JPH0470657A - ペリクル貼付装置及びペリクルの接着面保護シート剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、マスクまにはレチクルに対してペリクルを自
動的に貼り付けるためのペリクル貼付装置、及びその貼
り付けを行なう際にペリクルのフレームに貼着された接
着面保護シートを剥離するための装置に関する。

【従来の技術】

半導体集積回路を製造する場合におけるフォトリソグラ
フィ工程で、回路パターンをウェハ上に転写するために
使用するマスクまたはレチクル（以下レチクルという）
の表面に塵等の異物が付着していると、その異物の影が
そのままウェハ上に転写され、製造された半導体集積回
路の回路パターンが不良となる。そこで、ウェハ上に異
物の影か転写されないようにするために、従来より、レ
チクルの表面に異物が直接付着するのを防止すべく、レ
チクルの形状に合わせて形成されたフレームの片面に薄
膜が張設されてなるペリクルを、その薄膜がレチクルの
表面から数ミリ離れて回路パターンを覆うように、レチ
クル上に設ける方法が採られている。 このペリクルのフレームは、薄膜の張設された面と反対
側に薄いシートが貼着された接着面を有しており、この
接着面を保護する保護シートか人手で剥がされたうえて
、その接着面によってレチクルに対して貼り付けられて
いた。従来は、このように人手の介入があったために、
その貼り付けの際に、微少な異物がレチクルとペリクル
の間に入り込み、その異物がレチクルの表面に付着しが
ちであるという問題があった。 そこで、人手を介することなくレチクルにペリクルを貼
り付けることによって、レチクルへの異物の付着を抑え
ようとしたものとして、特開平１９７９６１号公報に開
示されたペリクル貼付装置を挙げることができる。この
装置では、レチクルを収納したケースとペリクルを収納
したケースとをそれぞれ所定の位置に装着することによ
って、各ケースからのレチクル及びペリクルの取り出し
、ペリクルフレームからの接着面保護シートの剥離、及
びレチクルに対するペリクルの圧着が、人手の介入を避
けるべく一連の動作として自動的に行なわれる。

【発明か解決しようとする課題】

この装置は、ペリクルのフレームか、その外周面を保持
する大略コの字型の保持部材によって取り扱われるよう
に構成されている。そして、接着面保護シートを取り外
す際にもフレームはその外周面か保持部材に保持され、
その接着面保護シートかフレームの周囲から張り出し１
こ耳部をつかまれてその部分が固定された状態で、その
部分かみフレームを遠さけるように保持部材を回転させ
ることによって、フレームから接着面保護シートを引き
剥がすように構成されている。 ところが、フレームから接着面保護シートを弓き剥がす
ためにはかなり大きな初期力を要するため、保持部材と
フレームとの間で滑りが発生しやすい。そのため、保持
部材とフレームとか擦れてその部分から塵が発生し、こ
の塵がレチクルの表面に付着する虞がある。この装置で
は、保持部材とフレームとの間の滑りをできるたけなく
して塵の発生を防止すべく、ペリクルのフレームに凹部
を設け、この凹部にはまり込む突起を保持部材に設けて
いるが、この構成でも接着面保護シートの初期剥離時に
滑りが生じる虞は依然として残っている。 したがって本発明の解決すべき技術的課題は、ペリクル
のフレームから接着面保護シートを剥離する際に保持部
材とフレームとの間で滑りが発生するのを防ぐことによ
り、レチクルの表面への異物の付着を防止することにあ
る。

【課題を解決するための手段】

上記技術的課題を解決するため、本発明に係る接着面保
護シート剥離装置は以下のように構成されている。 すなわち、ペリクルのフレームの片面に貼着され且つこ
のフレームの外方へ張り出す耳部を有する接着面保護シ
ートを下にして、ペリクルをフレーム保持手段により保
持したうえで接着面保護シートを剥離するための装置で
あって、 フレーム保持手段により保持されたペリクルを下方から
支持するペリクル支持手段と、ペリクル支持手段に支持
されたペリクルの接着面保護シートの耳部を下から受け
るように構成された第１クリシブ部と、この第１グリッ
プ部から離れた第１位置とこの第１グリップ部に接触し
て接着面保護シートの耳部をつかむｒ二めの第２位置と
に設定可能な第２グリップ部とからなるグリップ手段と
、 接着面保護シートの耳部をつかんだグリップ手段をペリ
クル支持手段に対して下方へ移動させて接着面保護シー
トを初期剥離させる第１駆動手段と、 ペリクル支持手段及びグリップ手段と、ペリクルを保持
したフレーム保持手段とを、接着面保護シートの耳部を
つかんだグリップ手段がペリクルに対してフレームの径
方向内方且つ下方へ向かうように、相対的に斜め方向へ
移動させて接着面保護シートを剥離する第２駆動手段と
、を備えている。

【作用・効果】

上記構成では、接着面保護シートの剥離は以下のように
して行なわれる。 ます、ペリクルｊよ、接着面保護シートを下方に向ｆす
でフレーム保持手段により保持されたうえて、ペリクル
支持手段に下方から支持される。そして、接着面保護シ
ートの耳部を下から受ける第１グリップ部に対して第２
グリップ部を接触させることにより、この耳部がグリッ
プ手段によってつかまれる。次いて、接着面保護シート
の耳部をつかんだグリップ手段を第１駆動手段によって
ペリクル支持手段に対して下方へ移動させて、接着面保
護シートをペリクルのフレームから初期剥離させる。 さらに、ペリクル支持手段及びグリップ手段と、ペリク
ルを保持したフレーム保持手段とを、第２駆動手段によ
って相対的に斜め方向へ移動させることで、接着面保護
シートが剥離される。 この構成によれば、初期剥離の際、ペリクルは下方から
ペリクル支持手段によって支持されているのて、接着面
保護シートをつかんだグリップ手段をペリクルのフレー
ムに対して下方へ移動させても、ペリクルとフレーム保
持手段との間で滑りが発生しないから、そこから塵が発
生することしない。まん、その後は、接着面保護シート
をつかんだグリップ手段をペリクルに対して相対的に斜
めに離れるように移動させろことによって、接着面保護
シートがペリクルのフレームから滑らかに剥かされる。 そのため、ペリクルとフレーム保持手段との間に大きな
力が加わらないのでその間で滑りも発生せず、このとき
に塵が発生することはない。したがって、レチクルに対
してペリクルを貼り付ける場合に、レチクルの表面に異
物が付着するのを効果的に防止することができる。

【実施例】

以下に、第１図から第１４図に示した本発明の実施例に
係るペリクルの接着面保護シート剥離装置及びペリクル
貼付装置について詳細に説明する。 第１図は、レチクルに対してペリクルを自動的に貼り付
けるために、接着面保護シート剥離装置をボックス状の
ケーソング内に備えたペリクル貼付装置１００を平面か
ら見た概略構成図である。 まず、このペリクル貼付装置１００の構成及び動作につ
いて説明する。 図示するように、このペリクル貼付装置１００よ、従来
公知のレチクルケース（レチクルか一枚ずつ収納されｆ
コ開閉式の蓋を有するケース）を複数個ストックするレ
チクルカセットｉｏ＋と、レチクルの下面に貼着される
べきペリクルを同じく開閉式の蓋を有するケースに一枚
ずつ収納された状態でストックする下面ペリクルカセッ
ト１０２と、レチクルの上面用のペリクルを同じように
ケースに収納された状態でストックする上面へりクルカ
セット＋０３を、その正面側の位置に備えている。下面
ペリクルカセットの奥には旋回自在の第１アーム１１０
ａと第１アーム１１０ａに対して旋回自在で且つ前後及
び上下方向へ自在に動作する第２アーム１１０ｂとから
なるアーム１１０を有するロボット１０４が設けられて
おり、その右横には、レチクルやペリクルを取り扱うた
めにロボット１０４のアーム１１０に装着されるレチク
ル用ハント、ペリクル用ハンド及びペリクルケース用ハ
ントが配置されたハンドストッカ一部１０５が設けられ
てし）る。また、このペリクル貼付装置１００の左側面
には、正面から奥へ向かって順に、レチクルケース我び
ペリクルケースの蓋をレチクルケース）＋０１及びペリ
クル位置決め部１０８て開閉するために実線で示した状
態と仮想線で示した状態に設定可能なケース蓋開閉装置
１０６、ペリクルを位置決めするためのペリクル位置決
め部１０８、ペリクルをレチクルに貼着するためのペリ
クル貼り付け部１０９、及びペリクルの貼り付け前にペ
リクルのフレームから接着面保護シートを剥離するため
の保護シート剥離部１０７が設けられている。 ロボット１０４のアーム１１０の先端部分は、第２図か
ら第４図に示すように構成されている。 これらの図は、アーム１１０にペリクルのフレーム２の
保持手段としてのペリクル用ハンド１１１が装着された
状態を示しており、第２図がその正面図、第３図が右側
面図、第４図が平面図である。 ロボットアーム１１０の先端部に位置するベースプレー
ト＋１８には、相互の間隔を拡縮することが可能なビン
１１４ａ、１１４ｂを有するペリクルのチャック用アク
チュエータ１１２が固定されてＬ）る。また、ペリクル
用ハツトＩｌｌは、チャック用アクチュエータ＋１２の
ピンｌｌ４ａ、ｆ１４ｂと係合する溝か形成されｆコ係
合部材１１３ａ］、１３ｂを上面に有する左右のハント
部材１１１ａ１１１ｂから構成されており、各ハント部
材１１１８１１１ｂは、スライドガイド１１５を介して
プレー）＋１６に装着されている。そして、係合部材１
１３の溝の中にピン１１４ａ、１１４ｂかはまり込むよ
うにプレート１１６に対してロボットアーム１１０のヘ
ースプレート１１８を押し付けｆコ状態で穴１１７内を
負圧にすることにより、ロボットアーム１１０にハンド
１１１が吸着されて取り付けられる。また、各ハンド部
材１１１ａ、１１１ｂはべりクルフレームとの接触部分
に突起１１１ｃを有しており、各突起１１１ｃかペリク
ル１のフレーム２に形成された凹部２ａにはまり込むこ
とにより、その位置決めか行なわれる。 この貼付装置１００の動作は以下の通りである。 まず、第１図において、ロボット１０４のアーム１１０
か反時計方向に旋回し、ハントストンカー　’Ｘ１ｆｒ
　ｌ　ＯＤてアーム１１０にペリクルケース用ハントが
装着される。そして、このペリクルケース用ハントを用
いて上面ペリクルカセット＋０３からペリクルケースの
一つか取り出され、ペリクル位置決め部１０８へ搬送さ
れる。そして、ロボットアーム１１０が一部ハンドスト
ッカ一部１０５に戻り、ペリクルケース用ハントに代え
てペリクル用ハンドか装着される。ペリクル用ハンドが
ペリクル位置決め部１０８に到着すると、ペリクルケー
スの蓋か仮想線で示した状態の開閉装置１０６により開
けられ、このハントにより、ケース内に設けられた不図
示の位置決め部材側にペリクルが僅かに押し付けられて
位置決めされる。そして、ペリクルがペリクル用ハンド
につかまれてペリクルケースから取り出されるとともに
接着面保護シート剥離部１０７へ搬送される。この保護
シート剥離部１０７では、詳細は後に説明するが、ペリ
クル１のフレーム２から接着面保護シートか剥離される
。保護シートが剥離され几ペリクルは、ペリクル用ハン
トで保持されたままペリクル貼り付け部１０９へ搬送さ
れ、所定の位置に装着される。 次に、ロボットアーム１１０には、ハントストッカ一部
１０５でペリクル用ハントの代わりに再度ペリクルケー
ス用ハンドか取り付けられ、このペリクルケース用ハン
ドによって、ペリクル位置決め部１０８に残っている空
のペリクルケースが上面ペリクルカセットに戻される。 次に、このペリクルケース用ハントにより、下面ペリク
ルカセット１０２からレチクルの下面用のペリクルケー
スが取り出される。そして、ロボットアーム１１０が上
面ペリクルの場合と同じように動作して、ペリクルの位
置決めから、ペリクルフレーム２に対する接着面保護シ
ートの剥離までが行なわれる。保護シートが剥離された
下面用ペリクルは、ペリクル用ハンドが上下反転するこ
とにより接着面が上方に向けられてペリクル貼り付け部
１０９へ搬送され、上面ペリクルと接着面を向かい合わ
せるようにして、上面ペリクルから離れた所定位置に装
着される。 以上の動作か終了すると、ハントストッカ一部１０５に
おいて、ロボットアーム１１０に、ペリクル用ハントに
代えてレチクル用ハントか装着される。同時に、実線で
示した状態のケース蓋開閉装置＋０６によりレチクルカ
セット１０１内の１つのレチクルケースの蓋が開けられ
る。そして、このレチクルが、レチクル用ハントの装着
されたロボットアームによってケース内で位置決めされ
た上でレチクルケースから取り出されて、ペリクル貼り
付け部１０９の上面ペリクルと下面ペリクルとの間に装
着される。このペリクル貼り付け部１０９では、下面ペ
リクルがレチクルを持ち上げるように上面ペリクルの位
置まで上昇することでレチクルに対して上下のペリクル
が同時に圧着されて貼り付けられる。 レチクルへのペリクルの貼り付けに数分を要するので、
この貼付装置では、次の貼り付けに備えて、その貼り付
けの間を利用してロボットアーム１１０にレチクル用ハ
ンドの代わりにペリクルケース用ハントが装着され、上
面ベリクルカセット１１０にレチクル用ハントの代わり
にペリクルケース用ハントか装着され、上面ペリクルカ
セット＋０３から次のペリクルケースが取り出されてペ
リクル位置決め部１０８に搬送される。ペリクルケース
の搬送か終わると、ロホノトアーム１１０には、ペリク
ルケース用ハントの代わりに再度レチクル用ハンドが装
着され、このレチクル用ハントにより、上下両面にペリ
クルか貼着されｆニレチクルかペリクル貼り付け部１０
９から取り出され、レチクルカセット１０１内に残され
に元のレチクルケースに戻される。そして、次にレチク
ル用ハンドの代わりにペリクル用ハントが装着され、以
下、同様の動作を繰り返すことにより、次のレチクルの
両面へのペリクルの貼着が行なわれる。このペリクル結
付装置１００では、以上のようにしてレチクルへのペリ
クルの装着か連続的に行なわれる。 次に、保護シート剥Ｍ部１０７に設けられる接着面保護
シート剥離装置の構成について、第５図から第８図を用
いて詳細に説明する。第５図はこの接着面保護シート剥
離装置の正面図、第６図は右側面図、第７図は平面図、
第８図は第５図の’ｖ１■線断面図である。 この接着面保護シート剥離装置は、スタンド１１に対し
て各動作部材が取り付けられることによって構成されて
いる。まず、スタンド１１の左側面の上部には、大略コ
の字型に形成された第１プレートＩ６がヒス止めされた
スライダー１７ａを上下方向にガイドするように、スラ
イダー１７ａとでスライドガイド１７を構成するガイド
レール＋７ｂが固定されている。その下方にはＬ字型の
ブラケット１５が固定されている。このブラケット１５
には、スプリング１９を外嵌させたボルト１８がロック
ナツトによって固定されており、このボルトＩ８の頭部
を上端として、スライダー１７ａに固定された第１プレ
ート１６が上方へ付勢されている。 一方、スタンド１１の右側面の上部には、大略り字型に
形成された第２プレート１４がビス止めされたスライダ
ー２６ａを上下方向にガイドするように、スライダー２
６ａとてスライドカイト２６を構成するカイトレール２
６ｂか固定されている。 この第２プレート１４の下端部にはブロック１３か取り
付けろれていて、このブロック１３には、スライドガイ
ド２６の下方でスタンド１１に固定され１こエアーシリ
ンダ１２のロッドが固定されている。図は、エアーシリ
ンダのロッドが出側のストロークエンドにある状態を示
している。 第１プレート１６と第２プレート１４の先端部には、ペ
リクル１のフレーム２に貼着された接着面保護シートの
耳部をつかむためのグリップ手段９を構成するンリコン
ゴム製の第１グリップ部材７と第２グリップ部材８が取
り付けられている。 図では各グリップ部材７．８は離れた位置にあるが、そ
の駆動手段としてのエアーシリンダ１２をそのロッドが
入側のストロークエンドに向かうように作動させると、
第２グリップ部材８が第１グリップ部材７に接触し、さ
らにはスプリング１９を撓ませることにより第１プレー
ト１６を下方へ押し込む。 また、スタンド１１の上部では、第８図に示すように、
ヘアリングＩＯによって、ノヤフト２３が回転自在に保
持されている。このノヤフト２３の一端には、レバー２
２かシャフト２３と一体的に回転するように固定されて
いる。レバー２２は、エアーシリンダ２０のロッドに取
り付けられたナックル２１と回転自在に連結されており
、エアーシリンダ２０は、スタンド２５の下端部に固定
されｆブラケット２５とその下端部が回転可能に連結さ
れている。また、ノヤフト２３には、エアーシリンダ２
０のロッドが入側のストロークエンドにある状態で水平
となるように、大略コの字型に折り曲げられたペリクル
支持部材６が取り付けられている。なお、レバー２２の
下方には、レバー２２が水平となる位置でその回転を規
制するストッパー２４が取り付けられている。 次に、この装置によるペリクルの接着面保護シートの剥
離方法について、第９図から第１４図を用いて説明する
。 まず、上述したようにペリクルｌがベリクルヶ−スから
取り出されて保護シート剥Ｈ部１０７に搬送されると、
ペリクル１は、ペリクル用ハント１１】て保持されたま
ま、第９図及びその平面図である第１０図に示すように
、ペリクル支持部材６の上に載置される。図において、
２はペリクルフレーム、３はフレーム２に張設されに薄
膜、４は接着面、５は接着面４の保護シートである。ペ
リクルｌは、第１０図に示すように、レチクルの形状に
応じて矩形１ａである場合や円形ｔｂである場合がある
が、いずれにしても、ペリクルフレーム２の外方へ張り
出す接着面保護シート５の耳部５ａまたは５ｂが第１グ
リップ部材７の上に載るように、ロボット１０４により
位置決めされる。このように保護シート５の耳部５ａま
たは５ｂが第１グリップ部材７の上に位置する状態でエ
アーシリング１２を作動させ、第２グリップ部材８が第
１グリップ部材７と接触するように第１プレート１４を
下方へ移動させることて、保護シート５の耳部５ａまた
は５ｂは、第１１図に示すように、グリップ手段９によ
ってつかまれる。そして、さらに第１プレート■４か下
方へ移動するようにエアーシリングＩ２を作動さ仕て、
第１２図に示すように接着面保護シート５をペリクル１
のフレーム２から初期剥離する。このときペリクルフレ
ーム２はペリクル支持手段６によって下方から支えられ
ているので、ペリクル用ハンドＩ１１とフレーム２との
間で滑りが発生することはない。したがって、そこから
塵が発生することもない。 ペリクルフレーム２は、この状態から、ペリクル用ハン
ド１１１に保持されたままで、保護ン〜ト５を剥離する
ための第２の駆動手段としてのロボット１０４のアーム
１１０によって矢印Ａの方向へゆっくりと移動する。し
５たがって保護シート５はペリクルフレーム２から徐々
にめくられるように剥がされるので、その剥離は極めて
滑らかであり、保護シート５とフレーム２との間で滑り
が発生する程大きな力かペリクルｌに加えられることは
ない。 このようにしてペリクル１が上方へ移動して剥離が終了
した状態を第１３図に示している。図示するように、エ
アーシリング１２は、グリップ手段９か第１１図の位置
に復帰するようにロッドか僅かに移動しており、グリッ
プ手段９は、保護シート５をペリクル支持部材６に引っ
掛けるようにして保持している。そして、エアー７リン
グ２０のロットが出側へ向けてストロークすることでペ
リクル支持部材６が第１４図に示すように傾けられ、同
時に、エアーシリング２０のロッドも出側へ向けてスト
ロークすることにより耳部５　ａ、　５　ｂがグリップ
手段９から離されて、フレーム２から剥がされた保護シ
ートが廃棄される。そして、このようにして接着面４の
保護シート５が剥離されたペリクルｌが、上述したよう
にペリクル貼り付け１１０９へ搬送され、レチクルに対
する貼り付けが行なわれる。 以上説明したように、この接着面保護シート剥離装置で
は、接着面保護シート５をペリクル１のフレーム２から
剥離するときに、ペリクル用ハンド１１１とペリクルフ
レーム２との間で滑りが全く生じないから、そこから塵
が発生することもない。したがって、レチクルへの貼り
付けの際にその表面に塵か付着することかなく、半導体
集積回路の回路パターンか不良となるのを確実に防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るペリクル貼付装置を平面
から見た概略構成図、第２図はこのペリクル貼付装置に
使用されるロボットアームにペリクル用ハンドを装着し
た状態を示す正面図、第３図はその右側面図、第４図は
平面図、第５図はこのペリクル貼付装置に設けられる接
着面保護シート剥離装置の正面図、第６図は右側面図、
第７図は平面図、第８図は第５図の■−■線断面図、第
９図はペリクル支持手段にペリクルを載置した状態にお
けるこの剥離装置の正面図、第１Ｏ図はその平面図、第
１１図から第】４図はこの剥離装置の動作状態を示す正
面図である。 Ｉ・・・ペリクル、２・・フレーム、３・・・薄膜、４
・接着面、５・・・接着面保護シート、６・・ペリクル
支持部材、７　・第１グリップ部材、訃第２グリップ部
（オ、９　グリップ手段、ｌＯベアリンク、１１　スタ
ンド、１２　エアーノリング（第１駆動手段）、Ｉ３・
・・ブロック、Ｉ４　第２プレート、１５　ブラケット
、１６　第１プレート、１７　スライドカイト、１８・
・ボルト、１９　・スブリンク、２０・エアーンリング
、２１　・ナンクル、２２・・・レバー、２３・シャフ
ト、２４・・・ストッパー、２５　ブラケット、２６　
・スライドカイト、１００・・ペリクル貼付装置、１０
トレチクルカセット、＋０２　　・下面ペリクルカセッ
ト、１０３−・・上面ペリクルカセット、１０４・・ロ
ホソト（第２駆動手段）、１０５・・ハントストッカ一
部、１０６・ケース蓋開閉装置、１０７・・保護シート
剥離部、１０８・ペリクル位置決め部、１０９　　・ペ
リクル貼り付け部、１２０・・・アーム、１１１・・ペ
リクル用ハンド（フレーム保持手段）、Ｉ１２　　・チ
ャック用アクチュエータ、１１３・係合部材、１１４−
ロット、＋＋５　　スライドカイト、１１６・プレート
、１１７・・・吸着穴、１１８・・ヘースプレート 第９図 第１３図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）、マスクまたはレチクルにペリクルを自動的に貼
   り付ける装置において、 ケースに入ったペリクル（１）をセットする取り外し自
   由なペリクルカセット（１０２、１０３）と、ケースに
   入ったマスクまたはペリクルをセットする取り外し自由
   な基板カセット（１０１）と、ペリクル及びマスクもし
   くはレチクルのケース蓋開閉部（１０６）と、 ペリクルの接着面保護シート剥離部（１０７）と、ペリ
   クル貼付圧着部（１０９）と、から構成され、各部間に
   おけるペリクルとマスクもしくはレチクルの搬送をロボ
   ット（１０４）で行なうことを特徴とするペリクル自動
   貼付装置。
2. （２）、ペリクル（１）の搬送、マスクもしくはレチク
   ルの搬送、及び各ケースの搬送に応じ、上記ロボット（
   １０４）に所定のロボットハンドが装着されることを特
   徴とする請求項１記載のペリクル自動貼付装置。
3. （３）、マスクまたはレチクルの位置決めと、ペリクル
   （１）の位置決めを、上記ロボット（１０４）が各ケー
   ス内で行なうように構成されたことを特徴とする請求項
   １または２記載のペリクル自動貼付装置。
4. （４）、ペリクル（１）を、フレーム（２）の片面に貼
   着され且つ該フレーム（２）の外方へ張り出す耳部（５
   ａ）を有する接着面保護シート（５）を下にして、フレ
   ーム保持手段（１１１）により保持したうえで、該接着
   面保護シート（５）を剥離するための装置にして、 上記フレーム保持手段（１１１）により保持されたペリ
   クル（１）を下方から支持するペリクル支持手段（６）
   と、 上記ペリクル支持手段（６）に支持されたペリクル（１
   ）の接着面保護シート（５）の耳部（５ａ）を下から受
   けるように構成された第１グリップ部（７）と、該第１
   グリップ部（７）から離れた第１位置と該第１グリップ
   部（７）に接触して該接着面保護シート（５）の耳部（
   ５ａ）をつかむための第２位置とに設定可能な第２グリ
   ップ部（８）とからなるグリップ手段（９）と、 上記接着面保護シート（５）の耳部（５ａ）をつかんだ
   グリップ手段（９）を上記ペリクル支持手段（６）に対
   して下方へ移動させて該接着面保護シート（５）を初期
   剥離させる第１駆動手段（１２）と、上記ペリクル支持
   手段（６）及びグリップ手段（９）と、上記ペリクル（
   ２）を保持したフレーム保持手段（３）とを、上記接着
   面保護シート（５）の耳部（５ａ）をつかんだグリップ
   手段（９）が該ペリクル（１）に対して上記フレーム（
   ２）の径方向内方且つ下方へ向かうように、相対的に斜
   め方向へ移動させて該接着面保護シート（５）を剥離す
   る第２駆動手段（１０４）と、を備えたことを特徴とす
   るペリクルの接着面保護シート剥離装置。
5. （５）、マスクまたはレチクルの収納された蓋付き基板
   ケースをストックする基板カセット（１０１）と、 該基板ケースの蓋を開閉する基板ケース蓋開閉手段（１
   ０６）と、 上記マスクまたはレチクルの表面に貼り付けられるべき
   ペリクル（１）を収納した蓋付きペリクルケースをスト
   ックするペリクルカセット（１０２、１０３）と、 上記マスクもしくはレチクル、ペリクル（１）及びペリ
   クルケースを取り扱うための基板用ハンド、ペリクル用
   ハンド（１１１）及びペリクルケース用ハンドを収納し
   たハンドストッカー（１０５）と、上記ハンドストッカ
   ー（１０５）から各ハンドのいずれか１つが装着されて
   上記マスクもしくはレチクル、ペリクル（１）及びペリ
   クルケースを取り扱うロボット手段（１０４）と、 上記ペリクルケース用ハンドの装着されたロボット手段
   （１０４）により上記ペリクルカセット（１０２、１０
   ３）から搬送されたペリクルケースを位置決めするペリ
   クル位置決め手段（１０８）と、 該ペリクル位置決め手段（１０８）に位置決めされたペ
   リクルケースの蓋を開閉するペリクルケース蓋開閉手段
   （１０６）と、 該ペリクルケース蓋開閉手段（１０６）により蓋の開か
   れたペリクルケースから上記ペリクル用ハンド（１１１
   ）を装着したロボット手段（１０４）により取り出され
   たペリクル（１）の接着面保護シート（５）を剥離する
   ための請求項４記載のペリクルの接着面保護シート剥離
   装置と、 該接着面保護シート剥離装置により接着面保護シート（
   ５）の剥離されたペリクル（１）と、上記基板ケース蓋
   開閉手段（１０６）によって蓋の開かれた基板ケースか
   ら上記基板用ハンドを装着したロボット手段（１０４）
   により取り出されたマスクまたはレチクルとを保持して
   該マスクまたはレチクルに対してペリクル（１）を貼り
   付けるペリクル貼り付け手段（１０８）と、を備えたこ
   とを特徴とするペリクル貼付装置。