KR200384059Y1 - 포토마스크 보관케이스 - Google Patents

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KR200384059Y1
KR200384059Y1 KR20-2005-0003721U KR20050003721U KR200384059Y1 KR 200384059 Y1 KR200384059 Y1 KR 200384059Y1 KR 20050003721 U KR20050003721 U KR 20050003721U KR 200384059 Y1 KR200384059 Y1 KR 200384059Y1
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Abstract

본 고안은 포토마스크 보관케이스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보관된 포토마스크가 손상되는 것을 방지하고, 개폐작업이 용이하도록 잠금레버를 설치하였으며, 운송작업할 때 미끄러짐없이 효율적으로 적층하여 안전하게 운반할 수 있는 포토마스크 보관케이스에 관한 것이다.
본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스는, 포토마스크를 수납하여 지지할 수 있도록 바닥면에 복수의 하부지지수단이 형성된 하부케이스와, 상기 하부케이스와결합하여 밀폐된 내부공간을 제공하며 바닥면에는 상기 하부지지수단과 대응하는 위치에 상부지지수단이 각각 형성되어 하부지지수단과의 사이에 포토마스크를 개재시켜 지지하는 상부케이스를 포함하는 포토마스크 보관케이스에 있어서, 상기 상부지지수단 및 하부지지수단은 각각, 포토마스크가 수직방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 포토마스크의 각각의 모서리부의 꼭지점과 접촉하여 지지하기 위하여 중앙부를 향하여 경사진 경사면이 형성된 지지돌기와, 포토마스크가 배치된 수평방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 상기 지지돌기의 양측면에 설치되어 포토마스크의 각각의 모서리부의 양측면을 받쳐주기 위한 한쌍의 가이드돌기를 포함한다.

Description

포토마스크 보관케이스{PHOTO MASK KEEPING CASE}
본 고안은 포토마스크 보관케이스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보관된 포토마스크가 손상되는 것을 방지하고, 개폐작업이 용이하도록 잠금레버를 설치하였으며, 운송작업할 때 미끄러짐없이 효율적으로 적층하여 안전하게 운반할 수 있는 포토마스크 보관케이스에 관한 것이다.
도 8은 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 20-0226731호에 개시된 종래의 반도체 포토마스크 보관케이스를 도시한 것이다. 도 8에 도시된 반도체 포토마스크 보관케이스는, 내부에 포토마스크(20')를 수납하여 수평으로 지지할 수 있도록 바닥면(22')의 상호 이격되는 위치에 복수의 하부지지수단이 형성되고 외표면의 귀퉁이부에 직선형돌기가 형성된 하부케이스(12')와, 상기 하부케이스(12')와 결합되고 바닥면에는 상기 하부지지수단과 대응되는 위치에 상부지지수단이 형성되고 외표면의 귀퉁이부에 직선형돌기(18')가 형성된 상부케이스(10')를 포함한다. 또한 상부지지수단과 하부지지수단은 각각 일정높이를 가지고 포토마스크(20')를 수평으로 지지하도록 설치턱(28')을 갖는 지지대(26')와, 상기 각 설치턱(28')에 구비되어 포토마스크(20')와 접하는 지지핀(30')으로 구성된다.
상기와 같은 반도체 포토마스크 보관케이스는, 각각 분리된 케이스를 구비하고 있기 때문에 수납하거나 사용시에 상부 및 하부케이스를 분리하고 결합하는 작업이 번거롭고, 분리된 케이스가 분실되거나 손상되기 쉽다. 또한 상부와 하부케이스를 고정하기 위해 외표면에 형성된 직선형돌기에 별도의 클립을 사용하여 고정함으로서, 비용이 증가되고 운반시 부피가 커져 운송비용이 증가되는 문제점이 있다.
또한 복수의 지지핀으로 포토마스크의 하부면과 상부면을 지지하고 있어서 접촉된 부분에 흔적이 생기거나 충격에 의해 긁힘현상이 발생될 수 있는 다른 문제점이 있다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 포토마스크를 수납하는 상부케이스와 하부케이스의 일측에 연결부재가 설치되어 개폐시 케이스를 분실할 위험을 방지할 수 있는 포토마스크 보관케이스를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 개폐작업이 용이하도록 잠금장치를 구비하고 있어서, 별도의 클립을 사용하지 않아도 되며, 종래 사용되던 클럽을 사용하지 않아도 됨으로 그 만큼의 부피가 줄어들고 운송비가 절감되는 포토마스크 보관케이스를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
또한, 케이스에 수납된 포토마스크의 하부 및 상부면을 지지하는 것이 아니라 포토마스크의 모서리부의 꼭지점을 지지하고 있기 때문에 포토마스크의 하부 및 상부면이 손상되거나 긁힘현상을 방지할 수 있는 포토마스크 보관케이스를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 포토마스크가 수납된 케이스를 효율적으로 운반하고 적층할 수 있도록 케이스의 외표면에 미끄럼을 방지하도록 돌출부과 안착부를 더 형성한 포토마스크 보관케이스를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스는, 사각형태를 취하며 내부에 포토마스크를 수납하여 수평으로 지지할 수 있도록 바닥면에는 상호 이격되어 위치하는 복수의 하부지지수단이 형성된 하부케이스와, 상기 하부케이스에 씌워져 결합하여 밀폐된 내부공간을 제공하며 바닥면에는 상기 복수의 하부지지수단과 대응하는 위치에 상부지지수단이 각각 형성되어 하부지지수단과의 사이에 포토마스크를 개재시켜 지지하는 상부케이스를 포함하는 포토마스크 보관케이스에 있어서, 상기 상부지지수단 및 하부지지수단은 각각, 포토마스크가 수직방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 포토마스크의 각각의 모서리부의 꼭지점과 접촉하여 지지하기 위하여 중앙부를 향하여 경사진 경사면이 형성된 탄성을 갖는 지지돌기와, 포토마스크가 배치된 수평방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 상기 지지돌기의 양측면에 설치되어 포토마스크의 각각의 모서리부의 양측면을 받쳐주기 위한 한쌍의 가이드돌기를 포함한다.
또한, 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스는, 상기 상부케이스의 일측과 하부케이스의 각각의 일측에 연결되어 상기 케이스가 회동되어 열리고 닫히도록 중심이 접철되는 연결부재와, 상기 상부케이스와 하부케이스의 타측에 슬라이딩 가능하게 설치되어 상부케이스와 하부케이스를 구속하기 위한 잠금레버를 더 포함하고, 상기 하부케이스는, 일측에 중심이 접철되는 연결부재의 일단이 고정되기 위해 형성된 하부홈과, 타측에 잠금레버가 슬라이드되도록 적어도 하나 이상의 하부레버가이부가 형성되어 있으며, 상기 상부케이스는, 상기 하부케이스의 하부홈과 대응되며 연결부재의 타단이 고정되기 위해 형성된 상부홈과, 상기 하부레버가이드부와 대응되며 잠금레버가 슬라이드되도록 상부레버가이드부가 형성된다.
또한, 상기 잠금레버는, 상기 하부레버가이드부에서 슬라이딩되기 위해 길이방향으로 일측면이 개구된 홈과, 상기 홈의 개구된 양측면에 각각 돌출되고 하부레버가이드부와 상부레버가이드를 가압하도록 형성된 걸림턱을 포함한다.
또한, 상기 상부케이스의 외측 상부면에는 소정돌출된 돌출부가 형성되고, 상기 하부케이스의 외측 하부면에는 대응되는 상기 상부케이스의 돌출부가 삽입 될 수 있는 안착부가 형성된다.
이하에서는 첨부의 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 일 실시예의 사시도이고, 도 2는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 상부케이스를 개폐한 상태의 사시도이며, 도 3은 도2의 A-A선 단면도이다.
본 고안에 따른 일 실시예의 보관케이스(100)는, 포토마스크(50)를 보관할 수 있도록 수납공간이 형성되고 마주보도록 배치되는 상부케이스(10) 및 하부케이스(20)와, 상부케이스(10)와 하부케이스(20)의 일측에 설치되며 각각의 케이스가 분리되지 않도록 지지되는 연결부재(30)와, 타측에 설치되며 상부케이스(10)와 하부케이스(20)를 고정시켜 주는 잠금레버(40)를 포함한다.
상부케이스(10)는, 사각형상이며 내부에 포토마스크(50)를 수납할 수 있도록 공간을 형성하고, 외주면의 테두리에 일정높이 형성된 상부결합부(11)와, 보관된 포토마스크(50)의 상부면을 일정높이에서 받쳐주는 복수의 지지수단과, 상부케이스(10)의 외측 상부면에 소정높이로 돌출된 돌출부(12)를 포함한다. 또한, 하부케이스(20)와 결합되기 위해 설치되는 연결부재(30)가 고정될 수 있도록 일측에 적어도 하나 이상 형성된 상부홈(10a)과, 타측에 형성되고 잠금레버(40)를 가이드해주는 상부레버가이드부(13)를 포함한다. 상부케이스(10)의 복수의 지지수단은, 포토마스크(50)의 상부면의 네모서리부를 받쳐주는 것으로, 각각의 모서리부의 양측면을 지지하는 한쌍의 가이드돌기(14)와, 가이드돌기(14) 사이에 설치되며 모서리부의 꼭지점을 지지하는 지지돌기(15)를 포함한다.
하부케이스(20)는, 사각형상이며 상부케이스(10)의 상부결합부(11)와 긴밀하게 밀착되도록 수납공간의 내주면의 테두리에 일정높이 형성된 하부결합부(21)와, 보관된 포토마스크(50)의 하부면을 일정높이에서 받쳐주는 복수의 지지수단과, 하부케이스(20)의 외측 하부면에 소정돌출되고 내측방향으로 홈이 형성된 안착부(22)를 포함한다. 또한, 상부케이스(10)의 상부홈(10a)과 대응되는 위치에 형성된 하부홈(20a)과, 상부케이스(10)의 상부레버가이드부(13)와 대응되는 위치에 형성된 하부레버가이드부(23)를 포함한다. 하부케이스(10)의 복수의 지지수단은, 포토마스크(50)의 하부면의 네모서리를 받쳐주는 것으로, 각각의 모서리부의 양측면을 지지하는 한쌍의 가이드돌기(24)와, 가이드돌기(24) 사이에 설치되며 모서리부의 꼭지점을 지지하는 지지돌기(25)를 포함한다.
상부케이스(10)에 형성된 복수의 지지수단(14, 15)과 하부케이스(20)에 형성되 복수의 지지수단(24, 25)은, 케이스(10, 20)의 네군데 귀퉁이부에 대응되도록 형성되는 것으로, 각각 마주보도록 배치됨은 물론이며, 포토마스크(50)의 각각의 모서리부의 양측면과 꼭지점을 받쳐줌으로서 외부의 충격으로부터 포토마스크(50)가 손상되거나 긁히는 것을 방지하게 된다.
도 3을 참조하면 사각형상을 갖는 포토마스크(50)의 하부면의 각각의 네모서리를 받쳐주기 위해 하부케이스(20)의 수납공간의 하부면에 형성된 복수의 지지수단(24, 25)은, 포토마스크(50)가 배치된 수직방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 포토마스크(50)의 각각의 모서리부의 꼭지점을 받쳐주기 위한 경사면(25a)이 형성되고 탈착 가능하며 탄성을 갖는 재질로 이루어진 지지돌기(25)로 구성된다. 또한, 지지돌기(25)의 양측면에 설치되고 포토마스크(50)가 배치된 수평방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 포토마스크(50)의 각각의 모서리부의 양측면을 받쳐주는 한쌍의 가이드돌기(24)로 구성된다.
지지돌기(25)는, 포토마스크(50)의 모서리부의 꼭지점을 받쳐주기 때문에 종래의 지지핀을 사용하는 상부 및 하부지지수단으로 지지되는 포토마스크의 상/하부면에 핀자국이 생겨 손상되는 것을 방지하게 된다.
또한, 한쌍의 가이드돌기(24)는 외부의 충격에도 견딜 수 있도록 하부케이스(20)와 일체로 형성되며, 한쌍의 가이드돌기(24) 사이에 설치되는 지지돌기(25)를 교환할 수 있도록 고정돌기(24a)가 더 형성된다. 지지돌기(25)의 하부면은 고정돌기(24a)가 끼워져 고정될 수 있도록 고정홈(25b)이 더 형성된다.
또한, 상부케이스(10)에 형성된 복수의 지지수단(14, 15)은 하부케이스(20)의 복수의 지지수단(24, 25)과 대응되는 위치에 동일하게 형성된다.
연결부재(30)는, 일단은 상부케이스(10)의 상부홈(10a)에 끼워져 고정되고 타단은 대응되는 위치에 형성된 하부케이스(20)의 하부홈(20a)에 끼워져 고정되며 중심이 접철되도록 형성된다. 즉, 종래의 상부케이스와 하부케이스가 분리되어 분실되거나 손상되는 것을 방지하고 작업이 용이하도록 하기 위해 연결부재(30)를 상부케이스(10) 및 하부케이스(20)의 일측에 적어도 하나 이상 설치하여 개폐된 각각의 케이스가 이탈하지 못하도록 고정하여 수납작업이 용이하도록 개선하였다.
또한, 연결부재(30)는 상부케이스(10)와 하부케이스(20)의 일측에 삽입 고정되도록 형성되나 각각의 케이스가 개폐된 후 분해되지 않도록 케이스의 일측을 고정시켜주는 구성이면 가능하다.
상부케이스(10)와 하부케이스(20)의 타측에 설치된 잠금레버(40)는, 하부레버가이드부(23)에서 슬라이딩되기 위해 길이방향으로 일측면이 개구된 홈(41)과, 홈(41)의 개구된 양측면에 돌출 형성된 상부걸림턱(42)과 하부걸림턱(43)을 형성한다. 또한, 잠금레버(40)는 수납공간에 보관된 포토마스크(50)가 분실되는 것을 방지하고 외부에서 보관케이스(100)의 내부로 이물질이 침입하는 것을 방지하는 기능을 한다. 따라서 종래 별도의 클립을 사용하던 보관케이스는 부피가 크고 보관케이스를 제작하는 비용이 증가됨으로 이를 개선하는 방안으로 개폐가 용이하고 제작비용이 저렴하도록 보관케이스(100)의 타측에 슬라이드되도록 작동되는 잠금레버(40)를 구성하게 된다.
도 4는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 전면부 잠금레버의 분해사시도이고, 도 5의 (a) 내지 (c)는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 상부 및 하부케이스의 잠금상태를 도시한 정면도이며, 도 6은 도5(c)의 B-B선 단면도이다.
본 실시예의 잠금레버(40)는, 상부케이스(10)와 하부케이스(20)의 타단에 적어도 하나 이상 설치된다. 상부케이스(10)는 외주면 타단에 형성된 손잡이(16)와, 손잡이(16)의 하부면에 일정간격을 두고 형성된 상부레버가이드부(13)와, 상부레버가이드부(13)의 일단에 형성된 고정판(13a)을 포함한다.
하부케이스(20)는, 외주면 타단에 형성된 손잡이(26)와, 상부케이스(10)의 상부레버가이드부(13)와 대응되는 위치에 형성된 하부레버가이드부(23)를 포함한다. 하부레버가이드부(23)는 잠금레버(40)의 상부걸림턱(42)을 안내해주는 가이드홈(23a)과, 잠금레버(40)의 홈(41)이 삽입되어 작동시 이탈되는 것을 방지해 주는 가이드돌기(23b)를 포함한다.
설명을 위해 도 5(a) 내지 5(c)를 참조하면, 하부케이스(20)에 포토마스크(50)를 보관하고 상부케이스(10)를 덮으면, 상부케이스(10)의 결합홈(11)과 하부케이스(20)의 결합돌기(21)가 밀착된다. 이때 상부레버가이드부(13)와 하부레버가이드부(23)가 서로 접하게 되고, 상부레버가이드부(13)의 고정판(13a)이 가이드홈(23a)의 일단에 안착된다. 그 후 잠금레버(40)를 가이드홈(23a)에 안착된 고정판(13a) 방향으로 즉, 보관케이스(100)의 중심방향으로 밀게되면 잠금레버(40)의 상부걸림턱(42)이 상부케이스(10)의 고정판(13a)과 하부케이스(20) 가이드홈(23a)을 가압하여 밀착하게 된다. 그러면, 상부케이스(10)의 상부결합홈(11)과 하부케이스(20)의 하부결합홈(21)이 긴밀하게 밀착 고정되어 외부의 이물질이 포토마스크(50)가 보관된 내부공간으로 침입하지 못하도록 고정된다. 또한 결합된 틈을 통해 미세한 이물질이 침입하는 것을 방지하기 위해 결합된 테두리를 따라서 테이프를 한번더 부착할 수 있다.
본 실시예의 잠금레버(40)는, 하부케이스(20)의 하부레버가이드부(23)에서 슬라이드 작동되기 위해 이탈되지 않도록 설치되며, 상부케이스(10)는 밀폐시에만 잠금레버(40)의 상부걸림턱(42)과 하부걸림턱(43)이 밀착된 상태로 고정된다.
사용시에는 테이프를 제거하고 잠금레버(40)을 보관케이스(100)의 양측방향으로 밀게되면 고정판(13a)이 형성된 상부레버가이드부(13)와 하부케이스(20)가 벌어져 열리게 된다.
도 7은 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스를 복수의 층으로 적층된 상태를 도시한 단면도이다.
포토마스크(50)가 수납된 보관케이스(100)는, 복수의 층으로 적층하여 손쉽게 보관하거나 운송이 용이하도록 상부케이스(10)의 외주면 상부에 형성된 사각형상의 돌출부(12)가 이에 대응되는 보관케이스(100)의 하부케이스(20)의 외주면 하부에 형성된 사각형상의 안착부(22)에 삽입되어 고정된다. 적층된 포토마스크(50)는, 상부케이스(10)의 지지돌기(15)와 하부케이스(20)의 지지돌기(25)의 각각의 경사면(15a, 25a) 사이에 배치되어 포토마스크(50)의 수직방향으로 흔들리는 것을 방지하고, 포토마스크(50)의 각각의 모서리부의 양측면을 지지하여 한쌍의 가이드돌기(14, 24)는 포토마스크(50)가 배치된 수평방향으로 흔들리는 것을 방지하게 됨으로서, 포토마스크(50)가 사방으로 흔들리지 않도록 고정시켜 준다.
따라서, 각각의 케이스에 보관된 포토마스크는 지면에 배치된 보관케이스의 돌출부(12)는 상부에 적층된 보관케이스의 안착부(22)에 미끄러지지 않도록 삽입되고 여러층으로 적층할 수 있으며 외부에서 충격을 가하여도 적층된 상태로 유지될 수 있기 때문에 보관할 때나 운송 작업을 할 때 편리하다.
본 고안에 의하면, 상부와 하부케이스의 일단에 연결부재가 설치되어 개폐시 각각의 케이스가 분실될 위험이 없으며, 별도의 클립없이 안전하게 포토마스크를 보관할 수 있도록 케이스에 잠금장치가 더 설치되어 작업이 용이하고 제작비용이 절감되는 효과가 있다. 또한 포토마스크의 모서리부의 꼭지점을 지지하기 때문에 포토마스크가 긁히거나 손상되는 것을 방지할 수 있고, 따라서 포토마스크를 장시간 동안 사용할 수 있는 잇점이 있다. 또한 케이스의 외측면에 미끄럼 방지부재가 형성됨으로서, 적층이 용이하고 운반작업이 편리하여 운송 및 보관비가 절감되는 포토마스크 보관케이스를 제공하게 된다.
앞에서 설명되고 도면에 도시된 본 고안의 일 실시예는, 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1은 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 일 실시예의 사시도
도 2는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 상부케이스를 개폐한 상태의 사시도
도 3은 도2의 A-A선 단면도
도 4는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 전면부 잠금레버의 분해사시도
도 5의 (a) 내지 (c)는 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스의 상부 및 하부케이스의 잠금상태를 도시한 정면도
도 6은 도5(c)의 B-B선 단면도
도 7은 본 고안에 따른 포토마스크 보관케이스를 복수의 층으로 적층된 상태를 도시한 단면도
도 8은 종래의 반도체 포토마스크 보관케이스의 사시도
<도면 부호의 간단한 설명>
100 보관케이스 10 상부케이스
11 상부결합부 12 돌출부
13 상부레버가이드부 14 가이드돌기
15 지지돌기 16 손잡이부
20 하부케이스 21 하부결합부
22 안착부 23 하부레버가이드부
24 가이드돌기 25 지지돌기
26 손잡이부 30 연결부재
40 잠금레버 50 포토마스크

Claims (4)

  1. 사각형태를 취하며 내부에 포토마스크를 수납하여 수평으로 지지할 수 있도록 바닥면에는 상호 이격되어 위치하는 복수의 하부지지수단이 형성된 하부케이스와, 상기 하부케이스에 씌워져 결합하여 밀폐된 내부공간을 제공하며 바닥면에는 상기 복수의 하부지지수단과 대응하는 위치에 상부지지수단이 각각 형성되어 하부지지수단과의 사이에 포토마스크를 개재시켜 지지하는 상부케이스를 포함하는 포토마스크 보관케이스에 있어서,
    상기 상부지지수단 및 하부지지수단은 각각, 포토마스크가 수직방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 포토마스크의 각각의 모서리부의 꼭지점과 접촉하여 지지하기 위하여 중앙부를 향하여 경사진 경사면이 형성된 탄성을 갖는 지지돌기와, 포토마스크가 배치된 수평방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해서 상기 지지돌기의 양측면에 설치되어 포토마스크의 각각의 모서리부의 양측면을 받쳐주기 위한 한쌍의 가이드돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관케이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부케이스의 일측과 하부케이스의 각각의 일측에 연결되어 상기 케이스가 회동되어 열리고 닫히도록 중심이 접철되는 연결부재와,
    상기 상부케이스와 하부케이스의 타측에 슬라이딩 가능하게 설치되어 상부케이스와 하부케이스를 구속하기 위한 잠금레버를 더 포함하고,
    상기 하부케이스는, 일측에 중심이 접철되는 연결부재의 일단이 고정되기 위해 형성된 하부홈과, 타측에 잠금레버가 슬라이드되도록 적어도 하나 이상의 하부레버가이부가 형성되어 있으며,
    상기 상부케이스는, 상기 하부케이스의 하부홈과 대응되며 연결부재의 타단이 고정되기 위해 형성된 상부홈과, 상기 하부레버가이드부와 대응되며 잠금레버가 슬라이드되도록 상부레버가이드부가 형성된 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관케이스.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 잠금레버는, 상기 하부레버가이드부에서 슬라이딩되기 위해 길이방향으로 일측면이 개구된 홈과, 상기 홈의 개구된 양측면에 각각 돌출되고 하부레버가이드부와 상부레버가이드를 가압하도록 형성된 걸림턱을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관케이스.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 상부케이스의 외측 상부면에는 소정돌출된 돌출부가 형성되고, 상기 하부케이스의 외측 하부면에는 대응되는 상기 상부케이스의 돌출부가 삽입 될 수 있는 안착부가 형성된 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관케이스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200447125Y1 (ko) 2008-04-22 2009-12-28 안병홍 포토마스크 보관 케이스
KR200473341Y1 (ko) 2012-08-09 2014-07-04 주식회사 에프에스티 펠리클 수납용기용 보관 케이스
KR101885548B1 (ko) * 2017-07-04 2018-08-06 아레텍 주식회사 마스크박스 클램핑장치
KR102655758B1 (ko) * 2023-07-14 2024-04-12 이동욱 프로브 카드 캐리어

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