JPH0621048U - 着脱可能なペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レチクルやマスクの表面に直接塵埃が付着す
るのを防止するためにレチクルやマスクの表面に装着さ
れる透明薄膜よりなるペリクルに関し、レチクルやマス
クに装着するときにアライメント装置が不要であり、繰
り返し使用が可能であり、レチクルやマスクの洗浄が容
易であるペリクルを提供することを目的とする。 【構成】 フレーム３に透明薄膜４が張着されている１
対のペリクル１・２よりなり、１対のペリクル１・２の
フレーム３には、１対のペリクル１・２の間に挿入され
たレチクルの両面に１対のペリクル１・２を圧着する係
合手段５がフレーム３から突出して少なくとも３個形成
されており、係合手段５のフレーム３からの突出長さＬ
は、レチクルのフレーム３との接着部とレチクルの縁部
との距離に等しくされている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、レチクルやマスクの表面に直接塵埃が付着するのを防止するために レチクルやマスクの表面に装着される透明薄膜よりなるペリクルに関する。

【０００２】 半導体装置の製造工程の一つにフォトリソグラフィー工程があるが、このフォ トリソグラフィー工程において使用されるレチクルやマスクに塵埃が付着すると 、露光・現像後に正常なレジストパターンが形成されなくなり、半導体装置の製 造歩留りを低下させる原因となる。そこで、レチクルやマスクの表面に直接塵埃 が付着するのを防止するため、レチクルやマスクの表面にペリクルを装着してい る。

【０００３】

【従来の技術】

伝統的には、フレームに透明薄膜が張着されているペリクルのフレームをレチ クルやマスクの周辺に接着剤を使用して貼着してレチクルやマスクの表面に直接 塵埃が付着しないようにする方法が使用されている。なお、レチクルやマスクの パターンを露光するときに、ペリクルに付着した塵埃の結像がデフォーカスする ようにレチクルやマスクとペリクルの透明薄膜との間隔を設定しておけば、ペリ クルの表面に塵埃が付着しても塵埃がレチクルやマスクの転写されたパターンに 悪影響を及ぼすことはなくなる。

【０００４】 しかし、この方法は、ペリクルを直接レチクルやマスクに貼着しているので、 万一レチクルやマスクの表面に直接塵埃が付着した場合にはペリクルを剥離して 洗浄しなければならず、その場合にはペリクルの再使用が不可能になり、また、 マスクにも損傷を与えることがある。また、ペリクルをレチクルやマスク上に貼 着する位置も限られているので、ペリクルを貼着するときにアライメント機能を 有するペリクル貼り合わせ装置・治具が必要である。

【０００５】 このような欠点を解決するため、図５に示すように、ペリクルを下部ペリクル 12と上部ペリクル13とに分割し、下部ペリクル12をレチクル14に接着剤で接着し 、下部ペリクル12の上面には挿入ピン15を設ける。一方、ペリクル薄膜４の形成 された上部ペリクル13の下面には挿入孔16を設け、この挿入孔16と下部ペリクル 12の挿入ピン15とを嵌合することによって上部ペリクル13と下部ペリクル12とを 接合するようにし、上部ペリクル13を何回も取り外し可能にした構造が実公昭63 −44824 で開示されている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

下部ペリクル12をレチクルやマスク14上に貼着する場合にはやはりアライメン トが必要であり、アライメント機能を有する貼り合わせ装置が必要になる。また 、下部ペリクル12がレチクルやマスク14に貼着されているため、レチクルやマス クを洗浄する際に、下部ペリクル12の隅に薬品や塵埃が残留し易いという欠点が ある。

【０００７】 本考案の目的は、これらの欠点を解消することにあり、レチクルやマスクに装 着するときにアライメント装置が不要であり、繰り返し使用が可能であり、レチ クルやマスクの洗浄が容易であるペリクルを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記の目的は、フレーム（３）に透明薄膜（４）が張着されている１対のペリ クル（１・２）よりなり、この１対のペリクル（１・２）の前記のフレーム（３ ）には、この１対のペリクル（１・２）の間に挿入されたレチクルの両面にこの １対のペリクル（１・２）を圧着する係合手段（５）が前記のフレーム（３）か ら突出して少なくとも３個形成されており、前記の係合手段（５）の前記のフレ ーム（３）からの突出長さ（Ｌ）は、前記のレチクルの前記のフレーム（３）と の接着部と前記のレチクルの縁部との距離に等しくされている着脱可能なペリク ルによって達成される。なお、前記のペリクル（１・２）の前記のレチクルと接 触する面はゴムまたはプラスチックよりなることが好ましく、また、前記のペリ クル（１・２）の前記のレチクルと接触する面にはゴム材が吸盤状に形成されて いると効果的である。

【０００９】

【作用】

上下一対のペリクル１・２を相互に係合する係合手段５をペリクルのフレーム ３から突出して設け、レチクルやマスクの縁がこの係合手段５に接触するときに レチクルやマスクとペリクルとのアライメントがなされるように係合手段５の突 出長さｌを設定しておけば、ペリクルをレチクルやマスクに装着する際に特別の アライメント装置を必要としない。なお、フレーム３のレチクルやマスクとの接 着部にゴム材を吸盤状に形成しておけばペリクルをレチクルやマスクに密着させ ることができ、塵埃の侵入を防止することができる。

【００１０】

【実施例】

以下、図面を参照して、本考案の二つの実施例に係る着脱可能なペリクルにつ いて説明する。

【００１１】 第１例 図１（ａ）参照 図１（ａ）に、ペリクルの構成図を示す。図において、１は上側ペリクルであ り、２は下側ペリクルである。３はプラスチックよりなるフレームであり、４は フレームに張着された透明薄膜であり、５は上下１対のペリクル１・２を係合す るプラスチックよりなる係合手段であり、少なくともフレームの３辺に設けられ ている。

【００１２】 係合手段５のフレーム３からの突出長さＬは、レチクルやマスクをその縁部が 係合手段５に接触するように１対のペリクル１・２の間に挿入したときに、ペリ クル１・２のフレーム３が丁度レチクルやマスクの接着位置にくるように設定し ておくものとする。

【００１３】 図１（ｂ）参照 係合手段５の１例についてその詳細図を図１（ｂ）に示す。一方のペリクル１ の係合手段５には凸部６が形成されており、他方のペリクル２の係合手段５には 開口７が形成されている。１対のペリクル１・２の間にレチクルやマスクを挟ん で係合手段５を押圧すると、開口７に凸部６が嵌入し、１対のペリクル１・２が レチクルやマスクの両面に接着される。また、係合手段の係合を外すことによっ てペリクルを容易に取り外すことができる。なお、開口７を上下に二つ設けてお き、ペリクルをレチクルやマスクから取り外すために開口７と凸部６との係合を 外したときに、もう一つの開口と凸部とが係合するようにすれば、上下二つのペ リクルを分離することなく１対のペリクルとして保存することができる。

【００１４】 図２参照 フレーム３のレチクルやマスクとの接着面に、図２に記号８をもって示すよう に、ゴム材を吸盤状に形成しておけば、レチクルやマスクとフレーム３とが良好 に密着して塵埃の侵入が防止される。

【００１５】 図４参照 なお、レチクルを露光装置のレチクル支持台に吸着により装着するときに、従 来は図４（ａ）に斜線をもって示すように、レチクル９のほゞ全周において吸着 されていたが、本発明に係るペリクルには係合手段が突出して設けられている関 係でレチクルの全周で吸着することができないが、図４（ｂ）に示すように、係 合手段を避けた領域において吸着するようにすれば何等問題はない。

【００１６】 第２例 図３参照 ペリクルのフレーム３をアルミニウム等の金属をもって形成する。この場合に は、金属フレーム３とプラスチックよりなる係合手段５とは、図３に示すように 、金属フレームに形成された凸部10を係合手段５に形成された凹部または開口11 に嵌入させる等の方法によって金属フレーム３とプラスチック係合手段５とを相 互に固定すればよい。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したとおり、本考案に係る着脱可能なペリクルにおいては、上下一対 のペリクルを係合手段を使用して相互に係合することによってレチクルやマスク の両面に接着しているので接着・取り外しが容易であり、複数回の使用が可能で ある。また、係合手段のペリクルフレームからの突出長さをレチクルやマスクの 縁部とペリクル接着位置との距離に対応して設定しておくことによって、レチク ルやマスクの縁部がペリクルの係合手段に接触するように挿入するだけでレチク ルやマスクとペリクルとのアライメントが自動的になされ、特別のアライメント 装置が不要である。また、ペリクルのフレームのレチクルやマスクとの接触面に ゴム材を吸盤状に形成しておけば、ペリクルとレチクルやマスクとが密着して塵 埃の侵入が防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は着脱可能なペリクルの構成図であり、
（ｂ）は係合手段の詳細図である。

【図２】ゴム材を吸盤状に形成したペリクルフレームの
構成図である。

【図３】金属フレームと係合手段との結合方法を示す図
である。

【図４】レチクル支持台に装着するときのレチクル吸着
領域を示す図であり、（ａ）は従来の場合であり、
（ｂ）は本考案に係るペリクルを使用する場合である。

【図５】従来のペリクルの構成図である。

【符号の説明】

１ 上側ペリクル ２ 下側ペリクル ３ フレーム ４ 透明薄膜 ５ 係合手段 ６ 凸部 ７ 開口 ８ 吸盤状のゴム材 ９ レチクル 10 凸部 11 凹部または開口 12 下部ペリクル 13 上部ペリクル 14 レチクル 15 挿入ピン 16 挿入孔

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレーム（３）に透明薄膜（４）が張着
   されてなる１対のペリクル（１・２）よりなり、 該１対のペリクル（１・２）の前記フレーム（３）に
   は、該１対のペリクル（１・２）の間に挿入されたレチ
   クルの両面に該１対のペリクル（１・２）を圧着する係
   合手段（５）が前記フレーム（３）から突出して少なく
   とも３個形成されてなり、 前記係合手段（５）の前記フレーム（３）からの突出長
   さ（Ｌ）は、前記レチクルの前記フレーム（３）との接
   着部と前記レチクルの縁部との距離に等しくされてなる
   ことを特徴とする着脱可能なペリクル。
2. 【請求項２】 前記ペリクル（１・２）の前記レチクル
   と接触する面はゴムまたはプラスチックよりなることを
   特徴とする着脱可能なペリクル。
3. 【請求項３】 前記ペリクル（１・２）の前記レチクル
   と接触する面にはゴム材が吸盤状に形成されてなること
   を特徴とする着脱可能なペリクル。