JPH11163117A - 半導体ウェハ包装容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】内外気圧が変化した場合の容器本体の変形及び
蓋体の浮き上がりを阻止し、気密性に優れ、更に、蓋体
を閉塞する際にボトムケース体への位置決めが容易且つ
確実になされる半導体ウェハ包装容器を提供する。 【解決手段】半導体ウェハ包装容器におけるボトムケー
ス体(12)の開放端縁部はＵ字状に折り返された補強屈曲
部(27)を有し、蓋体(13)の開放端縁部は段部(36a) を介
した拡大フランジ部(36)から構成され、上記ケース体(1
2)の開放端縁部に外側から密嵌する。前記蓋体(13)の左
右側壁部(31,32) には係着片(37)が、前後壁部(33,34)
には矩形状突片(38)が、前記フランジ部(36)の下端縁か
ら更に下方へ延設されている。そのため、蓋体(13)をケ
ース体(12)に閉塞する際に前後左右の位置決めが確実に
なされる。また、内外気圧が変化しても、前記蓋体(13)
は前記係着片(37)により強固に固着されると共に前記突
片(38)により前後上下の移動や変形が防止され、前記ケ
ース体(12)から浮き上がることがなく、優れた気密性が
得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハを破
損、汚染することなく保管し、安全に輸送するための半
導体ウェハ包装容器に関し、詳しくは、特に容器本体の
気密性を高めると共に、同容器本体の強度も向上された
半導体ウェハの包装容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体ウェハ包装容器は、例えば
実開平７−２９８４１号公報に開示されている。図６に
示す上記公報の半導体ウェハ包装容器１は、ボトムケー
ス体２及び蓋体３からなる矩形箱状の容器本体と、同容
器本体内部に収容され、複数の半導体ウェハを起立状態
で並列支持するウェハカセットと、ウェハ押圧部材と、
ガスケットとから構成されている。

【０００３】上記ボトムケース体２の開放端縁部はその
全周にわたって、段部２ａを介して全周にわたり略同一
の折返し長さをもって略Ｕ字状に略３６０°外側に折り
返された補強屈曲部２ｂを有しており、同開放端縁部が
補強されると共に、同端部の変形が防止される。また、
前記蓋体３の開放端縁部は前記ボトムケース体２の開放
端縁部に密嵌するよう、段部３ａを介した拡大フランジ
部３ｂから構成されている。

【０００４】前記ボトムケース体２と前記蓋体３とは、
それぞれ対向する左右開放端縁部の中央に係脱手段が設
けられると共に、前記開放端縁部の端縁に前記ガスケッ
トが介装され、互いに密閉シールされる。前記蓋体３に
形成された係脱手段は、左右の前記拡大フランジ部３ｂ
の中央端縁からそれぞれ同フランジ部３ｂと同一面上に
下方へ延設された矩形状の係着片３ｃからなり、同係着
片３ｃにはそれぞれに係着孔３ｄが形成されている。ま
た、前記係着片３ｃは前記ボトムケース体２の補強屈曲
部２ｂの上下寸法よりも僅かに短い上下寸法に設定され
ている。蓋体３を嵌合させたときの前記係着片３ｃに対
応する前記補強屈曲部２ｂには、前記係着片３ｃの肉厚
に相当する深さの凹み部２ｃを形成するように屈曲して
成形されている。そして、この凹み部２ｃの前記係着孔
３ｄに対応する部位には、同係着孔３ｄに嵌合係止する
ほぼ同一形状を有する係止爪片２ｄを僅かに突出させて
いる。この凹み部２ｃ及び係止爪片２ｄが上記ボトムケ
ース体２の係脱手段を構成する。

【０００５】更に、同公報の半導体ウェハ包装容器１
は、蓋体３の前記拡大フランジ部３ｂから下方に延設さ
れた前記係着片３ｃの基端部の左右に、前記フランジ部
３ｂの途中まで上方に切り込まれたスリット３ｅが形成
され、前記係着片３ｃの剛性を小さくして外側へ開きや
すくし、前記蓋体３の開閉操作をしやすくしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のような構成をも
つ半導体ウェハ包装容器１は、前記ボトムケース体２に
半導体ウェハを起立して並列支持されている前記ウェハ
カセットを収容し、同ケース体２に蓋体３を上方から被
せて、同蓋体３をボトムケース体２に向けて強く押し付
け、前記ボトムケース体２と蓋体３との係脱手段を互い
に係着させて、嵌合固定される。蓋体３を上方から被せ
るとき、前記蓋体３の左右の開放端縁部からは前記係着
片３ｄが下方へと延設されているため、同蓋体３の前記
ケース体２に対する左右の位置決めは確実になされる。
しかし、このとき前後方向には何ら位置決めとなる部材
が存在しないため、前記蓋体３は前後方向にズレや傾き
が生じやすく、同蓋体３が内部の半導体ウェハに接触し
て同ウェハを汚染或いは損傷させる虞れがある。

【０００７】また、前記ウェハ包装容器１は、保管中に
内外気圧の変化に伴って容器内の気圧が外部に対して異
常に上昇することがある。このとき、前記ウェハ包装容
器１における容器本体には内側から外側へ向かい内圧が
作用し、蓋体３がボトムケース体２から浮き上がろうと
するが、前記蓋体３の左右の開放端縁部は拡大フランジ
部３ｂの端縁から垂設された係着片３ｄがボトムケース
体２に強固に係着されているため、左右の開放端縁部が
浮き上がることはない。しかしながら、上述したように
蓋体３の前後の開放端縁部は単に拡大フランジ部３ｂに
よりボトムケース体２の開放端縁部に嵌合されているに
すぎないため、強度が十分ではなく、外力により変形し
やすい。そのため、前後の開放端縁部が変形して浮き上
がり、その浮き上がり部分から外気が侵入して容器内の
空気が汚染される虞れがある。

【０００８】更には、一般に、ボトムケース体の内部に
収容されたウェハカセットは、前後方向で非対称な形態
をもっており、同ウェハカセットの形状に対応して蓋体
の内面形状も前後方向に非対称としなければならない場
合が生じる。このとき、蓋体の外郭形状がその内面形状
を外観的に判別しがたい形状である場合には、同蓋体を
閉塞する際に作業者は同蓋体の内面を目視してその前後
を確認しなくてはならない。また、誤って前記蓋体を前
後で逆方向に閉塞した場合には、内部の半導体ウェハを
破損させることもある。

【０００９】本発明はかかる不都合を回避すべくなされ
たものであり、ボトムケース体を蓋体で閉塞する作業に
おいて、前記蓋体のボトムケース体に対する前後及び左
右の位置決めが容易且つ確実になされ、内部の半導体ウ
ェハを汚染或いは損傷させることがなく、更には内外気
圧が変化した場合の容器本体の変形及び蓋体の浮き上が
りを阻止し、気密性に優れた容器本体を備えた半導体ウ
ェハ包装容器を提供することを目的とする。

【００１０】更に、内部のウェハカセットが前後に非対
称であり、それに伴って前記蓋体の内面形状が前後で非
対称な場合に、同蓋体の前後を外観から容易に判断で
き、同蓋体を閉塞する際にその内面形状を確認する必要
はなく、また誤って蓋体を前後逆に閉塞しようとして
も、下方への押し下げが規制され、内部の半導体ウェハ
の破損を防止できる半導体ウェハ包装容器を提供するこ
とをも目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段及び作用効果】上記目的
は、本発明の主要な構成である、ボトムケース体及び蓋
体からなる矩形箱状の容器本体と、同容器本体内部に収
容され、複数の半導体ウェハを起立状態で並列支持する
ウェハカセットとを備えた半導体ウェハ包装容器にあっ
て、前記ボトムケース体の開放端縁部は外側に略Ｕ字状
に折り返された補強屈曲部を有すると共に、前記蓋体の
開放端縁部は段部を介した拡大フランジ部から構成さ
れ、上記ボトムケース体の開放端縁部に外側から密嵌さ
れ、前記ボトムケース体及び前記蓋体の各開放端縁部の
周縁一部にボトムケース体及び前記蓋体が係脱する係脱
手段を有すると共に、前記蓋体の開放端縁部の周縁他部
から更に下方に延設されてなり、前記補強屈曲部の外面
に密接する垂設部材を有してなることを特徴とする半導
体ウェハ包装容器により達成される。なお、本発明の半
導体ウェハ包装容器は、小径の半導体ウェハ及び大径
（１２インチ以上）の半導体ウェハのいずれにも適用す
ることができる。 前記半導体ウェハ包装容器は、ボト
ムケース体と蓋体とを閉塞したときに、両者の開放端縁
部は周縁一部において係脱手段により互いに強固に密閉
固定される。更に、開放端縁部の周縁他部では、蓋体の
開放端縁部から更に下方に延設された垂設部材が、ボト
ムケース体の補強屈曲部に密接している。そのため、前
記半導体ウェハ包装容器の内外気圧が変化して、前記蓋
体がボトムケース体から浮き上がろうとしても、前記周
縁一部では前記係脱手段により強固に係着されているた
め、同一部での浮き上がりが防止される。更に、前記周
縁他部においても、前記蓋体は前記垂設部材により水平
及び上下方向への移動及び変形が規制されるため、同他
部における浮き上がりも確実に防止され、容器本体の気
密性が著しく向上される。

【００１２】前記蓋体に形成された前記係脱手段は、前
記拡大フランジ部の端縁から同一平面上を更に下方に延
設された係着片からなり、同係着片と前記垂設部材とは
同一の上下寸法を有することが好ましい。この場合に
は、前記蓋体をボトムケース体に閉塞する際に、前記周
縁一部では前記係着片が、前記周縁他部においては前記
垂設部材が、それぞれボトムケース体の開放端縁部の外
面に当接して、前記ボトムケース体に対する前記蓋体の
位置決め手段として機能する。そのため、前記蓋体の閉
塞時に、同蓋体が傾斜したり、前記ボトムケース体に対
してズレることがなく円滑に閉塞作業を行うことがで
き、また、前記蓋体が内部の半導体ウェハに接触して汚
染や損傷を招くといった虞れもない。更に、前記蓋体を
開閉作業の際にテーブル上に載置する場合に、前記係着
片と垂設部材との上下寸法が同一であるため、前記蓋体
がガタつくことなく安定して載置される。

【００１３】また、前記垂設部材は前記蓋体の一辺にお
ける最も変形しやすい中央部を含む部位に形成されるこ
とが望ましく、その幅寸法も前記一辺長さの約１／３以
上、好ましくは約１／２以上であることが好ましい。前
記垂設部材の幅寸法は長いほど同部材による蓋体の上下
左右への移動及び変形の防止効果が向上する。そのた
め、前記垂設部材は前記蓋体の一辺の両端隅部を越えて
連続的に延設された壁体からなることが望ましい。前記
垂設部材が前記両端隅部を越えて、即ち同隅部で９０°
屈曲されると、同垂設部材の強度が著しく向上し、同部
材による蓋体の開放端縁部における変形防止効果も著し
く向上する。

【００１４】更に、前記係着片の左右端縁と相対する各
垂設部材の端縁との間に形成されるそれぞれの間隔が異
なることが好ましい。この場合には、前記蓋体の内部構
造が前後左右で非対称である場合に、その蓋体の方向を
外観から容易に確認でき、閉塞作業の際に蓋体を裏返し
て前後左右を確認する必要がなく、閉塞作業の効率が向
上する。

【００１５】また、前記ボトムケース体の前記補強屈曲
部には、前記垂設部材を嵌合収容する収容凹部を有する
ことが望ましい。前記収容凹部を設けることで、ボトム
ケース体に蓋体を閉塞した際に、前記垂設部材が前記収
容凹部に嵌合収容され、前記ボトムケース体の外側面と
前記垂設部材とが面一となり、前記垂設部材が周辺の物
品に引っ掛かるといった不都合を生じることもない。更
には、ボトムケース体に蓋体を閉塞する際に、前記垂設
部材が前記収容凹部に沿って案内されるため、位置決め
機能が更に向上する。また、上述のように蓋体が前後左
右で方向性をもつ場合に、蓋体の方向を誤って閉塞しよ
うとしても、前記垂設部材が前記収容凹部へ案内されず
前記ボトムケース体の開放端縁部に引っ掛かり、それ以
上の閉塞が阻止される。そのため、前記蓋体が内部の半
導体ウェハに接触して汚染や破損を引き起こすこともな
いばかりでなく、後のウェハ処理工程における誤動作も
回避される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図示実施例により具体的に説明する。図１は本発明
の第１実施例を示す半導体ウェハ包装容器の組付け前の
分解斜視図、図２は同半導体ウェハ包装容器の組付け時
の全体斜視図である。本発明のウェハ包装容器１０はウ
ェハカセットに整然と収容支持される多数の半導体ウェ
ハを保管、移動、輸送させる際に使用される。

【００１７】前記ウェハ包装容器１０は、ボトムケース
体１２及び蓋体１３からなる容器本体と、ウェハカセッ
ト１４と、ウェハ押圧部材１５と、ガスケット１６とを
備えている。前記ボトムケース体１２は内部にウェハカ
セット１４を遊嵌状態で収納できるような内面形状を有
している。前記蓋体１３を前記ボトムケース体１２の矩
形状の開放端縁部に外側から嵌合し、前記蓋体１３及び
ボトムケース体１２をそれぞれに形成された係脱手段に
よって係着固定する。

【００１８】上記ウェハカセット１４は従来の構成と実
質的に同じであり、その構造について図１を参照しなが
ら簡単に説明すると、左右側板４１，４２、前板４３及
び背板４４からなる、上下が開放したケース体からな
り、前記左右側板４１，４２は上半部が鉛直面部を構成
し、下半部は下端に向けて左右側板４１，４２が漸次接
近するように下方に湾曲した円弧面部を構成している。

【００１９】そして、前記左右側板４１，４２の対向面
に沿って下方に垂直に延びる多数のウェハ支持溝４１
ａ，４２ａが多数並列して形成されており、各ウェハ支
持溝４１ａ，４２ａに半導体ウェハが挿入されて、互い
に接触することなく起立状に保持される。また、前記カ
セット形態だけでは多数の半導体ウェハを保持して単独
に載置する場合に不安定であるため、前記左右側板４
１，４２の下端部から同側板４１，４２に直交させてリ
ブ４１ｂ，４２ｂを外方に突設させている。

【００２０】かかる構成を備えたウェハカセット１４
は、上述のようにボトムケース体１２にガタツキがない
ように収容される。そのため、ボトムケース体１２の内
面形状は前記ウェハカセット１４の外形に適合させて形
成されている。前記ボトムケース体１２は左右側壁部２
１，２２、前後壁部２３，２４及び底部２５からなる、
外形全体としては略矩形の箱体形態をなしており、上部
が開放している。前記底部２５は、その四隅に方形凹部
２５ａが形成されている。

【００２１】なお、ボトムケース体１２の開放端縁部は
その全周にわたって、段部２６を介して略同一の折返し
長さをもって略３６０°外側に折り返された補強屈曲部
２７を有し、同補強屈曲部２７と本体部分とが略逆Ｕ字
状の形態となるよう成形されている。また、本実施例で
は前記開放端縁部の全周にわたり、その本体部分と補強
屈曲部２７との間を所要の間隔をおいて複数の補強リブ
により連結している。かかる開放端縁部の形態を採るこ
とにより、同端部の耐衝撃強度が増加するばかりでな
く、成形時のひけ等による歪みが発生して同端部が波打
ち状に変形することも防止される。更に、前記開放端縁
部の上端縁には全周にわたってガスケット嵌着溝２８が
形成されており、同嵌着溝２８には同溝２８の深さより
も長い上下寸法をもつガスケット１６が嵌合されてい
る。

【００２２】一方、前記蓋体１３は下方に開放端縁部を
有する矩形箱状をなす。前記開放端縁部は段部３６ａを
介した拡大フランジ部３６から構成され、上記ボトムケ
ース体１２の開放端縁部に外側から密嵌する。このと
き、図２に示すように、前記拡大フランジ部３６は、そ
の下端縁が前記ボトムケース体１２の段部２６に当接
し、蓋体１３の開放端縁部３６の外側面とボトムケース
体１２の補強屈曲部２７の外側面とが面一となる。ま
た、前記蓋体１３の前記段部３６ａは前記ボトムケース
体１２の前記ガスケット嵌着溝２８の上部に位置し、同
嵌着溝２８に嵌合しているガスケット１６に押圧密着し
て、ボトムケース体１２と蓋体１３とがシールされる。

【００２３】更に、前記蓋体１３は対向する左右側壁３
１，３２における前記フランジ部３６の端縁中央からは
それぞれ、本願の係脱手段である矩形状の係着片３７，
３７が、各フランジ部３６と同一平面上を更に下方に延
設されている。各係着片３７にはそれぞれに矩形状の係
着孔３７ａが形成されている。また、蓋体１３を嵌合さ
せたときの前記係着片３７に対応する前記補強屈曲部２
７には凹み部２７ａが形成されており、前記係着片３７
の上下寸法は、蓋体１３の開閉操作時に同係着片３７の
下端縁と前記凹み部２７ａとの間に指を挿入できるよ
う、前記補強屈曲部２７よりも短い寸法に設定されてい
る。更に前記凹み部２７ａの前記係着孔３７ａに対応す
る部位には、同係着孔３７ａに嵌合係止するほぼ同一形
状を有する一対の係止爪片２７ｂが突設されている。同
係止爪片２７ｂの基部はボトムケース体１２の本体部分
と一体に成形され、同係止爪片２７ｂの最大突出部分が
前記係着孔３７ａの肉厚に略等しい。なお、前記凹み部
２７ａ及び係止爪片２７ｂが本願発明のボトムケース体
１２における係脱手段を構成する。

【００２４】更に、前記蓋体１３の前後フランジ部３６
の中央からはそれぞれ、本発明の特徴をなす垂設部材と
して、一対の矩形状突片３８，３８が、各フランジ部３
６の端縁外側面から更に下方へ付設されている。同突片
３８の上下寸法は前記係着片３７と同一寸法に設定され
ており、更に左右方向の幅寸法は前後フランジ部３６の
１／３以上、好ましくは１／２以上に設定されている。
同突片３８は、前記ボトムケース体１２に前記蓋体１３
を密嵌させたときに、図２に示すように、前記ボトムケ
ース体１２の前記補強屈曲部２７の外側面に密接する。
また、前記突片３８を前記係着片３７と同一寸法で垂設
することにより、前記蓋体１３は単独で作業テーブル上
にガタつくことなく安定して載置することができる。

【００２５】更に前記蓋体１３の天板部３５の四隅部に
は方形をなすブロック状の方形突出部３５ａが突設さ
れ、本発明の包装容器１０を積み重ねる際に、上記ボト
ムケース体１２の前記方形凹部２５ａに嵌合する。その
ため、上下に積み重ねられた容器１０同士の全ての方向
におけるズレを防止でき、安定した積み重ね状態を維持
することができる。

【００２６】一方、蓋体１３の上記天板部３５の内面に
は、ウェハカセット１４に保持されて容器内部に収納さ
れた各ウェハの上縁を弾性的に押圧保持するウェハ押圧
部材１５を嵌着固定する嵌着手段を有している。前記ウ
ェハ押圧部材１５は、例えば図１に示すように、矩形枠
体５１と、同矩形枠体５１の長辺を構成する一対の枠材
５１ａ，５１ａのそれぞれに、櫛歯状弾性片５２が各枠
材５１ａ，５１ａに左右対称に配されている。

【００２７】上述のような構成をもつ半導体ウェハ包装
容器１０は、前記ボトムケース体１２に半導体ウェハを
起立して並列支持されている前記ウェハカセット１４を
収容し、同ケース体１２に蓋体１３を上方から被せる。
このとき、前記蓋体１３の開放端縁部はその端縁４辺か
ら更に下方へと、前記係着片３７及び突片３８が延設さ
れているため、前記ケース体１２に対する前後、左右の
位置決めが確実になされる。更には、前記蓋体１３を下
方へ押し下げる際にも前記係着片３７及び突片３８によ
り案内されるため、同蓋体１３がズレたり傾いたりする
ことがなく、同蓋体１３が内部の半導体ウェハに接触し
て汚染や損傷を招くことがない。

【００２８】上述のように前記蓋体１３を前記ボトムケ
ース体１２の上方に被せた後、蓋体１３の拡大フランジ
部３６の左右中央に垂設された係着片３７を指で外側に
開き弾性変形させながら、同蓋体１３を上面からボトム
ケース体１２に向けて押し付ける。それにより、前記係
着片３７はボトムケース体１２の係止爪片２７ｂに乗り
上って、更に押されると前記係着片３７の係着孔３７ａ
が前記係止爪片２７ｂと嵌着して原形に復帰し、ボトム
ケース体１２と蓋体１３との嵌合固定を更に強力なもの
とする。また、前後フランジ部３６の中央下端縁から更
に下方へ延設された前記突片３８は、ボトムケース体１
２の補強屈曲部２７の外側面に密接する。更に、ボトム
ケース体１２の前記ガスケット嵌着溝２８に嵌合してい
るガスケット１６は、前記蓋体１３の段部３６ａにより
上方から押圧され、同ガスケット１６によりボトムケー
ス体１２と蓋体１３とが密閉シールされる。

【００２９】この状態で、ウェハ包装容器１０は、保管
中に内外気圧の変化に伴って容器内の気圧が外部に対し
て異常に上昇することがある。このとき、前記ウェハ包
装容器１０における容器本体には内側から外側へ向かい
内圧が作用し、蓋体１３がボトムケース体１２から浮き
上がろうとするが、前記蓋体１３の左右側壁部３１，３
２の側の開放端縁部からは係着片３７が下方へと延設さ
れ、ボトムケース体１２に強固に係着されているため、
左右側壁部３１，３２の側の開放端縁部が浮き上がるこ
とはない。更に、本実施例にあっては、前後壁部３３，
３４の側の開放端縁部にも、端縁から更に下方へと突片
３８が延設されているため、同突片３８が蓋体１３の前
後及び上下方向への移動及び変形を規制する。そのた
め、上述のような内圧が作用しても前後壁部３３，３４
の側の開放端縁部が極めて浮き上がりにくくなり、前記
ウェハ包装容器１０の密閉性が確保され、外気の侵入に
よる容器内の空気汚染の虞れはない。

【００３０】かかる前記突片３８の機能に鑑みると、同
突片３８は上述のように前後方向の前記拡大フランジ部
３６の中央端縁から更に下方へと延設されていると、内
外気圧に対する浮き上がり防止の効果が四辺に均等に得
られるため好ましい。しかしながら、最も変形しやすい
前記拡大フランジ部３６の中央を含んでいれば、前記突
片３８を左右側壁部３１，３２の何れかの側に偏位させ
て垂設することも可能である。或いは、前後壁部３３，
３４の側で、延設幅寸法を異ならせることもでき、この
ように前記突片３８を左右の何れかに偏位させる、或い
は前後で幅寸法を異ならせることにより、外形が左右で
非対称となり、外観から同蓋体１３の前後を判断するこ
とが可能となる。

【００３１】図３は本発明の第２実施例によるウェハ包
装容器２０の容器本体の分解斜視図である。なお、本第
２実施例においてウェハカセット、ウェハ押圧部材及び
ガスケットは上述した第１実施例と同一であるため、図
示及び詳細な説明は省略する。更に、ボトムケース体１
２′及び蓋体１３′についても同一の構成については同
一の符号を付し、その説明は省略する。

【００３２】本実施例によるウェハ包装容器２０は、蓋
体１３′の対向する前後壁部３３，３４における前記フ
ランジ部３６の中央端縁から、それぞれ矩形状の突片３
８′，３８′が、各フランジ部３６と同一平面上に更に
下方へと延設されている点で、上述した第１実施例と異
なっている。更に、ボトムケース体１２′の補強屈曲部
２７の前記突片３８′に対応する部分には、同突片３
８′の肉厚に相当する深さの突片収容凹部２７ｃが形成
されている。

【００３３】そのため、前記蓋体１３′を前記ボトムケ
ース体１２′に被せる際に、前記突片３８′は前記ボト
ムケース体１２′の前記補強屈曲部２７に形成された前
記突片収容凹部２７ｃを摺動して案内され、更に位置決
め精度が高まる。また、前記蓋体１３′をボトムケース
体１２′に密嵌させたときに、前記突片３８′は前記突
片収容凹部２７ｃに嵌合収容され、前記突片３８′が前
記補強屈曲部２７と同一面内に配され、同突片３８′が
周辺の物品に引っ掛かることがない。

【００３４】また、前記突片３８′を最も変形しやすい
前記拡大フランジ部３６の中央を含んで左右側壁部３
２，３３の何れかに偏位させて、前記フランジ部３６の
端縁から更に下方へ延設することもできる。この場合に
は、前記蓋体１３′の外形が左右で非対称となり、外観
から同蓋体１３′の前後を判断することが可能となる。
更に、誤って前後逆に前記蓋体１３′を閉塞しようとし
ても、前記突片３８′が前記ボトムケース体１２′の段
部２６に引っ掛かって下方へ押し下げることができず、
前記蓋体１３′により内部の半導体ウェハを損傷するこ
ともない。

【００３５】図４は本発明の第３実施例によるウェハ包
装容器３０の容器本体の分解斜視図、図５は同容器３０
の組付け前の側面図である。なお、本第３実施例におい
てもウェハカセット、ウェハ押圧部材及びガスケットは
上述した第１実施例と同一であるため、図示及び詳細な
説明は省略する。更に、ボトムケース体１２″及び蓋体
１３″についても同一の構成については同一の符号を付
し、その説明は省略する。

【００３６】本実施例によるウェハ包装容器３０は垂設
部材として、前記蓋体１３″の前後壁部３３，３４の側
にある拡大フランジ部３６の両端隅部を越えて連続的に
延設された壁体３８″，３８″を採用している。前記壁
体３８″も前記フランジ部３６の端縁から、同フランジ
部３６と同一平面上を更に下方へと延設されている。更
に、前記突片３８″に対応するボトムケース体１２″の
補強屈曲部２７には、同突片３８″の肉厚に相当する深
さの突片収容凹部２７ｃ″が形成されている。

【００３７】このように前記壁体３８″が前記蓋体１
３″の四隅部を周り込んで延設されているため、前記蓋
体１３″を閉塞したときに、ガタつきを完全になくすこ
とができ、また、同蓋体１３″の開放端縁部における変
形防止効果も更に高くなる。そのため、内外気圧の変化
に対しても優れた気密性が維持され、外気の侵入を完全
に阻止することができる。

【００３８】なお、前記前壁部側の壁体３８″の端縁と
対向する前記係着片３７の端縁との間に形成される間隔
Ｄ₁ と、前記後壁部側突片３８″の端縁と前記係着片３
７の端縁との間に形成される間隔Ｄ₂ とは、目視で容易
に確認できる程度に異ならせて、前記壁体３８″が延設
されている。そのため、前記蓋体１３″はその前後が外
観から容易に判断できる。

【００３９】また、前記ボトムケース体１２″に被せる
際に、前記壁体３８″は前記ボトムケース体１２″の前
記補強屈曲部２７に形成された前記壁体収容凹部２７
ｃ″を摺動して案内され、優れた位置決め精度が得ら
れ、前記蓋体１３″にズレや傾きが生じることがない。
また、前記壁体３８″が前記壁体収容凹部２７ｃ″に嵌
合収容された状態で、前記蓋体１３″がボトムケース体
１２″に密嵌されるため、前記容器本体の外側壁面が面
一となる。

【００４０】また、誤って前後逆に前記蓋体１３″を閉
塞しようとしても、前記壁体３８″が前記壁体収容凹部
２７ｃ″に嵌合できず、前記間隔Ｄ₁ 及び間隔Ｄ₂ の部
分の前記段部２６に引っ掛かって下方への押し下げが阻
止され、前記蓋体１３″による半導体ウェハの損傷又は
汚染を完全に防止できる。

【００４１】以上の説明からも理解できるように、本発
明の半導体ウェハ包装容器によれば、ボトムケース体及
び蓋体は開放端縁部の一方の対向する壁部が係脱手段に
より係着固定されると共に、係着されていない他方の壁
部における開放端縁部は、蓋体の拡大フランジ部の端縁
から更に下方へと延設された垂設部材により、同蓋体が
補強されて変形しにくくなっている。そのため、内外気
圧の変化により蓋体を押し上げる外力が作用しても、係
脱手段により係着固定されていない側でも浮き上がりが
防止され、優れた気密性を得ることができる。また、前
記垂設部材により、前記蓋体を閉塞する際の位置決め精
度が高まり、蓋体のズレや傾きが阻止される。更に、ボ
トムケース体に前記垂設部材の収容凹部を形成すること
によりその位置決め機能が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による半導体ウェハ包装容
器の組付け前の分解斜視図である。

【図２】上記半導体ウェハ包装容器の組付け時の全体斜
視図である。

【図３】本発明の第２実施例によるウェハ包装容器の容
器本体の分解斜視図である。

【図４】本発明の第３実施例によるウェハ包装容器の容
器本体の分解斜視図である。

【図５】同容器本体の組付け前の側面図である。

【図６】従来の半導体ウェハ包装容器における容器本体
の組付け前の側面図である。

【符号の説明】 １ 半導体ウェハ包装容器 ２ ボトムケース体 ２ａ 段部 ２ｂ 補強屈曲部 ２ｃ 凹み部 ２ｄ 係止爪片 ３ 蓋体 ３ａ 段部 ３ｂ 拡大フランジ部 ３ｃ 係着片 ３ｄ 係着孔 ３ｅ スリット １０，２０，３０ 半導体ウェハ包装容器 １２，１２′，１２″ ボトムケース体 １３，１３′，１３″ 蓋体 １４ ウェハカセット １５ ウェハ押圧部材 １６ ガスケット ４１，４２ 左右側板 ４３ 前板 ４４ 背板 ４１ａ，４２ａ ウェハ支持溝 ４１ｂ，４２ｂ リブ ２１，２２ 左右側壁部 ２３，２４ 前後壁部 ２５ 底部 ２５ａ 方形凹部 ２６ 段部 ２７ 補強屈曲部 ２７ａ 凹み部 ２７ｂ 係止爪片 ２７ｃ，２７ｃ″ 突片（壁体）収容凹部 ２８ ガスケット嵌着溝 ３１，３２ 左右側壁部 ３３，３４ 前後壁部 ３５ 天板部 ３５ａ 方形突出部 ３６ 拡大フランジ部 ３６ａ 段部 ３７ 係着片 ３７ａ 係着孔 ３８，３８′ 突片 ３８″ 壁体 ５１ 矩形枠 ５１ａ 枠材 ５２ 櫛歯状弾性片

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボトムケース体及び蓋体からなる矩形箱
   状の容器本体と、同容器本体内部に収容され、複数の半
   導体ウェハを起立状態で並列支持するウェハカセットと
   を備えた半導体ウェハ包装容器にあって、 前記ボトムケース体の開放端縁部は外側に略Ｕ字状に折
   り返された補強屈曲部を有すると共に、前記蓋体の開放
   端縁部は段部を介した拡大フランジ部から構成され、上
   記ボトムケース体の開放端縁部に外側から密嵌され、 前記ボトムケース体及び前記蓋体の各開放端縁部の周縁
   一部にボトムケース体及び前記蓋体が係脱する係脱手段
   を有すると共に、前記蓋体の開放端縁部の周縁他部から
   更に下方に延設されてなり、前記補強屈曲部の外面に密
   接する垂設部材を有してなることを特徴とする半導体ウ
   ェハ包装容器。
2. 【請求項２】 前記蓋体に形成された前記係脱手段は、
   前記拡大フランジ部の端縁から同一平面上を更に下方に
   延設された係着片からなり、同係着片と前記垂設部材と
   は同一の上下寸法を有してなる請求項１記載の半導体ウ
   ェハ包装容器。
3. 【請求項３】 前記垂設部材は前記蓋体の一辺の両端隅
   部を越えて連続的に延設された壁体からなる請求項１又
   は２記載の半導体ウェハ包装容器。
4. 【請求項４】 前記係着片の左右端縁と相対する各垂設
   部材の端縁との間に形成されるそれぞれの間隔が異なっ
   てなる請求項３記載の半導体ウェハ包装容器。
5. 【請求項５】 前記ボトムケース体の前記補強屈曲部に
   は、前記垂設部材を嵌合収容する収容凹部を有してなる
   請求項１〜４のいずれかに記載の半導体ウェハ包装容
   器。