JP2784375B2

JP2784375B2 - 基板保持具

Info

Publication number: JP2784375B2
Application number: JP27843593A
Authority: JP
Inventors: 隆松田
Original assignee: Japan Energy Corp
Current assignee: Eneos Corp
Priority date: 1993-11-08
Filing date: 1993-11-08
Publication date: 1998-08-06
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JPH07125805A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板保持具に関し、特
に半導体ウェハの洗浄などの各種処理を行なう際にウェ
ハを保持するのに用いられるカセットに利用して有用な
保持具に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩなどの製造に供される半導体ウェ
ハの製造プロセスにおいては、洗浄などの各種処理が行
われるが、同時に複数枚のウェハ（基板）をバッチ処理
する場合には、従来、図７に示すような基板保持具（ウ
ェハカセット）１００を用いていた。同図に示すよう
に、この保持具１００には、左右両側の側板１１０，１
１１に夫々複数段の棚板１２０，１２１が内向きに僅か
に突出して設けられている。そして、左右両側の向かい
合う各棚板１２０，１２１上にウェハ１（一例として、
３枚のウェハ１を二点鎖線で示した。）の両側縁を載
せ、手前から奥方にスライドさせるようにして、保持具
１００内にウェハ１を納めるようになっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記基
板保持具１００においては、棚板１２０，１２１により
ウェハ１の両側縁を支持するだけであり、ウェハ１の中
央部については何等支持するようにはなっていないた
め、収納可能なウェハ１のサイズ（大きさ）が制限され
てしまうという問題点があった。つまり、ウェハが、そ
の両側縁を棚板１２０，１２１に載せることができる丁
度よいサイズよりも大きい場合には、ウェハを基板保持
具１００内に納めることは物理的に不可能である。一
方、前述した丁度よいサイズよりも小さいウェハについ
ては、その両側縁を棚板１２０，１２１に載せることが
できず、従って複数枚のウェハを互いに離した状態で収
納することは不可能である。

【０００４】一般に、ウェハ１のサイズは、その直径が
２インチ、３インチ、４インチ、…というように１イン
チ毎に変わるため、例えば直径３インチ用の基板保持具
１００に直径が２インチや４インチのウェハを収納する
ことはできない。従って、各サイズ毎に、それに対応し
た大きさの基板保持具１００を用意しなければならず、
保持具１００の製造効率や使用効率などが悪いという問
題点もあった。

【０００５】また、基板保持具１００に対するウェハ１
の出し入れを、ウェハ１を保持した状態で移動可能なア
ーム等を有する自動装着装置などにより行なう場合に、
上記基板保持具１００においては、前記アーム等の先端
部、即ちウェハ１を保持する部分の大きさが制限されて
しまうという問題点もあった。つまり、その装置などの
ウェハ保持部分は、基板保持具１００の上記棚板１２
０，１２１間に余裕をもって挿入可能な大きさでなけれ
ばならない。従って、上述した種々の大きさ（直径２イ
ンチ用、３インチ用、…）の基板保持具１００に対して
上記自動装着装置の使用を可能ならしめるには、最も小
さなサイズのウェハ用の保持具においても使用可能でな
ければならず、上記ウェハ保持部分の大きさは極めて小
さくなってしまい、その設計・製造が困難となるという
問題点があった。

【０００６】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、その目的とするところは、異なるサイズ
の基板の収納を可能ならしめるとともに、基板を自動的
に出し入れ可能な自動装着装置等におけるサイズの制約
の緩和又は撤廃を可能ならしめる基板保持具を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明者は、ウェハをその中央部にて支持し、且つ
ウェハの両側縁についてはフリーな状態とし、しかもウ
ェハの両側方に自動装着装置等を配置可能な自由空間を
設けるようにすることが有効であると考え、本発明の完
成に至った。

【０００８】即ち、本発明は、薄板状の基板を前方から
挿脱可能であるとともに水平姿勢に保持可能な保持具で
あって、後端を固定端とし、且つ前端及び両側の側端を
自由端とする複数の棚板が所定の間隔おきに鉛直方向に
並んで設けられてなり、該棚板の幅は前記基板の幅より
も狭くなっているとともに、同棚板の側方は開放されて
いることを特徴とする。

【０００９】

【作用】上記した手段によれば、基板保持具の棚板を、
基板の幅よりも狭い幅とするとともに、その後端を固定
して前端及び両側の側端を自由端としたことにより、前
方から挿入されその棚板上に載せられた基板は、その中
央部にて支持される。つまり、基板が大きくても小さく
ても、その基板は、その両側縁を上記棚板よりもさらに
側方にフリーな状態で突出させることにより、上記棚板
に支持される。

【００１０】また、基板の側縁が突出されてなる空間
は、棚板の側方が開放されてなる自由空間であり、その
空間に自動装着装置等を配置することにより、自動装着
装置における上述したようなサイズの制約が緩和又は撤
廃される。

【００１１】

【実施例】本発明に係る基板保持具の一実施例を、図１
乃至図５に示し、以下に説明する。なお、この実施例に
おいては、略円形状の半導体ウェハを基板として収納可
能なウェハカセットについて説明する。図１には、本発
明に係る基板保持具の一例が示されている。同図に示す
ように、この基板保持具２は、上板２０及び下板２１の
間に棚部２２が設けられてなり、さらに棚部２２の両側
の側方に夫々例えば支持柱２３，２３が設けられてでき
ている。なお、支持柱２３，２３は、上板２０と下板２
１との間を支持するのみでなく、側方からの基板の落下
を防止する目的もある。棚部２２には、複数、特にその
数を限定しないが、例えば２５枚の細長く水平な棚板２
４，…が設けられている。

【００１２】図２には、上記基板保持具２を正面から見
た状態が示されている。同図に一例として二点鎖線で示
した３枚のウェハ１のように、上記棚板２４はウェハ１
よりも正面から見たときの幅が狭くなっている。つま
り、同棚板２４上にウェハ１を載せた状態では、その棚
板２４によりウェハ１はその中央部が支持され、ウェハ
１の両側縁１ａ，１ａは棚板２４よりも側方の空間（後
述する自由空間Ａ）に突出するようになっている。ここ
で、棚板２４の幅寸法は、収納する種々の大きさのウェ
ハ１のうち最小のものの幅寸法よりも小さくなってい
る。

【００１３】なお、この基板保持具２においては、棚部
２２の側方には側板が設けられておらず、開放された自
由空間Ａとなっている。そして、この自由空間Ａは、例
えば、基板保持具２にウェハ１を自動的に出し入れ可能
な自動装着装置のアーム等を配置する作業空間として活
用される。

【００１４】図３には、上記基板保持具２の側面断面が
示されている。同図に示すように、棚部２２は、上記棚
板２４と、その棚板２４の後端部２４ａを固定し保持す
る幹部２５とからなる。幹部２５には、複数のスリット
２６が設けられており、各スリット２６に一枚ずつ棚板
２４が差し込まれている。そして、図４に示すように、
幹部２５と棚板２４とは、夫々に設けられた貫通孔２５
ａ，２４ｂにそれらの位置を一致させた状態で嵌入され
てなる支柱２７により、棚板２４が抜けないように、一
体化されている。

【００１５】また、棚板２４の前端部分の上面は、図５
に拡大して示すように、テーパー部２４ｃが設けられて
いて先細形状となっている。さらにその先端の端面２４
ｄは面取りされていて丸くなっている。その様な端部形
状となっていることにより、棚板２４上へのウェハ１の
装着性に優れるとともに、装着時にウェハ１の縁に欠け
が生じたりするのが防止される。

【００１６】なお、例えば、図２に示したように、棚部
２２と下板２１とは、蟻ほぞ２５ｂ及びほぞ穴２１ａの
蟻継ぎにより接合・一体化されている。また、支持柱２
３の下端は下板２１の受穴２１ｂに挿入されている。そ
して、幹部２５及び支持柱２３はボルト２８により上板
２０に夫々止着されている。

【００１７】上記実施例によれば、基板保持具２は、棚
板２４によりウェハ１の中央部を支持し、ウェハ１の側
縁１ａ，１ａを棚板２４の側方の自由空間Ａに突出させ
るようになっているため、ウェハ１の大小に拘らず、一
サイズの保持具２で種々のサイズのウェハ１を収納する
ことができる。また、上記自由空間Ａは自動装着装置の
アーム等を配置する作業空間として活用可能であるた
め、ウェハ１を出し入れする際に、その自由空間Ａに上
記アーム等を配置させるようにすることによって、アー
ム等の大きさや形状等についての従来の制約を緩和又は
撤廃することができる。従って、基板保持具２の製造効
率や使用効率などが改善されるだけでなく、自動装着装
置等のアームにおけるウェハ保持部分の設計・製造も容
易となる。

【００１８】なお、基板保持具２は、上記実施例のもの
に限らず、ウェハ１の中央部を支持するとともに、棚板
２４の側方に自由空間Ａを有するようになっており、そ
の自由空間Ａにウェハ１の側縁１ａ，１ａを突出させる
ようになっていれば、種々設計変更可能であるのはいう
までもない。例えば、図６に変形例として示す基板保持
具３のように、幹部２５の強度があり、棚板２４を基板
落下の危険がないように広くして、上記実施例における
基板保持具２の支持柱２３を設けないようにしてもよ
い。このようにすれば、自由空間Ａがさらに広がり、自
動装着装置の設計上の自由度が増す。また、上記実施例
では組立てにより基板保持具を製作した例を示したが、
削り出し加工や鋳型による型抜きなどで製作しても良い
ことは明白である。

【００１９】また、上記実施例においては、基板保持具
２として、半導体ウェハを収納可能なウェハカセットに
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、薄板状の基板を収納するもの全てに適用可能であ
る。例えば、ＣＤ（コンパクトディスク）やＬＤ（レー
ザーディスク）などの収納カセットにも適用することが
できる。

【００２０】

【発明の効果】本発明に係る基板保持具によれば、棚板
の幅を基板の幅よりも狭くし、その棚板によって、基板
の両側縁を棚板よりもさらに側方に突出させた状態で、
基板の中央部を支持するようにしたため、一サイズの保
持具で小さい基板から大きい基板まで収納することがで
きる。また、基板の側縁が突出してなる自由空間に自動
装着装置等を配置することができ、それによって自動装
着装置における従来のようなサイズの制約を緩和又は撤
廃することができる。

【００２１】従って、基板保持具の製造効率や使用効率
などが改善されるだけでなく、自動装着装置等における
ウェハ保持部分の設計・製造も容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板保持具の一例を示す斜視図で
ある。

【図２】その基板保持具の正面図である。

【図３】その基板保持具の図２のIII−IIIにおける断面
図である。

【図４】その基板保持具の図２のIV−IVにおける断面図
である。

【図５】その基板保持具の棚板の前端部分を拡大した側
面図である。

【図６】本発明に係る基板保持具の他の例を示す斜視図
である。

【図７】従来の基板保持具を示す斜視図である。

【符号の説明】

Ａ自由空間１ウェハ（基板）２，３基板保持具２４棚板２４ａ後端部

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B65G 1/00 537 B65G 49/07 B65H 1/28 321 H01L 21/68

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】薄板状の基板を前方から挿脱可能である
とともに水平姿勢に保持可能な保持具であって、後端を
固定端とし、且つ前端及び両側の側端を自由端とする複
数の棚板が所定の間隔おきに鉛直方向に並んで設けられ
てなり、該棚板の幅は前記基板の幅よりも狭くなってい
るとともに、同棚板の側方は開放されていることを特徴
とする基板保持具。