JPS63178973A - 半導体ウェーハー包装容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 −の 本発明は、半導体材料、装置等の輸送及び保管をなすた
めの包装容器に関するものであり、特にウェーハーの輸
送及び保管をなすのに好適に使用し得る包装容器に関す
るものである。

′　　　　　び、　ヘ ウェーハーのような半導体材料、ＩＩｔ置等は極めて脆
く破損され易く、又雰囲気により汚染され易いためにそ
の輸送及び保管に当っての取扱いには細心の注意が必要
とされる。

従来、斯るウェーハーの輸送及び保管用の包装容器とし
ては、第７図及び第８図に図示するようなものが広く使
用されている。

該包装容器は、円形とされる下ケース２の底面２ａを凹
面状に形成し、大型の円形状ウェーハーＡを該底面２ａ
上に配置し、上ケース６を下ケース２に嵌合せしめると
き、複数の脚４ａを外周に有した皿状押え手段４を下ケ
ース？側へと押圧し、それにより原理え手段４にて該ウ
ェーハーＡの外周部を押圧して両ケース間に該ウェーハ
ーＡを保持し包装する構成とされる。

しかしながら、斯る包装容器は円形のウェーハーの包装
は極めて好適に行ない得るが、矩形のウェーハーを包装
する場合には、ウェーハーの４隅部のみが下ケースの凹
面状の底面に接触するために該４隅に応力が集中し、４
隅が破損するか、又は押え手段４による押圧力により材
料内に内部歪が生じ、製品の品質の低下の原因となり、
問題があった。又、小型のウェーハーの保持は不可能で
あった。

ｍ勿 本発明の目的は１種々の形状、寸法の、特に矩形のウェ
ーハー、その他の半導体材料、装置等を破損したり又は
内部応力を生ぜしめることなく効率よく輸送及び保管を
行ない、且つ容器内からの取出しが容易な包装容器を提
供することである。

μ“　占　　　　るため 上記目的は本発明に係る包装容器にて達成される０本発
明は要約すれば、半導体材料、装置等の物品の輸送及び
保管をなすための包装容器であって、互いに密閉態様で
係合し内部に空間を形成するように構成された第１及び
第２のケースと、薄い可撓性のベースフィルム上に粘着
剤層を有し、該粘着剤層に被包装物品を一時的に粘着せ
しめ得るホルダーシートとを有し、前記ホルダーシート
は前記第２ケース側に粘着剤層が位置するようにして前
記第１ケースに装入され、前記両ケースが密閉状態に係
合されたとき該ホルダーシートはその外周辺部が第１ケ
ースの底壁部と前記第２ケースに形成された環状突起と
により挟持されることを特徴とする包装容器である。

支１１ 次に、本発明に係る包装容器について図面を参照して更
に詳しく説明する。

第１図及び第２図を参照すると、本発明に係る包装容器
１の一実施例が図示される。該包装容器は、第１のケー
ス、本実施例では下ケース１２と、該第１のケースに螺
合又は摩擦嵌合等により着脱自在に且つ密閉状態にて嵌
合され得る第２のケース、本実施例では上ケース１６と
を有する。

更に説明すると、第１ケース１２は円形の皿状容器とさ
れ、底壁１２ａと、該底壁１２ａの回りに形成された環
状の周壁１２ｂとを有する。該第１ケース１２の内径り
及び深さＨは包装される物により種々に設計し得るが、
例えば１５Ｘ４０ｍｍ程度の矩形のウェーハーを収納す
る場合には内径りは５０〜６０　ｍ　ｍそして深さＨは
２〜５ｍｍとされるのが好適であろう。

又、第２ケース１６は、前記第１ケース１２と同様の外
径を有した円筒形状とされる周壁１６ａと、該第２ケー
ス１６の前記第１ケースに面した端部に形成され、前記
第１ケース１２の周壁１２ｂの内周部に密着して嵌合す
る環状の突起１６ｂとを有する。該環状突起１６ｂの高
さｈは、第１ケース１２の深さＨと同じか僅かに高くさ
れ、又突起部の厚さＬは本実施例では０．５〜２ｍｍと
されるのが好適であろう、更に、第２ケース１６は、第
１ケースと第２ケースとが、第１図に図示されるように
嵌合されたとき、内部に密閉空間Ｓを画成するべく円筒
状周壁１６ａ内に隔壁１６ｃを有する。該隔壁１６ｃは
、本実施例では球面状に形成されているが、平面形状と
することもできる。

本発明に従えば、ウェーハー等の被包装物品Ａを保持す
るホルダーシー）２０が用意される。該ホルダーシート
２０は、第４図に詳しく図示されるように、ベースフィ
ルム２２及び粘着剤層２４を有し、使用前においては取
扱いを容易とするために保護シート２６が接合されてい
る。

ベースフィルム２２は第１ケース１２の内側形状と同様
の形状とされ、本実施例では円形とされ、その外径Ｄｏ
は第１ケースの内径りと大略同じとされる。又、ベース
フィルム２２は、好ましくは膜厚０．０１　ｍｍ”０．
２ｍｍ程度の薄く且つ可撓性のある材質にて作製され、
例えばポリエチレン、塩化ビニール、ポリプロピレン、
ビニール、テフロン、ポリエステル、セロファン、アセ
テート等のプラスチックフィルム、平面紙、クレープ紙
等の紙、更にはアルミ箔等を使用し得るが、本実施例で
は０．０８５ｍｍ厚のポリエチレンフィルムが使用され
るであろう。

又、粘着剤層２４としては、ウェーハー等の物品Ａを一
時的に粘着はするが或る程度の力を加えることにより容
易に剥離せしめ得る性質を有するものであれば任意の材
料を使用することができ。

例えばアクリル系、酸化ケイ素（シリコーン）系、ポリ
アミド系、ポリエステル系、エポキシ争フェノリック系
、フェノール系、ポリビニルアセタール系、ポリオレフ
ィン系、アイオノマー系粘着材料が好適であり１本実施
例では０．０８５ｍｍ厚のポリエチレンフィルム２２上
にアクリル系粘着材料を厚さ１０ｇｍ以下で塗布した。

次に、以上の構成とされる本発明に係る包装容器の使用
方法について説明する。

先ず、ホルダーシー）２０の保護シート２６が除去され
（第４図）、その粘着剤２４側中央部にウェーハー等の
被包装物品Ａが一時的に粘着される（第５図）、被包装
物品Ａが粘着されたホルダーシート２０は、第２図に図
示されるように、被包装物品Ａが上に位置するようにし
て、つまりホルダーシー）２０の粘着剤層側が上を向く
ようにして、第１ケース１２内へと装入される。上述し
たように、ホルダーシー）２０の形状は第１ケース１２
の内側形状と同様とされるので、該ボルダ−シート２０
は第１ケース１２の底壁１２ａ上に載置される。

次いで、第２ケース１６が第１ケース１２へと、該第２
ケース１６の環状突起１６ｂが第１ケース１２の環状層
ｆｉ１２ｂに嵌合するようにして、押入される。これに
より両ケースは密閉状態にて係合し、同時にホルダーシ
ート２０は環状突起１６ｂと第１ケース１２の底壁１２
ａとの間に挟持される。又、ホルダーシー）２０の粘着
剤層が第２ケースの環状突起１６ｂの先端部に粘着し、
該ホルダーシート２０は＠ｌ及び第２ケース内にしっか
りと保持される。従って、例えば第３図のように包装容
器が逆さにされた場合においても、ホルダーシート２０
は被包装物品Ａの重さにより撓んでも、ホルダーシー）
２０と第１ケース１２の底壁１２ａとの間に空隙ｇが生
じることはあっても該被包装物品Ａが第２ケース１６の
隔壁１６ｃに当ることはなく、従って被包装物品Ａが破
損するようなことはない、又、ホルダーシート２０がこ
のように或る弾性にて撓み得るために、包装容器に衝撃
が加わったときにも斯る衝撃力を吸収しウェーハー等の
ようなもろい被包装物品Ａを保護する働きがある。

包装容器内の内容物を必要とする場合には、第１ケース
１２と第２ケース１６とが分離されるが、このときホル
ダーシート２０は第２ケース１６の環状突起１６ｂに粘
着した状態にて取出されることが理解されるであろう、
従って、作業者が手又は道具にて該ホルダーシート２０
を第１ケース１２内から取出す必要はない、その後作業
者は第２ケースの環状突起１６ｂに粘着したホルダーシ
ー）２０の周辺をつまんで第２ケース１６から該ホルダ
ーシー）２０を剥離し、次いで被包装物品Ａを該ホルダ
ーシート２０から除去することができる。

第６図には、ホルダーシー）２０の種々の形状が例示さ
れる。第６図（Ａ）、ＣＢ）にはホルダ−シー）２０の
外周部に耳部２０ａを１個又は２個設け、該ホルダーシ
ート２０の第１ケース１２内への装入及び第２ケース１
６からの剥離の際に該耳部２０ａをつまむことができ１
作業の便に供せんとするものである。又、第６図（Ｃ）
。

（Ｄ）にはホルダーシート２０の中央部に小孔２０Ｃを
穿設し、更に該小孔２０ｃから外周部へとスリン）２０
ｂが形成される。内部の小孔２０ｃは該ホルダーシー）
２０からウェーハー等を剥離する場合に該ウェーハーＡ
を吸引具にて保持するための孔である。このようなホル
ダーシート２０を使用した場合には、吸引具にてウェー
ｌ＼−の裏面部を吸引保持した状態にて耳部２０ａを手
でつまんでホルダーシート２０をスリン）２０ｂに沿っ
てウェーハーから剥離することができる。

上記説明では、包装容器は円形状のものとして説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、第１及び
第２ケース１２．１６は互いに開放部が密閉態様で係合
し内部に空間を形成するような箱型°の形状とされれば
よく、全体形状は矩形であってもよい、又、該両ケース
１２．１６は透明のプラスチック製とされるのが好適で
ある。

又、被包装物品は矩形のものに限定されるものではなく
、円形又は種々の形状、寸法のウェー／＼−１その他の
半導体材料、装置等を効率よく輸送及び保管することが
できる。

先乱立差】 本発明の包装容器は、以上のようにウェーｌ＼−等のよ
うな種々の寸法形状をした被包装物品に直接挟持力を及
ぼすことなく該物品を容器内に保持し、又、容器内から
取出すことができるために、物品を破損したり、又は内
部応力を生ぜしめることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る包装容器の一実施例の断面図で
、両ケースが閉鎖状態にあるのを示す。 第２図は、第１図の包装容器の断面図で、両ケースが開
放状態にあるのを示す。 第３図は、閉鎖状態にある第１図の容器の断面図であり
、逆さ状態にあるのを示す。 第４図は、ホルダーシートの断面図である。 第５図は、ホルダーシートの平面図である。　第６図（
Ａ）〜（Ｄ）は、ホルダーシートの他の実施例の平面図
である。 第７図及び第８図は、従来の包装容器の分解斜視図及び
断面図である。 １２：第１のケース １６：第２のケース １６ｂ＝環状突起 ２０：ホルダーシート ２２：ベースフィルム ２４：粘着剤層 Ａ：被包装物品 ］」 １６ＣＡ 第７図 第８図 ＺａＡ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）半導体材料、装置等の物品の輸送及び保管をなすた
   めの包装容器であつて、互いに密閉態様で係合し内部に
   空間を形成するように構成された第１及び第２のケース
   と、薄い可撓性のベースフィルム上に粘着剤層を有し、
   該粘着剤層に被包装物品を一時的に粘着せしめ得るホル
   ダーシートとを有し、前記ホルダーシートは前記第２ケ
   ース側に粘着剤層が位置するようにして前記第１ケース
   に装入され、前記両ケースが密閉状態に係合されたとき
   該ホルダーシートはその外周辺部が第１ケースの底壁部
   と前記第２ケースに形成された環状突起とにより挟持さ
   れることを特徴とする包装容器。 ２）ベースフィルムは膜厚０．０１ｍｍ〜０．２ｍｍの
   薄く且つ可撓性のある材質にて作製され、粘着剤層は被
   包装物品を一時的に粘着はするが或る程度の力を加える
   ことにより容易に剥離せしめ得る性質を有する材料にて
   作製される特許請求の範囲第１項記載の包装容器。 ３）ベースフィルムは、ポリエチレン、塩化ビニール、
   ポリプロピレン、ビニール、テフロン、ポリエステル、
   セロファン、アセテート等のプラスチックフィルム、平
   面紙、クレープ紙等の紙、更にはアルミ箔とされ、又、
   粘着剤層は、アクリル系、酸化ケイ素（シリコーン）系
   、ポリアミド系、ポリエステル系、エポキシ・フェノリ
   ック系、フェノール系、ポリビニルアセタール系、ポリ
   オレフィン系、アイオノマー系粘着材料とされる特許請
   求の範囲第１項又は第２項記載の包装容器。