KR101885548B1 - 마스크박스 클램핑장치 - Google Patents

마스크박스 클램핑장치 Download PDF

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KR101885548B1
KR101885548B1 KR1020170084620A KR20170084620A KR101885548B1 KR 101885548 B1 KR101885548 B1 KR 101885548B1 KR 1020170084620 A KR1020170084620 A KR 1020170084620A KR 20170084620 A KR20170084620 A KR 20170084620A KR 101885548 B1 KR101885548 B1 KR 101885548B1
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장영주
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Abstract

마스크박스 클램프장치에 관한 것으로,
마스크박스의 하단 일측 모서리부에 접속되는 제1걸이부재; 제1걸이부재의 상부에 설치되는 중간지지부재; 제1걸이부재와 중간지지부재의 사이에 설치되는 제1연결바; 마스크박스의 상단 일측 모서리부에 접속되는 제2걸이부재; 승강지지부재 및 중간지지부재를 상하방향으로 관통하고, 중간지지부재에 승강 가능하게 설치되는 제2연결바; 제2연결바의 상부에 고정 설치되는 승강지지부재; 승강지지부재와 제2걸이부재 사이에 설치되고, 제2걸이부재를 승강 작동하는 승강유니트;를 포함하는 기술 구성을 통하여
마스크박스의 변형 및 손상을 방지할 수 있게 되고, 전방체와 후방체 사이에 틈이 벌어져 마스크박스 내부로 이물질이 유입되는 일이 없게 되므로 마스크박스의 내부에 보관되는 마스크를 보다 안전하게 보호할 수 있게 되는 것이다.

Description

마스크박스 클램핑장치 { MASK BOX CLAMPING APPARATUS }
본 발명은 마스크박스 클램핑장치에 관한 것으로, 더 자세하게는 마스크를 안전하게 운반할 수 있도록 하는 마스크박스의 취급과정에서 마스크박스의 변형이나 손상을 방지함으로써 마스크박스 및 그 내부의 마스크를 보호할 수 있도록 하는 것에 관한 것이다.
본 발명이 관계하는 마스크는 반도체 집적회로의 제조공정 중 포토공정에서 사용하는 미세한 전자회로가 그려진 유리판을 말한다.
상기 마스크는 전자빔 설비를 이용해 설계된 회로 패턴을 유리판 위에 그려 넣어 만들어지며, 포토공정은 웨이퍼 위에 전자회로를 그리는 단계로, 반도체 칩에 전자부품 수십억 개와 이를 연결하는 회로선을 그리는 작업으로, 설비에 마스크를 넣고 빛을 투과해 감광액이 칠해진 웨이퍼 위에 미세한 전자회로 그림이 만들어 지도록 한다.
한편, 블랭크 마스크는 포토리소그래피(Photolithography) 공정시 사용되는 포토 마스크의 원재료로서 반도체 및 FPD(Flat Pannel Display)를 제조하는데 널리 사용되고 있다.
이러한 블랭크 마스크 및 포토마스크는 일반적으로 바이너리 마스크 형태와 위상반전 마스크 형태로 분류되는데, 바이너리 형태의 마스크는 투명기판 위에 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 위상반전 형태의 마스크는 투명기판 위에 위상반전막, 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
블랭크 마스크는 일반적으로 블랭크 마스크 제조사에서 제조된 후 포토 마스크 제조사로 운반되어 포토 마스크 제조되고, 포토 마스크는 반도체 및 FPD를 생산하는 제조사로 이송되어 사용된다.
따라서, 품질이 우수한 포토 마스크 및 이를 이용한 반도체 및 FPD로를 제조하기 위해서는 그 원재료인 블랭크 마스크가 고품질 상태가 유지되도록 운반되어야 한다.
예를 들어, 블랭크 마스크는 운반시에 이물질이 블랭크 마스크에 부착되지 않게 하고 운반시 발생하는 충격으로부터 블랭크 마스크가 파손되지 않도록 보호되어야 한다. 특히, 미세 패턴을 형성하기 위해서 포토 마스크의 원재료인 블랭크 마스크에 이물질이 부착되는 것을 최소화시키는 것이 블랭크 마스크의 제조 과정뿐만 아니라 운반 과정에서도 필수적으로 요구되고 있다.
하기의 특허문헌 1에는 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장용기가 개시되어 있다.
특허문헌 1의 블랭크 마스크 및 포토 마스크 포장용기는 블랭크 마스크 및 포토 마스크의 운반시 마스크들의 파손이 방지되고, 외부의 이물질이 유입되지 않으며, 커버의 분리시 충격으로 인한 블랭크 마스크 및 포토 마스크의 오염, 파손 등이 발생하는 것이 방지되도록 불필요한 힘없이 케이스로부터 커버를 간편하게 열고 닫을 수 있는 결합부를 갖는 형태이다.
대한민국 공개특허공보 제10-2014-0065874호 (2014년 05월 30일 공개)
한편, 동일한 형태를 가지는 장방형의 전방체와 장방형의 후방체가 다수의 클램프부재를 통해 체결되는 형태를 가지는 마스크박스의 경우에 운반이나 취급하는 과정에서 전방체 또는 후방체의 어느 한쪽에 외력이 가해지는 경우 뒤틀림 등의 변형이 발생할 우려가 있게 되고, 변형이 발생한 경우 전방체와 후방체 사이에 틈이 벌어지게 되어 마스크박스 내부의 마스크쪽으로 외부의 이물질이 유입되는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적이 마스크박스의 운반 및 취급과정에서 외력에 의하여 전방체 또는 후방체가 뒤틀림 등의 변형을 일으키는 것을 방지함으로써 마스크박스 및 그 내부에 보관되는 마스크를 안전하게 보호할 수 있도록 하는 마스크박스 클램프장치를 제공하는 데에 있는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크박스 클램프장치는 마스크박스의 하단 일측 모서리부에 접속되는 제1걸이부재; 제1걸이부재의 상부에 설치되는 중간지지부재; 제1걸이부재와 중간지지부재의 사이에 설치되는 제1연결바; 마스크박스의 상단 일측 모서리부에 접속되는 제2걸이부재; 승강지지부재 및 중간지지부재를 상하방향으로 관통하고, 중간지지부재에 승강 가능하게 설치되는 제2연결바; 제2연결바의 상부에 고정 설치되는 승강지지부재; 승강지지부재와 제2걸이부재 사이에 설치되고, 제2걸이부재를 승강 작동하는 승강유니트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크박스 클램핑장치는 중간지지부재의 외측에 제2연결바를 고정할 수 있도록 하는 고정핀부재가 설치되고, 제2연결바에 중간지지부재의 고정핀부재가 선택적으로 삽입되는 다수의 고정구멍이 상하방향으로 배열 형성되어 제1걸이부재와 제2걸이부재 사이의 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크박스 클램핑장치의 승강유니트는 제2걸이부재의 돌출부에 삽입 설치되는 고정볼트; 돌출부 내부의 고정볼트의 외주에 설치되어 제2걸이부재를 탄성 지지하는 스프링; 승강지지부재의 지지부에 고정 설치되는 승강가이드; 승강가이드에 승강 가능하게 설치되는 승강봉; 승강봉과 고정볼트를 연결하는 연결부재; 승강가이드의 하부 둘레에 고정 설치되는 지지브라켓트에 회전 가능하게 접속되는 동시에 승강봉의 양측에 접속되는 승강레버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크박스 클램프장치에 의하면, 마스크박스의 양측에 설치되어 클램프부재로 결속된 전방체와 후방체를 다시 클램핑함으로써 마스크박스의 운반, 취급과정에서 전방체 또는 후방체의 어느 한 쪽에 충격이 가해지게 되더라도 마스크박스의 변형이 생기지 않도록 할 수 있게 된다.
따라서 본 발명에 따른 마스크박스 클램프장치에 의하면, 마스크박스의 변형 및 손상을 방지할 수 있게 되고, 전방체와 후방체 사이에 틈이 벌어져 마스크박스 내부로 이물질이 유입되는 일이 없게 되므로 마스크박스의 내부에 보관되는 마스크를 보다 안전하게 보호할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치를 통해 클램핑되는 마스크박스의 사시도,
도 2는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치를 통해 클램핑된 마스크박스의 사시도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 사시도,
도 4는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 정면도,
도 5는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 우측면도,
도 6은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 종단면도,
도 7은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 양 걸이부재 사이의 거리 조절을 예시한 종단면도,
도 8a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 전의 요부 측면도,
도 8b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 후의 요부 측면도,
도 9a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 전의 요부 종단면도,
도 9b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 후의 요부 종단면도.
이하 본 발명에 따른 마스크박스 클램프장치를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
이하에서, "상방", "하방", "전방" 및 "후방" 및 그 외 다른 방향성 용어들은 도면에 도시된 상태를 기준으로 정의한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치를 통해 클램핑되는 마스크박스의 사시도이고, 도 2는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치를 통해 클램핑된 마스크박스의 사시도이다.
도 1과 같이 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치(100)를 통해 클램핑되는 마스크박스(200)는 내부에 블랭크 마스크 또는 포토 마스크가 보관되는 것으로, 장방형의 전방체(210)와 장방형의 후방체(220)가 다수의 클램프부재(230)를 통해 체결되는 형태이다.
도 1에서 미설명부호 240은 캐스터이다.
도 2와 같이 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치(100)는 마스크박스(200)의 양측에 설치되어 전방체(210)와 후방체(220)를 이중 클램핑한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 사시도이고, 도 4는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 정면도이고, 도 5는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 우측면도이고, 도 6은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 종단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치(100)는 제1걸이부재(110), 중간지지부재(120), 제1연결바(130), 제2걸이부재(140), 제2연결바(150), 승강지지부재(160), 승강유니트(170)를 포함한다.
제1걸이부재(110)는 하부가 내측으로 절곡된 L형으로, 마스크박스(200)의 하단 일측 모서리부에 접속된다.
상기에서 내측은 마스크박스(200) 쪽을 의미한다.
중간지지부재(120)는 제2연결바(150)의 좌우 이송을 지지하는 것으로, 제1걸이부재(110)와 이격 설치된다.
중간지지부재(120)의 외측에는 후술할 제2연결바(150)를 고정할 수 있도록 하는 고정핀부재(121)가 설치된다.
제1연결바(130)는 제1걸이부재(110)와 중간지지부재(120)의 사이에 설치된다.
제1연결바(130)의 하단은 제1걸이부재(110)에 고정되고, 제1연결바(130)의 상단은 중간지지부재(120)에 고정된다.
제2걸이부재(140)는 상부가 내측으로 절곡된 L형으로, 마스크박스(200)의 상단 일측 모서리부에 접속된다.
제2걸이부재(140)의 외측에는 돌출부(141)가 마련된다.
제2연결바(150)는 승강지지부재(160) 및 중간지지부재(120)를 상하방향으로 관통하고, 중간지지부재(120)에 승강 가능하게 설치된다.
승강지지부재(160)의 상부로 돌출된 제2연결바(150)의 상단에는 제2걸이부재(140)가 승강 가능하게 접속된다.
제2연결바(150)에는 중간지지부재(120)의 고정핀부재(121)가 선택적으로 삽입되는 다수의 고정구멍(151)이 상하방향으로 배열 형성된다.
승강지지부재(160)는 승강유니트(170)를 지지하눈 것으로, 제2연결바(150)의 상부에 고정 설치된다.
승강지지부재(160)의 외측 상부에는 지지부(161)가 돌출 형성된다.
승강유니트(170)는 제2걸이부재(140)를 승강시키는 것으로, 승강지지부재(160)와 제2걸이부재(140) 사이에 설치된다.
승강유니트(170)는 제2걸이부재(140)의 돌출부(141)에 삽입 설치되는 고정볼트(171); 돌출부(141) 내부의 고정볼트(171)의 외주에 설치되어 제2걸이부재(140)를 탄성 지지하는 스프링(172); 승강지지부재(160)의 지지부(161)에 고정 설치되는 승강가이드(173); 승강가이드(173)에 승강 가능하게 설치되는 승강봉(174); 승강봉(174)과 고정볼트(171)를 연결하는 연결부재(175); 승강가이드(173)의 하부 둘레에 고정 설치되는 지지브라켓트(176)에 회전 가능하게 접속되는 동시에 승강봉(174)의 양측에 접속되는 승강레버(177);를 포함한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑 장치(100)는 도 2와 같이 마스크박스(200)의 양측에 설치되어 전방체(210)와 후방체(220)를 이중 클램핑함으로써 마스크박스(200)의 운반이나 취급과정에서 전방체(210) 또는 후방체(220)의 어느 한 쪽에 충격이 가해지게 되더라도 마스크박스(200)가 비틀림 변형되거나 전방체(210)와 후방체(220) 사이에 틈이 발생되지 않고 마스크박스(200)의 견고한 클램핑상태가 그대로 유지되도록 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑 장치(100)를 마스크박스(200)를 클램핑하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 7은 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램프장치의 양 걸이부재 사이의 거리 조절을 예시한 종단면도이다.
우선 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치(100)는 마스크박스(200)의 크기에 맞추어 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140)의 거리를 조정할 수 있다.
즉, 중간지지부재(120)에 승강 가능하게 설치된 제2연결바(150)를 하강시킨 상태에서 중간지지부재(120)에 외측에 설치되는 고정핀부재(121)를 제2연결바(150)의 다수의 고정구멍(151) 중에서 상부의 고정구멍(151)에 삽입하게 되면 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140)의 거리를 축소할 수 있게 된다.
또한, 제2연결바(150)를 상승시킨 상태에서 고정핀부재(121)를 제2연결바(150)의 다수의 고정구멍(151) 중에서 하부의 고정구멍(151)에 삽입하게 되면 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140)의 거리를 연장할 수 있게 된다.
도 8a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 전의 요부 측면도이고, 도 8b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 후의 요부 측면도이다.
도 9a는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 전의 요부 종단면도이고, 도 9b는 동 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치의 마스크박스 클램핑 후의 요부 종단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑장치(100)로 마스크박스(200)를 클램핑할 때는 승강유니트(170)의 승강레버(177)을 일측으로 회전시켜 제2걸이부재(140)를 상승시킨다.
제2걸이부재(140)가 상승되면 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140) 사이의 거리가 클램핑하고자 하는 마스크박스(200)의 클램핑 부위의 높이보다 길게 되므로 제1걸이부재(110) 및 제2걸이부재(140)를 마스크박스(200)의 일측 클램핑 부위에 쉽게 삽입할 수 있게 된다.
제1걸이부재(110) 및 제2걸이부재(140)를 마스크박스(200)의 일측 클램핑 부위에 삽입한 상태에서 제1걸이부재(110)의 내측 절곡부위를 마스크박스(200)의 하단에 밀착시키면 도 8a 및 도 9a와 같이 제2걸이부재(140)의 내측 절곡부위가 마스크박스(200)의 상단과 이격된 상태가 된다.
상기 제1걸이부재(110) 밀착상태에서 승강유니트(170)의 승강레버(177)를 반대쪽으로 회전시켜 제2걸이부재(140)를 하강시키게 되면 도 8b 및 도 9b와 같이 제2걸이부재(140)의 내측 절곡부위가 마스크박스(200)의 상단에 밀착되면서 마스크박스(200)의 일측 부위가 클램핑된다.
상기 클램핑과정에서는 승강레버(140)의 회전 도중에 제2걸이부재(140)가 먼저 마스크박스(200)의 상단에 접촉되고 그 이후에 고정볼트(171)를 통해 스프링(172)이 압축되면서 승강레버(140)가 계속 회전하게 된다.
따라서 승강레버(140)가 완전히 회전한 상태에서는 압축된 스프링(172)이 제2걸이부재(140)를 누르는 형태로 견고하게 마스크박스(200)를 클램핑할 수 있게 된다.
마스크박스 클램핑 장치(100)로 마스크박스(200)의 일측을 클램핑한 후에는 다른 마스크박스 클램핑 장치(100)로 마스크박스(200)의 터측을 같은 방식으로 클램핑한다.
마스크박스(200)의 양측이 마스크박스 클램핑 장치(100)를 통해 클램핑된 상태에서는 마스크박스(200)의 취급과정에서 전방체(210) 또는 후방체(220)의 어느 한 쪽에 충격이 가해지게 되더라도 마스크박스(200)가 뒤틀리거나 전방체(210)와 후방체(220)의 사이에 틈이 벌어지지 않게 된다.
따라서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑 장치(100)를 통해 마스크박스(200)를 이중 클램핑하게 되면 마스크박스(200) 및 그 내부에 보관되는 마스크를 안전하게 보호할 수 있게 된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크박스 클램핑 장치(100)를 마스크박스(200)에서 분리하고자 할 때는 승강유니트(170)의 승강레버(177)을 다시 일측으로 회전시켜 제2걸이부재(140)를 상승시키면 된다.
상기에서 제2걸이부재(140)를 상승시키면 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140) 사이의 거리가 마스크박스(200)의 클램핑 부위의 높이보다 길게 벌어지게 되므로 손쉽게 마스크박스 클램핑 장치(100)를 마스크박스(200)에서 분리할 수 있게 된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
100 : 마스크박스 클램핑 장치
110 : 제1걸이부재
120 : 중간지지부재
130) : 제1연결바
140 : 제2걸이부재
150 : 제2연결바
160 : 승강지지부재
170 : 승강유니트

Claims (3)

  1. 마스크박스(200)의 하단 일측 모서리부에 접속되는 제1걸이부재(110);
    제1걸이부재(110)의 상부에 설치되는 중간지지부재(120);
    제1걸이부재(110)와 중간지지부재(120)의 사이에 설치되는 제1연결바(130);
    마스크박스(200)의 상단 일측 모서리부에 접속되는 제2걸이부재(140);
    승강지지부재(160) 및 중간지지부재(120)를 상하방향으로 관통하고, 중간지지부재(120)에 승강 가능하게 설치되는 제2연결바(150);
    제2연결바(150)의 상부에 고정 설치되는 승강지지부재(160);
    승강지지부재(160)와 제2걸이부재(140) 사이에 설치되고, 제2걸이부재(140)를 승강 작동하는 승강유니트(170);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크박스 클램핑장치.
  2. 제1항에 있어서,
    중간지지부재(120)의 외측에 제2연결바(150)를 고정할 수 있도록 하는 고정핀부재(121)가 설치되고,
    제2연결바(150)에 중간지지부재(120)의 고정핀부재(121)가 선택적으로 삽입되는 다수의 고정구멍(151)이 상하방향으로 배열 형성되어 제1걸이부재(110)와 제2걸이부재(140) 사이의 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크박스 클램핑장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    승강유니트(170)는
    제2걸이부재(140)의 돌출부(141)에 삽입 설치되는 고정볼트(171);
    돌출부(141) 내부의 고정볼트(171)의 외주에 설치되어 제2걸이부재(140)를 탄성 지지하는 스프링(172);
    승강지지부재(160)의 지지부(161)에 고정 설치되는 승강가이드(173);
    승강가이드(173)에 승강 가능하게 설치되는 승강봉(174);
    승강봉(174)과 고정볼트(171)를 연결하는 연결부재(175);
    승강가이드(173)의 하부 둘레에 고정 설치되는 지지브라켓트(176)에 회전 가능하게 접속되는 동시에 승강봉(174)의 양측에 접속되는 승강레버(177);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크박스 클램핑장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004081646A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Eimakkusu:Kk 回路基板収納ボックス用ロック装置
KR200384059Y1 (ko) * 2005-02-11 2005-05-11 (주)미래컴 포토마스크 보관케이스
KR100764624B1 (ko) * 2006-04-01 2007-10-08 주식회사 에스앤에스텍 마스크 패킹 박스 및 패킹 박스 재료 선별 방법
KR20090010887U (ko) * 2008-04-22 2009-10-27 안병홍 포토마스크 보관 케이스
KR20140065874A (ko) 2012-11-22 2014-05-30 주식회사 에스앤에스텍 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004081646A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Eimakkusu:Kk 回路基板収納ボックス用ロック装置
KR200384059Y1 (ko) * 2005-02-11 2005-05-11 (주)미래컴 포토마스크 보관케이스
KR100764624B1 (ko) * 2006-04-01 2007-10-08 주식회사 에스앤에스텍 마스크 패킹 박스 및 패킹 박스 재료 선별 방법
KR20090010887U (ko) * 2008-04-22 2009-10-27 안병홍 포토마스크 보관 케이스
KR20140065874A (ko) 2012-11-22 2014-05-30 주식회사 에스앤에스텍 블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기

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