 회로를 형성하도록 가공된다. 웨이퍼는 통상 규소로부터 다결정의 실리콘을 추출하여, 단결정성장을 통하여 성장된 단결정을 잘라낸 실리콘웨이퍼에 적절한 불순물(Dopant)을 첨가하여 형성되며, 별도의 가공공정 및 검사공정을 거쳐 반도체소자나 IC를 형성하게 된다.

이러한 웨이퍼는 웨이퍼의 크기에 따라 전용으로 제작된 카세트에 여러 개씩 담겨져 다수의 공정을 거치게 된다. 일반적으로 카세트는 사각통형상을 가지며, 일측방향을 따라 웨이퍼를 층상으로 상호 이격되게 수용할 수 있도록 소정의 삽입부가 형성되어 있다. 그리고, 양측 연부면에는 카세트용 픽업장치가 카세트를 픽업할 수 있도록 수평방향 외측으로 각각 연장된 한 쌍의 연장플랜지가 형성되어 있다.

이러한 카세트는, 여러 개의 웨이퍼를 내장하여 소정의 작업위치로 이송하게 된 후, 카세트용 웨이퍼 반송로봇 등에 의해 웨이퍼가 사용되어지는 소정의 라인으로 투입된다.

도 6은 종래의 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 소정의 공간에 설치되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 구성도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 카세트용 웨이퍼 반송로봇(120)은, 소정의 협소 공간(111)에 설치된다.

협소 공간(111)이란, 예를 들어, 공장 내에 설치된 여러 라인들 중, 카세트를 이송하는 제1라인, 카세트를 적재하는 제2라인, 그리고, 카세트 내에서 웨이퍼를 인출하여 적재하는 제3라인 등을 일컫는 것으로써, 일반적인 공장의 규모를 고려할 때, 반송로봇(120)의 설치위치를 무한정 크게만은 유지시킬 수 없는 것이다. 따라서, 웨이퍼 반송로봇(120)은, 일정한 크기로 제작되어 각 라인들 중, 이송되어진 카세트로부터 웨이퍼를 인출하여 적재하는 공간(111) 사이에 설치되어 그 작업을 수행하게 된다.

종래의 카세트용 웨이퍼 반송로봇(120)은, 지면에 설치되는 베이스플레이트(121)와, 카세트에 삽입된 웨이퍼를 픽업하여 인출하는 핑거(123)와, 핑거(123)에 결합되어 수평방향으로 선형이동가능한 제1 및 제2수평아암(125,126)과, 제2수평아암(126)에 결합되어 제1 및 제2수평아암(125,126)을 수직축선에 대해 소정의 각도로 회전시키는 회전아암(127)과, 회전아암(127)을 승강시키는 수직아암(128)을 갖는다.

제1 및 제2수평아암(125,126)은, 주로 유압 및 공압 등의 실린더 장치를 이용하여 일정거리(Ｘ축)만을 선형이동가능하도록 유지하며, 회전아암(127)은, 주로 회전실린더를 이용하여 웨이퍼를 픽업한 핑거(123)가 일정한 각도(θ)의 작업위치로 회전할 수 있도록 한다. 그리고, 수직아암(128)은, 이러한 핑거(123)를 포함하며 제1 및 제2수평아암(125,126), 회전아암(127)을 일체로 수직축선(Ｚ축)에 대해 승강이동시키게 된다. 이러한, 수직아암(128) 역시, 소정의 실린더장치에 의해 수직축선방향으로 승강이동할 수 있도록 하고 있다.

이에 의해, 소정의 위치로 카세트가 이송되어 오면, 수직아암(128)은,핑거(123)가 카세트의 웨이퍼 반출위치의 높이에 대응하도록 승강되고, 회전아암(127)은 회전하여 핑거(123)의 위치를 선정한 다음, 제1 및 제2수평아암(125,126)에 의해 핑거(123)는 카세트로부터 웨이퍼를 인출할 수 있게 된다.

그런데, 이러한 종래의 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 있어서는, 전술한 바와 같이, 공장 내 각 라인 상에 설치되는 반송로봇은 그 크기에 제약을 받을 수밖에 없는데, 특히, 수직아암이 단순히 실린더장치에 의해 승강되는 경우에 있어서는, 수직방향으로의 작업영역을 확보하기 위한 웨이퍼 반송로봇의 설치공간을 넓혀야 하는 등의 설치공간상의 제약이 따르게 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 설치공간을 감소시키면서도 수직축선방향으로의 작업영역을 넓힐 수 있도록 한 카세트용 웨이퍼 반송로봇을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 소정의 공간에 설치되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 구성도,

도 2는 도 1의 수직아암의 측면도,

도 3은 도 2 수직아암의 개략적인 평면도,

도 4 내지 도 5는 각각 수직아암의 작동상태를 단계적으로 도시한 도면,

도 6은 종래의 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 소정의 공간에 설치되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 구성도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

23 : 핑거 25,26 : 제1 및 제2수평아암

27 : 회전아암 28 : 수직아암

30a,30b,30c : 엘엠가이드 31 : 제1프레임

35 : 제2프레임 41 : 제3프레임

상기 목적은, 본 발명에 따라, 카세트에 삽입된 웨이퍼를 픽업하는 핑거와, 상기 핑거에 결합되어 수평방향으로 선형이동가능한 수평아암과, 상기 수평아암에 결합되어 상기 수평아암을 수직축선에 대해 소정의 각도로 회전시키는 회전아암을 갖는 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 있어서, 베이스플레이트와; 상기 베이스플레이트와 상기 회전아암 사이에 개재되어 상기 회전아암을 상기 베이스플레이트에 대해 수직축선방향으로 승강이동시키도록 텔레스코픽 형상으로 접철가능하게 마련되는 수직아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 의해 달성된다.

여기서, 상기 수직아암은, 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동가능한 제1프레임과, 상기 베이스플레이트와 상기 제1프레임 사이에 개재되어 상기 제1프레임을 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동시키는 제1승강이동수단을 포함하도록 구성할 수 있다.

이 때, 상기 제1승강이동수단은, 베이스플레이트에 고정된 서보모터와; 일단이 상기 서보모터에 회전가능하게 결합되어 상하방향을 따라 긴 막대상으로 배치되는 제1볼스크루와; 상기 제1프레임이 결합되며, 상기 제1볼스크루에 스크루결합되어 상기 제1볼스크루의 축선방향을 따라 회전이동가능한 제1스크루너트를 포함하도록 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 수직아암은, 상기 제1프레임에 수용가능하며 상기 제1프레임에 대해 승강이동가능한 제2프레임과, 상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 개재되어 상기 제2프레임을 상기 제1프레임에 대해 승강이동시키는 제2승강이동수단을 포함하도록 구성할 수 있다.

이 때, 상기 제2승강이동수단은, 일단이 상기 제2프레임에 고정되는 제2볼스크루와; 상기 제2볼스크루에 결합되어 축선방향을 따라 회전함으로써 상기 제2볼스크루를 상하방향을 따라 선형이동시키는 제2스크루너트와; 상기 제1볼스크루에 결합되는 구동풀리와; 상기 제2스크루너트에 결합되는 종동풀리와; 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 상호 고리상으로 연결하는 루프를 포함하도록 구성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 수직아암은, 상기 제2프레임에 수용가능하며 상기 제2프레임에 대해 승강이동가능한 제3프레임과, 상기 제2프레임과 상기 제3프레임 사이에 개재되어 상기 제3프레임을 상기 제2프레임에 대해 승강이동시키는 제3승강이동수단을 포함하도록 구성할 수 있다.

이 때, 상기 제3승강이동수단은, 상기 제2프레임에 고정되어 상하방향을 따라 기립되게 배치되는 컬럼과; 상기 컬럼의 상단부영역에 배치되는 회전가능한 롤러부재와; 상기 롤러부재에 권취되어 일단이 상기 제1프레임에 결합되고 타단이 상기 제3프레임에 결합되는 밸트를 포함하도록 구성하는 것이 유리하다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 소정의 공간에 설치되어 있는 상태를 개략적으로 도시한 구성도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트용 웨이퍼 반송로봇(20)은, 수직축선방향으로의 작업영역을 좁힐 수 있기 때문에 동일한 크기의 공간(11) 내에도 더 많이 배치할 수 있게 된다. 즉, 전술한 바와 같이, 각 공간(11)을 공장(10) 등에 설치된 소정의 라인이라고 표현한다면 본 발명의 사상으로는 동일한 공간(11) 내에 더 많은 수의 웨이퍼 반송로봇(20)을 배치하여 단위시간당 더 많은 작업을 수행할 수 있게 된다.

본 발명에 따른 카세트용 웨이퍼 반송로봇(20)은, 지면에 설치되는 베이스플레이트(21)와, 카세트에 삽입된 웨이퍼를 픽업하여 인출하는 핑거(23)와, 핑거(23)에 결합되어 수평방향으로 선형이동가능한 제1 및 제2수평아암(25,26)과, 제2수평아암(26)에 결합되어 제1 및 제2수평아암(25,26)을 수직축선에 대해 소정의 각도로회전시키는 회전아암(27)과, 회전아암(27)을 승강시키는 수직아암(28)을 갖는다.

제1 및 제2수평아암(25,26)은, 종래의 반송로봇(20)과 마찬가지로, 주로 유압 및 공압 등의 실린더 장치를 이용하여 일정거리(Ｘ축)만을 선형이동가능하도록 유지하며, 회전아암(27)은, 주로 회전실린더를 이용하여 웨이퍼를 픽업한 핑거(23)가 일정한 각도(θ)의 작업위치로 회전할 수 있도록 한다.

한편, 수직아암(28)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스플레이트(21)와 회전아암(27) 사이에 개재되어 회전아암(27)을 상기 베이스플레이트(21)에 대해 수직축선방향으로 승강이동시키도록 텔레스코픽 형상으로 접철가능하게 마련된다. 본 실시예에서는, 텔레스코픽 형상의 수직아암(28)을 3단으로 접철하는 것에 관하여 설명한다.

수직아암(28)은, 소정의 서보모터(22)가 마련된 베이스플레이트(21)에 대해 승강이동가능한 제1프레임(31)과, 제1프레임(31)에 대해 역시 승강이동가능한 제2프레임(35)과, 제2프레임(35)에 대해 승강이동가능한 제3프레임(41)을 갖는다. 이 때, 각 프레임 사이에는 베이스플레이트(21)에 대해 제1프레임(31)을 승강이동시키는 제1승강이동수단이 개재되고, 역시, 제1프레임(31) 및 제2프레임(35) 사이에는 제2승강이동수단이 개재되며, 제2프레임(35)과 제3프레임(41) 사이에는 제3승강이동수단이 마련된다.

또한, 각 프레임간에는 엘엠가이드(30a,30b,30c)(LM-GUIDE)로 대체된 안내부재가 마련되어 베이스플레이트(21)에 대한 제1프레임(31)의 승강운동을, 제1프레임(31)에 대한 제2프레임(35)의 승강운동을, 그리고 제2프레임(35)에 대한제3프레임(41)의 승강운동을 원활하게 서포트하게 된다.

제1승강이동수단은, 베이스플레이트(21)에 설치고정되는 서보모터(22)와, 일단이 서보모터(22)의 축에 결합되어 상하방향을 따라 긴 막대상으로 배치되는 제1볼스크루(32)와, 제1볼스크루(32)에 스크루결합되어 제1볼스크루(32)의 축선방향을 따라 회전하며 이동가능한 제1스크루너트(33)를 포함한다. 이 때, 제1프레임(31)은 제1스크루너트(33)에 결합된다. 이 때, 최초 구동하는 서보모터(22)는 도시 않은 제어부에 연결되어 회전력을 일정하게 조절할 수 있도록 할 수 있다.

이에 따라, 소정의 동력에 의해 서보모터(22)의 모터축이 회전하게 되면, 이에 결합되어 있는 제1볼스크루(32)는 회전하게 되는데, 제1볼스크루(32)는 서보모터(22)에 의해 베이스플레이트(21)에 지지되어 있으므로, 제1볼스크루(32)의 회전시 제1스크루너트(33)는 제1볼스크루(32)축을 따라 승강할 수 있게 되고, 이에 결합된 제1프레임(31) 역시 승강할 수 있게 된다. 본 실시예에서, 제1승강이동수단에 사용된 제1볼스크루(32)는, 제1볼스크루(32)의 회전에 의해 제1스크루너트(33)가 이동되는 타입을 채용한다.

제2승강이동수단은, 일단이 상기 제2프레임(35)에 고정되는 제2볼스크루(36)와, 제2볼스크루(36)에 결합되어 축선방향을 따라 회전함으로써 제2볼스크루(36)를 상하방향을 따라 선형이동시키는 제2스크루너트(37)와, 제1볼스크루(32)에 결합되는 구동풀리(38)와, 제2스크루너트(37)에 결합되는 종동풀리(39)와, 구동풀리(38) 및 종동풀리(39)를 상호 고리상으로 연결하는 루프(40)를 포함한다. 본 실시예에서, 제2승강이동수단에 사용된 제2볼스크루(36)는 전술한 제1볼스크루(32)와는 반대로, 제2스크루너트(37)의 회전에 의해 제2볼스크루(36)가 선형이동하는 타입을 채용한다. 그리고, 제2볼스크루(36)에는 소정의 베어링(34)이 설치되어 있다.

이에 따라, 서보모터(22)에 연결되어 축선방향을 따라 회전하는 제1볼스크루(32)의 회전력에 의해 구동풀리(38)가 회전하게 되면, 이 회전력을 루프(40)를 통해 종동풀리(39)로 전달된 후, 종동풀리(39)와 결합된 제2스크루너트(37)를 회전시키게 된다. 따라서, 제2스크루너트(37)의 회전에 의해 제2볼스크루(36)는 상하방향을 따라 선형이동할 수 있게 되는데, 제2프레임(35)은 제2볼스크루(36)에 결합되어 있으므로 제2프레임(35) 역시 상하방향을 따라 이동할 수 있게 된다.

본 실시예에서 상기의 방식과는 다른 방식을 사용한 제3승강이동수단은, 제2프레임(35)에 고정되어 상하방향을 따라 기립되게 배치되는 컬럼(42)과, 컬럼(42)의 상단부영역에 배치되는 회전가능한 롤러부재(43)와, 롤러부재(43)에 권취되어 일단이 제1프레임(31)에 결합되고 타단이 제3프레임(41)에 결합되는 밸트(45)를 포함한다. 여기서, 롤러부재(43)는, 비교적 변형이 적은 스틸롤러를 사용하는 것이 바람직하며 밸트(45) 역시 스틸밸트를 사용하는 것이 바람직하다.

이에 의해, 제1프레임(31)에 대해 제2프레임(35)이 상향 이동하게 되면, 컬럼(42)이 제2프레임(35)과 함께 상향 이동되므로 제1프레임(31) 측 밸트(45)의 길이는 늘어나게 되고 반대로 제3프레임(41) 측 밸트(45)의 길이는 줄어들게 된다. 따라서, 제3프레임(41)은 자연히 상향 이동할 수 있게 된다.

이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 카세트용 웨이퍼 반송로봇(20)의 수직아암(28)의 텔레스코픽 상향 이동과정을 도 4 내지 도 5를 이용하여 일련적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 소정의 제어부에 의해 일정한 토오크로 서보모터(22)가 일방향으로의 회전을 개시하면, 이에 결합되어 있는 제1볼스크루(32)는 회전하게 된다. 제1볼스크루(32)의 회전시, 제1볼스크루(32)는 서보모터(22)에 의해 베이스플레이트(21)에 지지되어 있으므로, 제1스크루너트(33)는 제1볼스크루(32)축을 따라 상향이동할 수 있게 되며, 이에 연동하여 제1스크루너트(33)에 결합된 제1프레임(31)은 베이스플레이트(21)에 대해 상향 이동할 수 있게 된다.

이와 동시에, 제1볼스크루(32)의 회전력은 구동풀리(38)를 회전시키게 되고, 이 회전력은, 루프(40)를 통해 종동풀리(39)로 전달된 다음, 종동풀리(39)와 결합된 제2스크루너트(37)를 회전시키게 된다. 이에 따라, 일정 위치에 고정지지된 제2스크루너트(37)의 회전에 의해 제2볼스크루(36)는 상향 이동할 수 있게 되며, 이에 연동하여 제2볼스크루(36)에 결합된 제2프레임(35)은 상향 이동할 수 있게 된다.

이처럼, 제1프레임(31)에 대해 제2프레임(35) 역시 상향 이동하게 되면, 컬럼(42)이 제2프레임(35)과 함께 상향 이동되므로 제1프레임(31) 측 밸트(45)의 길이는 최초 길이에 비해 늘어나게 되고 반대로 제3프레임(41) 측 밸트(45)의 길이는 줄어들게 된다. 따라서, 제3프레임(41)은 이러한 밸트(45)의 운동에 의해 상향 이동할 수 있게 된다.

이와 같이, 텔레스코픽 형상으로 접철가능하게 되어 있는 각 프레임은 서보모터(22)의 구동에 의해 신축되어 수직방향으로의 그 작업영역을 넓힐 수 있게 된다. 이 때, 상기의 동작은 거의 동시 혹은 순차적으로 수행됨은 물론이며, 반대로 각 프레임이 축소되어 제1프레임(31) 내로 거의 수용되는 과정은 상기의 역순이므로 생략한다.

전술 및 도시한 실시예에서 각 프레임 사이에 배치된 제1 내지 제3승강이동수단은, 그 위치가 서로 바뀌어 구성될 수도 있음은 물론이거니와, 승강이동수단 중 어느 하나만을 이용하여 각 프레임을 텔레스코픽 구동시킬 수도 있음은 두말할 여지가 없다.

또한, 제1 및 제2승강이동수단에서는, 볼스크루와 스크루너트를 이용하여 각 프레임을 승강이동시키는 것에 관하여 설명하고 있으나, 이는 유압 혹은 공압 액츄에이터 등으로 대체할 수도 있음은 물론이다. 그리고, 제2승강이동수단으로 구동풀리 및 피동풀리, 그리고 이들을 연결하는 루프로 설명하였으나, 이는 구동스프로켓 및 피동스프로켓, 그리고 이들을 상호 고리상으로 연결하는 체인으로 그 기능을 대체할 수 있음은 물론이다.

전술 및 도시한 실시예에서는, 수직아암이 3개의 프레임을 가지며, 이들이 상호 텔레스코픽 형상으로 접철되는 것에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 2개의 프레임으로도 구현할 수 있을 뿐만 아니라 3개 이상의 프레임을 신축변형시킬 수 있도록 구성할 수도 있음은 두말할 여지가 없다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 설치공간을 감소시키면서도 수직축선방향으로의 작업영역을 넓힐 수 있도록 한 카세트용 웨이퍼 반송로봇이 제공된다.

Claims (7)

1. 카세트에 삽입된 웨이퍼를 픽업하는 핑거와, 상기 핑거에 결합되어 수평방향으로 선형이동가능한 수평아암과, 상기 수평아암에 결합되어 상기 수평아암을 수직축선에 대해 소정의 각도로 회전시키는 회전아암을 갖는 카세트용 웨이퍼 반송로봇에 있어서,

   베이스플레이트와;

   상기 베이스플레이트와 상기 회전아암 사이에 개재되어 상기 회전아암을 상기 베이스플레이트에 대해 수직축선방향으로 승강이동시키도록 텔레스코픽 형상으로 접철가능하게 마련되며, 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동가능한 제1프레임과, 상기 제1프레임에 수용가능하며 상기 제1프레임에 대해 승강이동가능한 제2프레임과, 상기 제2프레임에 수용가능하며 상기 제2프레임에 대해 승강이동가능한 제3프레임을 갖는 수직아암과;

   상기 베이스플레이트와 상기 제1프레임 사이에 개재되어 상기 제1프레임을 상기 베이스플레이트에 대해 승강이동시키는 제1승강이동수단과;

   상기 제1프레임과 상기 제2프레임 사이에 개재되어 상기 제2프레임을 상기 제1프레임에 대해 승강이동시키는 제2승강이동수단과;

   상기 제2프레임과 상기 제3프레임 사이에 개재되어 상기 제3프레임을 상기 제2프레임에 대해 승강이동시키는 제3승강이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 웨이퍼 반송로봇.
2. 삭제
3. 제2항에 있어서,

   상기 제1승강이동수단은,

   베이스플레이트에 고정된 서보모터와;

   일단이 상기 서보모터에 회전가능하게 결합되어 상하방향을 따라 긴 막대상으로 배치되는 제1볼스크루와;

   상기 제1프레임이 결합되며, 상기 제1볼스크루에 스크루결합되어 상기 제1볼스크루의 축선방향을 따라 회전이동가능한 제1스크루너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 웨이퍼 반송로봇.
4. 삭제
5. 제4항에 있어서,

   상기 제2승강이동수단은,

   일단이 상기 제2프레임에 고정되는 제2볼스크루와;

   상기 제2볼스크루에 결합되어 축선방향을 따라 회전함으로써 상기 제2볼스크루를 상하방향을 따라 선형이동시키는 제2스크루너트와;

   상기 제1볼스크루에 결합되는 구동풀리와;

   상기 제2스크루너트에 결합되는 종동풀리와;

   상기 구동풀리 및 상기 종동풀리를 상호 고리상으로 연결하는 루프를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 웨이퍼 반송로봇.
6. 삭제
7. 제6항에 있어서,

   상기 제3승강이동수단은,

   상기 제2프레임에 고정되어 상하방향을 따라 기립되게 배치되는 컬럼과;

   상기 컬럼의 상단부영역에 배치되는 회전가능한 롤러부재와;

   상기 롤러부재에 권취되어 일단이 상기 제1프레임에 결합되고 타단이 상기 제3프레임에 결합되는 밸트를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트용 웨이퍼 반송로봇.