JP2001294292A - 半導体ウェハ包装部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウェハをクッション材やウェハ保護シ
ートとともにウェハ包装容器に出し入れする際の作業効
率を高めることができる半導体ウェハ包装部材を提供す
る。 【解決手段】 保護シート付きクッション材１０は、平
面状のクッション材２０の上下に、粘着材２２を介して
ウェハ保護シート２４を貼り合わせた構造である。クッ
ション材２０の材質としては、非帯電ウレタンフォーム
で厚さが１ｍｍ以上（望ましくは５ｍｍ以上）のものを
使用する。クッション材２０の上下にウェハ保護シート
２４を設けることにより、保護シート付きクッション材
１０の全体をバキューム吸着できるようになり、このた
めウェハ梱包移載装置によって自動的に保護シート付き
クッション材１０をハンドリングすることが可能とな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハ包装容器に
半導体ウェハを梱包する際に使用する半導体ウェハ包装
部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、従来のクッション材とウェハ保
護シートを用いて、ウェハ包装容器に半導体ウェハを梱
包するときの手順を示した図である。

【０００３】ウェハ梱包容器に半導体ウェハを梱包する
ときは、まず、作業者が手作業で、ウェハ包装容器１０
０の本体１００ａ内の底部に、クッション材１０１を必
要な枚数だけ入れる（図４では１枚）。そして、このウ
ェハ包装容器本体１００をウェハ梱包移載装置（不図
示）にセットし、その後はウェハ梱包移載装置が自動的
にウェハ保護シート１０２及び半導体ウェハ１０３を、
この順番に交互に所定の枚数ずつ入れ、そして、最上部
の半導体ウェハ１０３の上にウェハ保護シート１０２を
１枚入れる。このときウェハ梱包移載装置は、ウェハ包
装容器１００の構造的な理由により、バキューム吸着に
よってウェハ保護シート１０２及び半導体ウェハ１０３
をハンドリングする。最後に、作業者が手作業で、クッ
ション材１０１を必要枚数だけ入れて（図４では１
枚）、蓋１００ｂによってウェハ包装容器に蓋をし、梱
包作業を終了する。

【０００４】上記のクッション材１０１は、輸送中の衝
撃などから半導体ウェハを保護するためのものであり、
衝撃吸収性の高い発泡性のポリエチレン、ウレタンフォ
ーム、その他の樹脂でできている。また、ウェハ保護シ
ート１０２は、積み重ねられる半導体ウェハ同士の接触
によって表面が損傷を受けるのを防止するためのもので
ある。

【０００５】ウェハ包装容器１００から半導体ウェハを
取り出すときは、まず、作業者が手作業で蓋１００ｂを
外し、最上部のクッション材１０１を取り除く。この状
態でウェハ包装容器１００をウェハ梱包移載装置にセッ
トし、ウェハ保護シート１０２、半導体ウェハ１０３を
順次自動的に取り出す。このときも、ウェハ梱包移載装
置は、バキューム吸着によって、ウェハ保護シート１０
２及び半導体ウェハ１０３をハンドリングする。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、クッション
材１０１は、前述のように発泡性のポリエチレンなどか
らできており、多数の穴があいているため、バキューム
吸着ができない。したがってウェハ梱包移載装置は、バ
キューム吸着によってクッション材１０１を自動でハン
ドリングすることができない。このため、クッション材
１０１については、上記のように作業者が手作業で，挿
入したり取り除いたりしなければならず、このため全体
的な作業効率が低下するという問題があった。

【０００７】さらに、輸送時における半導体ウェハの耐
衝撃性を強化するために、半導体ウェハをウェハ包装容
器に梱包する際に、ウェハとウェハの間にもクッション
材を挿入する場合がある。この場合も、前述のように、
ウェハ梱包移載装置によって自動でクッション材をハン
ドリングすることができないことから、梱包時にはクッ
ション材を挿入するところで、また、半導体ウェハを取
り出すときにはクッション材を取り出すところで、一旦
ウェハ梱包移載装置による自動作業を中断し、作業者の
手作業によって、クッション材を取り扱わなくてはなら
ない。このため、さらに全体の作業効率が低下するとい
う問題がある。

【０００８】本発明は、このような技術的課題を解決す
べくなされたものであり、その目的は、半導体ウェハ
を、クッション材やウェハ保護シートとともにウェハ包
装容器に出し入れする際の作業効率を高めることができ
る半導体ウェハ包装部材を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、一又は二以上の半導体ウ
ェハを積み重ねて容器に収容するときに、前記容器の底
部、半導体ウェハの上部、あるいは半導体ウェハと半導
体ウェハの間に、半導体ウェハを保護する目的で挿入さ
れる半導体ウェハ包装部材であって、クッション材と、
その上下両面に一体的にウェハ保護シートを設けたこと
を特徴とする。

【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の半
導体ウェハ包装部材において、前記クッション材は、ウ
レタンフォームを素材とすることを特徴する。

【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の半導体ウェハ包装部材において、前記クッション材
は厚さが１ｍｍ以上であることを特徴とする。

【００１２】請求項４記載の発明は、請求項１乃至３の
うちいずれか一項記載の半導体ウェハ包装部材におい
て、前記ウェハ保護シートは、粘着材を介して、前記ク
ッション材に貼り合わされていることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の実施の一形態に係る半導体ウェハ包装部材について説
明する。

【００１４】図１は、本実施形態の半導体ウェハ包装部
材である保護シート付きクッション材を拡大して示した
断面図である。この保護シート付きクッション材１０
は、平面状のクッション材２０の上下に、粘着材２２を
介してウェハ保護シート２４を貼り合わせた構造となっ
ている。

【００１５】ここで、クッション材２０の材質として
は、非帯電ウレタンフォームであって、十分な衝撃吸収
効果を考慮して、厚さが１ｍｍ以上（望ましくは５ｍｍ
以上）のものを使用する。また、粘着材２２としては、
アクリル系感圧粘着材、あるいはアクリル溶剤系粘着材
を使用することができる。さらに、ウェハ保護シート２
４としては、ＳＴ−ｆｉｂｅｒ入り導電性オレフィン系
合成紙（アキレス製）、帯電防止発泡樹脂（ポリエチレ
ン）（Ｕｌｔｒａ社製）、あるいは特開平１１−１０２
９５５号公報に開示されている保護シートに使われてい
る素材などを使用することができる。

【００１６】前述のようにクッション材２０は発泡性で
多数の穴があいているため、そのままではバキューム吸
着はできないが、上で述べたようにクッション材２０の
上下にウェハ保護シート２４を設けることによって穴か
塞がれる。これにより、保護シート付きクッション材１
０の全体をバキューム吸着できるようになり、したがっ
てウェハ梱包移載装置によって自動的に保護シート付き
クッション材１０をハンドリングすることが可能とな
る。

【００１７】図２は、上記の保護シート付きクッション
材１０を使って半導体ウェハを梱包する場合の一つの態
様を示した断面図である。図２では、保護シート付きク
ッション材１０を、包装容器１００の底部及び最上部に
入れ、これらの間に半導体ウェハ１０２と保護シート１
０３を入れている。

【００１８】このような態様で梱包する場合には、ま
ず、ウェハ包装容器１００の本体１００ａをウェハ梱包
移載装置にセットする。そして、ここへ指定された枚数
（図２では１枚）の保護シート付きクッション材１０を
挿入し、続けて、半導体ウェハ１０２、ウェハ保護シー
ト１０３を交互に所定枚数だけ挿入し、最後に、この上
に指定された枚数（図２では１枚）の保護シート付きク
ッション材１０を載置する。この場合、半導体ウェハ１
０２及びウェハ保護シート１０３だけでなく、保護シー
ト付きクッション材１０の挿入についても、ウェハ梱包
移載装置のバキューム吸着機構によって自動的にハンド
リングすることができるので、作業者による手作業は不
要となる。また、梱包容器１００から半導体ウェハを取
り出す場合にも、同様に、ウェハ梱包移載装置のバキュ
ーム吸着機構によって、すべて自動的にハンドリングす
ることができるので、作業者の手間はかからない。

【００１９】図３は、保護シート付きクッション材１０
を使って半導体ウェハを梱包する場合の別の態様を示し
た断面図である。図３では、保護シート付きクッション
材１０を包装容器１００の底部及び最上部に入れ、これ
らの間に半導体ウェハ１０２と保護シート１０３を交互
に入れるとともに、さらに、半導体ウェハ１０２と保護
シート１０３を交互に入れている途中にも保護シート付
きクッション材１０を挿入している。図３の場合にも、
半導体ウェハ１０２、ウェハ保護シート１０３、並びに
保護シート付きクッション材１０のすべてを、ウェハ梱
包移載装置のバキューム吸着機構によって自動的にハン
ドリングすることができるので、作業者による手作業は
不要となる。また、梱包容器１００から半導体ウェハを
取り出す場合にも、同様である。

【００２０】なお、本発明は、上記の実施の形態に限定
されるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に記載
した要旨の範囲内において種々の変更が可能であり、そ
れらも本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、上記の
実施の形態では、クッション材として非帯電ウレタンウ
ォームを使用したが、これ以外にも、例えば帯電防止発
泡樹脂（ポリエチレン）その他の樹脂を使用することも
できる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
クッション材の上下にウェハ保護シートを貼り合わせた
構造としたことにより、全体をバキューム吸着できるよ
うになる。このため、クッション材を容器の底部に置い
たり、積み重ねた半導体ウェハの最上部に載置したり、
複数の半導体ウェハの途中に挿入するとき、あるいは容
器から半導体ウェハを取り出すときに、従来のように作
業者が手作業でクッション材を出し入れする代わりに、
すべてをウェハ梱包移載装置によって自動的にハンドリ
ングすることが可能となる。このため、作業者の手間が
省かれ、作業効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態に係る保護シート付きク
ッション材を拡大して示した断面図である。

【図２】保護シート付きクッション材を使って半導体ウ
ェハを梱包する場合の一つの態様を示した断面図であ
る。

【図３】保護シート付きクッション材を使って半導体ウ
ェハを梱包する場合の一つの態様を示した断面図であ
る。

【図４】従来のクッション材とウェハ保護シートを用い
て、ウェハ包装容器に半導体ウェハを梱包するときの手
順を示した図である。

【符号の説明】

１０…保護シート付きクッション材 ２０…クッション
材 ２２…粘着材 ２４…ウェハ保護シート １００…
ウェハ包装容器 １０１…クッション材 １０２…ウェ
ハ保護シート １０３…半導体ウェハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一又は二以上の半導体ウェハを積み重ね
   て容器に収容するときに、前記容器の底部、半導体ウェ
   ハの上部、あるいは半導体ウェハと半導体ウェハの間
   に、半導体ウェハを保護する目的で挿入される半導体ウ
   ェハ包装部材であって、クッション材と、その上下両面
   に一体的にウェハ保護シートを設けたことを特徴とする
   半導体ウェハ包装部材。
2. 【請求項２】 前記クッション材は、ウレタンフォーム
   を素材とすることを特徴する請求項１記載の半導体ウェ
   ハ包装部材。
3. 【請求項３】 前記クッション材は、厚さが１ｍｍ以上
   であることを特徴とする請求項１又は２記載の半導体ウ
   ェハ包装部材。
4. 【請求項４】 前記ウェハ保護シートは、粘着材を介し
   て、前記クッション材に貼り合わされていることを特徴
   とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の半導体
   ウェハ包装部材。