JP5886525B2 - カセット - Google Patents

Description

本発明は、板状の被加工物を収容可能なカセットに関する。

半導体ウェーハ等の被加工物（ワーク）のダイシング加工を行う切削装置やレーザ加工装置、ワークの研削を行う研削装置、ワークの研磨を行う研磨装置等、ワークの加工を行う加工装置においては、ワークを複数段収容可能なカセットと呼ばれる収容器が使用されている。ワークには様々なサイズのものがあるため、各種加工装置においては、それぞれのサイズのワークに対応したカセットが用意され、使用されている（例えば特許文献１参照）。

特開平９−２７５４３号公報

しかし、様々なサイズのワークに対応したカセットを個別に準備するのでは、管理が煩雑となり、コスト的観点からも問題がある。本発明は、このような問題点にかんがみなされたもので、様々なサイズのワークに対応可能なカセットを提供することを目的とする。

本発明は、板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、左右の側壁を連結する連結部と、板状ワークを出し入れする開口部と、を有するカセットに関するもので、側壁と連結部は脱着可能に形成され、連結部は左右方向に延在する部材で構成され、板状ワークは円形状に形成され、側壁には、棒状の突き当て部を収容して支持する収容穴が、板状ワークの大きさに応じて複数形成され、大径の板状ワークに対応する突き当て部材を収容する収容穴が、該大径の板状ワークよりも小径の板状ワークに対応する突き当て部を収容する収容穴よりも、板状ワークの収容方向に対して水平に直交する方向の内側に形成され、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するとともに、複数の収容穴のうちの１つに突き当て部を収容することにより板状ワークの大きさに対応して板状ワークが過度に押し込まれるのを防止する。このカセットは、側壁に、カセットをカセットステージに載置することによりカセットステージに備えたカセット有無識別センサを上方から覆うとともにカセットステージに複数備えたカセットサイズ識別センサのうちのいずれかを上方から覆う厚肉部を有するとよい。

本発明は、側壁と連結部とを脱着可能とし、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することとしたため、側壁を共通化し、連結部を交換するだけで種々の大きさの板状ワークに対応したカセットを形成することができる。

カセットの一形態を示す正面図である。 カセットの一形態を示す平面図である。 カセットの一形態を示す側面図である。 カセットの別の形態を示す正面図である。 カセットの別の形態を示す平面図である。 カセットの別の形態を示す側面図である。 前記一形態のカセットをカセットステージに載置した状態を示す平面図である。 前記別の形態のカセットをカセットステージに載置した状態を示す平面図である。

図１に示すカセット１０は、半導体ウェーハ等の板状の被加工物（板状ワーク）を複数収容可能な収容器であり、左右に一対の側壁２を備えている。それぞれの側壁２は起立状態にあり、その上部及び下部は、左右方向に延びる部材である棒状の連結部３ａによってそれぞれ連結されている。連結部３ａは、側壁２の外側面２１側から挿入されるネジ３０によって側壁２に対して脱着可能に固定される。

一対の側壁２の対面した面側には、板状ワークを収容する溝２２が所定間隔ごとに複数形成されている。個々の溝２２は、外側面２１側に向けて窪んだ凹状に形成されている。カセット１０の前部には、カセット１０に対する板状ワークの出し入れを行う際の出入口となる開口部２３ａが形成されている。

図２に示すように、左右の側壁２は、その前部及び後部がそれぞれ連結部３ａによってそれぞれ連結されている。すなわち、一対の側壁２は、４つの棒状の連結部３ａによって連結されている。

図２に示すように、個々の側壁２は、カセット１０の開口部２３ａ側の薄肉部２４と、カセット１０の後方側の厚肉部２５とから構成されている。図１に示すように、薄肉部２４の上部及び下部に厚肉部２５が一体に形成された構成となっている。

図２に示すように、薄肉部２４の内側の面同士が互いに対面しているとともに、厚肉部２５の内側の面同士が互いに対面している。溝２２は、薄肉部２４の内側面に形成されており、溝２２に板状ワークＷ１の端部が載置されることにより、板状ワークＷ１が溝２２において支持された状態でカセット１に収容される。カセット１０に収容できるワークＷ１の大きさは、例えば４インチとする。

厚肉部２５には、棒状の突き当て部４を収容して支持するための収容穴２５０，２５１がそれぞれ形成されている。突き当て部４は、カセット１０に収容されるワークの後方側におけるストッパとなるもので、小径の板状ワークＷ１をカセット１０に収容する場合には収容穴２５０に突き当て部４を挿入し、それよりも大径の板状ワークをカセット１０に収容する場合には収容穴２５１に突き当て部４を挿入する。図１乃至図３の例では、収容穴２５０に突き当て部４を収容した状態を示している。なお、図示の例における収容穴は２つであるが、収容すべきワークの大きさに応じて３つ以上形成されていてもよい。

図２に示した板状ワークＷ１よりも大径のワークをカセットに収容する場合は、ネジ３０を緩めて連結部３ａを側壁２から取り外し、図４に示すように、図１及び図２に示した連結部３ａよりも長い連結部３ｂを一対の側壁２に連結し、ネジ３０によって固定する。側壁２は、図１乃至図３に示したものと同じものを使用する。このように、連結部３ａよりも長い連結部３ｂを側壁２に連結することにより、図１に示した開口部２３ａよりも左右方向の幅が広い開口部２３ｂが形成され、図２に示したワークＷ１よりも大径のワークＷ２を開口部２３ｂを介して出し入れすることが可能となるカセット１１が形成される。カセット１１に収容できるワークＷ２の大きさは、例えば６インチとする。

図５に示すように、ワークＷ１よりも大径のワークＷ２をカセット１１に収容する場合は、収容穴２５１に突き当て部４を挿入する。そうすると、突き当て部４は、大径のワークＷ２が溝２２に載置され収容した際にワークＷ２が過度に後方側に押し込まれるのを防止するストッパとなる。図６に示すように、収容穴２５１に突き当て部４を挿入すると、突き当て部４は、収容穴２５０に挿入した場合よりも後方側に位置する。

以上のように、板状ワークの大きさに応じて長さの異なる連結部を使用することにより、複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するカセットに調整可能となる。

図７に示すように、各種加工装置においては、カセットがカセットステージ５に載置されて使用される。カセットステージ５には、複数箇所に位置決め用穴５０が直線状に並んだ状態で複数形成されている。この位置決め用穴５０は、位置決めブロック５１を固定するためのピン５０ａを挿入するために形成されている。位置決めブロック５１は、載置しようとするカセットの位置を案内するためにカセットステージ５に固定される。

カセットステージ５には位置決めブロック５１が複数配置され固定される。位置決めブロック５１の固定位置は、載置しようとするカセットの大きさにあわせて調整される。

図７に示すように、カセットステージ５には、カセット有無識別センサ６０と、その両側のカセットサイズ識別センサ６１ａ、６１ｂとが配設されている。カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ａ、６１ｂとしては、例えば反射型光センサを使用することができる。

カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ａとの間の距離、及び、カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ｂとの間の距離は、側壁２の厚肉部２５の厚みＤよりも短くなっており、図１乃至図６に示したカセット１０，１１のいずれかをカセットステージ５に載置した状態では、厚肉部２５は、隣り合う２つのセンサの上方、すなわち、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ａの上方、または、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ｂの上方に位置する。図７の例では、厚肉部２５は、カセット有無識別センサ６０とカセットサイズ識別センサ６１ａの上方に位置している。この場合、カセット有無識別センサ６０は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ６１ａは、４インチワーク用のカセット１０が載置されていると判断する。

６インチワーク用のカセット１１をカセットステージ５に載置するときは、図８に示すように、位置決めブロック５１の固定位置を、互いが離れる位置に変更する。そして、位置決めブロック５１によってガイドされる位置に６インチワーク用のカセットを載置すると、カセット有無識別センサ６０及びカセットサイズ識別センサ６１ｂの上方に厚肉部２５が位置する。したがって、カセット有無識別センサ６０は、カセットが載置されていると判断し、カセットサイズ識別センサ６１ｂは、６インチワーク用のカセット１０が載置されていると判断する。

カセットがカセットステージ５に載置されていないときは、カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていないと判断する。また、カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていないと判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ６１ａ，６１ｂのいずれかがカセットのサイズを識別した場合は、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。カセット有無識別センサ６０がカセットが載置されていると判断したにもかかわらず、カセットサイズ識別センサ６１ａ，６１ｂのいずれもがカセットのサイズを識別できなかった場合も、カセットが正常な状態で載置されていないと判断する。

このように、カセットに厚肉部２５を設け、厚肉部２５がカセット有無識別センサ６０及び片方のカセットサイズ識別センサの上方を覆うように構成することにより、１つのカセット有無識別センサ６０によっていずれのサイズのカセットの有無も判断できるようになるため、個々のサイズのカセットごとにカセット有無識別センサを配設する必要がなく、センサの数を減らすことができる。

１０，１１：カセット
２：側壁
２１：外側面 ２２：溝 ２３ａ，２３ｂ：開口部
２４：薄肉部 ２４０：内側面
２５：厚肉部 ２５０，２５１：収容穴
３ａ，３ｂ：連結部 ３０：ネジ
４：突き当て部
５：カセットステージ
５０：位置決め用穴 ５０ａ：ピン
５１：位置決めブロック
６０：カセット有無識別センサ ６１ａ，６１ｂ：カセットサイズ識別センサ

Claims (2)

1. 板状ワークを収容する溝が所定間隔ごとに複数形成された左右の側壁と、
   該左右の側壁を連結する連結部と、
   板状ワークを出し入れする開口部と、
   を有するカセットであって、
   該側壁と該連結部は脱着可能に形成され、
   該連結部は左右方向に延在する部材で構成され、
   板状ワークは円形状に形成され、
   該側壁には、棒状の突き当て部を収容して支持する収容穴が、板状ワークの大きさに応じて複数形成され、大径の板状ワークに対応する突き当て部材を収容する収容穴が、該大径の板状ワークよりも小径の板状ワークに対応する突き当て部を収容する収容穴よりも、板状ワークの収容方向に対して水平に直交する方向の内側に形成され、
   板状ワークの大きさに応じて長さの異なる該連結部を使用することにより複数の大きさの板状ワークに対応した開口部を有するとともに、該複数の収容穴のうちの１つに該突き当て部を収容することにより板状ワークの大きさに対応して板状ワークが過度に押し込まれるのを防止するカセット。
2. 該側壁は、該カセットをカセットステージに載置することにより該カセットステージに備えたカセット有無識別センサを上方から覆うとともに該カセットステージに複数備えたカセットサイズ識別センサのうちのいずれかを上方から覆う厚肉部を有する請求項１に記載のカセット。

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