JP2921955B2 - 薄膜の包装及び取扱いシステム - Google Patents

薄膜の包装及び取扱いシステム

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JP2921955B2 JP26037190A JP26037190A JP2921955B2 JP 2921955 B2 JP2921955 B2 JP 2921955B2 JP 26037190 A JP26037190 A JP 26037190A JP 26037190 A JP26037190 A JP 26037190A JP 2921955 B2 JP2921955 B2 JP 2921955B2
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、集積回路の製造の間、パターンマスクを覆
うために用いられるペリクル即ち薄膜の出荷、貯蔵、及
び取扱いのための包装及び取扱いシステムに関する。
［従来の技術及びその課題］ 集積回路は主にパターンマスク・イメージングを利用
する方法によって作られる。この方法がパターンマスク
・イメージの投射印刷を含む場合は、紫外線がパターン
マスクのアパーチャを通過し、基質ウエハー上にコーテ
ィングされた１層の抵抗の上にフォーカスさせられる。
この光線がパターンマスクに相当する上記１層の抵抗に
パターンを形成し、次に、この１層の抵抗が基質の露出
部分に広げられ、ホトレシスト・マスクを形成する。パ
ターンマスクのイメージがホトレシスト層の表面に鋭く
焦点を結ぶので、パターンマスクの表面に存在する全て
の汚染粒子がこのホトレシスト層の表面に鋭い焦点の中
に持ち込まれ、抵抗層に汚染粒子のイメージを印刷して
しまう。ホトレシスト層上に汚染粒子のイメージが印刷
されると、しばしば、ホトレシスト・マスクを駄目にし
て、大きな経済的損失を招く。
このパターンマスクの粒子汚染を無くすために、一般
的に、保護薄膜を使用して、マスクを覆うようにする。
このパターンマスクの薄膜が、薄膜フレームを越えて伸
びる透明な薄膜フィルムを含み、これが薄膜装填デバイ
スによってパターンマスクの上に装着される。この薄膜
フレームが薄膜フィルムをある距離だけパターンマスク
から引き離す。この距離は、薄膜の外表面にある汚染粒
子のイメージを焦点外に保ち、汚染粒子のイメージがレ
シストの感光層の上に回路パターンと共に印刷されない
ようにすることの出来る距離である。
薄膜の外側表面上の汚染粒子がフォーカスすることは
１つの薄膜によって防ぐことが出来るが、一方、薄膜の
内側の汚染粒子はパターンマスク上に落ち、パターンと
共に印刷され、フォトレジストマスクが駄目になること
がある。薄膜を実質的に粒子の無い状態で作ることは出
来るが、次の包装、出荷、貯蔵及び取扱いの段階で、薄
膜の内側で粒子汚染が発生することがある。
この包装、出荷、貯蔵の間の薄膜内側の粒子汚染を防
ぐ１つの方法は、薄膜フレームの下側の縁に沿って形状
補足的バックシール・シートで薄膜をシールする方法で
ある。このシートは薄膜がパターンマスクに装着される
一寸前にはぎ取られる。
薄膜は普通グルーブをはめた手で包装から取り出され
るので、この時、薄巻の内面がバックシールを剥がし、
薄膜をパターンマスクに装着する前に、粒子によって汚
染されることがある。又、薄膜は手で持つことが非常に
難しい。従って薄膜を装着に先立って扱っている間に落
とす危険があり、薄膜は汚染され、駄目になってしま
う。
従って薄膜の包装及び取扱いシステムを改善する必要
がある。
［課題を解決するための手段］ 本発明による薄膜包装及び取扱いシステムはパターン
マスク薄膜を含み、この薄膜が周辺薄膜フレームを越え
て伸びる透明な薄膜フィルムを含んでいる。１つの薄膜
ホルダーが設けられ、これが、薄膜フレームを取り外し
可能に押さえ、ホルダー・薄膜集合体を形成する手段を
持ち、この薄膜ホルダーが、更に、上記ホルダー・薄膜
集合体を掴んで取り扱い且つこの薄膜をホルダーから剥
がす手段を含んでいる。選択的に開くことの出来る包装
が設けられ、ホルダー・薄膜集合体を収容すると共に、
上記ホルダー・薄膜集合体を上記包装の中の一定の位置
に取り外し可能に保持する手段が設けられる。
［実施例］ 第１図に示すごとく、本発明による薄膜包装取り扱い
システムの１つの実施例が、パターンマスク薄膜10を持
ち、これが、箱型蓋部材12と箱型底部材14とによって形
成された薄膜容器即ち箱の中に格納されている。
この薄膜が周辺薄膜フレーム20を越えて伸びる透明な
薄膜フィルム18を持っている。この薄膜フレーム20が機
械加工された金属（例えばアルミニウム）の如き適度な
強度を持った材料で作られ、普通、使用するパターンマ
スクに対応する形状及び寸法を持っている。例えば、こ
の薄膜フレームは円形でも方形でも良く、１個以上の斜
め切りされた端部及び又は１個以上のコーナーを持って
いる。普通、透明な薄膜フィルムが接着剤によって薄膜
フレームの上縁に取り付けられる。
透明な薄膜フィルムは任意適当な材料で形成すること
が出来、その厚さはイメージ形成紫外線の光路に悪影響
を与えない程度のものにすべくである。この適当な薄膜
フィルムには、ポリオキシエチレン・テレフタレート、
ナイトロセルローズ、及びパリレーン等のポリマーが含
まれる。この薄膜フィルム材料に対しては、約0.2〜10
ミクロンの範囲内のフィルム厚さが適当である。若し必
要ならば、反射防止コーティングをフィルムに施し、光
学的歪を減らすことが出来る。
周辺薄膜フレーム20がシール用連続縁24を薄膜フレー
ムの底の部分の回りに持っている。薄膜フレームのこの
シール縁はパターンマスクを薄膜フィルム18で覆うため
にパターンマスクの上に掛けるためのもので、薄膜フィ
ルムのシール縁24が薄膜フィルムと平行な面の中に横た
わり、この面が、薄膜フィルム18の外表面上の全ての粒
子がプリントの間焦点を結ばないようにすることの出来
る十分な距離、薄膜フィルムから離れている。使用する
場合、薄膜フレームのシール縁が一般的に透明フィルム
をマスクパターンから約１から約15mmの所に位置付けら
れ、これによって、透明フィルム18の外表面上の粒子が
焦点外に置かれる。
箱型底部材14がシール縁24に引き剥がし可能に接着さ
れる接着面26を持ち、これが薄膜フレーム20の底に囲ま
れている。箱型底部材14のこの接触面26がせり上がった
ステージ区域27の上にあり、その意味に就いて以下に詳
細に説明する。箱型底部材14のこの接触面26を薄膜フレ
ーム20のシール縁24に引き剥がし可能に接着させる方法
は各種ある。第１図の実施例においては、薄膜フレーム
のシール縁が弾性発泡ガスケット・キャリヤー28の底面
によって形成され、その上面が薄膜フレーム20の剛性フ
レーム部品30にしっかりと取り付けられている。この弾
性発泡ガスケット材料には3M No 4962及びNorwood No.
8031が含まれるが、これに限定されない。ガスケット28
の底シール縁部分に施された圧力に敏感な接着材料が箱
型底部材14に引き剥がし可能に接着され、これにより、
薄膜の内部16が密封される。この圧力に敏感な接着材料
にはMonsano製Gelva（商品名）マルチポリマー樹脂（例
えばNo1151及び3010）が含まれるが、これに限定されな
い。
薄膜フレームを箱型底部材の接触面に引き剥がし可能
に接着する手段が弾性ガスケット以外にもある。このそ
の他の適当な手段に、薄膜フレーム20と箱型底部材14の
接触面26との間に置かれる両面接着テープか、又は、薄
膜フレームのシール縁が接着されるせり上がったステー
ジ27の全上表面31の上に置かれる接着シート29が含まれ
る。ステージ27の全上表面31の上に接着材を設ける利点
は、薄膜10の内部に入り込んだ粒子が接着材の露出面に
接触して、これに掴まり保持されることである。せり上
がったステージ27の全上表面を覆うのに適した接着材は
パッケージの使用期間中その構造的完全性を保ち、この
接着材自身が汚染粒子を形成することが無い。
薄膜10を携えた箱型底部材14がせり上がったステージ
27から外に向かって伸び、このステージの回りに周辺フ
ランジ35を形成する。図に示した実施例においては、箱
型底部材14が適当な方法によって作られた一体の可撓性
シートで形成され、この方法には、押出し、射出成形、
ブローモールディング、真空成形、機械加工、等の方法
が含まれる。
本発明による薄膜包装及び取扱いシステムは薄膜ホル
ダー50を含み、これが薄膜フレームを取り外し可能に把
持する手段を持ち、ホルダー／薄膜集合体52を形成す
る。第１図の実施例においては、薄膜フレームを取り外
し可能に把持する手段が複数の内向きに伸びるタブ54を
含み、これが、薄膜フレーム20の外周を囲む周辺溝56の
如き補足し合う形のビーパー凹部と係合する。第１図の
実施例においては、周辺溝56が薄膜フレーム20の全周に
亘って伸びている。タブ54が向き合った１対の回動腕64
から内向に伸び、この腕が薄膜フレーム20の回りに少な
くともその途中まで対称的に伸びている。このタブの代
わりに、薄膜フレームがピンを持ち、このピンが薄膜フ
レームの凹んだ保持部に臍と臍穴式に嵌合するようにす
ることが出来る。
薄膜ホルダー50がホルダー／薄膜集合体52を掴み操作
するための手段を含み、薄膜10をホルダー50から放すこ
とが出来る。第１図の実施例では、この手段が、ホルダ
ー／薄膜集合体を把持するためのフィンガーグリップ手
段58を持っている。この手段58を把持して、箱型底部材
14を薄膜フレーム20の底の回りのシール縁24から引き剥
がすことが出来、ホルダー／薄膜集合体を箱の底から剥
がした後容易に取り扱うことが出来る。必要ならば、単
純にフィンガーグリップ手段58を強く握ることによっ
て、薄膜10をホルダー50から容易に放すことが出来る。
この実施例では、箱型底部材14のせり上がったステージ
区域27が、フインガーグリップ手段58の中に指を突込む
ことの出来る十分な間隔を持ち、薄膜ホルダー50を容易
に操作することが出来るようになっている。
第１図に示す“握り−放し”型薄膜ホルダーは弾性材
料で一体に形成され、これにより、タブ54が薄膜フレー
ム20の凹部即ち溝56の中に嵌まり込むバネ作用が与えら
れ、フィンガーグリップ手段58を強く握って薄膜を放す
まで、薄膜を薄膜ホルダーの中にしっかりと保持してい
る。
薄膜ホルダー50が１つの溝60を含み、これによって、
フィンガーグリップ手段58を互いに近付けて薄膜10を放
すことが出来るばかりでなく、箱型底部材14から上向に
伸びる互いに補足し合う形状の止部62を挟み、ホルダー
／薄膜集合体が包装から取り出されるまで、薄膜ホルダ
ーが回らないようにすることが出来る。
ホルダー／薄膜集合体を把持し取り扱い且つ薄膜をホ
ルダーから放すための手段が必ずしもフィンガーグリッ
プ手段である必要はなく、この代わりに、これを機械デ
バイスによって把持することの出来る手段とし、これに
より、薄膜ホルダーを薄膜装着体の上に置くようにする
か、或いは又、薄膜装着体自体によって把持することの
出来る手段とし、これによって、ホルダー／薄膜集合体
をパッケージから取り出し、薄膜をパターンマスクの上
に装着し、次に、薄膜をホルダーから放すようにするこ
とも出来る。
箱型底部材14と共に、箱型蓋部材12がホルダー／薄膜
集合体52を格納する囲いを形成する。箱型蓋部材12が薄
膜10を覆うための本体部分34と、下向きに伸びるホルダ
ー押え環状部とを持ち、箱が閉ざされているとき、これ
が薄膜ホルダーの腕64を押える。
第１図の実施例では、箱型蓋部材12が更に密封域36を
持ち、これが、薄膜本体部分34の円周部から外向きに伸
びるリップ部38の下側に設けられる。
リップ部38の周辺密封域36が底部材14の周辺フランジ
35に引き剥がし可能に接着され、薄膜10を蓋部材12と底
部材14との中に密封シールする。
この薄膜蓋12が、例えば上述した薄膜フレームのシー
ル縁をパッケージの底板に接着させた場合の如き適宜の
方法によって、パッケージの底板の周辺フランジに引き
剥がし可能に接着される。これらの手段はシール域36の
接触区域に施された固形接着剤、両面テープ等を含む。
薄膜ホルダーの箱型蓋及び底部材には各種の材料を使
うことが出来る。これらの包装及び取り扱い構成部品を
形成するために用いられる材料は、材料費、及びその材
料の性質及び特徴の利害得失によって決定される。包装
及び取り扱い部品に用いられる材料は概して粒子が付着
し憎く且つ洗浄可能なものでなければならない。このた
めに、炭素含有料の高いプラスチックスは静電気を帯電
しない点では良い材料であるが、粒子発生の観点からす
ると好ましくない。包装及び取り扱い商品は製造後組み
立てに先立って洗浄される。代表的には、これらの部品
が水溶液、アルコール、フルオンその他の溶剤の中で洗
浄されるが、この場合包装材料はこれらの洗浄剤の使用
に耐えるものでなければならない。
包装及び取り扱い部品の材料として適するものは、箱
型蓋及び底部材のケースの中で運搬貯蔵される間、薄膜
が衝撃その他の取り扱い不良から十分に保護される強度
を持ち、又、薄膜ホルダーの場合、十分な弾力性を持
ち、薄膜を取り外し可能に把持し又制御することの出来
るものでなければならない。好ましくはこの材料は低温
でも脆くならないものである。包装及び取り扱い材料は
軽量で、運搬費用の掛からないものの方が有利である。
包装及び取り扱い部品の適当な厚さは一般的に0.5から3
mmの範囲に入る厚さである。
薄膜包装及び取り扱い材料は大気中から余り湿気を吸
収しないものとし、これによる薄膜の損傷のないように
する。又包装取り扱い材料は電荷を消すことの出来るも
のである。その点金属は電荷を消す点で理想的だが、重
量、腐食、値段等の点で不適当である。その他の候補
は、粒子発生の少ないカーボン入りプラスチックス、メ
タライズされたプラスチックス、及び抗帯電性のコーテ
ィング又は添加剤を持つプラスチックスである。抗帯電
性のコーティング又は添加剤を使用する場合は、これら
は洗浄に対して抵抗力を持ち、瓦斯放出を行わないもの
とすべきである。ガス放出をすると薄膜が損傷され、
又、透明包装材料の変色及び不透明度増加が起きる。こ
の変色及び不透明度増加はそれ自体は機能的問題ではな
いが、これがガス放出のインジケーターになる場合が多
い。
薄膜包装及び取り扱い部品を形成するのに適した材料
の例が表１にリストアップされている。
表 １ 材料 吸水率 Flex MOD Flex Str. 衝撃値 １ .08〜.09 2.8〜4.0 12〜14 .5 ２ .05〜.06 1.5〜4.6 ３〜12 .5〜4.0 ３ .15 3.0〜3.4 11〜15 12〜16 ４ .3 .65〜2.5 ７〜10.5 .6〜1.2 但し、1:ポリエチレン・テレフタレイト（PET）、2:
耐衝撃性ポリスチレン、3:ポリカーボネート、4:アクリ
ル、である。
第２図に示すホルダー／薄膜集合体はバネ線で作られ
た“握り−放し”型薄膜ホルダー50aを持っている。こ
のバネ線薄膜ホルダー50aがタブ54aを持ち、これが薄膜
10aの薄膜フレーム20aのＶ型の溝に係合する。
第３図には、方形の薄膜10bを保持する“握り−放
し”型薄膜ホルダー50bを持つホルダー／薄膜集合体が
示されている。この薄膜ホルダー50bがタブ54bを持ち、
これが薄膜フレーム20bの隅角部の溝56bと係合する。
第4A及び4B図に本発明の別の実施例による、ホルダー
／薄膜集合体を格納する蝶番式包装具が示されている。
この包装システムが蝶番68によって箱方底部材14aに接
続された箱方蓋部材12aを持っている。ラッチ手段70a,7
0bによってこの包装具を開閉することが出来る。
“握り−放し”型薄膜ホルダー50cが薄膜10cを保持し
ながら、底部材14aから上向きに伸びる４つの第１のラ
ンド部材72の上に置かれる。第１のランド部材72がそれ
ぞれそのこれらが薄膜ホルダー50cの対応するアパーチ
ャの中に伸びている。薄膜箱が閉じられると、薄膜ホル
ダー50cが第１のランド部材72と、第２のランド部材76
の間に保持される。この第２の部材は箱の蓋12aから下
向きに伸び、薄膜ホルダー50cの対応するアパーチャに
係合するピン74を持っている。従ってこの実施例におい
ては、薄膜箱が薄膜ホルダー50cを保持し、ホルダー50c
が、薄膜10cと薄膜箱との間で接触することなく、薄膜1
0cを保持する。
第５及び６図は本発明の更に別の実施例による薄膜包
装及び取り扱いシステムが示されている。本実施例によ
り、“握り−把持”型薄膜ホルダー50dが設けられる。
この型は前例とは異なり、握ることによってフレームが
把持される型である。そのフィンガーグリップ手段58′
がアーム64′の端部に設けられ、このアームが薄膜10d
の薄膜フレーム20dの全周に亘って伸びている。前の実
施例と同様に、タブ54dが薄膜フレーム20dの外周に沿う
周辺スロットと係合する。図示した実施例においては、
薄膜ホルダー50dが３つの第１のランド部材72′の上に
載り、これらのランド部材が底から上に向かって伸び薄
膜ホルダー50dの対応するアパーチャと係合する。薄膜
ホルダーはこのランド部材72′と、蓋部材12bから下向
きに伸びる第２のランド部材78′との間に保持される。
第７から8A図は本発明による薄膜包装及び取り扱いシ
ステムの更に別の実施例を示している。この実施例が接
触棚部160を持つ薄膜ホルダー50eを持ち、この棚吹が薄
膜フレーム20eの底のシール縁24aに引き剥がし可能に接
着されている。
この薄膜ホルダー50eはシール縁24aから引き剥がすの
に十分な可撓性を持つが、薄膜フィルム18aを検査して
いる間又ホルダー／薄膜集合体52aを薄膜10eに触れるこ
と無く箱の底に、又は、から動かすとき、薄膜10eを支
えるのに十分な強さを持っていなければならない。この
薄膜ホルダー50eに適する材料は、ガス放出をせず、粒
子化しないもので、これにより薄膜フィルム18aの汚染
を防ぐことの出来るものである。これに適する材料はポ
リエチレン、テフロン（商品名）、ポリカーボネート、
及びポリスチレンで、約0.05から約0.1インチの、好ま
しくは約0.07から0.09インチの、厚さを持っている。所
望の材料が所望の厚さを持つ可撓性のシートの中から得
られる。フィンガーグリップ580と観察アパーチャ590と
を持つ薄膜ホルダー50eは可撓性シートから色々な手段
で作ることが出来る。これらの手段には、スタンピン
グ、レーザ切断、ダイス切断、機械加工、真空形成、射
出成形、等がある。
ホルダー50eの接触棚部160が薄膜フレーム20eのシー
ル縁24aに引き剥がし可能に接着される。シール縁24aを
接触棚部160に接着する接着剤及びその上の剥離剤のタ
クタイル強度（tactile strength）（粘着強度）はイン
チ当り約５から80オンスにすべきである。これが５オン
ス以下だと、シール縁が接触棚部に接着しない。又80オ
ンス以上だと、接触棚部をシール縁から引き剥がすこと
が出来ない。接触棚部に剥離剤を必要とするときは、非
ガス放出性で非粒子化の剥離剤を使用する。好ましい剥
離剤はシリコンである。
薄膜10eの内部を保護するために、引き剥がし可能の
カバーシート290が薄膜ホルダー50eの背面570に接着さ
れる。カバーシート290はホルダー50eより可撓性があ
り、カバーシートがホルダーに対して好ましい状態で曲
げられ、カバーシートがホルダーを変形又は曲げること
なくホルダーから引き剥がせるようにすべきである。更
に、カバーシートの材料はホルダーから一体で引き剥が
すことの出来る強度を持ち、薄膜10eの内部を汚染する
ことが無いようにすべきである。カバーシートに適する
材料はポリエステル、ポリスチレン、ポリエチレン、ポ
リビニール・クロライド、及びポリカーボネートであ
る。シートの厚さは約１〜10ミルが好ましく、特に、約
７〜7.5ミルが好ましい。
カバーシート290を薄膜ホルダー50eの背面570に接着
する方法は各種ある。例えば、非ガス放出性で非粒子化
性の接着剤で、インチ接着当り約５から約80オンスのタ
クタイル強度を持つものが使用される。好ましい接着剤
はNorwood No.8031及びMactac2100である。このカバー
シート290の表面か、又は薄膜ホルダー50eの背面570
か、のいずれかに施される。接着剤がカバーシートの表
面に施される場合は、これをカバーシートの全表面に施
すようにしたほうが良い。次に、薄膜10eの内部に掴ま
えられた粒子がこの接着面と接触したとき、この暴露さ
れた接着面によって捕捉保持される。
接着剤の無いカバーシートの表面か又はホルダーの背
面のいずれかの表面に剥離剤が必要な場合がある。シリ
コンの如き非ガス放出性が非粒子化性の剥離剤が使用さ
れる。
第７及び7A図に示す本発明による薄膜包装及び取扱い
システムの実施例は、箱型蓋部材12c及び箱型底部材14c
によって形成される薄膜パッケージ即ち箱を持ってい
る。この薄膜パッケージ即ち箱が、所定位置に固定され
た薄膜10eを持つ薄膜／ホルダー集合体52aを格納する。
この箱の底部材14cが１つのキャビティー270を持ち、こ
れが薄膜／ホルダー集合体52aと共同して、薄膜10eを一
定の位置に保持する。キャビティー270は、第7a図に示
すごとく、薄膜フレーム20eと箱の底とが最小面積で接
触するように設計されている。この両者の間の最小接触
が、キャビティーの壁上の接触点620を用いて達成され
る。先ず、薄膜がキャビティーの中に置かれると、上記
接触点と薄膜フレームとが出会い、これによって薄膜が
キャビティーの中に更に進まないように止められる。更
に、この接触点で薄膜フレームに接線方向の力を掛ける
ことによって、この接触点がキャビティーの中の一定位
置に薄膜を保持する。丸い薄膜フレームの場合は、最小
接触のために、キャビティーの壁上に少なくとも３つの
接触点が必要である。正方形又は方形の薄膜フレームの
場合は、最小接触のために少なくとも４つの接触点が必
要である。
箱型底部材14cが更に、ホルダー50eのフィンガーグラ
スプ580に対応する把持用隙間280を持っている。この把
持用隙間280及びフィンガーグラスプ580が、薄膜ホルダ
ーを掴み、引き剥がし可能に接着された薄膜を箱型底部
材から持ち上げるために、指又は機械的手段を差し込む
ことの出来る隙間を持っていなければならない。このフ
ィンガーグラスプが好ましくは、薄膜／ホルダー集合体
を掴むか、持ち上げるか、又は動かしたとき、何も薄膜
フィルムに触れないようなホルダーの中の位置に置かれ
る。第７及び８図は、考え得る１つの形態を示してい
る。第７及び８図において、Ｌ型のフィンガーグラスプ
580が接触棚部160の隅に並んで配列されている。丸い薄
膜フレームの場合は、このフィンガーグラスプが羊の肝
臓の形をしている。従って、指をこの２つの隣り合った
フィンカーグラスプに差し込み、このグラスプの間のホ
ルダー部分を押ことによって、薄膜／ホルダー集合体を
持ち上げることが出来る。ロボットの指のような機械的
デバイスを指の代わりに使用することが出来る。この様
にして、薄膜フィルムの汚染が、フィルムに触れること
無く、薄膜／ホルダー集合体を持ち上げ移動させること
によって達成される。
箱型蓋部材12cが底部材14cと共に薄膜／ホルダー集合
体52aを格納する包装具を形成する。この蓋部材12cが薄
膜10eを覆う本体部分34aと、薄膜の本体部分34aの周囲
を取り囲み外に向かって伸びるリップ部38aとを持って
いる。このましくは、最終組み立てにおいて薄膜／ホル
ダー集合体の上に横たわる本体部分34aの区域が、第7A
図のごとくにかぶされる。
箱型蓋部材12cは箱型底部材14cに蝶番結合されても、
或いはされなくても良い。好ましいのはリビングヒンジ
又はノーヒンジである。この部材が関節結合されない場
合は、周辺の密封区域に張り出したリップ部38aが設け
られる。この密封区域が箱型底部材14cの周辺フランジ3
5aに引き剥がし可能に接着され、薄膜10eを蓋部材12c及
び底部材14cの中に封入し、密封する。この代わりに、
蓋部材及び底部材上の番いの部品によって機械的シール
を形成し、この２つの部品を結合させるようにしても良
い。例えば、蓋部材の側壁に隆起部を持たせ、一方底部
材の側壁にこれに対応する同じ形の凹部を設けるように
する。
本発明が提供する薄膜ホルダーは、薄膜をその包装か
ら薄膜フレームに触れること無く、又は第２の手段を用
いて、取り出し、薄膜を保持することが出来る。この薄
膜ホルダーは又観察するとき薄膜を保持する手段を持
ち、この手段により容易に把持することが出来、薄膜を
落として汚染し、使用不能にする危険性を減らすことが
出来る。
これらの実施例に各種の変形変更を行うことが出来る
が、これらは例示として説明したもので、本発明がこれ
によって制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の１つの実施例による薄膜包装及び取
り扱いシステムで、握り−放し型薄膜ホルダーを持つも
のを各部分に分割して示す斜視図、 第２図は、本発明の１つの実施例によるホルダー／薄膜
集合体で、バネ線の握り−放し型薄膜ホルダーを持つも
のを示す斜視図、 第３図は、本発明の１つの実施例によるホルダー／薄膜
集合体の別の実施例で、握り−放し型薄膜ホルダーを持
つものを示す斜視図、 第4A図は、本発明による薄膜包装及び取り扱いシステム
の１つの実施例で、握り−放し型薄膜ホルダーと、開い
た状態で示す蝶番結合の薄膜包装具とを示す斜視図、 第4B図は、第４図のシステムの薄膜支持手段の断面図、 第５図は、本発明の別の実施例で、握り−把持型薄膜ホ
ルダーを持つシステムの平面図、 第６図は、第５図の部分断面図、 第７図は、握り−放し型薄膜ホルダーを持つシステムノ
更に別の実施例で、各部分に分割して示す斜視図、 第7A図は、第７図の断面図、 第８図は、第７図の握り−放し型薄膜ホルダーを持つホ
ルダー／薄膜集合体の斜視図、 第8A図は、第８図の線101〜101′に沿う断面図、であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クレイマー・チェスターフィールド・ヘ ーゲマン アメリカ合衆国、コネチカット州 06810、ダンベリー、ユニット 30‐16、 ミル・プレイン 55 (56)参考文献 特開 昭63−251173（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−140526（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−5434（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03F 1/14

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】（ａ）周辺薄膜フレームを横切って伸びる
    透明な薄膜フィルムを含むパターンマスク薄膜と、 （ｂ）ホルダー／薄膜集合体を形成すべく、上記薄膜フ
    レームに取り外し可能に取り付く手段を含む薄膜ホルダ
    ーであって、更に、上記薄膜を上記薄膜ホルダーから放
    すことなく上記薄膜フィルムが透過光線で検査され得る
    ように、上記ホルダー／薄膜集合体を把持し取り扱う手
    段を含む薄膜ホルダーと、 （ｃ）上記ホルダー／薄膜集合体を収納するための、選
    択的に開くことのできる包装具と、 （ｄ）上記包装具の中の固定位置に上記ホルダー／薄膜
    集合体を取り外し可能に保持する手段と、 を備えることを特徴とする薄膜の包装及び取扱いシステ
    ム。
  2. 【請求項２】上記薄膜フレームは該薄膜フレームの外周
    部に沿って伸びる溝を含み、該溝が上記薄膜ホルダーに
    取り外し可能に係合することを特徴とする請求項１記載
    の薄膜の包装及び取扱いシステム。
  3. 【請求項３】上記薄膜が隅角部を持って角張っており、
    又、上記フレームと上記薄膜ホルダーとを相補い合って
    結合する手段が上記薄膜ホルダーの隅角部に設けられた
    溝を含むことを特徴とする請求項１記載の薄膜の包装及
    び取扱いシステム。
  4. 【請求項４】上記薄膜ホルダーは互いに向き合って回動
    可能な腕を含み、これらの腕が上記薄膜フレームの周り
    で、少なくともその途中まで延びていることを特徴とす
    る請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシステム。
  5. 【請求項５】上記薄膜フレームに取り外し可能に取り付
    く手段は、上記回動可能な腕から内向きに延び、上記薄
    膜フレームの対応する溝に係合する複数のタブを含むこ
    とを特徴とする請求項４記載の薄膜の包装及び取扱いシ
    ステム。
  6. 【請求項６】上記薄膜ホルダーは、上記薄膜フレームに
    整列され、上記薄膜フレームの内径寸法とほぼ同じ寸法
    の観察用アパーチャを含むことを特徴とする請求項１記
    載の薄膜の包装及び取扱いシステム。
  7. 【請求項７】上記薄膜フレームに取り外し可能に取り付
    く手段は、上記薄膜フレームの表面と上記薄膜ホルダー
    の表面との間の接着剤を含むことを特徴とする請求項６
    記載の薄膜の包装及び取扱いシステム。
  8. 【請求項８】上記ホルダー／薄膜集合体を把持し取り扱
    う上記手段は、フィンガーグリップ手段からなることを
    特徴とする請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシステ
    ム。
  9. 【請求項９】上記包装具の中の固定位置に上記ホルダー
    ／薄膜集合体を取り外し可能に保持する上記手段は、上
    記包装具の中での上記薄膜ホルダーの回転を防ぐ手段を
    含むことを特徴とする請求項１記載の薄膜の包装及び取
    扱いシステム。
  10. 【請求項１０】上記包装具の中の固定位置に上記ホルダ
    ー／薄膜集合体を取り外し可能に保持する上記手段は、
    壁に少なくとも３つの薄膜フレームとの接触点を有する
    キャビティーを含むことを特徴とする請求項１記載の薄
    膜の包装及び取扱いシステム。
  11. 【請求項１１】上記包装具の中の固定位置に上記ホルダ
    ー／薄膜集合体を取り外し可能に保持する上記手段は、
    上記包装具の一方側の第１のランド部材と上記包装具の
    対向側の対応する第２のランド部材とを含み、上記薄膜
    ホルダーは該両ランド部材間に保持され、さらに上記手
    段は、少なくとも前記第１のランド部材から上記薄膜ホ
    ルダーの対応する開口部を通って延びるピンを含むこと
    を特徴とする請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシス
    テム。
  12. 【請求項１２】上記薄膜フレームはその底部分周りに連
    続したシール緑部を有し、上記包装の底板は上記薄膜の
    内部を密封すべく上記薄膜フレームの底部分周りのシー
    ル縁部に引き剥がし可能に接着される接触面を有するこ
    とを特徴とする請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシ
    ステム。
  13. 【請求項１３】上記接触面は上記包装具の競り上がった
    ステージ部分上にあることを特徴とする請求項12記載の
    薄膜の包装及び取扱いシステム。
  14. 【請求項１４】上記包装具の中の固定位置に上記ホルダ
    ー／薄膜集合体を取り外し可能に保持する上記手段は、
    上記包装具の中で上記薄膜ホルダーを押し付けるホルダ
    ー押え部材を含むことを特徴とする請求項13記載の薄膜
    の包装及び取扱いシステム。
  15. 【請求項１５】上記薄膜ホルダーは、握り−把持型の薄
    膜ホルダーであることを特徴とする請求項１記載の薄膜
    の包装及び取扱いシステム。
  16. 【請求項１６】上記薄膜ホルダーは、上記フレームを上
    記ホルダーに取り付けるべく上記薄膜フレームに係合す
    る接触タブと、さらに、共通点から延びる２つの解放用
    把持部であって、上記薄膜が上記ホルダーに取り外し可
    能に取り付けられたとき、上記共通点から最も遠い把持
    部の端部が互いにある距離離間され、把持部の端部が互
    いに向かって動き、端部間の距離を減少させ且つ上記接
    触タブを上記薄膜フレームから係合解除させるように各
    把持部に他方の把持部に向く方向に力を加えることによ
    って、薄膜が取り外される解放用把持部を備えることを
    特徴する請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシステ
    ム。
  17. 【請求項１７】更に、上記包装具の中の汚染粒子を掴ま
    え保持する粘着手段を上記包装具の中に含むことを特徴
    とする請求項１記載の薄膜の包装及び取扱いシステム。
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