JPH0650979Y2 - 成膜装置用基板保持機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、プラズマCVD装置やスパッタリング装置等
の成膜装置において、基板を成膜室内の基板ホルダ上に
固定するための機構に関するものである。

〔従来の技術〕

プラズマCVD装置やスパッタリング装置等の成膜装置に
おいて、連続的に各処理を行うためにインライン方式の
装置が用いられる。このインライン方式の成膜装置は、
例えば基板取り入れ室，成膜室等の処理室，及び基板取
り出し室が連続的に配置されている。そして、例えばカ
セット・ツー・カセット方式では、基板取り入れ室及び
基板取り出し室に基板を収容するためのカセットが設け
られており、搬送カート等の搬送機構により前記基板取
り入れ室のカセットから基板（ウェハ）を取り出し、成
膜室の基板ホルダに前記基板を装着し、成膜終了後はこ
の基板を前記搬送機構により基板取り出し室のカセット
に収容するようにしている。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで成膜室においては、基板の成膜面にダストが付
着しないように、基板を縦向きに保持するのが望まし
い。しかし、真空室である成膜室内で、基板を縦向きの
状態で着脱し、保持するのは非常に困難である。例えば
第４図（ａ）（ｂ）に示す保持機構では、基板ホルダ１
上に複数の固定用金具22を固定ネジ21等により固定し、
前記固定用金具22を第４図（ａ）の破線で示すように回
転させ、基板ホルダ１に基板８を嵌め込んで固定するよ
うにしている。ところが前記保持機構では、前記固定用
金具22の回転により、基板８表面を傷付けてしまうおそ
れがあり、これによりダストが発生するばかりか、同図
（ａ）に示す斜線領域Ａは後に素子として使用できない
無効部分となり、生産効率が悪いという問題がある。

この考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、基板表
面を傷つけることなく、簡単かつ確実に基板を固定でき
る成膜室用基板保持機構を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本考案では上記課題を解決するために、搬送機構により
搬送されてきた基板を成膜装置内の基板ホルダ上に保持
するための成膜装置用基板保持機構を次のように構成す
る。基板ホルダに固定され該基板ホルダ上の基板の周縁
部を押圧する少なくとも３個以上の基板固定部材と、前
記基板固定部材に対応した位置で基板ホルダに貫通孔を
設け、さらに、昇降可能であり、かつ基板ホルダ裏面か
ら前記貫通孔を挿通可能な作動ロッドを設ける。その作
動ロッドの先端には前記基板固定部材を押し上げる突起
部分と基板保持部が形成されており、該作動ロッドを昇
降させて前記搬送機構に対する基板の着脱を行うととも
に、前記基板固定部材の基板押圧又は押圧解除を行わせ
る基板着脱装置とを備えるように成膜装置用基板保持機
構を構成している。

〔作用〕

この考案においては、例えば搬送機構から基板ホルダへ
の基板の移し替え操作時は、基板ホルダ下部の作動ロッ
ドを、ホルダ裏面から貫通孔を介して、さらに基板固定
部材の押圧力に抗して上昇させ、搬送機構の基板を保持
する。そして搬送機構を退避させて前記基板を保持した
作動ロッドを下降させるとともに、この作動ロッドによ
る基板固定部材の規制を解除し、前記作動ロッドに保持
された基板を基板ホルダ上に載置し、この載置された基
板を前記基板固定部材で押圧し、固定する。このよう
に、作動ロッドの作用により、搬送機構からの基板の取
り外し動作と、基板ホルダ上の基板固定部材を作動させ
ることによる基板固定動作とが行われる。また、基板ホ
ルダから搬送機構への基板の移し替え時も同様である。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図に基づいて説明する。第１図
は本考案の一実施例による基板保持機構の基板ホルダ部
を示す。図において、１はその上に基板が載置される基
板ホルダであり、連結部材３及び４により回転軸５に固
定されている。回転軸５は図示しない駆動機構により90
°の範囲で回転可能となっている。この基板ホルダ１上
には、第２図及び第３図に示すように、基板固定部材と
して４つの基板固定用の金具10がそれぞれ対向して配置
され、ネジ11により固定されている。前記固定用金具10
は、基板の外周端部を押圧するための押圧部材と、この
押圧部材を下方に付勢するための捩じりバネとを固定し
て構成されている。また、前記基板ホルダ１の、固定用
金具10の下部には、貫通孔1aが形成されている。さら
に、前記基板ホルダ１の上面には、前記固定用金具10の
捩じりバネ部及びヒンジ部に膜が付着するのを防止する
ためのリングカバー２が装着されている。このリングカ
バー２の裏面には、切欠き凹部2aが前記固定用金具10に
対応して形成されており、該切欠き凹部2aに前記固定用
金具10が収容されている。

また、第３図に示すように、前記基板ホルダ１の下方に
は、基板着脱装置６が昇降可能に設けられている。基板
着脱装置６は、例えば成膜室外に設けられた図示しない
駆動機構により昇降される昇降軸63と、この昇降軸63に
固定された固定板62と、固定板62に植設された４本の作
動ロッド61とを有し、前記作動ロッド61は前記基板ホル
ダ１に形成された貫通孔1aに挿通可能となっている。ま
た、前記作動ロッド61の先端には、基板８が載置される
基板保持部61aが形成されている。

なお第３図中、７は基板８を搬送するための搬送機構で
あり、他の例えば基板取り入れ室から図示の高さ位置に
基板を搬送してくるものである。

次に動作について説明する。

第１図の実線で示すように、基板ホルダ１は水平位置で
待機しており、基板取り入れ室等のカセットから取り出
された基板８は、搬送機構７により第３図に示す位置に
搬送されてくる。すると、基板着脱装置６が作動してそ
の作動ロッド61aが上昇し、基板ホルダ１の貫通孔1aを
裏面から挿通して、固定用金具10をその捩じりバネの付
勢力に抗して押し上げる。前記固定用金具10は回動自在
となっているので、そのヒンジ部を中心に回動する。前
記作動ロッド61はさらに上昇し、搬送機構７に載置され
ている基板８の外周端部を該作動ロッド61先端の基板保
持部61aに載置して、第３図二点鎖線で示すように、基
板８を搬送機構７から浮き上がらせる。これにより、搬
送機構７に保持されていた基板８は基板着脱装置６側に
移し替えられたことになる。

前記基板８の移し替えの後、搬送機構７は退避する。そ
の後、前記基板着脱装置６の作動によりその作動ロッド
61が下降する。このとき固定用金具10は、捩じりバネに
より第３図の実線状態に復帰しようとしているが、作動
ロッド61の背面によりその動きが規制されている。そし
て、前記基板８が固定用金具10の先端位置より下方にき
た時点で、前記固定用金具10の規制が解除され、さらに
作動ロッド61が下降して基板ホルダ１より下方にくる
と、前記作動ロッド61の基板保持部61aに載置されてい
た基板８は基板ホルダ１の上面に載置されることとな
り、同時に該基板８の上面を前記固定用金具10が押圧す
る。

このようにして基板８が基板ホルダ１上に固定される
と、第１図に示した回転軸５が反時計方向に90°回転
し、前記基板８を縦向きにする。この状態で成膜が行わ
れる。

なお、基板ホルダ１から搬送機構７に基板８を移し変え
る際は、前記動作とは全く逆の動作で行われる。

このような本実施例では、非常に簡単な機構で、即ち１
つの基板着脱装置６で、搬送機構からの基板８の着脱
と、固定用金具10の作動（押圧又は押圧の解除）とを行
うことができる。また、固定用金具10は基板８の表面上
を摺動することがないので、ダストの発生が防止され、
かつ基板８の無効部分を固定用金具10の下部のみとする
ことができ、効率のよい成膜を行うことができる。

なお、前記実施例では固定用金具を捩じりバネ及び押圧
部材により構成したが、固定用金具全体をバネ構造にし
てもよく、前記実施例と同様の効果を奏する。

また、前記実施例では基板ホルダと基板着脱装置とを分
離して設けたが、これらを固定して一体構造としてもよ
い。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によれば、簡単な機構で確実に
基板をホルダに固定することができ、またその際基板表
面を傷付けることもなく、品質の向上及び生産効率の向
上を実現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例による成膜装置用基板保持機
構の基板ホルダ部を示す図、第２図はその平面図、第３
図は前記基板ホルダと基板着脱装置とを示す図、第４図
（ａ）は従来の基板保持機構を示す図、第４図（ｂ）は
その断面側面図である。 １…基板ホルダ、1a…貫通孔、６…基板着脱装置、61…
作動ロッド、７…搬送機構、８…基板、10…固定用金具
（基板固定部材）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送機構により搬送されてきた基板を、成
   膜装置内の基板ホルダ上に保持するための成膜装置用基
   板保持機構であって、前記基板ホルダに固定され該基板
   ホルダ上の基板の周縁部を押圧する少なくとも３個以上
   の基板固定部材と、昇降可能であり、かつ前記基板ホル
   ダの基板固定部材に対応した位置に形成された貫通孔を
   該基板ホルダ裏面から挿通可能な作動ロッドを有し、該
   作動ロッドの先端には前記基板固定部材を押し上げる突
   起部分と基板保持部が形成されており、該作動ロッドを
   昇降させて前記搬送機構に対する基板の着脱を行うとと
   もに、前記基板固定部材の基板押圧又は押圧解除を行わ
   せる基板着脱装置とを備えたことを特徴とする成膜装置
   用基板保持機構。