KR20140065874A - 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기 - Google Patents

블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 블랭크 마스크 및 포토마스크의 운반시 마스크들의 파손이 방지되고, 외부의 이물질이 유입되지 않으며, 커버의 분리시 충격으로 인한 블랭크 마스크 및 포토마스크의 오염, 파손 등이 발생하는 것이 방지되도록 불필요한 힘없이 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있는 결합부를 갖는 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기는, 상부가 개방되어 있는 사각형 형상의 박스 형태를 가지며, 상단부에 하나 이상의 제1체결부가 구비된 제1결합부를 갖는 케이스 및 상기 케이스가 폐쇄되도록 상기 케이스 상부에 결합되며, 하단부에 하나 이상의 제2체결부가 구비된 제2결합부를 갖는 커버를 포함하며, 상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 수평적으로 대응하는 위치에 형성되고, 상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 외부로 돌출된 형태를 가지며, 나머지 하나는 상기 돌출된 형태와 대응하도록 홈 또는 홀의 형태를 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기{Blankmask and Photomask Packing Box}
본 발명은 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 복수의 블랭크 마스크를 포장하여 운반하며 밀폐성을 충분히 담보하면서 사용자가 불필요한 힘을 가하지 않고 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있는 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기에 관한 것이다.
블랭크 마스크는 포토리소그래피(Photolithography) 공정시 사용되는 포토 마스크의 원재료로서 반도체 및 FPD(Flat Pannel Display)를 제조하는데 널리 사용되고 있다. 이러한 블랭크 마스크 및 포토마스크는 일반적으로 바이너리 마스크 형태와 위상반전 마스크 형태로 분류된다. 바이너리 형태의 마스크는 투명기판 위에 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성되며, 위상반전 형태의 마스크는 투명기판 위에 위상반전막, 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
블랭크 마스크는 일반적으로 블랭크 마스크 제조사에서 제조된 후 포토 마스크 제조사로 운반되어 포토 마스크 제조되고, 포토마스크는 반도체 및 FPD를 생산하는 제조사로 이송되어 사용된다. 따라서, 품질이 우수한 포토 마스크 및 이를 이용한 반도체 및 FPD로를 제조하기 위해서는 그 원재료인 블랭크 마스크가 고품질 상태가 유지되도록 운반되어야 한다.
예를 들어, 블랭크 마스크는 운반시에 이물질이 블랭크 마스크에 부착되지 않게 하고 운반시 발생하는 충격으로부터 블랭크 마스크가 파손되지 않도록 보호되어야 한다. 특히, 미세 패턴을 형성하기 위해서 포토 마스크의 원재료인 블랭크 마스크에 이물질이 부착되는 것을 최소화시키는 것이 블랭크 마스크의 제조 과정 뿐만 아니라 운반 과정에서도 필수적으로 요구되고 있다.
한편, 종래 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기는 밀폐 및 이송중의 열림을 방지하기 위하여 케이스로부터 커버를 고정시키는 결합부가 고리 형태 또는 걸림쇠 형태로 제작되어 있다. 그러나, 상기 결합부의 형태는 밀폐 및 이송중의 열림 방지 기능에 너무 치중되어 사람 또는 로봇 등을 이용하여 케이스로부터 커버를 열고자할 때 과도한 힘이 가해지게 되며, 이로 인해, 포장 용기 내부의 내용물, 즉, 블랭크 마스크 또는 포토마스크가 오염되는 문제가 발생하였다.
이에 따라, 블랭크 마스크 또는 포토마스크를 고품질 상태로 운반함과 아울러 내부에 커버 분리시 블랭크 마스크 또는 포토마스크를 보호하는데 적합한 포장 용기에 대한 개발 필요성이 대두되고 있다.
본 발명은 블랭크 마스크 및 포토마스크의 운반시 마스크들의 파손이 방지되고, 외부의 이물질이 유입되지 않으며, 커버의 분리시 충격으로 인한 블랭크 마스크 및 포토마스크의 오염, 파손 등이 발생하는 것이 방지되도록 불필요한 힘없이 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있는 결합부를 갖는 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기는, 상부가 개방되어 있는 사각형 형상의 박스 형태를 가지며, 상단부에 하나 이상의 제1체결부가 구비된 제1결합부를 갖는 케이스 및 상기 케이스가 폐쇄되도록 상기 케이스 상부에 결합되며, 하단부에 하나 이상의 제2체결부가 구비된 제2결합부를 갖는 커버를 포함하며, 상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 수평적으로 대응하는 위치에 형성되고, 상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 외부로 돌출된 형태를 가지며, 나머지 하나는 상기 돌출된 형태와 대응하도록 홈 또는 홀의 형태를 갖는다.
상기 제1체결부 및 제2체결부는 상호 대응하는 형상을 가지며, 반원 형상, 반타원 형상을 갖거나 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상 중 하나의 형상을 갖는다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기는, 상부가 개방되어 있는 박스 형태를 가지며, 상단부에 적어도 하나 이상의 제1체결부가 구비된 제1결합부를 갖는 케이스 및 상기 케이스가 폐쇄되도록 상기 케이스 상부에 결합되며, 하단부에 적어도 하나 이상의 제2체결부가 구비된 제2결합부를 갖는 커버를 포함하며, 상기 제1체결부 및 제2체결부는 둘 모두 외부로 돌출된 형태를 갖는다.
상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 지그재그 형태를 갖도록 각각 다수개로 형성되며, 상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 제1체결부의 외측 부분들이 이웃하는 상기 제2체결부의 외측 부분과 상호 중첩되는 간격으로 각각 배치된다.
상기 제1체결부 및 제2체결부는 반원 형상, 반타원 형상, 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상 중 하나의 형상으로 형성된다.
상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 반원 형상, 반타원 형상, 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상을 가지며, 나머지 하나는 바(Bar) 형상을 가지며, 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 교차된 형태를 갖는다.
상기 제1체결부가 상기 케이스의 상단부 외측에 형성되고 상기 제2체결부가 상기 커버의 하단부 내측에 형성되거나, 또는, 상기 제1체결부가 상기 케이스의 상단부 내측에 형성되고 상기 제2체결부가 상기 커버의 하단부 외측에 형성된다.
상기 제1체결부 및 제2체결부는 사각형 형상의 박스 형태의 각 모서리 부분들에 형성되거나, 각 면 부분들에 형성되거나, 또는, 모서리 부분들 및 면 부분들에 함께 형성된다.
상기 제1체결부 및 제2체결부는 제1결합부 및 제2결합부 면으로부터 수직적인 높이 또는 깊이가 0.5mm 내지 3mm이며, 폭 및 길이가 1mm 내지 15mm이다.
상기 케이스 내에 배치되며, 다수의 마스크들이 수납되는 카세트를 더 포함한다.
상기 케이스의 외측에 구비되며 홈 형상을 갖는 적어도 둘 이상의 핸들링부를 더 포함한다.
본 발명은 케이스의 상단부 외측과 커버의 하단부 내측 또는 케이스의 상단부 내측과 커버의 하단부 외측의 상호 대응하는 위치에 각각 돌출 형상과 홈 형상 또는 돌출 형상들로 이루어진 체결부가 형성된 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기를 제공한다.
이에 따라, 상기 체결부들에 의해 불필요한 힘없이 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있어 충격으로 인한 블랭크 마스크 및 포토마스크의 오염 및 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 체결부들에 의해 블랭크 마스크 및 포토마스크의 운반시 마스크들의 파손이 방지되고, 외부의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 도 1의 A ― A'에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기를 투영시켜 얻은 개략도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 체결부 형상을 설명하기 위하여 도 2의 C 부분을 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 결합부 위치를 설명하기 위하여 간략히 도시한 평면도.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 결합부를 설명하기 위하여 도시한 단면도.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 체결부 형상을 설명하기 위하여 도 5의 D 부분을 도시한 단면도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실험예를 구체적이고 상세하게 설명하도록 한다. 그러나, 실시예는 단지 본 발명의 예시 및 설명을 돕기 위한 목적에서 사용된 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그럼으로, 실시예로부터 다양한 변형 및 유사한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술력 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사항에 의해 정해져야 할 것이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A ― A'에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기를 투영시켜 얻은 개략도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 체결부 형상을 설명하기 위하여 도 2의 C 부분을 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 결합부 위치를 설명하기 위하여 간략히 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기(100)는 블랭크 마스크 및 포토마스크가 탑재되는 케이스(110), 케이스(110)를 덮는 커버(120) 및 케이스(110)와 커버(120) 내에 매립되는 카세트(130)를 포함한다.
케이스(110)는 전체적으로 상부가 개방되어 있는 박스(Box) 형상으로 이루어져 있으며, 상단부에 구비된 제1결합부(140)와 핸들링부(160)를 구비한다. 제1결합부(140)의 상단부 외측에는 커버(120)를 케이스(110)로부터 쉽게 분리시킴과 아울러 커버(120)와 케이스(110)가 결합력을 가질 수 있도록 구비된 제1체결부(142)가 구비된다. 핸들링부(160)는 케이스(110)의 양 측면에 각각 형성되어 케이스(110)의 운반시 운반자가 잡기 위한 부분이다. 핸들링부(160)는 운반자의 손가락이 삽입 가능한 홈 형상으로 이루어져 있다.
커버(120)는 케이스(110)의 내부에 배치되며 블랭크 마스크 및 포토마스크가 탑재되는 카세트(130) 및 케이스(110) 상부를 폐쇄한다. 커버(120)의 하단부 내측에는 제2결합부(150)가 구비되며, 제2결합부(150)는 케이스(110)의 제1체결부(142)와 대응하여 커버(120)와 케이스(110)가 결합력을 가질 수 있도록 구비된 제2체결부(152)가 구비된다. 여기서, 도시하지는 않았지만, 제1체결부(142)는 케이스(110)의 상단부 내측에 배치될 수 있고, 제1체결부(142)와 대응하는 커버(120)의 제2체결부(152)는 하단부 외측에 배치될 수 있다.
커버(120)와 케이스(110)의 결합시, 커버(120) 하단부의 제2결합부(150) 전체와 케이스(110) 상단부의 제1결합부(140) 서로 접촉한다. 도시하지는 않았지만, 커버(120)와 케이스(110)의 결합시, 내부가 밀폐되도록 하기 위하여 커버(120)의 하단부 최하면과 접촉하는 케이스(110)의 상부와 케이서의 최상단면이 접촉하는 커버(120)의 하부 사이에 오링 등과 같은 밀폐부재가 개재될 수 있다.
카세트(130)는 전체적으로 박스 형상으로 이루어져 있으며, 케이스(110)의 내부에 설치되며, 카세트(130)는 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크 및 포토마스크가 탑재될 수 있도록 상부가 개방된 구조를 가지며, 블랭크 마스크 및 포토마스크들은 카세트(130) 내에 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 케이스(110)의 제1결합부(140)에 구비된 제1체결부(142)와 커버(120)의 제2결합부(150)에 구비된 제2체결부(152)는 케이스(110) 및 커버(120)가 완전히 밀폐되도록 커버의 하단부가 케이스(110)에 밀착되도록 결합될 때, 상호 수평적으로 대응하는 위치에 배치되도록 형성되며, 상호 대응하는 형상을 갖는다.
도 3을 참조하면, 제1결합부(140)의 제1체결부(142)는 돌출된 형상을 가질 수 있으며, 이와 대응하는 제2결합부(150)의 제2체결부(152)는 제1체결부(142)의 돌출된 형상과 반대되도록 홈의 형상를 가질 수 있다. 이와 같이, 제1체결부(142)와 제2체결부(152)의 형상에 의해 제1결합부(140)의 외측면과 제2결합부(150)의 내측면은 상호 밀착되게 배치된다. 도시하지는 않았지만, 상기와 반대로 제2결합부(150)의 제2체결부(152)가 돌출된 형상을 가질 수 있으며, 이와 대응하는 제1결합부(140)의 제1체결부(142)가 홈의 형태를 가질 수 있다.
도 3(a), (b), (c)에 도시된 바와 같이, 제1체결부(142)는 돌출된 반원 형상 또는 돌출된 삼각형의 형상을 가질 수 있으며, 제1체결부(142)와 체결되는 제2체결부(152)는 제1체결부(142)의 돌출된 형상과 대응하는 형상으로 홈의 형태를 가질 수 있다. 또한, 도시하지는 않았지만, 제1 및 제2체결부(142, 152)는 반타원 형상 또는 사각형 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형 형상의 돌출된 또는 홈 형태를 가질 수 있다. 또한, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이, 제1체결부(142)는 돌출된 사다리꼴, 사각형 또는 삼각형의 형상을 가질 수 있으며, 이와 대응하는 제2체결부(152)는 제1체결부(142)의 형상과 대응하도록 제2결합부(150)를 관통하는 홀(Hole) 형태를 가질 수 있다.
도 4를 참조하면, 케이스 및 커버(110, 120)에 각각 구비된 제1 및 제2체결부(142, 152)는 제1 및 제2결합부(140, 150)에 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 자세하게, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2체결부(142, 152)는 사각형 형상을 갖는 케이스 및 커버(110, 120)의 모서리 부분들에 배치될 수 있다. 또한, 도 4의 (b) 및 도 4(c)에 도시된 바와 같이, 사각형 형상을 갖는 케이스 및 커버(110, 120)의 각 면 부분들에 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. 아울러, 도시하지는 않았지만, 제1 및 제2체결부(142, 152)는 사각형 형상을 갖는 케이스 및 커버(110, 120)의 모서리 부분들 및 면 부분들에 함께 배치될 수 있다.
제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 그 수직적인 높이 또는 깊이가 0.5mm 내지 3mm인 것이 바람직하며, 폭 및 길이는 1mm 내지 15mm인 것이 바람직하다. 제1 및 제2체결부(142, 152)는 배치되는 위치 및 그 크기에 따라 형성되는 수가 결정될 수 있다. 예를 들어, 돌출 또는 홈의 형상을 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)가 배치되는 면으로부터 그 수직적인 높이 및 깊이가 높거나 깊은 경우, 형성되는 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)의 수를 줄일 수 있다. 또한, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)의 그 수직적인 높이 및 깊이가 낮거나 얕은 경우, 형성되는 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)의 수를 늘릴 수 있다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)의 형상에 따라서도 형성되는 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)의 수를 조절할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 결합부를 설명하기 위하여 도시한 단면도이며, 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장 용기의 체결부 형상을 설명하기 위하여 도 5의 D 부분을 도시한 단면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 상호 돌출된 형태를 가질 수 있다. 자세하게, 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 두 개의 제1체결부(142) 사이에 하나의 제2체결부(152)가 배치되도록 수평적으로 상호 지그재그 형태로 형성될 수 있다. 이때, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 케이스 및 커버(110, 120)가 결합력을 가짐과 아울러 쉽게 분리될 수 있도록 상호 반원 형상을 가지며, 두 개의 제1체결부(142) 사이의 거리(d1)보다 하나의 제2체결부(152) 폭(d2)이 더 크도록 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)를 형성한다. 이때, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 반원 형상의 동일한 크기를 가질 수 있고, 반원 형상 외에 타원형 형상을 가질 수 있다. 또한 도 5(b) 및 5(c)에 도시된 바와 같이, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152) 중 하나는 반원의 형상을 가질 수 있고, 나머지 하나는 반원 형상의 바(Bar) 형태를 가질 수 있다. 이때, 상기 바의 길이는 결합부에 형성된 반원 형상의 체결부 전체와 대응하는 길이를 갖거나, 다수개의 체결부들와 대응하는 길이를 갖도록 다수개 배치될 수 있다. 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 케이스(110)와 커버(120)가 결합된 상태에서 상호 교차된 형태로 결합된다.
도 6을 참조하면, 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 도 6(a)와 같은 반원 형상 외에 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 삼각형의 형상을 가질 수 있으며, 도시하지는 않았지만, 타원 형상 및 사각형, 사다리꼴을 포함하는 다각형 형상의 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제1체결부 및 제2체결부(142, 152)는 케이스 및 커버(110, 120)가 결합력을 가짐과 아울러 쉽게 분리될 수 있다면 형상에 제한을 갖지 않는다.
이상에서와 같이, 본 발명은 케이스의 상단부 외측과 커버의 하단부 내측 또는 케이스의 상단부 내측과 커버의 하단부 외측의 상호 대응하는 위치에 각각 돌출 형상과 홈 형상 또는 돌출 형상들로 이루어진 체결부가 형성되도록 포장용기를 형성함에 따라 상기 체결부들에 의해 불필요한 힘없이 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있어 충격으로 인한 블랭크 마스크 및 포토마스크의 오염 및 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 체결부들에 의해 블랭크 마스크 및 포토마스크의 운반시 마스크들의 파손이 방지되고, 외부의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명을 실험예를 이용하여 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는, 상기 실험예에 기재된 범위에 한정되지 않는다. 상기 실험예에 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다는 것은 당업자에게 명백하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이 특허 청구 범위의 기재로부터 분명하다.
100 : 포장 용기
110 : 케이스
120 : 커버
130 : 카세트
140 : 제1결합부
142 : 제1체결부
150 : 제2결합부
152 : 제2체결부
160 : 핸들링부

Claims (11)

  1. 상부가 개방되어 있는 사각형 형상의 박스 형태를 가지며, 상단부에 하나 이상의 제1체결부가 구비된 제1결합부를 갖는 케이스; 및
    상기 케이스가 폐쇄되도록 상기 케이스 상부에 결합되며, 하단부에 하나 이상의 제2체결부가 구비된 제2결합부를 갖는 커버;를 포함하며,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 수평적으로 대응하는 위치에 형성되고,
    상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 외부로 돌출된 형태를 가지며, 나머지 하나는 상기 돌출된 형태와 대응하도록 홈 또는 홀의 형태를 갖는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 상호 대응하는 형상을 가지며, 반원 형상, 반타원 형상을 갖거나 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상 중 하나의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  3. 상부가 개방되어 있는 박스 형태를 가지며, 상단부에 적어도 하나 이상의 제1체결부가 구비된 제1결합부를 갖는 케이스; 및
    상기 케이스가 폐쇄되도록 상기 케이스 상부에 결합되며, 하단부에 적어도 하나 이상의 제2체결부가 구비된 제2결합부를 갖는 커버;를 포함하며,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 둘 모두 외부로 돌출된 형태를 갖는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 지그재그 형태를 갖도록 각각 다수개로 형성되며, 상기 제1체결부 및 제2체결부는 상기 제1체결부의 외측 부분들이 이웃하는 상기 제2체결부의 외측 부분과 상호 중첩되는 간격으로 각각 배치된 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 반원 형상, 반타원 형상, 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상 중 하나의 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부 중 하나는 반원 형상, 반타원 형상, 삼각형 형상, 사각형 형상 및 사다리꼴 형상을 포함하는 다각형의 형상을 가지며, 나머지 하나는 바(Bar) 형상을 가지며, 상기 케이스와 상기 커버가 결합된 상태에서 상호 교차된 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  7. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제1체결부가 상기 케이스의 상단부 외측에 형성되고 상기 제2체결부가 상기 커버의 하단부 내측에 형성되거나, 또는, 상기 제1체결부가 상기 케이스의 상단부 내측에 형성되고 상기 제2체결부가 상기 커버의 하단부 외측에 형성된 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  8. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 사각형 형상의 박스 형태의 각 모서리 부분들에 형성되거나, 각 면 부분들에 형성되거나, 또는, 모서리 부분들 및 면 부분들에 함께 형성된 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  9. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제1체결부 및 제2체결부는 제1결합부 및 제2결합부 면으로부터 수직적인 높이 또는 깊이가 0.5mm 내지 3mm이며, 폭 및 길이가 1mm 내지 15mm인 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  10. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 케이스 내에 배치되며, 다수의 마스크들이 수납되는 카세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
  11. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 케이스의 외측에 구비되며 홈 형상을 갖는 적어도 둘 이상의 핸들링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장 용기.
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