JP6199729B2 - ウエーハ収容カセット - Google Patents
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Description
特に、切削装置やレーザー加工装置においては、ウエーハは環状のフレームに装着された保護テープに貼着して支持されることから、カセットは更に大きくなり保管場所の問題は深刻となる。
該第1の側板の下端部と該底板の一方の側部および該第2の側板の下端部と該底板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該第1の側板の上端部と該天板の一方の側部および該第2の側板の上端部と該天板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の一方は該天板の後端部または該底板の後端部の一方と回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の他方は該天板の後端部または該底板の後端部の他方と着脱可能に連結される、
ことを特徴とするウエーハ収容カセットが提供される。
21:支持溝
3:第2の側板
31:支持溝
4:底板
5:天板
6:背板
7:出入開口
81、82、83、84、85:連結ピン
F:環状の支持フレーム
T:保護テープ
W:ウエーハ
Claims (1)
- 内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられた第1の側板と、内面にウエーハを支持する複数の支持溝が設けられ該第1の側板と所定の間隔をおいて平行に配設される第2の側板と、該第1の側板の下端と該第2の側板の下端を連結する底板と、該第1の側板の上端と該第2の側板の上端を連結する天板と、該天板の後端と該底板の後端との間に配設される背板と、該第1の側板と該第2の側板と該底板と該天板の前端側に設けられる出入開口と、を具備するウエーハ収容カセットであって、
該第1の側板の下端部と該底板の一方の側部および該第2の側板の下端部と該底板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該第1の側板の上端部と該天板の一方の側部および該第2の側板の上端部と該天板の他方の側部とはそれぞれ回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の一方は該天板の後端部または該底板の後端部の一方と回動可能にヒンジ結合され、
該背板の上端部または下端部の他方は該天板の後端部または該底板の後端部の他方と着脱可能に連結される、
ことを特徴とするウエーハ収容カセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013261166A JP6199729B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | ウエーハ収容カセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013261166A JP6199729B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | ウエーハ収容カセット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015119026A JP2015119026A (ja) | 2015-06-25 |
JP6199729B2 true JP6199729B2 (ja) | 2017-09-20 |
Family
ID=53531521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013261166A Active JP6199729B2 (ja) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | ウエーハ収容カセット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6199729B2 (ja) |
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-
2013
- 2013-12-18 JP JP2013261166A patent/JP6199729B2/ja active Active
Also Published As
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---|---|
JP2015119026A (ja) | 2015-06-25 |
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