KR102257574B1 - 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법 - Google Patents

마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법 Download PDF

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Abstract

마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 관한 것으로,
교환헤드조립체를 상하방향 및 좌우방향, 전후방향의 각 방향으로 이동시키는 교환로봇; 교환로봇의 작동아암 선단에 설치되고, 회전테이블의 핀구멍에 설치된 마스크 가이드핀과 핀구멍 마개를 분리하거나 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀과 핀구멍 마개를 설치하는 교환헤드조립체; 교환로봇 및 교환헤드조립체의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 기술 구성과, 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개를 회전테이블에서 분리하는 단계; 제1스핀들을 통해 기존 위치의 마스크 가이드핀을 회전테이블에서 분리하는 단계; 제1스핀들을 통해 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀을 설치하는 단계; 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍에 핀구멍 마개를 설치하는 단계;를 포함하는 기술 구성을 통해
마스크 제조설비의 회전테이블에 마스크 가이드핀 및 핀구멍 마개를 간편하게 설치할 수 있게 되고, 설치된 마스크 가이드핀의 위치 및 개수를 간편하게 변경할 수 있게 되는 것이다.

Description

마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법 {MASK GUIDE PIN AUTO CHANGER AND MASK GUIDE PIN AUTO CHANGING METHOD USING THE MASK GUIDE PIN AUTO CHANGER}
본 발명은 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 디벨로핑(Developing), 에칭(Etching), 스트리핑(Striping), 클리닝(Cleaning) 등의 마스크의 다양한 제조공정에서 사용되는 제조장비의 회전척 위에 작업대상물인 마스크를 안전하게 올려놓을 수 있도록 하는 마스크 가이드핀의 위치를 교환로봇을 이용하여 자동으로 변경할 수 있도록 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 관한 것이다.
본 발명이 관계하는 마스크는 반도체 집적회로의 제조공정 중 포토공정에서 사용하는 미세한 전자회로가 그려진 유리판을 말한다.
상기 마스크는 전자빔 설비를 이용해 설계된 회로 패턴을 유리판 위에 그려넣어 만들어지며, 포토공정은 웨이퍼 위에 전자회로를 그리는 단계로, 반도체 칩에 전자부품 수십억 개와 이를 연결하는 회로선을 그리는 작업으로, 설비에 마스크를 넣고 빛을 투과해 감광액이 칠해진 웨이퍼 위에 미세한 전자회로 그림이 만들어 지도록 한다.
한편, 블랭크 마스크는 포토리소그래피(Photolithography) 공정시 사용되는 포토 마스크의 원재료로서 반도체 및 FPD(Flat Pannel Display)를 제조하는데 널리 사용되고 있다.
이러한 블랭크 마스크 및 포토마스크는 일반적으로 바이너리 마스크 형태와 위상반전 마스크 형태로 분류되는데, 바이너리 형태의 마스크는 투명기판 위에 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성되고, 위상반전 형태의 마스크는 투명기판 위에 위상반전막, 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
블랭크 마스크는 일반적으로 블랭크 마스크 제조사에서 제조된 후 포토 마스크 제조사로 운반되어 포토 마스크로 제조되고, 포토 마스크는 반도체 및 FPD를 생산하는 제조사로 이송되어 사용된다.
하기의 특허문헌 1에는 마스크 가이드핀 및 회전테이블이 사용되는 포토마스크 세정장치가 개시되어 있고, 특허무헌 2에는 마스크 가이드핀 및 회전테이블이 사용되는 기판 제조용 공정챔버가 개시되어 있다.
마스크의 제조공정에는 마스크의 표면에 반도체 집적회로를 형성하거나 필요한 부위를 얻기 위하여 화학약품 및 특수가스의 화학반응을 이용하여 얻고자하는 패턴을 만드는 에칭(Etching), 마스크의 표면에 반도체 패턴이나 도선 패턴 등을 형성할 때에 금속오염물이나 입자들을 각각의 제조공정을 수행하기 전후에 고순도의 약품을 사용하여 제거하는 클리닝(Cleaning) 등의 다양한 제조공정이 있으며, 이들 마스크 제조장비에서 작업대상물인 마스크를 회전시킬 때에 회전척이 사용된다.
상기 회전척은 회전구동수단에 접속되는 회전테이블을 포함하고, 회전테이블의 상부면에는 마스크를 안전하게 올려놓을 수 있도록 하는 다수의 가이드핀(Guide Pin)이 설치된다.
회전테이블에는 형태 및 크기가 다른 다양한 마스크를 선택적으로 설치할 수 있도록 다수의 핀구멍이 마련되고, 회전척에 마스크를 적재할 때에는 해당 마스크의 형태 및 크기에 맞추어 필요한 갯수의 가이드핀을 설정된 핀구멍에 설치하게 된다.
한편, 회전테이블에 적재되는 작업대상물인 마스크를 형태 또는 크기가 다른 새로운 작업대상물의 마스크로 변경하고자 할 때에는 기존에 설치된 가이드핀의 갯수 및 설치위치를 새로운 마스크의 형태 및 크기에 맞추어 변경해야 한다.
이에 종래에는 작업자가 직접 회전테이블이 위치하는 마스크 제조장비의 작업챔버 내부로 진입하여 기존 위치의 핀구멍에서 가이드핀을 제거한 후 새로운 위치의 핀구멍에 가이드핀을 설치하는 작업을 수행하였다.
그런데 회전테이블이 위치하는 마스크 제조장비의 작업챔버는 전술한 바와 같이 각종 화학약품이나 특수가스가 사용되는 공간이므로 작업환경이 매우 좋지 못하여 작업자의 안전을 보장하지 못하게 될 뿌 아니라 작업과정에서 회전테이블을 포함한 다른 부품을 손상시킬 우려가 많게 된다.
또한, 마스크 가이드핀의 교환작업과정에서 작업자가 다수의 가이드핀을 설정위치에 정확하게 설치하지 않게 되면 마스크 제조과정에서 고가의 마스크가 파손될 우려가 많게 된다.
대한민국 등록실용신안공보 제20-0346519호 (2005년 03월 22일 등록) 대한민국 등록특허공보 제10-1140376호 (2012년 04월 19일 등록)
본 발명은 종래 기술에 따른 마스크 가이드핀 교환방법의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적이 교환로봇을 이용하여 보다 안전하고 정확하게 마스크 가이드핀을 제거하거나 설치할 수 있도록 함으로써 작업자의 안전을 도모할 수 있도록 함은 물론 마스크 가이드핀 교환작업의 작업성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법을 제공하는 데에 있는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치는 교환헤드조립체를 상하방향 및 좌우방향, 전후방향의 각 방향으로 이동시키는 교환로봇; 교환로봇의 작동아암 선단에 설치되고, 회전테이블의 핀구멍에 설치된 마스크 가이드핀과 핀구멍 마개를 분리하거나 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀과 핀구멍 마개를 설치하는 교환헤드조립체; 교환로봇 및 교환헤드조립체의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치에서 교환헤드조립체는, 교환로봇의 작동아암 선단에 고정 설치되고, 일측 하부에 제1챔버가 마련되고, 타측 하부에 제2챔버가 마련되는 장착프레임; 장착프레임의 제1챔버의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치되고, 제1챔버의 내부에 설치되는 제1모터와 접속되고, 하단부에 다수의 그립부재가 중심방향 및 외곽방향으로 이송 가능하게 설치되는 제1스핀들; 장착프레임의 제2챔버의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치되고, 제2챔버의 내부에 설치되는 제2모터와 접속되고, 하단부에 마개 접속부재가 설치되는 제2스핀들; 장착프레임의 하단 중앙에 설치되고, 회전테이블의 핀구멍의 상부 또는 마스크 가이드핀의 상부 또는 핀구멍 마개의 상부에서 영상을 촬영하여 촬영정보를 제어부로 전송하는 비전센서;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치에서 제1스핀들 및 제1모터는 제1챔버 하단의 제1승강판에 설치되고, 제1승강판은 제1스프링부재를 통해 탄성 지지되고, 제2스핀들 및 제2모터는 제2챔버 하단의 제2승강판에 설치되고, 제2승강판은 제2스프링부재를 통해 탄성 지지되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 마스크 가이드핀 자동교환방법은 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개를 회전테이블에서 분리하는 단계; 제1스핀들을 통해 기존 위치의 마스크 가이드핀을 회전테이블에서 분리하는 단계; 제1스핀들을 통해 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀을 설치하는 단계; 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍에 핀구멍 마개를 설치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개를 회전테이블에서 분리하는 단계는, 교환로봇의 작동아암에 장착된 교환헤드조립체의 비전센서를 마스크 가이드핀이 설치될 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블의 핀구멍에 설치된 핀구멍 마개를 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 핀구멍 마개의 정확한 위치를 산정하는 단계; 교환헤드조립체의 제2스핀들을 산정된 핀구멍 마개의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 제2스핀들의 회전상승을 통해 회전테이블의 핀구멍에서 핀구멍 마개를 분리하여 인출하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서를 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍으로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 제1스핀들를 통해 기존 위치의 마스크 가이드핀을 회전테이블에서 분리하는 단계는, 교환로봇의 작동아암에 장착된 교환헤드조립체의 비전센서를 분리할 마스크 가이드핀의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블의 핀구멍에 설치된 마스크 가이드핀을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 마스크 가이드핀의 정확한 위치를 산정하는 단계; 교환헤드조립체의 제1스핀들을 산정된 마스크 가이드핀의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 제1스핀들의 회전상승을 통해 회전테이블의 핀구멍에서 마스크 가이드핀을 분리하여 인출하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서를 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍의 상부로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 제1스핀들을 통해 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀을 설치하는 단계는, 교환로봇의 작동아암에 장착된 교환헤드조립체의 비전센서를 핀구멍 마개가 제거된 회전테이블의 핀구멍 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블의 핀구멍을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀이 설치될 회전테이블의 핀구멍의 정확한 위치를 산정하는 단계; 마스크 가이드핀이 장착된 교환헤드조립체의 제1스핀들을 산정된 회전테이블의 핀구멍의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 제1스핀들의 회전하강을 통해 회전테이블의 핀구멍에 마스크 가이드핀을 설치하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서를 회전테이블에 설치된 마스크 가이드핀의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블에 설치된 마스크 가이드핀을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀의 설치여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 제2스핀들을 통해 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍에 핀구멍 마개를 설치하는 단계는, 교환로봇의 작동아암에 장착된 교환헤드조립체의 비전센서를 마스크 가이드핀이 제거된 회전테이블의 핀구멍 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블의 핀구멍을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개가 설치될 회전테이블의 핀구멍의 정확한 위치를 산정하는 단계; 핀구멍 마개가 장착된 교환헤드조립체의 제2스핀들을 산정된 회전테이블의 핀구멍의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 제2스핀들의 회전하강을 통해 회전테이블의 핀구멍에 핀구멍 마개를 설치하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서를 회전테이블에 설치된 핀구멍 마개의 위치로 이동하는 단계; 교환헤드조립체의 비전센서로 회전테이블에 설치된 핀구멍 마개를 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계; 제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개의 설치여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 의하면, 마스크 제조설비의 회전테이블에 마스크 가이드핀 및 핀구멍 마개를 간편하게 설치할 수 있게 되고, 설치된 마스크 가이드핀의 위치 및 개수를 간편하게 변경할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 의하면, 교환로봇 및 교환헤드조립체, 제어부를 통해 오동작의 우려없이 마스크 가이드핀 및 핀구멍 마개를 분리하여 인출할 수 있게 됨은 물물론 정확한 위치에 마스크 가이드핀 및 핀구멍 마개를 설치할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 의하면, 작업자의 인력을 사용하지 않고, 교환로봇을 통해 마스크 가이드핀 및 핀구멍 마개를 교환할 수 있도록 함으로써 작업환경을 크게 개선할 수 있게 되고, 작업과정에서의 각종 안전사고를 방지할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에 의하면, 마스크 가이드핀의 교환작업의 신뢰도를 높일 수 있게 되고, 마스크 가이드핀이 정확한 위치에서 마스크를 안전하게 지지할 수 있도록 함으로써 고가의 마스크가 손상될 우려가 없게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 교환헤드 조립체의 내부 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 교환헤드 조립체의 내부 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 교환순서도,
도 5는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 핀구멍 마개 분리순서도,
도 6a 내지 도 6e는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 핀구멍 마개 분리과정도,
도 7는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 마스크 가이드핀 분리순서도,
도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 마스크 가이드핀 분리과정도,
도 9는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 마스크 가이드핀 설치순서도,.
도 10은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 핀구멍 마개 설치순서도.
이하 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법을 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 참고로, 본 발명을 설명하는데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하다.
그리고 본 출원에서, '포함하다', '가지다' 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특정의 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지칭하는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
그러므로, 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 구현 예(態樣, aspect)(또는 실시 예)들을 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, 본 명세서에서 사용한 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 주지 또는 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
이하에서, "상방", "하방", "전방" 및 "후방" 및 그 외 다른 방향성 용어들은 도면에 도시된 상태를 기준으로 정의한다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 교환헤드 조립체의 내부 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 교환헤드 조립체의 내부 정면도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치는 교환로봇(100), 교환헤드조립체(200), 제어부(미도시)를 포함한다.
교환로봇(100)은 교환헤드조립체(200)를 상하방향 및 좌우방향, 전후방향 등의 각 방향으로 이동시키는 부분이다.
교환로봇(100)은 다관절 아암을 가지며, 그의 구성은 본 발명이 속하는 기술분야에서 자명하므로 구체적인 설명을 생략한다.
교환헤드조립체(200)는 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 마스크 가이드핀(20)과 핀구멍 마개(30)를 제거하거나 설치하는 부분으로, 교환로봇(100)의 작동아암(110) 선단에 설치된다.
교환헤드조립체(200)는 장착프레임(210), 제1스핀들(220), 제2스핀들(230), 비전센서(240)를 포함한다.
장착프레임(210)은 교환로봇(100)의 작동아암(110) 선단에 고정 설치되는 부분으로, 일측 하부에 제1챔버(211)가 마련되고, 타측 하부에 제2챔버(212)가 마련된다.
제1스핀들(220)은 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리하거나 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치할 수 있도록 하는 것으로, 장착프레임(210)의 제1챔버(211)의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치된다.
제1스핀들(220)은 제1챔버(211)의 내부에 설치되는 제1모터(221)와 접속되어 정방향 또는 역방향으로 회전하게 되고, 제1스핀들(220)의 하단부에는 다수의 그립부재(222)가 중심방향 및 외곽방향으로 이송 가능하게 설치된다.
제1스핀들(220) 및 제1모터(221)는 제1챔버(211) 하단의 제1승강판(223)에 설치되고, 제1승강판(223)은 제1스프링부재(224)를 통해 탄성 지지된다.
제2스핀들(230)은 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리하거나 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치할 수 있도록 하는 것으로, 장착프레임(210)의 제2챔버(212)의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치된다.
제2스핀들(230)은 제2챔버(212)의 내부에 설치되는 제2모터(231)와 접속되어 정방향 또는 역방향으로 회전하게 되고, 제2스핀들(230)의 하단부에는 마개 접속부재(232)가 설치된다.
제2스핀들(230) 및 제2모터(231)는 제2챔버(212) 하단의 제2승강판(233)에 설치되고, 제2승강판(233)은 제2스프링부재(234)를 통해 탄성 지지된다.
비전센서(240)는 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 정확한 위치 또는 마스크 가이드핀(20)의 정확한 위치 또는 핀구멍 마개(30)의 정확한 위치를 확인할 수 있도록 하는 것으로, 장착프레임(210)의 하단 중앙에 설치된다.
비전센서(240)는 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부 또는 마스크 가이드핀(20)의 상부 또는 핀구멍 마개(30)의 상부에서 영상을 촬영하여 촬영정보를 제어부로 전송한다.
제어부(미도시)는 교환로봇(100) 및 교환헤드조립체(200)의 작동을 제어하는 부분이다.
제어부에는 비전센서(240)를 포함한 교환로봇(100) 및 교환헤드조립체(200)에 설치된 각종 센서나 카메라의 정보가 입력된다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치는 제어부를 통해 교환로봇(100) 및 교환헤드조립체(200)의 작동을 제어하는 것에 의해 마스크 제조장비에서 작업대상물인 마스크를 회전시킬 때에 사용되는 회전척의 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)과 핀구멍 마개(30)를 자동으로 설치할 수 있게 되고, 다른 형태나 크기의 마스크로 작업대상물을 전환할 때에 기존 설치된 마스크 가이드핀(20)의 위치를 자동으로 변경할 수 있게 된다.
이하 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법을 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 교환순서도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법은,
마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)에서 분리하는 단계;
기존 위치의 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)에서 분리하는 단계;
핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계;
마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 단계;를 포함한다.
도 5는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 핀구멍 마개 분리순서도이고, 도 6a 내지 도 6e는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 핀구멍 마개 분리과정도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)에서 분리하는 단계는,
교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 핀구멍 마개(30)를 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 핀구멍 마개(30)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)을 산정된 핀구멍 마개(30)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)의 회전상승을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 핀구멍 마개(30)를 분리하여 인출하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)으로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개(30)의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)에서 분리하는 때에는 도 6a와 같이 비전센서(240)가 제거하고자 하는 핀구멍 마개(30)의 상부로 이동한 후 비전센서(240)로 촬영한 촬영정보를 통해 핀구멍 마개(30)의 정확한 위치를 산정하고, 도 6b와 같이 교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)이 핀구멍 마개(30)의 상부의 산정된 위치로 이동한 후 하강하여 도 6c와 같이 제2스핀들(230)의 하단부에 마련된 마개 접속부재(232)가 핀구멍 마개(30)에 접속된다.
이때 마개 접속부재(232)와 핀구멍 마개(30)의 보다 견고한 접속을 위해 마개 접속부재(232)와 핀구멍 마개(30)의 사이에 진공흡입력이 작용되도록 한다.
제2스핀들(230)의 마개 접속부재(232)가 핀구멍 마개(30)에 접속된 후 제2모터(231)를 통해 제2스핀들(230)이 시계반대방향으로 회전하면서 상승하게 되면 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 나사조립된 핀구멍 마개(30)가 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리되어 도 6d와 같이 제2스핀들(230)과 함께 회전테이블(10)의 상부로 이동하게 된다.
그리고 핀구멍 마개(30)가 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리되어 인출된 후에는 도 6e와 같이 비전센서(240)가 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동하여 핀구멍(11)을 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하여 핀구멍 마개(30)의 제거여부를 확인하게 된다.
도 7는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 마스크 가이드핀 분리순서도이고, 도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치의 마스크 가이드핀 분리과정도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 기존 위치의 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)에서 분리하는 단계는,
교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 분리할 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 마스크 가이드핀(20)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 마스크 가이드핀(20)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)을 산정된 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)의 회전상승을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 마스크 가이드핀(20)을 분리하여 인출하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 기존 위치의 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)에서 분리하는 때에는 도 8a와 같이 비전센서(240)가 제거하고자 하는 마스크 가이드핀(20)의 상부로 이동한 후 비전센서(240)로 촬영한 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)의 정확한 위치를 산정하고, 도 8b와 같이 교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)이 기존 위치의 마스크 가이드핀(20)의 상부로 이동한 후 하강하고, 도 8c와 같이 제1스핀들(220)의 하단부에 마련된 다수의 그립부재(222)가 제1스핀들(220)의 중심방향으로 이동하여 마스크 가이드핀(20)에 접속된다.
제1스핀들(220)의 그립부재(222)가 마스크 가이드핀(20)에 접속된 후 제1모터(221)를 통해 제1스핀들(220)이 시계반대방향으로 회전하면서 상승하게 되면 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 나사조립된 마스크 가이드핀(20)이 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리되어 도 8d와 같이 제1스핀들(220)과 함께 회전테이블(10)의 상부로 이동하게 된다.
그리고 마스크 가이드핀(20)가 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 분리되어 인출된 후에는 도 8e와 같이 비전센서(240)가 마스크 가이드핀(30)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동하여 핀구멍(11)을 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하여 마스크 가이드핀(20)의 제거여부를 확인하게 된다.
도 9는 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 마스크 가이드핀 설치순서도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계는,
교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11) 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)이 설치될 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
마스크 가이드핀(20)이 장착된 교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)을 산정된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)의 회전하강을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 회전테이블(10)에 설치된 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)에 설치된 마스크 가이드핀(20)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)의 설치여부를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 때에는 교환로봇(100)을 통해 마스크 가이드핀(20)이 장착된 교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)이 마스크 가이드핀(20)이 설치될 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동한 후 제1모터(221)를 통해 제1스핀들(220)이 반대방향으로 회전하면서 하강하게 되면 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)이 나사조립된다.
회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)이 설치된 후 제1스핀들(220)의 다수의 그립부재(222)가 제1스핀들(220)의 외곽방향으로 이동하여 마스크 가이드핀(20)에서 분리되면 교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)이 회전테이블(10)의 상부로 상승할 수 있게 된다.
도 10은 본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법의 핀구멍 마개 설치순서도이다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 단계는,
교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11) 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개(30)가 설치될 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
핀구멍 마개(30)가 장착된 교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)을 산정된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)의 회전하강을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 회전테이블(10)에 설치된 핀구멍 마개(30)의 위치로 이동하는 단계;
교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)에 설치된 핀구멍 마개(30)를 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개(30)의 설치여부를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법에서 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 때에는 교환로봇(100)을 통해 핀구멍 마개(30)가 장착된 교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)이 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동한 후 제2모터(231)를 통해 제2스핀들(230)이 시계방향으로 회전하면서 하강하게 되면 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)가 나사조립된다.
회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)이 설치된 후 마개 접속부재(232)와 핀구멍 마개(30) 사이에 작용하던 진공흡입력을 해제하게 되면 제2스핀들(230)의 마개 접속부재(232)가 핀구멍 마개(30)가 분리되어 교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)이 회전테이블(10)의 상부로 상승할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 마스크 가이드핀 자동교환장치 및 그를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법은 작업자가 각종 화학약품이나 특수가스가 사용되는 작업챔버에 들어가서 직접 마스크 가이드핀(20)을 분리하거나 설치하는 작업을 수행하지 않고, 교환로봇(100)을 통해 마스크 가이드핀(20)을 안전하고 정확하게 자동교환할 수 있게 된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
10 : 회전테이블
11 : 핀구멍
20 : 마스크 가이드핀
30 : 핀구멍 마개
100 : 교환로봇
200 : 교환헤드조립체
210 : 장착프레임
220 : 제1스핀들
230 : 제2스핀들
240 : 비전센서

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 교환헤드조립체(200)를 상하방향 및 좌우방향, 전후방향의 각 방향으로 이동시키는 교환로봇(100);
    교환로봇(100)의 작동아암(110) 선단에 설치되고, 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 마스크 가이드핀(20)과 핀구멍 마개(30)를 분리하거나 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)과 핀구멍 마개(30)를 설치하는 교환헤드조립체(200);
    교환로봇(100) 및 교환헤드조립체(200)의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    교환헤드조립체(200)는,
    교환로봇(100)의 작동아암(110) 선단에 고정 설치되고, 일측 하부에 제1챔버(211)가 마련되고, 타측 하부에 제2챔버(212)가 마련되는 장착프레임(210);
    장착프레임(210)의 제1챔버(211)의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치되고, 제1챔버(211)의 내부에 설치되는 제1모터(221)와 접속되고, 하단부에 다수의 그립부재(222)가 중심방향 및 외곽방향으로 이송 가능하게 설치되는 제1스핀들(220);
    장착프레임(210)의 제2챔버(212)의 하부에 정방향 및 역방향으로 회전 가능하게 설치되고, 제2챔버(212)의 내부에 설치되는 제2모터(231)와 접속되고, 하단부에 마개 접속부재(232)가 설치되는 제2스핀들(230);
    장착프레임(210)의 하단 중앙에 설치되고, 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부 또는 마스크 가이드핀(20)의 상부 또는 핀구멍 마개(30)의 상부에서 영상을 촬영하여 촬영정보를 제어부로 전송하는 비전센서(240);를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치.
  3. 제2항에 있어서,
    제1스핀들(220) 및 제1모터(221)는 제1챔버(211) 하단의 제1승강판(223)에 설치되고, 제1승강판(223)은 제1스프링부재(224)를 통해 탄성 지지되고,
    제2스핀들(230) 및 제2모터(231)는 제2챔버(212) 하단의 제2승강판(233)에 설치되고, 제2승강판(233)은 제2스프링부재(234)를 통해 탄성 지지되는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치.
  4. 제2항 기재의 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법으로,
    제2스핀들(230)을 통해 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)에서 분리하는 단계;
    제1스핀들(220)을 통해 기존 위치의 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)에서 분리하는 단계;
    제1스핀들(220)을 통해 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계;
    제2스핀들(230)을 통해 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법.
  5. 제4항에 있어서,
    제2스핀들(230)을 통해 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치에 조립된 핀구멍 마개(30)를 회전테이블(10)에서 분리하는 단계는,
    교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 설치될 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 핀구멍 마개(30)를 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 핀구멍 마개(30)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)을 산정된 핀구멍 마개(30)의 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 제2스핀들(230)의 회전상승을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 핀구멍 마개(30)를 분리하여 인출하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)으로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 핀구멍 마개(30)의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법.
  6. 제4항에 있어서,
    제1스핀들(220)를 통해 기존 위치의 마스크 가이드핀(20)을 회전테이블(10)에서 분리하는 단계는,
    교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 분리할 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 설치된 마스크 가이드핀(20)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 분리할 마스크 가이드핀(20)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)을 산정된 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)의 회전상승을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에서 마스크 가이드핀(20)을 분리하여 인출하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 상부로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)의 제거여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법.
  7. 제4항에 있어서,
    제1스핀들(220)을 통해 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계는,
    교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 핀구멍 마개(30)가 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11) 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)이 설치될 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 정확한 위치를 산정하는 단계;
    마스크 가이드핀(20)이 장착된 교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)을 산정된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)의 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 제1스핀들(220)의 회전하강을 통해 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 마스크 가이드핀(20)을 설치하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 회전테이블(10)에 설치된 마스크 가이드핀(20)의 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)에 설치된 마스크 가이드핀(20)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
    제어부에서 촬영정보를 통해 마스크 가이드핀(20)의 설치여부를 확인하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 가이드핀 자동교환장치를 이용한 마스크 가이드핀 자동교환방법.
  8. 제4항에 있어서,
    제2스핀들(230)을 통해 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11)에 핀구멍 마개(30)를 설치하는 단계는,
    교환로봇(100)의 작동아암(110)에 장착된 교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)를 마스크 가이드핀(20)이 제거된 회전테이블(10)의 핀구멍(11) 위치로 이동하는 단계;
    교환헤드조립체(200)의 비전센서(240)로 회전테이블(10)의 핀구멍(11)을 평면 촬영하고, 촬영정보를 제어부로 전송하는 단계;
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