KR101854238B1 - 웨이퍼 운반 카세트 - Google Patents

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KR101854238B1 KR1020160152784A KR20160152784A KR101854238B1 KR 101854238 B1 KR101854238 B1 KR 101854238B1 KR 1020160152784 A KR1020160152784 A KR 1020160152784A KR 20160152784 A KR20160152784 A KR 20160152784A KR 101854238 B1 KR101854238 B1 KR 101854238B1
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김선각
이상이
정민식
정승일
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 운반 카세트에 관한 것으로, 웨이퍼 프레임의 너비보다 큰 너비를 갖는 상판과, 상판의 너비 방향 양단에 각각 수직하게 부착되고 길이방향을 따라 상판과 수평한 돌출가이드가 등간격으로 다수개 형성된 측판을 포함하며, 돌출가이드 중 적어도 어느 두개가 형성하는 삽입홈에 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단이 삽입되는, 웨이퍼 운반 카세트에 있어서, 돌출가이드는, 삽입홈에 삽입된 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단과 접촉하도록 접촉턱이 형성되고, 접촉턱에는, 삽입홈 내부의 공기를 흡입하는 진공홀이 형성된 것을 특징으로 하며, 웨이퍼가 고정된 웨이퍼 프레임이 웨이퍼 운반 카세트에 수납될 때, 발생되는 미세분진이 진공홀을 통해 외부로 배출되므로, 미세분진에 의한 웨이퍼 손상이 사전에 방지되는 효과가 있는, 웨이퍼 운반 카세트를 제공한다.

Description

웨이퍼 운반 카세트{WAFER CASSETTE TRANSPORTATION}
본 발명은 웨이퍼 운반 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 웨이퍼 운반 카세트에 웨이퍼가 삽입될 때 발생되는 미세분진을 제거해 웨이퍼 손상을 방지하는 웨이퍼 운반 카세트에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에서는 웨이퍼 운반을 위해서, 웨이퍼를 디스크 형상의 웨이퍼 프레임에 고정하고, 웨이퍼 프레임을 웨이퍼 운반 카세트에 다수개 수납시켜 한꺼번에 다수개의 웨이퍼를 이송하고 있다.
그러나, 웨이퍼 운반 카세트에 웨이퍼 프레임을 수납할 때, 미세분진이 발생될 가능성이 있었고, 발생된 미세분진이 웨이퍼에 악영향을 끼칠 가능성이 있었다.
대한민국 공개특허공보 제10-2006-0106145호(2006.10.12.)
이에 상기와 같은 점을 감안하여 발명된 본 발명의 목적은, 웨이퍼 운반 카세트에 웨이퍼가 고정된 웨이퍼 프레임이 수납될 때, 발생되는 미세분진을 제거해 웨이퍼 손상을 사전에 방지하는, 웨이퍼 운반 카세트를 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예의 웨이퍼 운반 카세트는, 웨이퍼 프레임의 너비보다 큰 너비를 갖는 상판과, 상판의 너비 방향 양단에 각각 수직하게 부착되고 길이방향을 따라 상판과 수평한 돌출가이드가 등간격으로 다수개 형성된 측판을 포함하며, 돌출가이드 중 적어도 어느 두개가 형성하는 삽입홈에 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단이 삽입되는, 웨이퍼 운반 카세트에 있어서, 돌출가이드는, 삽입홈에 삽입된 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단과 접촉하도록 접촉턱이 형성되고, 접촉턱에는, 삽입홈 내부의 공기를 흡입하는 진공홀이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 돌출가이드 저면 및 상면에 각각 접촉턱이 형성되고, 돌출가이드 저면 및 상면에 각각 형성된 접촉턱의 높이가 각기 다를 수 있다.
또한, 접촉턱이 반원기둥 형상이고, 접촉턱이 돌출가이드 폭방향을 따라 형성될 수 있다.
또한, 돌출가이드에는, 진공홀로부터 측판을 향해 제1 석션라인이 연장형성되고, 측판에는, 측판의 상측으로부터 하측을 향해 제2 석션라인이 연장 형성되고, 제2 석션라인은, 다수개의 돌출가이드에 형성된 다수개의 제1 석션라인과 연통되고, 측판의 하측변에 제2 석션라인을 외부로 개구하는 석션연결부가 형성될 수 있다.
또한, 접촉턱의 측면에 진공홀과 연결되고, 어느 한 측판을 향해 개구된 측면진공홀이 형성될 수 있다.
위와 같은 본 발명의 웨이퍼 운반 카세트에 따르면, 웨이퍼가 고정된 웨이퍼 프레임이 웨이퍼 운반 카세트에 수납될 때, 발생되는 미세분진이 진공홀, 측면진공홀, 제1 석션라인 및 제2 석션라인을 통해 외부로 배출되므로, 미세분진에 의한 웨이퍼 손상이 사전에 방지되는 효과가 있다.
또한, 접촉턱에 의해 웨이퍼가 고정된 웨이퍼 프레임의 이탈 또는 진동이 방지되므로, 웨이퍼 운반 카세트에 삽입된 다수개의 웨이퍼 간 접촉이 방지되고, 접촉에 의한 웨이퍼 손상이 방지된다.
도 1은 본 발명의 일실시예의 웨이퍼 운반 카세트의 예시도,
도 2는 도 1의 웨이퍼 운반 카세트의 요부 예시도,
도 3은 도 1의 웨이퍼 운반 카세트의 요부 예시도,
도 4는 도 1의 웨이퍼 운반 카세트의 요부 예시도이다.
이하 첨부된 도면을 참고로, 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명한다. 우선, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의해야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위해 생략한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 운반 카세트는, 웨이퍼 프레임(F)의 너비보다 큰 너비를 갖는 상판(T)과, 상판(T)의 너비 방향 양단에 각각 수직하게 부착되고 길이방향을 따라 상판(T)과 수평한 돌출가이드(G)가 등간격으로 다수개 형성된 측판(S)을 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 운반 카세트는, 돌출가이드(G) 중 적어도 어느 두개가 형성하는 삽입홈(H)에 웨이퍼 프레임(F)의 너비방향 일단이 삽입된다.
돌출가이드(G)에는 삽입홈(H)에 삽입된 웨이퍼 프레임(F)의 너비방향 일단과 접촉하도록 접촉턱(C)이 형성되고, 접촉턱(C)에는, 삽입홈(H) 내부의 공기를 흡입하는 진공홀(V1)이 형성된 것을 특징으로 한다.
돌출가이드(G) 저면 및 상면에 각각 접촉턱(C)이 형성된다. 돌출가이드(G) 저면 및 상면에는 각각 다른 높이의 접촉턱(C)이 형성된다. 돌출가이드(G) 저면에 형성된 접촉턱(C)이 돌출가이드(G) 상면에 형성된 접촉턱(C)의 높이보다 큰 것이 바람직하다.
본 발명의 일실시예에서 접촉턱(C)은, 반원기둥 형상으로 돌출가이드(G) 폭방향을 따라 형성된다.
돌출가이드(G)에는, 진공홀(V1)로부터 측판(S)을 향해 제1 석션라인(L1)이 연장형성된다. 측판(S)에는, 측판(S)의 상측으로부터 하측을 향해 제2 석션라인(L2)이 연장 형성된다.
제2 석션라인(L2)은, 다수개의 돌출가이드(G)에 형성된 다수개의 제1 석션라인(L1)과 연통된다. 측판(S)의 하측변에 제2 석션라인(L2)을 외부로 개구하는 석션연결부(K)가 형성된다.
접촉턱(C)의 측면에는 진공홀(V1)과 연결되고, 어느 한 측판(S)을 향해 개구된 측면진공홀(V2)이 형성된다.
위와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예의 웨이퍼 운반 카세트는, 진공 펌프와 연결된 거치대에 안착된 상태에서, 웨이퍼가 안착된 다수개의 웨이퍼 프레임(F)을 인계받게 된다.
거치대는, 흡입력을 발생시키는 진공펌프와, 진공펌프로부터 연장된 진공라인과, 웨이퍼 운반 카세트 안착시 석션연결부(K)와 진공라인을 연통시키도록 진공라인 끝단에 구비된 연통장치를 포함한다.
웨이퍼 운반 카세트가 거치대에 안착되면, 진공펌프가 외부신호를 수신하고 흡입력을 발생시키도록 작동된다. 진공펌프는, 진공홀(V1), 측면진공홀(V2), 제1 석션라인(L1) 및 제2 석션라인(L2)을 통해 접촉턱(C) 주변 공기를 흡입하게 된다.
웨이퍼 프레임(F)은 접촉턱(C)과 접촉하며, 삽입부에 삽입된다. 웨이퍼 프레임(F)과 접촉턱(C) 접촉시 발생되는 미세분진은, 앞서 기재한 바와 같이 진공홀(V1), 측면진공홀(V2)을 통해 외부로 배출된다.
다수개의 웨이퍼 프레임(F)이 웨이퍼 운반 카세트에 인계된 후에, 거치대로부터 웨이퍼 운반 카세트가 분리되고 웨이퍼 운반 카세트에 삽입된 상태로 다수개의 웨이퍼가 특정 장소로 이동된다.
위와 같은 본 발명에 따르면, 접촉턱(C)과 웨이퍼 프레임(F) 접촉에 의해 발생된 미세분진이 외부로 배출되므로, 미세분진에 의한 웨이퍼 손상이 사전에 방지된다.
또한, 접촉턱(C)에 의해 웨이퍼 프레임(F)의 이탈 또는 진동이 방지되므로, 웨이퍼 운반 카세트에 삽입된 다수개의 웨이퍼 간 접촉이 방지되고, 접촉에 의한 웨이퍼 손상이 방지된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 운반 카세트를 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
F: 웨이퍼 프레임
T: 상판
G: 돌출가이드
S: 측판
H: 삽입홈
C: 접촉턱
V1: 진공홀
V2: 측면진공홀
L1: 제1 석션라인
L2: 제2 석션라인
K: 석션연결부

Claims (5)

  1. 웨이퍼 프레임의 너비보다 큰 너비를 갖는 상판과,
    상기 상판의 너비 방향 양단에 각각 수직하게 부착되고 길이방향을 따라 상기 상판과 수평한 돌출가이드가 등간격으로 다수개 형성된 측판을 포함하며,
    상기 돌출가이드 중 적어도 어느 두개가 형성하는 삽입홈에 상기 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단이 삽입되는, 웨이퍼 운반 카세트에 있어서,
    상기 돌출가이드는,
    상기 삽입홈에 삽입된 상기 웨이퍼 프레임의 너비방향 일단과 접촉하도록 접촉턱이 형성되고,
    상기 접촉턱에는,
    상기 삽입홈 내부의 공기를 흡입하는 진공홀이 형성되며,
    상기 접촉턱이 반원기둥 형상이고,
    상기 접촉턱이 상기 돌출가이드 폭방향을 따라 형성된, 웨이퍼 운반 카세트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 돌출가이드 저면 및 상면에 각각 상기 접촉턱이 형성되고,
    상기 돌출가이드 저면 및 상면에 각각 형성된 상기 접촉턱의 높이가 각기 다른, 웨이퍼 운반 카세트.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 돌출가이드에는,
    상기 진공홀로부터 상기 측판을 향해 제1 석션라인이 연장형성되고,
    상기 측판에는,
    상기 측판의 상측으로부터 하측을 향해 제2 석션라인이 연장 형성되고,
    상기 제2 석션라인은,
    다수개의 상기 돌출가이드에 형성된 다수개의 상기 제1 석션라인과 연통되고,
    상기 측판의 하측변에 상기 제2 석션라인을 외부로 개구하는 석션연결부가 형성된, 웨이퍼 운반 카세트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 접촉턱의 측면에 상기 진공홀과 연결되고, 어느 한 측판을 향해 개구된 측면진공홀이 형성된, 웨이퍼 운반 카세트.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006019635A (ja) * 2004-07-05 2006-01-19 Sharp Corp カセット装置
KR101684431B1 (ko) 2016-06-27 2016-12-08 피코앤테라(주) 웨이퍼 수납용기

Patent Citations (2)

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