JP2014086595A

JP2014086595A - ウエーハ収容カセット

Info

Publication number: JP2014086595A
Application number: JP2012234921A
Authority: JP
Inventors: Tomoaki Endo; 智章遠藤
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-10-24
Filing date: 2012-10-24
Publication date: 2014-05-12

Abstract

【課題】ウエーハを支持する環状のフレームにバタつきが発生しないようにしたウエーハ収容カセットを提供する。
【解決手段】環状の支持フレームＦに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容するためのウエーハ収容カセットであって、第１の側壁および第２の側壁と、上壁４と、後壁５と、底壁と、第１の側壁と第２の側壁と上壁４と底壁の前端側に設けられ環状の支持フレームＦに装着された保護テープに貼着されたウエーハを出し入れするための出入開口とを具備し、第１の側壁および第２の側壁の内面にはそれぞれ環状のフレームの側部を収容するための複数のフレーム支持溝２１、３１が対向して設けられており、フレーム支持溝２１、３１を形成する上面２１１、３１１には、フレーム支持溝２１、３１に収容された環状のフレームを該フレーム支持溝２１、３１を形成する底面２１２、３１２に向けて押圧する押圧手段８が配設されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容するためのウエーハ収容カセットに関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置やレーザー加工装置等の加工装置によってダイシングすることにより個々の半導体デバイスを製造している。

切削装置やレーザー加工装置等の加工装置は、環状のフレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に環状のフレームに装着された保護テープを介して保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、被加工物保持手段と加工手段とを相対的に加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットに収容されている環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを搬出して被加工物保持手段に搬送する搬送手段を具備している（例えば、特許文献１参照）。

また、環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットは、所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁および第２の側壁の内面にそれぞれ複数のフレーム支持溝が対向して設けられており、互いに対向するフレーム支持溝に保護テープを介してウエーハを支持する環状のフレームの両側部を挿入し、フレーム支持溝を形成する底面に環状のフレームの側部を載置することによりウエーハを収容する。このように構成されたカセットは、上記ダイシング装置のカセット載置台に載置される前までは収容されているウエーハ（環状のフレームに装着された保護テープに貼着されている）が脱落しないように、ウエーハを出し入れする出入開口を上側にして保管される（例えば、特許文献２参照）。

特開２０００−７７３６２号公報特開平９−１８６１１５号公報

近年、半導体デバイス製造における生産性を向上させるために、ウエーハの径が３００mm、４５０mmと大口径化の傾向があり、保護テープを介してウエーハを支持する環状のフレームも４００mm、６００mmと大きくなる。このため、環状のフレームに保護テープを介して支持されたウエーハを複数収容したカセットを、出入開口が上側になる状態とすると、カセットを構成する第１の側壁および第２の側壁の内面に形成されたフレーム支持溝に収容された環状のフレームがバタつき、環状のフレームに装着された保護テープに貼着されているウエーハが大きく揺れるため、隣接するウエーハと衝突して破損するという問題がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、カセットを構成する第１の側壁および第２の側壁の内面に形成されたフレーム支持溝に収容された保護テープを介してウエーハを支持する環状のフレームにバタつきが発生しないようにしたウエーハ収容カセットを提供することである。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容するためのウエーハ収容カセットであって、
所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁および第２の側壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の上端を連結する上壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の後端を連結する後壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の下端を連結する底壁と、第１の側壁と第２の側壁と上壁と底壁の前端側に設けられ環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを出し入れするための出入開口と、を具備し、
該第１の側壁および該第２の側壁の内面にはそれぞれ該環状のフレームの側部を収容するための複数のフレーム支持溝が対向して設けられており、
該フレーム支持溝を形成する上面には、該フレーム支持溝に収容された該環状のフレームを該フレーム支持溝を形成する底面に向けて押圧する押圧手段が配設されている、
ことを特徴とするウエーハ収容カセットが提供される。

上記押圧手段は、板バネによって形成され、一端部がフレーム支持溝を形成する上面に取り付けられており、他端部がフレーム支持溝を形成する底面に向けて円弧状に湾曲し自由端となっている。

本発明によるウエーハ収容カセットは、第１の側壁および第２の側壁の内面にはそれぞれ環状のフレームの側部を収容するための複数のフレーム支持溝が対向して設けられており、フレーム支持溝を形成する上面にはフレーム支持溝に収容された環状のフレームをフレーム支持溝を形成する底面に向けて押圧する押圧手段が配設されているので、ウエーハを保護テープを介して支持する環状の支持フレームの両側部は押圧手段によってフレーム支持溝の底面に向けて押圧される。従って、環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容したウエーハ収容カセットを保管するために出入開口を上側にしても、ウエーハを保護テープを介して支持する環状の支持フレームがバタつくことはない。従って、フレーム支持溝に収容された環状のフレームがバタつくことにより、環状のフレームに装着された保護テープに貼着されているウエーハが大きく揺れて隣接するウエーハに衝突して破損するという問題が解消される。

本発明による本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの一部を破断して示す斜視図。図１に示すウエーハ収容カセットを構成する第１の側壁および第２の側壁の内面に設けられたフレーム支持溝に環状の支持フレームが収容された状態を示す平面図。図１に示すウエーハ収容カセットを構成する第１の側壁および第２の側壁の内面に設けられたフレーム支持溝に環状の支持フレームが収容された状態を示す説明図。図１に示すウエーハ収容カセットに環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容した状態を示す斜視図。図４に示す環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容したウエーハ収容カセットの出入開口を上側にした状態を示す斜視図。

以下、本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

図１には、環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWを複数収容するための本発明に従って構成されたウエーハ収容カセットの斜視図が示されている。図示の実施形態におけるウエーハ収容カセットは、全体として直方体形状であり、所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁２および第２の側壁３と、該第１の側壁２および第２の側壁３の上端を連結する上壁４と、第１の側壁２および第２の側壁３の後端を連結する後壁５と、第１の側壁２および第２の側壁３の下端を連結する底壁６とを具備している。このようにウエーハ収容カセットを構成する第１の側壁２と第２の側壁３と上壁４と底壁６の前端側には、環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWを出し入れするための出入開口７が設けられている。

ウエーハ収容カセットを構成する第１の側壁２と第２の側壁３は矩形状に形成され、その内面にはそれぞれ環状のフレームFの側部を収容するための前後方向に平行に延びる複数のフレーム支持溝２１と３１が対向して設けられている。このフレーム支持溝２１と３１には、図２および図３に示すようにフレーム支持溝２１と３１に収容される環状の支持フレームFを押圧する押圧手段８が配設されている。この押圧手段８は、フレーム支持溝２１と３１の前後方向中間部にそれぞれ配設されている。押圧手段８は、図示の実施形態においては板バネ８１によって形成され、一端部がフレーム支持溝２１と３１を形成する上面２１１と３１１に取り付けボルト８２によって取り付けられており、他端部がフレーム支持溝２１と３１を形成する底面２１２と３１２に向けて円弧状に湾曲し自由端となっている。従って、フレーム支持溝２１と３１を形成する底面２１２と３１２に沿って環状の支持フレームFの両側部が挿入されると、板バネ８１の円弧状に湾曲した他端部が押し上げられるので、そのばね力によりフレーム支持溝２１と３１に収容された環状の支持フレームFの両側部は底面２１２と３１２に向けて押圧される。

図１に戻って説明を続けると、上記第１の側壁２および第２の側壁３の上端を連結する上壁４は、前端部に台形状の切欠４１を備えており、上側から環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWの収容状態を確認できるようになっている。このように形成された上壁４の上面には、ウエーハ収容カセットを搬送する際に把持することができる把持部材９が装着されている。上記第１の側壁２および第２の側壁３の後端を連結する後壁５は矩形状に形成され、ウエーハ収容カセットの後端を完全に閉塞している。上記第１の側壁２および第２の側壁３の下端を連結する底壁６は、第１の側壁２および第２の側壁３の前後方向中間部に帯状に形成されている。このように構成されたウエーハ収容カセットは、図示の実施形態においてはアルミニウム合金によって形成されている。

図示の実施形態におけるウエーハ収容カセットは以上のように構成されており、ウエーハWを保護テープTを介して支持する環状の支持フレームFの両側部を出入開口７から第１の側壁２と第２の側壁３の内面にそれぞれ設けられたフレーム支持溝２１と３１に挿入し後方に後壁５に当接するまで移動させることによって、図４に示すように環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWをウエーハ収容カセットに収容する。

このようにウエーハ収容カセットに収容されたウエーハWを保護テープTを介して支持する環状の支持フレームFの両側部は、図２および図３に示すように押圧手段８を構成する板バネ８１によって上述したようにフレーム支持溝２１と３１の底面２１２と３１２に向けて押圧されるので、移動が規制される。従って、環状の支持フレームFに装着された保護テープTに貼着されたウエーハWを収容したウエーハ収容カセットを保管するために図５に示すように出入開口７を上側にしても、ウエーハWを保護テープTを介して支持する環状の支持フレームFがバタつくことはない。従って、フレーム支持溝２１と３１に収容された環状のフレームFがバタつくことにより、環状のフレームFに装着された保護テープTに貼着されているウエーハWが大きく揺れて隣接するウエーハWに衝突して破損するという問題が解消される。

２：第１の側壁
２１：フレーム支持溝
３：第２の側壁
３１：フレーム支持溝
４：上壁
４１：台形状の切欠
５：後壁
６：底壁
７：出入開口
８：押圧手段
８１：板バネ
Ｆ：環状の支持フレーム
Ｔ：保護テープ
Ｗ：ウエーハ

Claims

環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを収容するためのウエーハ収容カセットであって、
所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁および第２の側壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の上端を連結する上壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の後端を連結する後壁と、該第１の側壁および該第２の側壁の下端を連結する底壁と、第１の側壁と第２の側壁と上壁と底壁の前端側に設けられ環状の支持フレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを出し入れするための出入開口と、を具備し、
該第１の側壁および該第２の側壁の内面にはそれぞれ該環状のフレームの側部を収容するための複数のフレーム支持溝が対向して設けられており、
該フレーム支持溝を形成する上面には、該フレーム支持溝に収容された該環状のフレームを該フレーム支持溝を形成する底面に向けて押圧する押圧手段が配設されている、
ことを特徴とするウエーハ収容カセット。
該押圧手段は、板バネによって形成され、一端部が該フレーム支持溝を形成する上面に取り付けられており、他端部が該フレーム支持溝を形成する底面に向けて円弧状に湾曲し自由端となっている、請求項１記載のウエーハ収容カセット。