JPH0624839Y2 - ペリクル収納容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、フォトマスクやレチクルの防塵に使用される
ペリクルの収納容器に関する。

［従来の技術］ ペリクルは光学的に透明な薄膜であって、半導体製造の
ための露光焼付によるリソグラフィー工程において、フ
ォトマスク或はレチクル上に微細な塵埃が付着するのを
防止し、半導体の製品歩留りを向上させることを目的と
して使用される。このペリクルは厚さ０．５〜１０μｍ
の極めて薄い高分子薄膜であって、金属又はプラスチッ
クの支持枠に周囲を支持させた状態で使用する。このペ
リクル自体は外部からの衝撃に弱いものであり、またペ
リクル自体に塵埃が付着し、リソグラフィー工程に持ち
込まれることも好ましくないので、適当な容器内に収納
した状態で、保存、輸送が行われている。

第４図は従来より使用されているペリクルの収納容器を
示す断面図である。この収納容器は下面にペリクル３１
が張着された環状の支持枠３２が載置される基板３３
と、支持枠３２を基板３３方向に押圧する突起３４ａが
形成されて基板３３に嵌合又は圧着されるプラスチック
製のカバー体３４とから構成されている。そしてこの収
納容器は、これらが組み付けられた状態で全体を外袋３
５で覆うことによりペリクル収納時の保存状況を良好に
保つことが可能となっている。

［考案が解決しようとする課題］ 従って、従来のペリクル収納容器はペリクルが張着され
た支持枠を１個ずつ収納する個装体となっており、一度
に多くのペリクルをフォトマスクやペチクルに装着する
場合には、個々の収納容器の外袋を開封して、それぞれ
カバー体を剥ぎ取る作業が必要となる。このためペリク
ル取り出し作業が面倒となっている。また、各収納容器
がそれぞれ外袋を必要とし、外袋を大量に要すると共
に、収納容器内のクリーン度を保つための収納容器の洗
浄、乾燥処理がペリクル毎に必要ともなっている。

そこで、本考案は、ペリクルの取り出し、包装の作業の
簡略化と外袋資材の削減を図るため、積み重ね形態とし
たペリクル収納容器を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本考案は、下面にペリクルが張
着された支持枠の上面に粘着剤を介して貼着される可撓
性シートと、前記支持枠の下面が当接する棚部を有して
支持枠を収納する収納体と、この収納体の上面および前
記可撓性シートの上面に粘着剤を介して着脱可能に貼着
されるカバーとを備えて一のケースが形成され、このケ
ースの複数が積み重ねられた状態で各ケースの収納体が
連結ロッドにより連結されていることを特徴とする。

［作用］ 上記の通りに構成された本考案は、収納体内にペリクル
がそれぞれ収納されるが、複数の収納体が連結ロッドに
よって連結されて一体化されるようになっている。

［実施例］ 以下、本考案を第１図乃至第３図に図示した実施例に基
づいてさらに具体的に説明する。

ペリクル収納容器は支持体に張着されたペリクル１を個
々に収納するケース１０が複数積み重ねられ、この積み
重ねられた状態で連結ロッド１１により一体化されるこ
とにより構成される。すなわち、ペリクル収納容器は複
数のケースの重合体からなり、連結ロッド１１を取り外
すことにより個々に分離されて使用に供されるようにな
っている。第１図はこの重合状態を示し、複数のケース
１０が上下方向に積み重ねられ、さらに連結ロッド１１
によって連結されている。そして、この連結された状態
で全体が一の外袋７内に封入されている。

次にペリクル収納容器を構成するケース１０の内部構造
を説明する。個々のケース１０は支持枠２を収納する収
納体５と、支持枠２に貼着される可撓性シート４と、収
納体５に貼着されるカバー６とを備えている。ペリクル
１は円環状の支持枠２の下面に張着されており、可撓性
シート４はペリクル張面と反対側の上面に貼着剤３を介
して着脱可能に貼着されている。

粘着剤３は着脱可能な程度の粘着力を有するものが使用
されており、可撓性シート４は粘着剤３によって支持枠
２に対して着脱可能となっている。従って、ペリクル１
を露光装置に使用する場合には可撓性シート４は剥離さ
れるが、その他の場合、例えば容器から支持枠を取り出
す時や支持枠収納時においては支持枠２に貼着されて支
持枠２側のペリクルの内面に塵埃が付着するのを防止し
ている。なお、ここで可撓性シート４は前記支持枠２と
略同形に成形される。かかる可撓性シート４の材質はポ
リエステル、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートな
どのプラスチックフィルムが良好であり、厚さ６０〜４
００μｍが好適である。

このように下面にペリクルが張着され、上面に可撓性シ
ート４が貼着された支持枠２は収納体５内に収納され、
さらにその上面がカバー６で押えられるようになってい
る。収納体５は中央部分が最も凹んでおり、この凹み部
分の外側に棚部５ａが形成され、さらにその外側に棚部
５ａよりも高くなったフランジ部５ｂが形成された階段
状となっている。棚部５ａは支持枠２が当接して載置さ
れるものであり、支持枠２の外形々状および外形寸法に
合わせて形成される。この場合、支持枠２はペリクル１
が張着された下面が棚部５ａに当接するように載置され
る。前記フランジ部５ｂはこの棚部５ａよりも高い位置
に形成されている。フランジ部５ｂの高さは支持枠２、
粘着剤３および可撓性シート４を合わせた厚さと略同一
となっており、支持枠２を棚部５ａ上に載置すると、支
持枠２および支持枠２に貼着された可撓性シート４全体
が収納体５内に収納されるようになっている。かかる収
納体５はプラスチックによって上記形状に成形される
が、その材質としてはポリ塩化ビニル、ポリメチルメタ
アクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、アク
リルニトリル／スチレンコポリマー、酢酸セルロースな
どが使用でき、これらの内、透明なものの方がペリクル
の状態や塵埃の有無などを外部より確認することができ
るので好ましい。また、この収納体５を構成するプラス
チックの厚さとしては、０．５〜２．０mmが好ましい。
０．５mm以下では積み重ねに対する強度が小さく、２．
０mm以上では強度がある反面、厚肉となり好ましくない
ためであるが、この厚さはケース１０の積み重ね段数に
よって適宜変更することができる。さらに収納体５のフ
ランジ部５ｂの四隅部分には第２図に示すように、挿入
穴５ｃが設けられている。この挿入穴５ｃはケース１０
を連結する連結ロッド１１が挿通されるものであり、例
えば直径１〜５mm程度となるうよに設けられる。

前記カバー６はこのような収納体５のフランジ部５ｂ上
面および収納体５内に収納された支持枠２の可撓性シー
ト４に貼着される。すなわち、カバー６は中央部分が可
撓性シート４に、周辺部分が収納体５のフランジ部５ｂ
に貼着され、これにより支持枠２は収納体５内に固定さ
れる。このカバー６の材質として前記可撓性シート４と
同一のものが使用することができ、その厚みは２０〜２
００μｍの範囲内で適宜、選択される。このカバー６の
貼着は粘着剤８によって行われる。粘着剤８としてはア
クリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などが好適であり、これ
らの内、３〜４００g/cm、好ましくは５〜１００g/cmの
粘着力を有する貼着剤が良好である。粘着力が３g/cm以
下の場合にはカバー６が剥れ易く、衝撃、振動などによ
って支持枠２がケース５から落下する一方、４００g/cm
以上ではカバー６の剥離に大きな力を要し、支持枠２の
取り出しの作業性を阻害するからである。なお、粘着力
とはカバー６を１cm/分の速度で剥ぎ取る場合に要する
力をカバーの巾のcm単位で表わしたものである。

第３図はカバー６に塗布される粘着剤８の塗布パターン
を示す。同図（ａ）は粘着剤８が縦横平行に塗布された
格子状パターンであり、同図（ｂ）は粘着剤８が同心円
状に塗布されたリングパターンである。後述のようにカ
バー６はペリクル１の取り出し時に可撓性シート４およ
び収納体５から剥離されるものであるため、このような
パターンで塗布することで剥離の容易性を確保すること
ができる。同様に粘着剤８を散点状に塗布しても良く、
カバー６全体に塗布しても良い。

以上のような可撓性シート４、カバー６および収納体５
を備えることにより一のケース１０が形成され、このケ
ース１０の複数が第１図のように上下方向に積み重ねら
れ、この積み重ね状態で各ケースに連結ロッド１１が貫
通されて一体化される。そして、一体化された全体が外
袋７内に挿入され、外袋７を密封することにより複数の
ペリクルの同時収納が行われる。最上段および最下段の
ケース１０を貫通した連結ロッド１１にはスタッド、ね
じなどの締付具１２が螺合されることにより、ケース１
０の外れ止めが行われる。この場合、連結ロッド１１は
ケース１０に対して２〜４本使用することで一体化が可
能となる。

このような収納容器からペリクル１を取り出すには、ま
ず外袋７を破って積みた状態のケースを一体的に取り出
し、次に連結ロッド１１の締付具１２を除去して、個々
のケース１０に分離する。そして、必要数のケース１０
を準備し、そのケース１０のカバー６を剥がす。

そして、開封されたケース１０の収納体５内にロボット
ハンドあるいはホルダ等の取り出し治具を挿入して支持
枠２を挟持し、支持枠２、可撓性シート４と共にペリク
ル１をケース５から取り出す。そして、露光装置にペリ
クル１を装着するには、支持枠２から可撓性シート４を
剥離した後に行うことができる。

従って、以上のような構成では、積み重ね状態の複数の
ケース１０が外袋７内に収納されており、多数のペリク
ルの取り出しの際には外袋７を破って必要数のケース１
０を準備すれば良いため、その取り出し作業を簡略化す
ることができる。また、一の外袋７のクリーン化により
多数のケース１０を収納できるため、包装作業も簡略化
でき、外袋の資材の削減も可能となる。

［考案の効果］ 以上説明した本考案は、ペリクルを支持枠と共に個々に
収納するケースを積み重ね連結ロッドで連結して収納容
器とするため、多数のペリクルの収納作業および取り出
し作業が簡略化されると共に、外袋などの包装資材を削
減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図はケー
スを示す平面図、第３図はカバーの粘着剤の塗布パター
ンを示す平面図、第４図は従来の収納容器を示す断面図
である。 １……ペリクル、２……支持枠、３，８……粘着剤、 ４……可撓性シート、５……収納体、６……カバー、 ７……外袋、１０……ケース、１１……連結ロッド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】下面にペリクルが張着された支持枠の上面
   に粘着剤を介して貼着される可撓性シートと、前記支持
   枠の下面が当接する棚部を有して支持枠を収納する収納
   体と、この収納体の上面および前記可撓性シートの上面
   に粘着剤を介して着脱可能に貼着されるカバーとを備え
   て一のケースが形成され、 このケースの複数が積み重ねられた状態で各ケースの収
   納体が連結ロッドにより連結されていることを特徴とす
   るペリクル収納容器。