JP3100970B2 - ペリクル貼付装置及びペリクルの接着面保護シート剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、マスクまたはレチクルに対してペリクルを
自動的に貼り付けるためのペリクル貼付装置、及びその
貼り付けを行なう際にペリクルのフレームに貼着された
接着面保護シートを剥離するための装置に関する。

【従来の技術】

半導体集積回路を製造する場合におけるフォトリソグ
ラフィ工程で、回路パターンをウエハ上に転写するため
に使用するマスクまたはレチクル（以下レチクルとい
う）の表面に塵等の異物が付着していると、その異物の
影がそのままウエハ上に転写され、製造された半導体集
積回路の回路パターンが不良となる。そこで、ウエハ上
に異物の影が転写されないようにするために、従来よ
り、レチクルの表面に異物が直接付着するのを防止すべ
く、レチクルの形状に合わせて形成されたフレームの片
面に薄膜が張設されてなるペリクルを、その薄膜がレチ
クルの表面から数ミリ離れて回路パターンを覆うよう
に、レチクル上に設ける方法が採られている。 このペリクルのフレームは、薄膜の張設された面と反
対側に薄いシートが貼着された接着面を有しており、こ
の接着面を保護する保護シートが人手で剥がされたうえ
で、その接着面によってレチクルに対して貼り付けられ
ていた。従来は、このように人手の介入があったため
に、その貼り付けの際に、微少な異物がレチクルとペリ
クルの間に入り込み、その異物がレチクルの表面に付着
しがちであるという問題があった。 そこで、人手を介することなくレチクルにペリクルを
貼り付けることによって、レチクルへの異物の付着を抑
えようとしたものとして、特開平１−97961号公報に開
示されたペリクル貼付装置を挙げることができる。この
装置では、レチクルを収納したケースとペリクルを収納
したケースとをそれぞれ所定の位置に装着することによ
って、各ケースからのレチクル及びペリクルの取り出
し、ペリクルフレームからの接着面保護シートの剥離、
及びレチクルに対するペリクルの圧着が、人手の介入を
避けるべく一連の動作として自動的に行なわれる。

【発明が解決しようとする課題】

この装置は、ペリクルのフレームが、その外周面を保
持する大略コの字型の保持部材によって取り扱われるよ
うに構成されている。そして、接着面保護シートを取り
外す際にもフレームはその外周面が保持部材に保持さ
れ、その接着面保護シートがフレームの周囲から張り出
した耳部をつかまれてその部分が固定された状態で、そ
の部分からフレームを遠ざけるように保持部材を回転さ
せることによって、フレームから接着面保護シートを引
き剥がすように構成されている。 ところが、フレームから接着面保護シートを引き剥が
すためにはかなり大きな初期力を要するため、保持部材
とフレームとの間で滑りが発生しやすい。そのため、保
持部材とフレームとが擦れてその部分から塵が発生し、
この塵がレチクルの表面に付着する虞がある。この装置
では、保持部材とフレームとの間の滑りをできるだけな
くして塵の発生を防止すべく、ペリクルのフレームに凹
部を設け、この凹部にはまり込む突起を保持部材に設け
ているが、この構成でも接着面保護シートの初期剥離時
に滑りが生じる虞は依然として残っている。 したがって本発明の解決すべき技術的課題は、ペリク
ルのフレームから接着面保護シートを剥離する際に保持
部材とフレームとの間で滑りが発生するのを防ぐことに
より、レチクルの表面への異物の付着を防止することに
ある。

【課題を解決するための手段】

上記技術的課題を解決するため、本発明に係る接着面
保護シート剥離装置は以下のように構成されている。 すなわち、ペリクルのフレームの片面に貼着され且つ
このフレームの外方へ張り出す耳部を有する接着面保護
シートを下にして、ペリクルをフレーム保持手段により
保持したうえで接着面保護シートを剥離するための装置
であって、 フレーム保持手段により保持されたペリクルを下方か
ら支持するペリクル支持手段と、 ペリクル支持手段に支持されたペリクルの接着面保護
シートの耳部を下から受けるように構成された第１グリ
ップ部と、この第１グリップ部から離れた第１位置とこ
の第１グリップ部に接触して接着面保護シートの耳部を
つかむための第２位置とに設定可能な第２グリップ部と
からなるグリップ手段と、 接着面保護シートの耳部をつかんだグリップ手段をペ
リクル支持手段に対して下方へ移動させて接着面保護シ
ートを初期剥離させる第１駆動手段と、 ペリクル支持手段及びグリップ手段と、ペリクルを保
持したフレーム保持手段とを、接着面保護シートの耳部
をつかんだグリップ手段がペリクルに対してフレームの
径方向内方且つ下方へ向かうように、相対的に斜め方向
へ移動させて接着面保護シートを剥離する第２駆動手段
と、を備えている。

【作用・効果】

上記構成では、接着面保護シートの剥離は以下のよう
にして行なわれる。 まず、ペリクルは、接着面保護シートを下方に向けて
フレーム保持手段により保持されたうえで、ペリクル支
持手段に下方から支持される。そして、接着面保護シー
トの耳部を下から受ける第１グリップ部に対して第２グ
リップ部を接触させることにより、この耳部がグリップ
手段によってつかまれる。次いで、接着面保護シートの
耳部をつかんだグリップ手段を第１駆動手段によってペ
リクル支持手段に対して下方へ移動させて、接着面保護
シートをペリクルのフレームから初期剥離させる。さら
に、ペリクル支持手段及びグリップ手段と、ペリクルを
保持したフレーム保持手段とを、第２駆動手段によって
相対的に斜め方向へ移動させることで、接着面保護シー
トが剥離される。 この構成によれば、初期剥離の際、ペリクルは下方か
らペリクル支持手段によって支持されているので、接着
面保護シートをつかんだグリップ手段をペリクルのフレ
ームに対して下方へ移動させても、ペリクルとフレーム
保持手段との間で滑りが発生しないから、そこから塵が
発生することもない。また、その後は、接着面保護シー
トをつかんだグリップ手段をペリクルに対して相対的に
斜めに離れるように移動させることによって、接着面保
護シートがペリクルのフレームから滑らかに剥がされ
る。そのため、ペリクルとフレーム保持手段との間に大
きな力が加わらないのでその間で滑りも発生せず、この
ときに塵が発生することはない。したがって、レチクル
に対してペリクルを貼り付ける場合に、レチクルの表面
に異物が付着するのを効果的に防止することができる。

【実施例】

以下に、第１図から第14図に示した本発明の実施例に
係るペリクルの接着面保護シート剥離装置及びペリクル
貼付装置について詳細に説明する。 第１図は、レチクルに対してペリクルを自動的に貼り
付けるために、接着面保護シート剥離装置をボックス状
のケーシング内に備えたペリクル貼付装置100を平面か
ら見た概略構成図である。まず、このペリクル貼付装置
100の構成及び動作について説明する。 図示するように、このペリクル貼付装置100は、従来
公知のレチクルケース（レチクルが一枚ずつ収納された
開閉式の蓋を有するケース）を複数個ストックするレチ
クルカセット101と、レチクルの下面に貼着されるべき
ペリクルを同じく開閉式の蓋を有するケースに一枚ずつ
収納された状態でストックする下面ペリクルカセット10
2と、レチクルの上面用のペリクルを同じようにケース
に収納された状態でストックする上面ペリクルカセット
103を、その正面側の位置に備えている。下面ペリクル
カセットの奥には旋回自在の第１アーム110aと第１アー
ム110aに対して旋回自在で且つ前後及び上下方向へ自在
に動作する第２アーム110bとからなるアーム110を有す
るロボット104が設けられており、その右横には、レチ
クルやペリクルを取り扱うためにロボット104のアーム1
10に装着されるレチクル用ハンド、ペリクル用ハンド及
びペリクルケース用ハンドが配置されたハンドストッカ
ー部105が設けられている。また、このペリクル貼付装
置100の左側面には、正面から奥へ向かって順に、レチ
クルケース及びペリクルケースの蓋をレチクルカセット
101及びペリクル位置決め部108で開閉するために実線で
示した状態と仮想線で示した状態に設定可能なケース蓋
開閉装置106、ペリクルを位置決めするためのペリクル
位置決め部108、ペリクルをレチクルに貼着するための
ペリクル貼り付け部109、及びペリクルの貼り付け前に
ペリクルのフレームから接着面保護シートを剥離するた
めの保護シート剥離部107が設けられている。 ロボット104のアーム110の先端部分は、第２図から第
４図に示すように構成されている。これらの図は、アー
ム110にペリクルのフレーム２の保持手段としてのペリ
クル用ハンド111が装着された状態を示しており、第２
図がその正面図、第３図が右側面図、第４図が平面図で
ある。ロボットアーム110の先端部に位置するベースプ
レート118には、相互の間隔を拡縮することが可能なピ
ン114a,114bを有するペリクルのチャック用アクチュエ
ータ112が固定されている。また、ペリクル用ハンド111
は、チャック用アクチュエータ112のピン114a,114bと係
合する溝が形成された係合部材113a,113bを上面に有す
る左右のハンド部材111a,111bから構成されており、各
ハンド部材111a,111bは、スライドガイド115を介してプ
レート116に装着されている。そして、係合部材113の溝
の中にピン114a,114bがはまり込むようにプレート116に
対してロボットアーム110のベースプレート118を押し付
けた状態で穴117内を負圧にすることにより、ロボット
アーム110にハンド111が吸着されて取り付けられる。ま
た、各ハンド部材111a,111bはペリクルフレームとの接
触部分に突起111cを有しており、各突起111cがペリクル
１のフレーム２に形成された凹部2aにはまり込むことに
より、その位置決めが行なわれる。 この貼付装置100の動作は以下の通りである。 まず、第１図において、ロボット104のアーム110が反
時計方向に旋回し、ハンドストッカー部105でアーム110
にペリクルケース用ハンドが装着される。そして、この
ペリクルケース用ハンドを用いて上面ペリクルカセット
103からペリクルケースの一つが取り出され、ペリクル
位置決め部108へ搬送される。そして、ロボットアーム1
10が一旦ハンドストッカー部105に戻り、ペリクルケー
ス用ハンドに代えてペリクル用ハンドが装着される。ペ
リクル用ハンドがペリクル位置決め部108に到着する
と、ペリクルケースの蓋が仮想線で示した状態の開閉装
置106により開けられ、このハンドにより、ケース内に
設けられた不図示の位置決め部材側にペリクルが僅かに
押し付けられて位置決めされる。そして、ペリクルがペ
リクル用ハンドにつかまれてペリクルケースから取り出
されるとともに接着面保護シート剥離部107へ搬送され
る。この保護シート剥離部107では、詳細は後に説明す
るが、ペリクル１のフレーム２から接着面保護シートが
剥離される。保護シートが剥離されたペリクルは、ペリ
クル用ハンドで保持されたままペリクル貼り付け部109
へ搬送され、所定の位置に装着される。次に、ロボット
アーム110には、ハンドストッカー部105でペリクル用ハ
ンドの代わりに再度ペリクルケース用ハンドが取り付け
られ、このペリクルケース用ハンドによって、ペリクル
位置決め部108に残っている空のペリクルケースが上面
ペリクルカセットに戻される。 次に、このペリクルケース用ハンドにより、下面ペリ
クルカセット102からレチクルの下面用のペリクルケー
スが取り出される。そして、ロボットアーム110が上面
ペリクルの場合と同じように動作して、ペリクルの位置
決めから、ペリクルフレーム２に対する接着面保護シー
トの剥離までが行なわれる。保護シートが剥離された下
面用ペリクルは、ペリクル用ハンドが上下反転すること
により接着面が上方に向けられてペリクル貼り付け部10
9へ搬送され、上面ペリクルと接着面を向かい合わせる
ようにして、上面ペリクルから離れた所定位置に装着さ
れる。 以上の動作が終了すると、ハンドストッカー部105に
おいて、ロボットアーム110に、ペリクル用ハンドに代
えてレチクル用ハンドが装着される。同時に、実線で示
した状態のケース蓋開閉装置106によりレチクルカセッ
ト101内の１つのレチクルケースの蓋が開けられる。そ
して、このレチクルが、レチクル用ハンドの装着された
ロボットアームによってケース内で位置決めされた上で
レチクルケースから取り出されて、ペリクル貼り付け部
109の上面ペリクルと下面ペリクルとの間に装着され
る。このペリクル貼り付け部109では、下面ペリクルが
レチクルを持ち上げるように上面ペリクルの位置まで上
昇することでレチクルに対して上下のペリクルが同時に
圧着されて貼り付けられる。 レチクルへのペリクルの貼り付けに数分を要するの
で、この貼付装置では、次の貼り付けに備えて、その貼
り付けの間を利用してロボットアーム110にレチクル用
ハンドの代わりにペリクルケース用ハンドが装着され、
上面ペリクルカセット103から次のペリクルケースが取
り出されてペリクル位置決め部108に搬送される。ペリ
クルケースの搬送が終わると、ロボットアーム110に
は、ペリクルケース用ハンドの代わりに再度レチクル用
ハンドが装着され、このレチクル用ハンドにより、上下
両面にペリクルが貼着されたレチクルがペリクル貼り付
け部109から取り出され、レチクルカセット101内に残さ
れた元のレチクルケースに戻される。そして、次にレチ
クル用ハンドの代わりにペリクル用ハンドが装着され、
以下、同様の動作を繰り返すことにより、次のレチクル
の両面へのペリクルの貼着が行なわれる。このペリクル
貼付装置100では、以上のようにしてレチクルへのペリ
クルの装着が連続的に行なわれる。 次に、保護シート剥離部107に設けられる接着面保護
シート剥離装置の構成について、第５図から第８図を用
いて詳細に説明する。第５図はこの接着面保護シート剥
離装置の正面図、第６図は右側面図、第７図は平面図、
第８図は第５図のVIII−VIII線断面図である。 この接着面保護シート剥離装置は、スタンド11に対し
て各動作部材が取り付けられることによって構成されて
いる。まず、スタンド11の左側面の上部には、大略コの
字型に形成された第１プレート16がビス止めされたスラ
イダー17aを上下方向にガイドするように、スライダー1
7aとでスライドガイド17を構成するガイドレール17bが
固定されている。その下方にはＬ字型のブラケット15が
固定されている。このブラケット15には、スプリング19
を外嵌させたボルト18がロックナットによって固定され
ており、このボルト18の頭部を上端として、スライダー
17aに固定された第１プレート16が上方に付勢されてい
る。 一方、スタンド11の右側面の上部には、大略Ｌ字型に
形成された第２プレート14がビス止めされたスライダー
26aを上下方向にガイドするように、スライダー26aとで
スライドガイド26を構成するガイドレール26bが固定さ
れている。この第２プレート14の下端部にはブロック13
が取り付けられていて、このブロック13には、スライド
ガイド26の下方でスタンド11に固定されたエアーシリン
ダ12のロッドが固定されている。図は、エアーシリンダ
のロッドが出側のストロークエンドにある状態を示して
いる。 第１プレート16と第２プレート14の先端部には、ペリ
クル１のフレーム２に貼着された接着面保護シートの耳
部をつかむためのグリップ手段９を構成するシリコンゴ
ム製の第１グリップ部材７と第２グリップ部材８が取り
付けられている。図では各グリップ部材7,8は離れた位
置にあるが、その駆動手段としてのエアーシリンダ12を
そのロッドが入側のストロークエンドに向かうように作
動させると、第２グリップ部材８が第１グリップ部材７
に接触し、さらにはスプリング19を撓ませることにより
第１プレート16を下方へ押し込む。 また、スタンド11の上部では、第８図に示すように、
ベアリング10によって、シャフト23が回転自在に保持さ
れている。このシャフト23の一端には、レバー22がシャ
フト23と一体的に回転するように固定されている。レバ
ー22は、エアーシリンダ20のロッドに取り付けられたナ
ックル21と回転自在に連結されており、エアーシリンダ
20は、スタンド11の下端部に固定されたブラケット25と
その下端部が回転可能に連結されている。また、シャフ
ト23には、エアーシリンダ20のロッドが入側のストロー
クエンドにある状態で水平となるように、大略コの字型
に折り曲げられたペリクル支持部材６が取り付けられて
いる。なお、レバー22の下方には、レバー22が水平とな
る位置でその回転を規制するストッパー24が取り付けら
れている。 次に、この装置によるペリクルの接着面保護シートの
剥離方法について、第９図から第14図を用いて説明す
る。 まず、上述したようにペリクル１がペリクルケースか
ら取り出されて保護シート剥離部107に搬送されると、
ペリクル１は、ペリクル用ハンド111で保持されたま
ま、第９図及びその平面図である第10図に示すように、
ペリクル支持部材６の上に載置される。図において、２
はペリクルフレーム、３はフレーム２に張設された薄
膜、４は接着面、５は接着面４の保護シートである。ペ
リクル１は、第10図に示すように、レチクルの形状に応
じて矩形1aである場合や円形1bである場合があるが、い
ずれにしても、ペリクルフレーム２の外方へ張り出す接
着面保護シート５の耳部5aまたは5bが第１グリップ部材
７の上に載るように、ロボット104により位置決めされ
る。このように保護シート５の耳部5aまたは5bが第１グ
リップ部材７の上に位置する状態でエアーシリンダ12を
作動させ、第２グリップ部材８が第１グリップ部材７と
接触するように第２プレート14を下方へ移動させること
で、保護シート５の耳部5aまたは5bは、第11図に示すよ
うに、グリップ手段９によってつかまれる。そして、さ
らに第２プレート14が下方へ移動するようにエアーシリ
ンダ12を作動させて、第12図に示すように接着面保護シ
ート５をペリクル１のフレーム２から初期剥離する。こ
のときペリクルフレーム２はペリクル支持手段６によっ
て下方から支えられているので、ペリクル用ハンド111
とフレーム２との間で滑りが発生することはない。した
がって、そこから塵が発生することもない。 ペリクルフレーム２は、この状態から、ペリクル用ハ
ンド111に保持されたままで、保護シート５を剥離する
ための第２の駆動手段としてのロボット104のアーム110
によって矢印Ａの方向へゆっくりと移動する。したがっ
て保護シート５はペリクルフレーム２から徐々にめくら
れるように剥がされるので、その剥離は極めて滑らかで
あり、保護シート５とフレーム２との間で滑りが発生す
る程大きな力がペリクル１に加えられることはない。 このようにしてペリクル１が上方へ移動して剥離が終
了した状態を第13図に示している。図示するように、エ
アーシリンダ12は、グリップ手段９が第11図の位置に復
帰するようにロッドが僅かに移動しており、グリップ手
段９は、保護シート５をペリクル支持部材６に引っ掛け
るようにして保持している。そして、エアーシリンダ20
のロッドが出側へ向けてストロークすることでペリクル
支持部材６が第14図に示すように傾けられ、同時に、エ
アーシリンダ20のロッドも出側へ向けてストロークする
ことにより耳部5a,5bがグリップ手段９から離されて、
フレーム２から剥がされた保護シートが廃棄される。そ
して、このようにして接着面４の保護シート５が剥離さ
れたペリクル１が、上述したようにペリクル貼り付け部
109へ搬送され、レチクルに対する貼り付けが行なわれ
る。 以上説明したように、この接着面保護シート剥離装置
では、接着面保護シート５をペリクル１のフレーム２か
ら剥離するときに、ペリクル用ハンド111とペリクルフ
レーム２との間で滑りが全く生じないから、そこから塵
が発生することもない。したがって、レチクルへの貼り
付けの際にその表面に塵が付着することがなく、半導体
集積回路の回路パターンが不良となるのを確実に防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るペリクル貼付装置を平面
から見た概略構成図、第２図はこのペリクル貼付装置に
使用されるロボットアームにペリクル用ハンドを装着し
た状態を示す正面図、第３図はその右側面図、第４図は
平面図、第５図はこのペリクル貼付装置に設けられる接
着面保護シート剥離装置の正面図、第６図は右側面図、
第７図は平面図、第８図は第５図のVIII−VIII線断面
図、第９図はペリクル支持手段にペリクルを載置した状
態におけるこの剥離装置の正面図、第10図はその平面
図、第11図から第14図はこの剥離装置の動作状態を示す
正面図である。 １……ペリクル、２……フレーム、３……薄膜、４……
接着面、５……接着面保護シート、６……ペリクル支持
部材、７……第１グリップ部材、８……第２グリップ部
材、９……グリップ手段、10……ベアリング、11……ス
タンド、12……エアーシリンダ（第１駆動手段）、13…
…ブロック、14……第２プレート、15……ブラケット、
16……第１プレート、17……スライドガイド、18……ボ
ルト、19……スプリング、20……エアーシリンダ、21…
…ナックル、22……レバー、23……シャフト、24……ス
トッパー、25……ブラケット、26……スライドガイド、
100……ペリクル貼付装置、101……レチクルカセット、
102……下面ペリクルカセット、103……上面ペリクルカ
セット、104……ロボット（第２駆動手段）、105……ハ
ンドストッカー部、106……ケース蓋開閉装置、107……
保護シート剥離部、108……ペリクル位置決め部、109…
…ペリクル貼り付け部、110……アーム、111……ペリク
ル用ハンド（フレーム保持手段）、112……チャック用
アクチュエータ、113……係合部材、114……ロッド、11
5……スライドガイド、116……プレート、117……吸着
穴、118……ベースプレート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−97961（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−71852（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ペリクル（１）を、フレーム（２）の片面
   に貼着され且つ該フレーム（２）の外方へ張り出す耳部
   （5a）を有する接着面保護シート（５）を下にして、フ
   レーム保持手段（111）により保持したうえで、該接着
   面保護シート（５）を剥離するための装置にして、 上記フレーム保持手段（111）により保持されたペリク
   ル（１）を下方から支持するペリクル支持手段（６）
   と、 上記ペリクル支持手段（６）に支持されたペリクル
   （１）の接着面保護シート（５）の耳部（5a）を下から
   受けるように構成された第１グリップ部（７）と、該第
   １グリップ部（７）から離れた第１位置と該第１グリッ
   プ部（７）に接触して該接着面保護シート（５）の耳部
   （5a）をつかむための第２位置とに設定可能な第２グリ
   ップ部（８）とからなるグリップ手段（９）と、 上記接着面保護シート（５）の耳部（5a）をつかんだグ
   リップ手段（９）を上記ペリクル支持手段（６）に対し
   て下方へ移動させて該接着面保護シート（５）を初期剥
   離させる第１駆動手段（12）と、 上記ペリクル支持手段（６）及びグリップ手段（９）
   と、上記ペリクル（２）を保持したフレーム保持手段
   （111）とを、上記接着面保護シート（５）の耳部（5
   a）をつかんだグリップ手段（９）が該ペリクル（１）
   に対して上記フレーム（２）の径方向内方且つ下方へ向
   かうように、相対的に斜め方向へ移動させて該接着面保
   護シート（５）を剥離する第２駆動手段（104）と、を
   備えたことを特徴とするペリクルの接着面保護シート剥
   離装置。
2. 【請求項２】マスクまたはレチクルの収納された蓋付き
   基板ケースをストックする基板カセット（101）と、 該基板ケースの蓋を開閉する基板ケース蓋開閉手段（10
   6）と、 上記マスクまたはレチクルの表面に貼り付けられるべき
   ペリクル（１）を収納した蓋付きペリクルケースをスト
   ックするペリクルカセット（102,103）と、 上記マスクもしくはレチクル、ペリクル（１）及びペリ
   クルケースを取り扱うための基板用ハンド、ペリクル用
   ハンド（111）及びペリクルケース用ハンドを収納した
   ハンドストッカー（105）と、 上記ハンドストッカー（105）から各ハンドのいずれか
   １つが装着されて上記マスクもしくはレチクル、ペリク
   ル（１）及びペリクルケースを取り扱うロボット手段
   （104）と、 上記ペリクルケース用ハンドの装着されたロボット手段
   （104）により上記ペリクルカセット（102,103）から搬
   送されたペリクルケースを位置決めするペリクル位置決
   め手段（108）と、 該ペリクル位置決め手段（108）に位置決めされたペリ
   クルケースの蓋を開閉するペリクルケース蓋開閉手段
   （106）と、 該ペリクルケース蓋開閉手段（106）により蓋の開かれ
   たペリクルケースから上記ペリクル用ハンド（111）を
   装着したロボット手段（104）により取り出されたペリ
   クル（１）の接着面保護シート（５）を剥離するための
   請求項１記載のペリクルの接着面保護シート剥離装置
   と、 該接着面保護シート剥離装置により接着面保護シート
   （５）の剥離されたペリクル（１）と、上記基板ケース
   蓋開閉手段（106）によって蓋の開かれた基板ケースか
   ら上記基板用ハンドを装着したロボット手段（104）に
   より取り出されたマスクまたはレチクルとを保持して該
   マスクまたはレチクルに対してペリクル（１）を貼り付
   けるペリクル貼り付け手段（109）と、を備えたことを
   特徴とするペリクル貼付装置。