KR930700975A - 폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number
KR930700975A
KR930700975A KR1019920703197A KR920703197A KR930700975A KR 930700975 A KR930700975 A KR 930700975A KR 1019920703197 A KR1019920703197 A KR 1019920703197A KR 920703197 A KR920703197 A KR 920703197A KR 930700975 A KR930700975 A KR 930700975A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
polypropylene
storage device
wafer storage
droplet
Prior art date
Application number
KR1019920703197A
Other languages
English (en)
Inventor
제이. 미켈슨 커크
Original Assignee
플루오로웨어, 아이엔시.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 플루오로웨어, 아이엔시. filed Critical 플루오로웨어, 아이엔시.
Publication of KR930700975A publication Critical patent/KR930700975A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67366—Closed carriers characterised by materials, roughness, coatings or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Containers Having Bodies Formed In One Piece (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른, 실리콘 웨이퍼용 폴리프로필렌 적하 용기의 개략도,
제2도는 제1도의 폴리프로필렌 적하 용기 성형에 사용되는 중합체의 중합과 세척을 도식적으로 설명하는 공정도,
제3도는 표면이 세정되어 그위의 탈이온화 물이 넓게 퍼지게 친수적인 실리콘 웨이퍼 중의 하나의 사시도,
제4도는 웨이퍼의 친수적 표면에 걸쳐 균일하게 흩어진 탈이온화 물을 보이는, 제3도의 웨이퍼의 측면도.

Claims (26)

  1. 웨이퍼용의 웨이퍼 저장장치에 있어서, 웨이퍼 제한 용기가 적어도 하나의 웨이퍼를 안에 지지하는 수단을 함유하고, 또 그 용기는 산화방지제/ 오존열화방지제 및 흐름 제고제가 첨가되는 복탈회 폴리프로필렌은 함유하는 이형 폴리프로필렌으로 형성되는, 웨이퍼 저장장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복탈회 폴리프로필렌이 랜덤 공중합체 폴리프로필렌을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복탈회 폴리프로필렌이 단독중합체 폴리프로필렌을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 복탈회 폴리프로필렌이 청정제가 또한 첨가되는 랜덤 공중합체 폴리프로필렌을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 수단이, 산화방지제/오존열화방지제 및 흐름 제고제가 첨가되는 복탈회 폴리프로필렌을 함유하는 이형 폴리프로필렌으로 형성된 웨이퍼 캐리어 부를 함유하고 있는, 웨이퍼 저자장치.
  6. 제1항에 있어서, 복탈회, 랜덤 공중합에가 세척과정을 통해 두 번 통과시키는, 웨이퍼 저장장치.
  7. 제1항에 있어서, 랜덤 공중합체의 에틸렌 함량이 2.2∼2.8%의 범위에 있는, 웨이퍼 저장장치.
  8. 제1항에 있어서, 폴리프로필렌은 원래 형의 촉매를 활용하여 중합되고 그런 다음 두 번 탈회되는 웨이퍼 저장장치
  9. 제4항에 있어서, 청정체 화합물이, 당 배골과 벤조알데히테 유도체 부가물을 가지는 소르비롤 염기의 물질인, 웨어 저장장치.
  10. 제9항에 있어서, 청정제가 약 1500PPM의 충전수준을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  11. 제1항에 있어서, 산화방지제/오존열화바이제 고분자량 속박 페놀수지 화합물에 존재하는, 웨이퍼 저장장치.
  12. 제11항에 있어서, 산화방지제/오존열화방지제가 약 1000PPM의 충전수준을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  13. 제1항에 있어서, 산호방지제/오존영화방지제가 에타녹스 330을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  14. 제1항에 있어서, 흐름 제고제가 스테아린산 칼숨을 함유하는, 웨이퍼 저장장치.
  15. 제14항에 있어서, 흐름 제고제가 약 100ppm의 충전수준을 함유하는 웨이퍼 저장장치.
  16. 웨이퍼용 시퍼에 있어서, 열수 있는 밀페 고형 외측 용기부와, 상기 외측 용기부 내에 제한되어 적어도 하나의 실리콘 웨이퍼를 안에 지지하는 내측 용기부로 이루어지고, 또 상기 내측 및 외측 용기부는, 촉매를 사용하여 중합하고 그런 다음 결과의 중합체를 두 번 세척하여 바람직하기 않은 촉매 및, 가스배출하여 오염과 그러한 웨이퍼의 소수성을 야기하는 타의 물질을 제거하는 폴리프로필렌 단량체를 함유하는 이성 폴리프로필렌으로 형성되며, 그 폴리프로필렌은 산화방지제와 흐름 제고제를 부가함으로써 용기에 저장되는 웨이퍼의 오염과 소수성을 최소화하는 시퍼.
  17. 제16항에 있어서, 상기 폴리프로필렌 단량체가 에틸레이 첨가된 랜덤 폴리프로필렌을 함유하고, 또 청정제가 그 폴리프로필렌에 대한 첨가된 시퍼.
  18. 제16항에 있어서 상기 폴리프로필렌 단량체가 단독 폴리프로필렌을 함유하는 시퍼.
  19. 실리콘 웨이퍼의 표면의 소수성을 결정짓는 방법에 있어 웨이퍼 표면에 대한 정작각 측정 집행이, 웨이퍼의 표면에 탈이온화 물의 방울을 앉히기, 물방울의 부분이 표면과의 접촉점에서 상기 부분의 전지 이동바로전의 시점에서 표면에 관한 전진 접촉각을 가지는 윤곡을 취하도록 물방울의 부분을 표면에 부분에 걸쳐 전진하게 만들기, 및 표면의 소수성의 지표로서의 상기 집촉각을 측정하기로 이루어지는 실리콘 웨이퍼의 표면의 소수성을 결정짓는 개선의 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 물방울의 부분을 표면에 걸려 전진하게 만들기는 물방울을 앉힘에 뒤따라 일잔의 물을 방울에 추가하기를 함유하는, 실리콘 웨이퍼의 표면의 소수성을 결정짓는 개선의 방법.
  21. 제19항에 있어서 물방울의 제2의 부분이, 웨이퍼의 표면에 접촉하는 물방울의 가장자리로부터 퇴각하게 만들어짐으로써 물방울의 제2의 부분이 물방울의 상기 가장자리에서 상기 제2의 부분의 퇴각 이동 바로 전의 시점에서 표면에 관한 퇴각 접촉각을 가지는 윤곽을 취하게 하고, 표면의 소수성의 지료로 거의 상기 퇴각각을 측정하는, 실리콘 웨이퍼의 표면의 소수성을 결정짓는 개선의 방법.
  22. 밀페의 용기들에 성형할 폴리프로필렌 수지의, 상기 용기들에 저장된 실리콘 웨이퍼 상의 소수성 효과를 결정짓는 방법이 ,샘플 실리콘 웨어퍼의 표면부로부터 유기 오염물을 청정하기, 웨이퍼를 안에 수용할 수 있는 유리항아리의 내부와 항아리요 마개로부터 유기 오염물을 청정하기 폴리프로필렌 수지 입자들을 항아리 안에 넣기와 웨이퍼를 항아리 안에 지지하기 및 폴리프로필렌 입자들을 지지하지 않고 항아리를 닫기, 항아리, 웨이퍼, 및 폴리프로필렌 입자를 상기 밀폐 용기 내의 웨이퍼 저장 조건과 같아지도록 한동안 가열하기 그리고 그런 다음 웨이퍼상의 소수성 효과의 지표로서 웨이퍼 상의 탈이온화 물의 방울의 전지 및 퇴각 접촉각의 정적 접촉각 측정을 집행하기,로 이루어지는 폴리프로필렌 수지의 소수성 효과를 결정짓는 개선의 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 정적 접촉각 측정을 집행하기가, 웨이퍼의 표면 상에 탈이온화 물의 방울을 앉히기와 상기 부분들이 웨이퍼의 부분들에 걸쳐 이동을 시작하는 시점에 물방울의부분과 표면과의 접촉점에서 표면에 관한 물방울 윤곽의 전진 및 퇴각각을 측정하기를 의미하는 폴리프로필렌 수지의 소수성 효과를 결정짓는 개선의 방법.
  24. 제22항에 있어서, 상기의 웨이퍼 표면과 항아리 마개로부터 유기 오염울을 청정하기는, 산소 플라즈마 청정을 의미하는, 폴리프로필렌 수지의 소수성 효과를 결정짓는 개선의 방법.
  25. 제18항에 있어서, 상기의 실리콘 웨이퍼로부터 유기 오염물을 청정하기는, 웨이퍼의 가열을 의미하는, 폴리프로필렌 수지의 소수성 효과를 결정짓는 개선의 방법.
  26. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920703197A 1991-04-11 1991-01-21 폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어 KR930700975A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US68370591A 1991-04-11 1991-04-11
US683,705 1991-04-11
PCT/US1992/000506 WO1992019012A2 (en) 1991-04-11 1992-01-21 Polypropylene wafer carrier

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR930700975A true KR930700975A (ko) 1993-03-16

Family

ID=24745120

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920703197A KR930700975A (ko) 1991-04-11 1991-01-21 폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0533859A1 (ko)
JP (1) JPH05508517A (ko)
KR (1) KR930700975A (ko)
CN (1) CN1065634A (ko)
WO (1) WO1992019012A2 (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL9302230A (nl) * 1993-12-21 1995-07-17 Fred Ernest Gardner Golfenergie-omvormer.
JPH0969557A (ja) * 1995-08-30 1997-03-11 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハの保管／輸送方法
KR100301982B1 (ko) * 1996-03-29 2001-11-02 야마모토 효조 청정실내에서 이용되는 기구 및 장착구
JP2001298076A (ja) * 2000-04-12 2001-10-26 Sony Corp 基板搬送コンテナ
CN101070408B (zh) * 2006-05-12 2010-08-18 中国科学院化学研究所 滚动角可控的聚丙烯超疏水膜或块材及其制备方法
CN103943541A (zh) * 2014-05-04 2014-07-23 上海先进半导体制造股份有限公司 盖板载片盒装置
WO2017196870A1 (en) * 2016-05-09 2017-11-16 Eric Loth Methods and systems for self-lubricating icephobic elastomer coatings

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3413837A1 (de) * 1984-04-12 1985-10-17 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verpackung fuer halbleiterscheiben
JPH0620911B2 (ja) * 1986-12-27 1994-03-23 日本鉱業株式会社 半導体ウェーハー包装容器
DE4024576A1 (de) * 1990-08-02 1992-02-06 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum einseitigen aetzen einer halbleiterscheibe

Also Published As

Publication number Publication date
WO1992019012A2 (en) 1992-10-29
EP0533859A1 (en) 1993-03-31
CN1065634A (zh) 1992-10-28
JPH05508517A (ja) 1993-11-25
WO1992019012A3 (en) 1992-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0759873B1 (en) A PROCESS FOR STERILISATION BY $g(g)-RADIATION AND BY THE USE OF AN OXYGEN ABSORBER, A CONTAINER AND A MEDICAL ARTICLE STERILISED BY THE PROCESS
KR930700975A (ko) 폴리프로필렌 웨이퍼 캐리어
JP3820291B2 (ja) 分配用ボトル
RU2004115325A (ru) Монослойная упаковка для чувствительных к кислороду продуктов (варианты)
KR100635836B1 (ko) 반도체 제조장치용 불소고무계 성형품의 세정방법 및세정된 성형품
US5766772A (en) Anti-fog film, method of packaging products having high moisture content and products thus packaged
US5529727A (en) Method of treating contact lenses
JP4148858B2 (ja) 反応セル、これらを備えた生化学的及び／又は免疫学的自動分析装置、並びに反応セルの内壁部表面改質方法
AU3858599A (en) Gamma-irradiation sterilized polyethylene packaging
US7145155B2 (en) Process for electron sterilization of a container
DK142327B (da) Formstof på basis af en nitrilcopolymer.
CN1332988C (zh) 氟橡胶模塑产品及其生产方法
EP0002121B1 (en) Nitrile containers and process improvements for forming same
Van Willige et al. Influence of storage time and temperature on absorption of flavor compounds from solutions by plastic packaging materials
JP4693967B2 (ja) 容器入り液体洗浄剤
CA2208028A1 (en) Anti-fog film, method of packaging products having high moisture content and products thus packaged
US4450262A (en) Hydrophilic copolymer compositions useful as contact lenses
Basfar et al. Improved ozone resistance of styrene-butadiene rubber cured by a combination of sulfur and ionizing radiation
CN1092622A (zh) 充碳酸气食品及其改进方法
JPH10195212A (ja) フッ素樹脂成形体の製造方法
JPS60245644A (ja) 塩化ビニル系樹脂成形品
JP2003011946A (ja) ポリエチレンナフタレート含有プラスチック容器
CN211350613U (zh) 单片衬底用工艺夹具
JPH08250581A (ja) ウェーハ収納容器
JP2000086805A (ja) ポリビニルホルマール樹脂多孔質体の保存方法及び保存構造

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid